【課題】静電気動作と解放を備えたアナログ光干渉変調器デバイスを提供する。
【解決手段】微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）デバイスは、第一の電極と、第一の電極から電気的に絶縁された第二の電極と、第一の電極と第二の電極とから電気的に絶縁された第三の電極とを有している。ＭＥＭＳデバイスはまた、第一の電極を第二の電極から分離する支持構造と、第一の位置と第二の位置との間に配置され移動可能な反射素子とを有している。反射素子は、第一の位置にあるときにはデバイスの一部に接触しており、第二の位置にあるときにはデバイスの一部に接触していない。反射素子が第一の位置にあるとき、反射素子と一部との間に接着力が生成される。第一の電極と第二の電極と第三の電極とに印加された電圧が接着力を少なくとも部分的に低減または相殺する。 （もっと読む）

【課題】電界シールド基板と板ばねとの衝突を防止し、素子の歩留りを向上させる。
【解決手段】ＭＥＭＳ素子は、ミラー基板１００と、ミラー基板１００と対向して配置される電極基板２００と、ミラー基板１００に接合される電界シールド基板３００ａと、ミラー基板１００に対して変位可能に形成された可動電極である板ばね１０５ａと、電極基板２００上に形成された固定電極である板ばね駆動電極２０１ａと、電界シールド基板３００ａのミラー基板１００と対向する側の面上に形成され、ミラー基板１００の開口部１０１に嵌挿されるシールド電極３０２とを備える。電界シールド基板３００ａの水平方向の大きさは、開口部１０１の水平方向の大きさよりも大きく、シールド電極３０２の厚さは、開口部１０１の深さと同じかあるいは開口部１０１の深さよりも薄い。 （もっと読む）

【課題】可動部の設計変位を生じ易くしながら、意図しない変形は生じ難くすることが可能なマイクロ構造体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】マイクロ構造体は、基板９と、基板９に固定された固定支持部４と、第１の可動部６と、第２の可動部３と、第１の可動部６と固定支持部４とを弾性的に連結する弾性支持部５を有する。第２の可動部３は第１の可動部６に固定され、第１の可動部６と第２の可動部３は、弾性支持部４により、固定支持部４に対して一体的に変位可能に弾性支持される。 （もっと読む）

【課題】基板の伸びとマイクロ構造体の伸びの差などによる応力の弾性支持部への伝達が低減されたマイクロ構造体を提供する。
【解決手段】マイクロ構造体１８は、電極基板などの基板９と、基板９に支持部１を固定する１つのポスト１０と、支持部１の外周に枠状に配置される可動部５と、可動部５と支持部１とを弾性的に連結する弾性支持部２、３、４を有する。弾性支持部２、３、４は、支持部１に対して枠状の可動部５を可動に支持する。弾性支持部は、ねじりバネ２、４、弾性変形可能な連結部３などにより構成される。 （もっと読む）

【課題】サスペンション・プレートと少なくとも１枚の固定された容量性プレートとを有する平面型サスペンション構造を用いた加速度計ないし地震計を提供する。
【解決手段】サスペンション・プレート２はワンピース部品として形成されており、外側枠体と、一対の可撓性エレメント集合体と、それら可撓性エレメント集合体の間に設けられた一体型のプルーフマス８とを備えている。可撓性エレメント６はプルーフマス８をサスペンションの平面内の感度軸方向に可動にすると共に、全ての軸外方向への移動を規制している。プルーフマス８の軸外方向の移動は可撓性エレメント６の間に配設された複数の中間枠体を用いる。 （もっと読む）

【課題】製造プロセスの簡素化が可能で、低電圧駆動による高ストローク出力が可能なアクチュエータを用いた乱流制御装置を提供する。
【解決手段】流体との境界面を形成する壁に設置される乱流制御装置であって、振動板(30)の面上に第１電極(40)、圧電体膜(44)及び第２電極(46)が積層されて成るダイアフラム型圧電アクチュエータ(20)群を備える。第１電極(40)及び第２電極(46)間への電圧印加により可動部(32)を変位せて流体との境界面を変形させることで、壁乱流を制御する。 （もっと読む）

【課題】干渉変調器の製造を改善するための方法及びシステムを提供する。
【解決手段】干渉変調器の動作光学範囲内の光の波長に対する閾値未満の吸光係数（ｋ）を有する物質を組み込むことによって、ＭＥＭディスプレイ装置において、広帯域白色光を得ることができる。一実施形態は、この物質（２３）を透明基板（２０）の少なくとも一部の上に堆積させる段階と、この物質の層の上に誘電体層（２４）を堆積させる段階と、この誘電体の上に犠牲層を形成する段階と、この犠牲層の上に導電性層（１４）を堆積させる段階と、犠牲層の少なくとも一部を除去することによってキャビティ（１９）を形成する段階とを備えたＭＥＭＳディスプレイ装置の製造方法を提供する。適切な物質は、ゲルマニウム、多様な組成のゲルマニウム合金、ドーピングしたゲルマニウム、ドーピングしたゲルマニウム含有合金を含み得て、透明基板上に堆積されるか、透明基板または誘電体層内に組み込まれ得る。 （もっと読む）

