ディスプレイの角度特性を制御するための光学フィルム
【課題】ディスプレイの角度特性を制御するための光学フィルム。
【解決手段】光干渉ディスプレイ・デバイスは、ディスプレイの視界を狭くする複数の構造を用いる外部フィルム６０５を有して提供される。例えば、バッフル６０３又は複合パラボラ集束器のような非結像光学素子を備えることができる。バッフルは、例えば、グリッドに配列された複数の垂直に向きを揃えて並べられた表面を備えることができる。これらのバッフルは、不透明又は反射性である。したがって、これらの垂直な面６１０は、光が実質的に垂直でない方向６０７に光干渉ディスプレイ・デバイスを出ることを実質的に遮ることができる。しかしながら、これらの垂直な面は、実質的に垂直な方向に向けられた光がディスプレイを出ることを可能にする。非結像光学素子、例えば、複合パラボラ集束器は、大きな入射角からディスプレイに向かってさらに垂直な角度へと光の向きを変える。
【解決手段】光干渉ディスプレイ・デバイスは、ディスプレイの視界を狭くする複数の構造を用いる外部フィルム６０５を有して提供される。例えば、バッフル６０３又は複合パラボラ集束器のような非結像光学素子を備えることができる。バッフルは、例えば、グリッドに配列された複数の垂直に向きを揃えて並べられた表面を備えることができる。これらのバッフルは、不透明又は反射性である。したがって、これらの垂直な面６１０は、光が実質的に垂直でない方向６０７に光干渉ディスプレイ・デバイスを出ることを実質的に遮ることができる。しかしながら、これらの垂直な面は、実質的に垂直な方向に向けられた光がディスプレイを出ることを可能にする。非結像光学素子、例えば、複合パラボラ集束器は、大きな入射角からディスプレイに向かってさらに垂直な角度へと光の向きを変える。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の分野は、微小電気機械システム(ＭＥＭＳ：microelectromechanical systems)に関する。
【背景技術】
【０００２】
微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）は、微小機械素子、アクチュエータ、及び電子機器を含む。微小機械素子は、堆積、エッチング、そしてあるいは、電子デバイス及び電子機械デバイスを形成するために基板及び／又は堆積された材料層の一部分をエッチングして取り除く、若しくは複数の層を付加するその他のマイクロマシニング・プロセスを使用して創り出されることができる。ＭＥＭＳデバイスの１つのタイプは、光干渉変調器と呼ばれる。本明細書中で使用されるように、用語、光干渉変調器又は干渉光変調器は、光学的な干渉の原理を使用して光を選択的に吸収する及び／又は反射するデバイスを呼ぶ。ある実施形態では、光干渉変調器は、１対の導電性プレートを備え、その一方又は両方が、全体として又は一部分が透明でありかつ／又は反射性であり、そして適切な電子信号の印加により相対的動きが可能である。特定の実施形態では、一方のプレートは、基板上に堆積された静止層を備え、他方のプレートは、エアー・ギャップにより静止層から分離された金属膜を備えることができる。本明細書中でさらに詳細に説明されるように、他方と相対的に一方のプレートの位置は、光干渉変調器上に入射する光の光学的干渉を変化させることができる。そのようなデバイスは、広範囲のアプリケーションを有し、そしてこれらのタイプのデバイスの特性を利用すること及び／又は変形することは、この技術において有益であり、その結果、それらの特徴は、既存の製品を改善する際に活用されることができ、そして未だ開発されていない新たな製品を創り出す際に活用されることができる。
【特許文献１】米国特許第６，６５０，４５５号明細書
【特許文献２】米国特許第５，８３５，２５５号明細書
【特許文献３】米国特許第５，９８６，７９６号明細書
【特許文献４】米国特許第６，０５５，０９０号明細書
【特許文献５】米国特許出願番号第１０／７９４，８２５号明細書
【発明の概要】
【０００３】
本発明のシステム、方法、及びデバイスは、それぞれ複数の態様を有し、その１つのものも、その好ましい特性に単独で寄与するのではない。本発明の範囲を制限することなく、そのより卓越した特徴が、ここに簡潔に説明される。本明細書を熟考した後で、特に“特定の実施形態の詳細な説明”と題された項を読んだ後で、本発明の特徴が、その他のディスプレイ・デバイスに対して利点をどのようにして提供するかを、理解するであろう。
