【課題】 高アスペクト比な金属微細構造体を高精度で容易に得ることができる微細構造体の製造方法を提供する。
【解決手段】 微細構造体の製造方法は、Ｓｉ基板に第１の絶縁膜を形成する第１工程と、第１の絶縁膜の一部を除去してＳｉ表面を露出する第２工程と、露出されたＳｉ表面からＳｉ基板をエッチングして凹部を形成する第３工程と、凹部の側壁及び底部に第２の絶縁膜を形成する第４工程と、凹部の底部に形成された第２の絶縁膜の少なくとも一部を除去してＳｉの露出面を形成する第５工程と、Ｓｉの露出面より凹部に金属を電解めっきにより充填する第６工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】 熱コンダクタンスを低減させる連結構造または支持構造の加工に最適なＭＥＭＳの製造方法等を低起用すること。
【解決手段】 固定部６０上に形成された、第１空洞部３０を有する被エッチング層２２を加工するＭＥＭＳの製造方法は、被エッチング層２２の露出面のうち、被エッチング層２２が第１空洞部３０に臨む少なくとも側壁２２Ａに、マスク層２４を形成する第１工程と、マスク層２４の表面２４Ａ側の第１空洞部３０内に供給されたエッチャントを、マスク層２４の裏面２４Ｂ側に導いて被エッチング層２２を等方性エッチングして、第１空洞部３０に連通する第２空洞部３２をマスク層２４の裏面２４Ｂ側に形成して被エッチング層２２を加工する第２工程とを有する。被エッチング層２２はアンダーカット形状またはアーチ形状に加工される。 （もっと読む）

本明細書において説明するこの方法およびデバイスは、ディスプレイ、およびＭＥＭＳを含む低温封孔流体充填ディスプレイを製造する方法に関する。この流体は、ＭＥＭＳディスプレイの可動構成要素を実質的に囲んで静摩擦作用を低減させ、ディスプレイの光学性能および電気機械的性能を向上させる。本発明は、蒸気気泡が封止温度よりも約１５℃〜約２０℃低くならないかぎり形成されないようにＭＥＭＳディスプレイを低温で封止する方法に関する。いくつかの実施形態では、ＭＥＭＳディスプレイ装置は、第１の基板と、ギャップによって第１の基板から分離された光変調器のアレイを支持する第２の基板と、ギャップを実質的に充填する流体と、ギャップ内の複数のスペーサと、第１の基板を第２の基板に接合する封止材料とを含む。
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【課題】 光ビームの進行方向を切換えることができる光学素子において、基板と可動部が面と面で接触して貼り付いてしまうことを防止する。
【解決手段】 光学素子は、基板と、支持部と、可動部と、ミラーと、固定電極と、可動電極と、剥離用電極とを備えている。基板は、接触用基準面を備えている。支持部は、基板に固定されている。可動部は、支持部によって支持されており、外力が作用しない状態では基板の接触用基準面から離間するとともに外力が作用すると接触用基準面に接触する弾性を持っている接触部とを備えている。ミラーは、可動部に固定されている。固定電極は、基板の接触用基準面の輪郭内の範囲に設置されている。可動電極は、接触部に設置されている。剥離用電極は、基板に設置されており、可動部を吸引して基板の接触用基準面と可動部の接触部との接触面の面積を減少させる。接触面の面積が減少することを端緒として、可動部と基板とを離間させることができる。 （もっと読む）

【課題】 貫通孔付のマイクロニードルを容易に製造することができるマイクロニードル製造方法を提供すると共にそのようなマイクロニードル製造方法により製造されたマイクロニードル基板を提供することにある。
【解決手段】 硬化性樹脂に熱又は光エネルギーを付与し、且つ、そのエネルギーを制御することにより上記硬化性樹脂の外周部を硬化部とすると共に内周部を未硬化部とし、次に、上記未硬化部の硬化性樹脂を除去することにより貫通孔を備えたマイクロニードルを得るようにしたもの。 （もっと読む）

【課題】絶縁溝と絶縁部材とで構成された絶縁部を有する半導体基板において、反りの発生を抑制する。
【解決手段】ミラーアレイデバイス１は、電極基板４を備えている。電極基板４は、その厚み方向に導通し且つ絶縁部５で囲まれることによって周辺の部分から絶縁された駆動電極４１を有している。絶縁部５は、電極基板４の表面４ａから形成された絶縁溝５１と、電極基板の裏面４ｂから埋め込まれて絶縁溝５１内に突出する絶縁部材５２とで構成されている。電極基板４には、電極基板４の応力を緩和するための応力緩和溝６が絶縁部材５２が埋め込まれた裏面４ｂ側から形成されている。 （もっと読む）

