【課題】 鉛を含有せず、かつ変位特性の高い圧電素子を有する液体噴射ヘッド及びこれ
を用いた液体噴射装置を提供する。
【解決手段】 液体噴射ヘッドＩは、液滴を噴射するノズルに連通する圧力発生室１２を
備えた流路形成基板１０と、該流路形成基板上に設けられる圧電素子３００とを具備し、
前記圧電素子が、圧電体層７０とこの圧電体層の両面に設けられる一対の電極とで構成さ
れていると共に、前記圧電体層がＢａＴｉＯ_３、ＣａＴｉＯ_３及びＥｕ_２Ｏ_３を有する。
液体噴射装置は、この液体噴射ヘッドを備える。 （もっと読む）

【課題】表面に反応性を付与することで機能性に優れ、安価で量産性の高い樹脂製の微細構造体の提供を目的とする。
【解決手段】１個の重合性二重結合を有しフリーラジカル重合により重合しエポキシ基、カルボキシル基、アミド基、アミノ基、イソシアネート基、アルコキシシリル基、メチロール基のいずれか一つ以上を有する単量体Ｚ、単量体Ｚと混合した時に均一な液体となり１個の重合性二重結合を有しフリーラジカル重合により重合し単量体Ｚを含まない単量体Ｘ、および単量体Ｘと混合した時に均一な液体となり２個以上の重合性二重結合を有しフリーラジカル重合により重合する単量体Ｙからなり、（単量体Ｘ＋単量体Ｚ）と単量体Ｙの重量比が９０／１０〜５５／４５の範囲にある単量体Ｘ，Ｙ及びＺの重合体Ａ、および単量体Ｘと単量体Ｙと単量体Ｚとの混合液体に溶解またはコロイド状に分散する重合体Ｂを主たる成分とする重合体組成物からなり、表面にミクロな凹凸構造を有することを特徴とする。 （もっと読む）

本開示は、投影ディスプレイ用の高速スイッチングミラーアレイを製作する方法を示す。ミラーは、下地のスプリング支持体に接続された中間にビア(via)を有していないため、既存の技術のように、脚またはビアからの光散乱を有していないことに起因して、改善したコントラスト比が得られる。支持コンタクトが存在しないため、ミラーはより小型に製作でき、より高密度のディスプレイを製作するために使用できるより小型な画素を製作できる。さらに、支持するスプリング支持体からの復元力が存在しないため、ミラーは、定位置のままで、付着に起因して一方向または他の方向に向く。このことは、ミラーを定位置に保持するための電圧を使用する必要がないことを意味する。このことは、ディスプレイを動作させるのに必要な電力が少ないことを意味する。
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【課題】基板上の素子配置、配線の自由度を上げる微小構造体の圧電デバイスを提供する。
【解決手段】圧電デバイス１において、表面に絶縁層14を備えた導電層13を上面に備え、複数のダイアフラム構造15を内部に並列して備えた基板10と、基板10の絶縁層14上に、ダイアフラム構造15に対応して配置された複数の圧電素子20であって、圧電体膜22の自発分極Ｐが、下部電極21側から上部電極23側に向かう向きに配向しており、下部電極21および上部電極23が、複数の圧電素子20間で互いに離間して設けられた個別電極である複数の圧電素子20と、複数の圧電素子20の上部電極23のそれぞれを、導電層13に電気的に接続する電気配線28とを備える。 （もっと読む）

【課題】プログラム機能を有する静電型ＭＥＭＳアクチュエータを実現する。
【解決手段】本発明の例に係るプログラマブルアクチュエータは、第１駆動電極３Ａを含む可動部１と、第１駆動電極３Ａに対向し、第１及び第２部分５ａ，５ｂから構成される第２駆動電極３Ｂと、第２駆動電極３Ｂの第１部分５ａと第１駆動電極３Ａとの間に第１電位差を発生させることにより両電極を電気的に接触させない状態で可動部１を複数回動作可能にする第１駆動回路６ａと、第２駆動電極３Ｂの第２部分５ｂと第１駆動電極３Ａとの間に第２電位差を発生させることにより両電極を電気的に接触させた状態で可動部１を固定可能にする第２駆動回路６ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】メンブレン部と梁部の下部のＳｉ（１００）基板そのものを除去してブリッジ構造を形成するためのＳｉ異方性ウェットエッチングの処理時間を短縮できる半導体装置技術を提供すること。
【解決手段】メンブレン部５１と梁部５２〜５５は、Ｓｉ（１００）基板の＜１００＞方向に形成され、梁部５２〜５５はメンブレン部５１の対向する二辺上でのみメンブレン部５１を支持し、梁部５２〜５５の最短部分の長さが幅よりも長い構成となっている。メンブレン部５１上には赤外線を検出するための感熱部９０（赤外線センサーの場合）と赤外線吸収膜９１が形成され、検出した赤外線によって発生される信号を、配線９２、９３が感熱部９０からメンブレン部５１、梁部５３、５５を通って外部へと導いている。メンブレン部５１は底面保護層９４、層間膜９５、上面保護層９６によってエッチング溶液から保護されている。 （もっと読む）