【０００４】
１つの実施形態では、ディスプレイが提供され、該ディスプレイは、第１の光学表面及び第２の光学表面を含んでいる複数の光変調素子、ここにおいて該第２の光学表面は該第１の光学表面に対して移動可能である；及び該ディスプレイの視界を制限するために構成された複数の素子、を具備する。
【０００５】
他の１つの実施形態では、ディスプレイが提供され、該ディスプレイは、第１の光学表面及び第２の光学表面を含んでいる複数の光変調素子、ここにおいて該第２の光学表面は該第１の光学表面に対して移動可能である；及び当該ディフューザ素子上に入射する光が該入射光よりもさらに平行にされて該光変調素子に向けられるように光を拡散させるために構成された該複数の光変調素子の前方のディフューザ素子、を具備する。
【０００６】
他の１つの実施形態では、ディスプレイを製作する方法が提供され、該方法は、第１の光学表面及び第２の光学表面を含んでいる複数の光変調素子を形成すること、ここにおいて該第２の光学表面は該第１の光学表面に対して移動可能である；及び該ディスプレイの視界を制限するために構成された複数の素子を形成すること、を具備する。
【０００７】
他の１つの実施形態では、ディスプレイを製作する方法が提供され、該方法は、第１の光学表面及び第２の光学表面を含んでいる複数の光変調素子を形成すること、ここにおいて該第２の光学表面は該第１の光学表面に対して移動可能である；及び広い範囲の角度で入射する光を受けるため、そして該光変調素子上へとより狭い範囲の角度に光を向けるために構成された該複数の光変調素子の前方のディフューザ素子を形成すること、を具備する。
【０００８】
他の１つの実施形態では、ディスプレイが提供され、該ディスプレイは、光を操作するための第１の光学手段及び第２の光学手段を備える光を変調するための手段、ここにおいて該第２の光学手段は該第１の光学手段に対して移動可能である；及び該光変調手段の視界を制限するための手段、を具備する。
【０００９】
他の１つの実施形態では、ディスプレイが提供され、該ディスプレイは、光を操作するための第１の光学手段及び第２の光学手段を備える光を変調するための手段、ここにおいて該第２の光学手段は該第１の光学手段に対して移動可能である；及び当該拡散させる手段上に入射する光がその上に入射する該光よりもさらに平行にされて該光変調手段に向けられる該光変調手段の前方の光を拡散させるための手段、を具備する。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１は、光干渉変調器ディスプレイの１実施形態の一部分を図示する等測図であり、そこでは、第１の光干渉変調器の可動反射層は、リラックスした位置にあり、第２の光干渉変調器の可動反射層は、アクチュエートされた位置にある。
【図２】図２は、３×３光干渉変調器ディスプレイを組み込んでいる電子デバイスの１実施形態を説明するシステム・ブロック図である。
【図３】図３は、図１の光干渉変調器の１つの具体例の実施形態に関する可動鏡位置に対する印加電圧の図である。
【図４】図４は、光干渉変調器ディスプレイを駆動するために使用されることができる行及び列電圧のセットの説明図である。
【図５Ａ】図５Ａは、図２の３×３光干渉変調器ディスプレイ内のディスプレイ・データの１つの具体例のフレームを図示する。
【図５Ｂ】図５Ｂは、図５Ａのフレームに書き込むために使用されることができる行信号及び列信号に関する１つの具体例のタイミング図を図示する。
【図６Ａ】図６Ａは、複数の光干渉変調器を備える光学ディスプレイ・デバイスの１実施形態を説明するシステム・ブロック図である。
【図６Ｂ】図６Ｂは、複数の光干渉変調器を備える光学ディスプレイ・デバイスの１実施形態を説明するシステム・ブロック図である。
【図７Ａ】図７Ａは、図１のデバイスの断面図である。
【図７Ｂ】図７Ｂは、光干渉変調器の代わりの実施形態の断面図である。
【図７Ｃ】図７Ｃは、光干渉変調器の別の１つの実施形態の断面図である。
【図７Ｄ】図７Ｄは、光干渉変調器のしかも別の１つの実施形態の断面図である。