干渉変調器（“ＩＭＯＤ”）ディスプレイが、周辺光を利用し、ＭＥＭＳ変調器に到達する周辺光の量を低減させることおよび任意の光学的歪みまたは性能の損失を生じることなく、接触感知を組み込む。接触感知のための電極が、干渉ディスプレイの裏面ガラスに位置され、第一の機能が接触を感知するためにＭＥＭＳディスプレイのピクセルを駆動することである電極とともに使用される。接触が、ＩＭＯＤ層を歪め、ディスプレイの後部のさまざまなディスプレイ層を介して感知される。
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電気機械変調器及びそれを製造する方法が開示されている。一実施形態において、ディスプレイはボイドが形成されたメンブレン層を有する副画素を含む。ボイドは、メンブレン層の柔軟性が増加するように構成されることができる。副画素はさらに、観察者からボイドを隠すように構成された光学マスクを含むことができる。他の一実施形態において、ディスプレイは、少なくとも二つの可動反射体を含むことができ、それぞれの可動反射体は、異なる剛性を有するが、それぞれの可動反射体は、ほぼ同じ有効熱膨張係数を有する。
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【課題】電気機械変換器の特性を長期間にわたって安定させる。
【解決手段】電極を有する基板と、基板に対して一端を固定されて弾性変形する基板側捩じり軸部と、基板側捩じり軸部の他端に支持され、静電力により電極に引き付けられて基板に対して揺動する可動部と可動部の一面と交差する面を有して可動部と一体的に配され、可動部に対する曲げ応力に対抗する構造材とを備える。上記電気機械変換器において、捩じり軸部は、可動部と一体をなしてもよい。また、上記電気機械変換器において、捩じり軸部の他端に支持され、静電力により基板上の電極に引き付けられて基板に対して揺動する枠体と、一端を枠体に固定され、他端において可動部を支持する枠側捩じり軸部とを更に備え、可動部は、枠体に対しても揺動してもよい。 （もっと読む）

【課題】空間光変調器の特性を長期間にわたって安定させる。
【解決手段】基板と、基板に対して揺動する反射鏡とを備えた空間光変調器であって、反射鏡は、反射面と、反射面に交差する面を含み反射面の裏面に配されて反射面に対する曲げ応力に対抗する構造材とを有する。上記空間光変調器において、構造材は、面に更に交差する底面を有してもよい。また、上記空間光変調器において、構造材は、反射面と共に包囲した空間と、当該空間の外部との間を連通させる貫通孔を有してもよい。 （もっと読む）

【課題】ディスプレイの角度特性を制御するための光学フィルム。
【解決手段】光干渉ディスプレイ・デバイスは、ディスプレイの視界を狭くする複数の構造を用いる外部フィルム６０５を有して提供される。例えば、バッフル６０３又は複合パラボラ集束器のような非結像光学素子を備えることができる。バッフルは、例えば、グリッドに配列された複数の垂直に向きを揃えて並べられた表面を備えることができる。これらのバッフルは、不透明又は反射性である。したがって、これらの垂直な面６１０は、光が実質的に垂直でない方向６０７に光干渉ディスプレイ・デバイスを出ることを実質的に遮ることができる。しかしながら、これらの垂直な面は、実質的に垂直な方向に向けられた光がディスプレイを出ることを可能にする。非結像光学素子、例えば、複合パラボラ集束器は、大きな入射角からディスプレイに向かってさらに垂直な角度へと光の向きを変える。 （もっと読む）

【課題】書込み時間の短縮化や、駆動回路の縮小化を図ることが可能な板状部材の揺動装置を提供すること。
【解決手段】マトリクス部２０には、可動単位が、マトリクス状に行方向および列方向に複数配列される。第１電極および第２電極は、列方向に並んだ可動単位に共通使用される。行方向に並んだ可動単位の板状部材を共通に接続する第３電極が、行ごとに複数形成されている。駆動回路３０は、列方向に並んでいる第３電極を順番に１つずつ選択する。そして、選択した第３電極にバイアス電圧Ｖ１を印加すると共に、行方向に複数並んだ第１電極および第２電極に対して近接電圧Ｖ３または離反電圧Ｖ４を印加することで、板状部材を揺動させる。そして、揺動姿勢を保つ所定期間の間、第３電極に印加される電圧をバイアス電圧Ｖ１に維持する。所定期間の経過後に第３電極に印加される電圧をリセット電圧Ｖ２へ遷移させることで、板状部材を揺動していない状態へ戻す。 （もっと読む）

【課題】製品として求められる目標精度に比べて梁の膜厚ばらつきに起因する共振周波数のばらつきが大きくても、目標精度内の共振周波数を有するＭＥＭＳ振動子が高い歩留りで得られるＭＥＭＳ構造体を提供する。
【解決手段】本発明の一態様は、基板上に複数のＭＥＭＳ振動子３０ａ〜３０ｄを配置したＭＥＭＳ構造体であって、前記複数のＭＥＭＳ振動子それぞれは、梁構造を有しており、前記複数のＭＥＭＳ振動子は、それぞれの梁構造が異なることによって共振周波数が異なるＭＥＭＳ構造体である。 （もっと読む）