【課題】マイクロミラーに対するミラー基板の歪みの影響を防ぐことができるマイクロミラーアレイを提供する。
【解決手段】ミラー基板１３には、応力緩和部１６が設けられている。これにより、マイクロミラー１５ａ〜１５ｎに対するミラー基板１３の歪みの影響が緩和される。結果として、マイクロミラー１５ａ〜１５ｎに対するミラー基板１３の歪みの影響を防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳデバイスの製造方法において、陽極接合の際の空気の逃げ道を確保しつつ、陽極接合に必要な電圧を小さく抑える。
【解決手段】ＭＥＭＳデバイスの製造方法は、ＳＯＩ基板を用意する工程Ｓ１と、第１シリコン層を、複数の基本パターンに分割されつつ全てがブリッジ部によって接続されて全体が一体物となった形状にパターニングする工程Ｓ２と、中間絶縁層をエッチング除去することによって上記ブリッジ部の各両側の空間を連通させる工程Ｓ３と、基材と上記ＳＯＩ基板とを貼り合わせる工程Ｓ４と、電圧を印加することによって陽極接合させる工程Ｓ５と、第２シリコン層をパターニングして高架シリコン層を形成するとともに上記ブリッジ部を露出させる工程Ｓ６と、上記高架シリコン層をマスクとして上記第１シリコン層から基礎シリコン層を形成しつつ上記ブリッジ部を除去する工程Ｓ７とを含む。 （もっと読む）

【課題】空間光変調器の特性を長期にわたって安定させる。
【解決手段】電極、静電力により電極に引き付けられて揺動する可動部、および、可動部に支持されて可動部と共に揺動する反射鏡をそれぞれが有する単位素子を複数実装された基板と、反射鏡の間から基板に向かって差し込む光を遮断する遮光層とを備える。上記空間光変調器において、遮光層は、反射鏡および基板の間に配されてもよい。また、上記空間光変調器において、遮光層は、反射鏡および可動部の間に配されてもよい。 （もっと読む）

【課題】所望する光反射面を有するマイクロミラーアレイを製造すること。
【解決手段】基板３に支持部４を介して傾動可能に支持される可動板５の上面側に、光反射面２が設けられる金属柱２０を形成する際、可動板５の上面側を露出させる開口４０ａを有する保護膜４０を形成し、その開口４０ａ内に銀メッキを施して銀製の金属柱２０を形成した後、その金属柱２０の上端面２０ａに鏡面加工を施して光反射面２を形成することとした。 （もっと読む）

【課題】点光源のＸ線源を用いても、Ｘ線吸収の効率を低下させることのない湾曲したマイクロ構造体の製造方法を提供する。
【解決手段】表側に微細構造とメッキ層を有し、裏側に弯曲した面を有するモールドからなるマイクロ構造体の製造方法であって、異方性エッチングにて深さ方向にエッチングされて形成された微細構造を有し、前記微細構造の連続した隙間の底部に導電性が付与されたモールドを用意する工程と、前記微細構造の底部からメッキして前記微細構造の連続した隙間に第１のメッキ層を形成する工程と、前記第１のメッキ層の上に、応力を発生する第２のメッキ層を形成し、前記第２のメッキ層の応力によりモールドを湾曲させる工程とを少なくとも有するマイクロ構造体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】所望の周波数帯域で良好な感度を有する二次元容量型電気機械変換装置などの電気機械変換装置を無欠陥ないし歩留まり良く作製することを可能とする技術を提供する。
【解決手段】電気機械変換装置は少なくとも１つのセルを含むエレメント１、２、３を複数個有する。複数のエレメントト１、２、３は、複数の処理回路が形成された集積回路基板５上のそれぞれ対応する処理回路に対して、互いに分離して独立的に配置され、各エレメント毎に信号の入出力ができる様に、対応する複数の処理回路とそれぞれ機械的及び電気的に結合されている。 （もっと読む）

【課題】光の反射効率が高く、製造プロセスが簡便な空間光変調素子を提供する。
【解決手段】空間光変調素子の製造方法であって、電極が形成された電極側基板を準備するステップと、電極との間の静電力により可動する可動部、可動部の動きに連れて傾斜する反射鏡および可動部を支持する支持部を有する可動側基板を準備するステップと、可動側基板の支持部を電極側基板に貼り合わせるステップとを備える製造方法が提供される。可動側基板を準備するステップは、基板本体を準備するステップと、基板本体の一面をエッチングすることにより可動部を形成するステップと、可動部上に反射鏡を成膜するステップと、基板本体に他面をエッチングすることにより支持部を形成するステップとを有する。 （もっと読む）

【課題】より容易にマイクロミラーアレイ基板を製造すること。
【解決手段】基板３上に配列させた金属柱２２を封止膜２３で被覆し、封止膜２３と金属柱２２の表面が略面一となるように研削して、封止膜２３の表面から金属柱２２の上端面２２ａを露出させる際、その上端面２２ａを研磨して鏡面加工を施し、光反射面２として形成することにより、マイクロミラーアレイ基板１Ａのミラー面に複数の光反射面２を一括して形成することを可能にした。 （もっと読む）

【課題】長期間に亘って圧電特性の低下を抑制することができる圧電素子の製造方法、圧電素子、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】第１電極６０と、圧電体層７０と、第２電極８０と、を具備する圧電素子３００の製造方法であって、第１電極６０上に圧電体層７０となる圧電体前駆体膜を形成する工程と、圧電体前駆体膜を加熱処理して結晶化させて圧電体膜からなる圧電体層７０を形成する工程と、圧電体層７０上にランタンニッケル酸化物を主成分とする金属酸化膜２００を形成する工程と、金属酸化膜２００が設けられた圧電体層７０を加熱処理するポストアニール工程と、を具備する。 （もっと読む）