【図７Ｅ】図７Ｅは、光干渉変調器のさらに別の１つの実施形態の断面図である。
【図８Ａ】図８Ａは、外部フィルムを有するディスプレイ・デバイスの側面図である。
【図８Ｂ】図８Ｂは、ＲＧＢカラーの情報を表示するために構成された光干渉変調器デバイスの側面図である。
【図８Ｃ】図８ＣＢは、白黒の情報を表示するために構成された光干渉変調器デバイスの側面図である。
【図９】図９は、その外側表面上に光ディフューザを用いて構成された光干渉変調器デバイスの側面図である。
【図１０】図１０は、その外側表面上に光ディフューザを用いて構成された光干渉変調器デバイスの側面図であり、ここで光ディフューザは、拡散性粒子を含む。
【図１１Ａ】図１１Ａは、光干渉変調器デバイスからエアー・ギャップにより分離されている溝を付けられた前面光プレートを用いて構成された光干渉変調器デバイスの側面図である。
【図１１Ｂ】図１１Ｂは、光干渉変調器デバイス結合された溝を付けられた前面光プレートを用いて構成された光干渉変調器デバイスの側面図である。
【図１１Ｃ】図１１Ｃは、外部フィルムを用いて構成された光干渉変調器デバイスの側面図であり、外部フィルムは起伏を付けられた外側表面を有し、その結果、光源から与えられる光が光干渉変調器デバイスに向きを変えられ、そして光干渉変調器の外へと観察者に反射される。
【図１２Ａ】図１２Ａは、外部フィルムを用いて構成された光干渉変調器デバイスの側面図であり、外部フィルムは光干渉変調器デバイスの視界を制限するバッフル構造を含む。
【図１２Ｂ】図１２Ｂは、外部フィルム内に含まれるバッフル構造がどのようにして反射光の方向を限定するかを示す光干渉変調器デバイスの１実施形態の側面図である。
【図１２Ｃ】図１２Ｃは、不透明柱を備えたバッフル構造を有する外部フィルムの実施形態である。
【図１２Ｄ】図１２Ｄは、不透明柱を備えたバッフル構造を有する外部フィルムの実施形態である。
【図１２Ｅ】図１２Ｅは、不透明部分を備えたバッフル構造を有する外部フィルムの実施形態である。
【図１２Ｆ】図１２Ｆは、不透明部分を備えたバッフル構造を有する外部フィルムの実施形態である。
【図１２Ｇ】図１２Ｇは、不透明部分を備えたバッフル構造を有する外部フィルムの実施形態である。
【図１２Ｈ】図１２Ｈは、反射性物質を備えたバッフル構造を有する外部フィルムを図示する。
【図１３Ａ】図１３Ａは、タッチスクリーンを含む光干渉変調器ディスプレイの側面図である。
【図１３Ｂ】図１３Ｂは、拡散性物質を組み込むための別のアプローチを示す。
【図１３Ｃ】図１３Ｃは、拡散性物質を組み込むための別のアプローチを示す。
【図１３Ｄ】図１３Ｄは、拡散性物質を組み込むための別のアプローチを示す。
【図１４Ａ】図１４Ａは、光干渉変調器デバイスに向けて光源からの光を散乱させるディフューザ物質を備えるタッチスクリーン用いて構成された光干渉変調器デバイスの側面図である。
【図１４Ｂ１】図１４Ｂ１は、光源から光干渉変調器デバイスへ光を伝えるための別の構成を示す。
【図１４Ｂ２】図１４Ｂ２は、光源から光干渉変調器デバイスへ光を伝えるための別の構成を示す。
【図１４Ｃ】図１４Ｃは、光源から光干渉変調器デバイスへ光を向けるためにディスプレイ中に拡散性物質を組み込むための別のアプローチを例示する。
【図１４Ｄ】図１４Ｄは、光源から光干渉変調器デバイスへ光を向けるためにディスプレイ中に拡散性物質を組み込むための別のアプローチを例示する。
【図１４Ｅ】図１４Ｅは、光源から光干渉変調器デバイスへ光を向けるためにディスプレイ中に拡散性物質を組み込むための別のアプローチを例示する。
【図１５Ａ】図１５Ａは、複数のアクティブな反射体領域間のスペースに入射された光の少なくとも一部をアクティブな反射体領域に向ける膜を用いて構成される光干渉変調器デバイスの側面図である。
【図１５Ｂ】図１５Ｂは、複数のアクティブな反射体領域間のスペースに入射された光の少なくとも一部をアクティブな反射体領域に向ける膜を用いて構成される光干渉変調器デバイスの側面図である。
【図１６Ａ】図１６Ａは、光を散乱させる領域を有する外部フィルムの側面図である。
【図１６Ｂ】図１６Ｂは、低屈折率物質の母材中に光の向きを変える高屈折率の領域を有する外部フィルムの側面図である。
【図１６Ｃ】図１６Ｃは、凹レンズとして作用するディンプル領域を有する表面を有する外部フィルムの側面図である。
