【課題】高速回転時に電鋳ブレードが傾くことがないようにすると共に、超音波振動を用いた切削を行う場合には超音波振動を電鋳ブレードに十分に伝達できるようにできる切削砥石を提供する。
【解決手段】同型の２つの円錐台形の底面同士を対面させ、対面部位の外周部に突出外周部１９が形成された形状を少なくとも有する基台１と、突出外周部１９から外周側に突出して固着された電鋳ブレード１７とが一体に形成された切削砥石３０とする。 （もっと読む）

【課題】研磨パッド調整装置及び製造方法及びそのリサイクル方法を提供する。
【解決手段】基底板２８と元の構成から裏返した反転研磨材ディスク２４を備え、この反転ディスクは、研磨材粒子５２を備える未使用の研磨面５０を有する露出した研磨面を備える。ディスクの接合面は基底板に取り付けられ、この接合面は研磨パッドを調整するために以前使用した使用済み研磨面を備える。またパッド調整装置は研磨材粒子の露出部分を備えた研磨面を有し、これらの研磨粒子の内の少なくとも約６０％は実質的に同一の結晶対称性を有する結晶構造を有する。 （もっと読む）

【課題】 砥粒の電着強度を高めた電着砥粒工具の製造方法および電着砥粒工具を提供する。
【解決手段】 基材４の表面に、第１砥粒層の砥粒１４が付着する。次に、基材４に付着した第１砥粒層の砥粒１４の表面に、第１砥粒層の鍍金層１６が形成され、第１砥粒層の砥粒１４が電着される。次に、第１砥粒層の砥粒１４に、第２砥粒層の砥粒１８が付着する。次に、第２砥粒層の砥粒１８の表面に、第２砥粒層の鍍金層２０が形成され、第２砥粒層の砥粒１８が電着される。多層構造の砥粒層を一層づつ形成していくため、多層構造の基材に接する層から最も上段に積層された層まで、砥粒の表面に鍍金層が形成されたものとなる。したがって、砥粒の電着強度は強いものとなる。 （もっと読む）

【課題】超砥粒層の両側部領域と中央部領域の寿命を略同じにし、全体としての長寿命化を達成し、超砥粒層の砥粒を完全に使いきれるようにした切断用超砥粒工具を提供する。
【解決手段】カッター１は円盤状の台金３と、その外周面上に１層だけロウ剤など固着された超砥粒で構成される超砥粒層７を備える。超砥粒層７は、加工時の超砥粒層の移動方向に直交する方向となる幅方向（すなわち台金の厚み方向）の両側側縁から幅方向所定の範囲の側部領域とそれらの間の中央部領域とからなり、側部領域は中央部領域より耐摩耗性が高くなった高耐摩耗性超砥粒層となっている。 （もっと読む）

【課題】 新たに生じるパッド表面までも確実に加工・調整して、効率的に精度良くパッド表面の加工・調整を行うことができる軟質材加工用切削工具を提供する。
【解決手段】 基材１０の表面１１に、主台座２０を上方に突出させて形成するとともに、この主台座２０の上面２１に、主切刃稜線２５を有する主切刃凸部２３を上方に突出させて形成する。基材１０の表面１１に、補助台座３０を上方に突出させて形成するとともに、この補助台座３０の上面３１に、補助切刃稜線３５を有する補助切刃凸部３３を上方に突出させて形成する。 （もっと読む）

複数の角錐形状及び複数のビュート様形状が突出している基材表面を備える研磨材を提供する。基材表面及び突起は同じ材質で形成されている。一部の突起は、実質的に三角形、四角形又は多角形の底面及び実質的に点を形成する頂点で集合する三角形の側面を有し、一部の突起は、実質的に三角形、四角形又は多角形の底面及び実質的に台形の側面を有し、その側面部分は、基材表面から離れた位置に、突起の形状が実質的にビュート様となるように平坦部を形成している。突起は、研磨材が使用方向に非依存的に研磨できるようなパターンで混合切削及び平削りエッジを提供する。ビュート様突起は、研磨材が仕上げサンディングに特に有用となるように実質的に滑走性の面を提供する。
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研磨シートまたはディスク等の研磨物品をサンディングツールに取り付けるための取付システムは、第１主面を有する物品を含み、第１主面は、サンディングツールの関連嵌合面に付着する取付材を有する取付領域と、使用者が研磨物品を掴持しかつ研磨物品をサンディングツールから分離することができるために十分弱い、関連嵌合面との取付けを形成する、第１主面の縁の少なくとも一部に沿った非取付領域と、を含む。
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コンディショニング工具（１４）の研磨表面を電気的に絶縁する電気絶縁体を有するコンディショニング工具（１４）によるウェハ平坦化方法。電気絶縁体は電気化学的に生じる腐食のレベルを低下させることによりコンディショニング工具（１４）の研磨表面の耐用寿命を延ばす。
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少なくとも２つの取外し可能の相互に連結された部分（５，７）からなる研削工具（１）が提供される。両部分（５，７）は円周領域で中断した研削面を備える研削砥石車状の物体を形成し、前記部分（５，７）は調整機構を用いて、前記研削砥石車状の物体が該物体の研削幅を基準として調節可能であるように相対的に互いに調整可能であり、かつ各調整時に固定可能である。前記調節は、好ましくは無段階で行われる。研削幅調節は、研削されるべき可変研削幅と、ワンパス研削方式において後調整可能の研削されるべき研削幅とに対して有利に適用することができる。
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【課題】主として無機粒子からなる研磨用成形体を用いた研磨用定盤により被研磨材料を研磨するにあたり、その面状態を適正に修正する方法及びそのための面修正材を提供する。
【解決の手段】面修正に用いられる修正材の修正に携わる面の一部または全面に、所定の材質からなる部材を配し、かつ当該研磨用定盤及び／または面修正材を互いに摺擦運動させながら修正液を加えつつ研磨用定盤を面修正する方法及びそのための面修正材を用いる。 （もっと読む）

【課題】 セグメントチップの側面耐摩耗面を形成するための耐摩耗性粒子の分布を改善することにより、良好な切断性能を維持したうえで、セグメントチップの側面の摩耗を効果的に低減させる。
【解決手段】 基板の外周面上にスリット１３，１４を介してセグメントチップ１２を一定間隔で配した回転円盤砥石１０セグメントチップ１２の側面上に砥粒と略同径の耐摩耗性粒子としてのダイヤモンド砥粒２１を、分散表面分布率がセグメントチップ側面の面積の２〜２０％の範囲内で規則的に配設することにより、セグメントチップ側面の摩耗を均一にすることができ、冷却水の流れや切粉の流れが偏ることもなく、砥石寿命および切断能力が向上する。 （もっと読む）