【課題】 敷設された中空フィラメントの外径仕様が異なる場合や、該中空フィラメントが交差する場合でも表面凹凸が少なく、また、中空フィラメントが交差部で位置ずれを起こさないマイクロ流体システム用支持ユニット及びその製造方法を提供する。
【解決手段】固定層中に少なくとも１本の中空フィラメントの一部が任意の形状に敷設され、固定されているマイクロ流体システム用支持ユニットに関し、固定層は、基材上、保護層上または中間層上に設けられていてもよい。 （もっと読む）

電気的に接続されたフロントプレートおよびバックプレートを有するディスプレイデバイスを製造するためのシステムおよび方法が開示される。一実施形態では、この方法は、非導電バックプレート上に導電隆起形状部を印刷すること、隆起形状部がフロントプレート上の導電配線と位置合わせされて隆起形状部と配線が電気的に接続されるようにバックプレートを非導電フロントプレートと位置合わせすること、バックプレートとフロントプレートを封止することを含む。
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【課題】貫通孔が形成され、且つ、貫通孔がマイクロ流路に連通した構成のマイクロニードルアレイとそのようなマイクロニードルアレイを容易に製造することを可能にするマイクロニードルアレイの製造方法を提供すること。
【解決手段】微細貫通孔を有するマイクロニードルが形成されたマイクロニードルアレイ用基材３と、上記マイクロニードルアレイ用基材に密着・固定され薬剤注入のための構造部を備えたカバー用基材５と、上記マイクロニードルアレイ用基材及び又は上記カバー用基材に形成され上記薬剤注入のための構造と上記マイクロニードルの貫通孔１１を連通するためのマイクロ流路と、を具備したもの。 （もっと読む）

【課題】微小電気機械素子のアクチュエーション電圧またはリリース電圧の一方または両方を検出するための方法及び手段が提供される。
【解決手段】微小電気機械装置のアクチュエーションおよび／またはリリース電圧を感知する方法は、可変電圧を装置に印加し、その状態および異なる電圧レベルを感知することを含む。装置は、ディスプレイに適した干渉変調器のアレイを含むシステムの一部である。この方法はディスプレイピクセル特性における温度に依存した変化を補償するために使用することができる。 （もっと読む）

本発明は、三次元のマイクロ構造体に関する。本発明の構成では、その各マイクロコラム長手方向延在長さに関して互いにほぼ平行でかつ互いに間隔を置いて相並んで配置された多数のマイクロコラムが設けられており、該マイクロコラムが、少なくとも１種の非晶質のマイクロコラム材料を有しており、マイクロコラムが、それぞれ２０〜１０００の範囲から成るアスペクト比およびそれぞれ０.１μｍ〜２００μｍの範囲から成るマイクロコラム直径を有しており、隣接し合ったマイクロコラムの間に配置されたマイクロコラム間隙が設けられており、該マイクロコラム間隙が、隣接し合ったマイクロコラムの間で１μｍ〜１００μｍの範囲から選択されたマイクロコラム間隔を有している。さらに、三次元のマイクロ構造体を製作するための方法において、以下の方法ステップ：ａ）型材料を有する型を用意し、ただし該型は、実質的にマイクロ構造体に対して反転した、複数のコラム状の型キャビティを備えた三次元の型構造体を有しており、ｂ）前記コラム状の型キャビティ内にマイクロコラム材料を配置して、複数のマイクロコラムを形成し、ｃ）型材料を少なくとも部分的に除去する、から成るステップを実施することを特徴とする、三次元のマイクロ構造体を製作するための方法も記載される。型としてはシリコンウェーハが使用されると有利である。型を用意するために、ＰＡＥＣＥ（Photo Assisted Electro- Chemical Etching）法が使用される。本発明によれば、大きな表面積を有するマイクロ構造体が実現可能となる。
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【課題】部品の数を減らすことができ、これにより小型化が容易な光スイッチを提供する。
【解決手段】波長多重された光を入力する１以上の入力ポート及び１以上の出力ポートを構成するｎ本のファイバからなるファイバアレイと、ファイバアレイの各ファイバにそれぞれ対応するｎ個のレンズからなるレンズアレイと、レンズアレイからの光を各波長に分光する分光素子と、分光された各波長を受光し、波長毎に独立に偏向可能な複数の偏向素子により、各波長毎に出力ポート選択せしめる偏向手段と、を備え、ファイバアレイのファイバは一列に配列されており、ファイバアレイの各ファイバにそれぞれ入射又は出射する光が交差する領域を交差位置Ｃとし、ファイバアレイのファイバと平行で、かつ、交差位置Ｃを通る軸を軸Ｚとしたとき、ファイバのコアとこれに対応するレンズの光軸との距離δは、軸Ｚからの距離Ｓに応じて異なっている。 （もっと読む）

干渉変調器と、干渉変調器を製造する方法が開示される。一実施形態において、干渉変調器は、第一の反射面と、第二の反射面と、第一の反射面と第二の反射面とによって画定される光学共振層と、を有する干渉反射体を含む。干渉反射体は、干渉変調器が透過ピーク波長において光の反射率が減少するように、透過ピーク波長において光の特定のスペクトルを透過するように構成することができる。
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