【課題】効率よく、かつ信頼性の高い培養条件の探索を低コストで実現できるマイクロチップを提供する。
【解決手段】複数のチャンバー部４が、複数の行および複数の列からなる行列をなすように配列されたマイクロチップ１。列１０Ａ、１０Ｂに属するチャンバー部４の内面が、細胞の接着を促す第１の足場因子８Ａで修飾され、列１０Ｃ、１０Ｄに属するチャンバー部４の内面が、第２の足場因子８Ｂで修飾されている。行９Ａ、９Ｂに属するチャンバー部には、第１の液性因子６ａを含む液を導入する第１導入流路１２Ａが接続され、行９Ｃ、９Ｄに属するチャンバー部には、第２の液性因子６ｂを含む液を導入する第２導入流路１２Ｂが接続されている。 （もっと読む）

【課題】マイクロメカニカル構造体の近設される可動部間の電気干渉を抑制するための電界遮蔽構造が、容易に製造できるようにする。
【解決手段】マイクロメカニカル構造体１００は、一端が固定された複数の可動部１３１ａと、隣り合う可動部１３１ａの間に可動部１３１ａとは離間して配置される電界遮蔽構造１１１ａとを備える。マイクロメカニカル構造体１００は、ＳＯＩ基板より構成されている。ＳＯＩ基板を構成するシリコン基部１０１の層に電界遮蔽構造１１１ａが形成され、埋め込み絶縁層１０２の上のシリコン層１０３に、可動部１３１ａが形成されている。また、電界遮蔽構造１１１ａおよび可動部１３１ａは、埋め込み絶縁層１０２に形成された開口領域に配置されるように形成されている。 （もっと読む）

【課題】環境温度の変化によって生じる熱膨張率差に起因する応力の変動や、マイクロミラー素子を固定している接着剤部分の強度劣化による応力の変動等が、マイクロミラーの傾斜角度へ影響することを軽減する。
【解決手段】固定フレーム１と、固定フレーム１に対して揺動可能な可動フレーム１３と、可動フレーム１３の揺動軸を規定するトーションバー１１ａ及び１１ｂと、固定フレーム１及びトーションバー１１ａ，１１ｂの少なくとも一方に設けられる応力緩和機構５０とを含み、トーションバー１１ａ及び１１ｂの軸方向における応力緩和機構５０の剛性は、トーションバー１１ａ及び１１ｂの軸方向の剛性より小さく、トーションバー１１ａ及び１１ｂを中心とする回転方向における応力緩和機構５０の剛性は、トーションバー１１ａ及び１１ｂを中心とする回転方向における剛性よりも大きい。 （もっと読む）

【課題】従来よりも分光帯域の広いファブリペロー干渉計及びその製造方法を提供する。
【解決手段】第１ミラー構造体と第２ミラー構造体とがギャップを介して対向配置されたファブリペロー干渉計であって、第１ミラー構造体を構成する第１ミラーと第１電極、及び、第２ミラー構造体を構成する第２ミラーと第２電極、の少なくとも一方が電気的に絶縁分離されている。また、電圧が印加されない初期状態で、第１電極を含む電気的に結合された部分と、第２電極を含む電気的に結合された部分との対向距離ｄｅｉが、第１ミラーと第２ミラーとの対向距離ｄｍｉよりも長くされている。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳを基本にしたディスプレイデバイスを提供する。
【解決手段】ＭＥＭＳを基本にしたディスプレイデバイスであり、インターフェロメトリックモジュレータアレイが透明基板を通じて光を反射させるように構成されている。該透明基板は、シールを介してバックプレートに取り付けられており、該バックプレートは、該インターフェロメトリックモジュレータアレイを制御するための電子回路を内蔵することができる。該バックプレートは、該ディスプレイの状態を制御するために使用することができるデバイス構成要素（例えば電子構成要素、等）に関する物理的支持物となることができる。さらに、該バックプレートは、該デバイスに関する構造上の主支持物として利用することもできる。 （もっと読む）

【課題】製造時に機能性デバイスの破損などがなく量産性に優れ、性能を向上しえる機能性デバイスの製造方法およびそれを用いた半導体装置の製造方法を提供することにある。
【解決手段】シリコン基板（基板）１の一表面側に形成された機能性薄膜２の一部を空間的に分離する空洞５がシリコン基板１に形成された機能性デバイス１０の製造方法であって、基礎となるシリコンウェハ（ウェハ）３の前記一表面側に機能性デバイス１０を形成し分離するにあたり、シリコンウェハ３の前記一表面側に存在する有機物を除去し、前記一表面側に仮固定シート６を貼り付け、他表面側にダイシングシート７が貼り付けられたシリコンウエハ３を仮固定シート６側から仮固定シート６ごと切断した後、仮固定シート６を機能性デバイス１０から剥離し、各機能性デバイス１０の表面に存在する有機物を除去する機能性デバイスの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】マイクロミラー素子を気密封止した後に正確な特性評価を行うことが可能な光スイッチモジュールを提供する。
【解決手段】MEMSミラーアレイチップ１３を内部に気密封止するパッケージ１２を有する。MEMSミラーアレイチップ１３は、可動反射体を有するマイクロミラー素子により入射光の反射方向を制御できるものである。前記パッケージ１２は、入射光および反射光を透過させる透過窓２２を備えている。この透過窓２２は、少なくとも二つの波長帯領域で光を透過させる反射防止コーティング２３が施されている。 （もっと読む）

体液レオロジーを評価するための、作動され表面に付着したポストを使用するための方法、システム、およびコンピュータ読取可能な媒体が開示される。一態様によれば、体液試料の特性を試験するための方法は、基板から外側に伸びる複数のマイクロポストを有するマイクロポストアレイに試料を配置し、各マイクロポストは基板に付着した基部端及び基部端の反対側の先端を含み、マイクロポストを作動させるためにマイクロポストアレイの近傍に作動力を発生させ、それによって少なくとも幾つかのマイクロポストに動きを示させることを含む。この方法はさらに、作動力に応じて少なくとも１つのマイクロポストの動きを測定し；及び少なくとも１つのマイクロポストの測定された動きに基づいて、試料の特性を決定することを含む。
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【課題】容易に駆動制御できるミラー装置およびミラーアレイを提供する。
【解決手段】定電圧印加部１１は、定電圧電極に一定の電圧を印加する。また、駆動電圧印加部１２は、駆動電極に所定の電圧を印加する。これにより、少ない数の駆動電極の電圧値を制御することでミラーの駆動を制御することができるので、より容易に駆動制御することができる。 （もっと読む）

本発明の方法及びデバイスは、複数の活性化モードを有するように構成されたアナログ干渉モジュレータの活性化をキャリブレーション及び制御ための方法及びデバイスである。また、本発明の方法及びデバイスは、印加された電圧の関数として応答するようにアナログ干渉モジュレータをキャリブレーションするためのデバイス及び方法である。
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【課題】素子面積を小さくしたＭＥＭＳ素子などの電子デバイスを組み込んだ半導体装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】ＭＥＭＳ本体の両面に可動部材が露出するようにして面積を小さくしたＭＥＭＳ素子を接合に伴って有機化合物を放散する接合手段を用いてフリップチップ実装するに際し、ＭＥＭＳ本体に実装用基板を接合してＭＥＭＳ素子を形成して実装する。その有機化合物の放散からＭＥＭＳ素子の可動部が影響を受け難くなる。 （もっと読む）

本装置は、ラブ・オン・ア・チップ・システム内の流体流を制御する役目を果たす。この装置は、ｎ個の列Ｓ_nおよびｍ個の行Ｚ_mに配置され、フローチャネル（４）内の流体流を制御するようにそれぞれ設計された複数のバルブからなるバルブアレイを有している。アレイは少なくとも２つのバルブを含み、各列Ｓ_nは最多でも１つのバルブを有し、各行Ｚ_mは０〜ｎ個のバルブを有している。バルブの操作機構（１３）が設けられている。バルブは押圧力を介して操作される。本装置を製造するために、バルブの配置に応じてフローチャネル（４）が配置される。 （もっと読む）

【課題】より少ないピン配置(fewer pin outs)で、更により高いビット深度(higher bit depth)を実現できる干渉系変調器を提供する。
【解決手段】光変調器は干渉系表示エレメント４０の行列のアレイとして配列されている。各エレメントは、サブ行のサブエレメント４２、４４、４６に分割される。アレイ接続線は、アレイ中の表示エレメントの１行に対応する１接続線と共に、表示エレメントに操作信号を伝える。サブアレイ接続線(sub-array connection lines)は、各アレイ接続線に電気的に接続する。グレースケール変調(gray scale modulation)をもたらすために、スイッチ５６、５８は、各アレイ接続線からサブ行に操作信号を伝える。 （もっと読む）

【課題】光の反射面位置により光位相を変調する方式において、ミクロンサイズの構造にマイクロミラーを一体化した構造体の駆動において光波長より十分短い位置精度で光の反射面位置を制御する位相変調素子を提供する。
【解決手段】可動構造体２２の移動を２枚の薄膜金属片持ち梁停止板１３で挟んだ範囲に限定し、所望の光位相変調量から該停止板間距離を設定し、該範囲の中央から両端部に向けより低いエネルギーポテンシャル状態を形成し、メモリセルデータにより該構造体の移動方向を差別化し、該構造体を該範囲のいずれかの端に移動させ、端に形成した該梁停止板によって該構造体を停止し保持安定化させる双安定駆動により、該構造体に一体化したマイクロミラーにより反射される光の光路長を切り替え、再現性の良い光位相変調を実現する。 （もっと読む）