【図１６Ｄ】図１６Ｄは、フレネル・レンズを備えた表面を有する外部フィルムの側面図である。
【図１６Ｅ】図１６Ｅは、反対方向に光を屈折させるために構成された反対に傾斜する表面を有する外部フィルムの側面図である。
【図１６Ｆ】図１６Ｆは、一方向に向けて光を屈折させるために構成された傾斜する表面を有する外部フィルムの側面図である。
【図１６Ｇ】図１６Ｇは、光を反射させるために構成された傾斜する表面を有する外部フィルムの側面図である。
【図１７】図１７は、外部フィルムを用いて構成された光干渉変調器デバイスの側面図であり、それは外部フィルム上に入射される光の方向を変えて、外部フィルムにおけるその入射角よりさらに垂直である角度で光を光干渉変調器デバイスのアクティブな反射体領域に与える。
【図１８Ａ】図１８Ａは、光干渉変調器デバイスの方へ向けられた光を平行にするために構成された拡散性成分を備えた外部フィルムを用いて構成された光干渉変調器デバイスの側面図である。
【図１８Ｂ】図１８Ｂは、図１８Ａの光干渉変調器デバイスの側面図であり、入射光が平行にされそして光干渉変調器デバイスのアクティブな反射体領域に向きを変えられることを示す。
【図１８Ｃ】図１８Ｃは、図１８Ａの光干渉変調器デバイスの側面図であり、光干渉変調器デバイスのアクティブ領域で反射された光が外部フィルムによって拡散されることを示す。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）は、微小機械素子、アクチュエータ、及び電子機器を含む。微小機械素子は、堆積、エッチング、そしてあるいは、電子デバイス及び電子機械デバイスを形成するために基板及び／又は堆積された材料層の一部分をエッチングして取り除く、若しくは複数の層を付加するその他のマイクロマシニング・プロセスを使用して創り出されることができる。ＭＥＭＳデバイスの１つのタイプは、光干渉変調器と呼ばれる。本明細書中で使用されるように、用語、光干渉変調器又は干渉光変調器は、光学的な干渉の原理を使用して光を選択的に吸収する及び／又は反射するデバイスを呼ぶ。ある実施形態では、光干渉変調器は、１対の導電性プレートを備え、その一方又は両方が、全体として又は一部分が透明でありかつ／又は反射性であり、そして適切な電子信号の印加により相対的動きが可能である。特定の実施形態では、一方のプレートは、基板上に堆積された静止層を備え、他方のプレートは、エアー・ギャップにより静止層から分離された金属膜を備えることができる。本明細書中でさらに詳細に説明されるように、他方と相対的に一方のプレートの位置は、光干渉変調器上に入射する光の光学的干渉を変化させることができる。そのようなデバイスは、広範囲のアプリケーションを有し、そしてこれらのタイプのデバイスの特性を利用すること及び／又は変形することは、この技術において有益であり、その結果、それらの特徴は、既存の製品を改善する際に活用されることができ、そして未だ開発されていない新たな製品を創り出す際に活用されることができる。
【００１２】
本発明の種々の実施形態において、光干渉ディスプレイ・デバイスは、ディスプレイの観察視界を狭くする複数の構造を有する外部フィルムを用いて与えられる。これらの構造は、例えば、バッフル又は複合パラボラ集束器のような非結像光学素子を備えることができる。バッフルは、例えば、格子状に配置された複数の垂直に向きを揃えて並べられた面を備えることができる。ある種の好ましい実施形態では、これらのバッフルは不透明である又は反射性である。したがって、これらの垂直な面は、実質的に垂直でない方向に光干渉ディスプレイ・デバイスから出る光を実質的に遮ることができる。しかしながら、これらの垂直な面は、実質的に垂直な方向に向けられた光がディスプレイを出ることを可能にする。非結像光学素子、例えば、複合パラボラ集束器は、大きな入射角からディスプレイに向けてより垂直な角度へと光の向きを変える。その結果、ユーザに向けてディスプレイによって反射された光は、同様に、さらに垂直な角度になる。
【００１３】
光干渉ＭＥＭＳディスプレイ素子を備える１つの光干渉変調器ディスプレイの実施形態が、図１に図示される。これらのデバイスにおいて、ピクセルは、明状態又は暗状態のいずれかである。明（“オン”又は“開（open）”）状態では、ディスプレイ素子は、入射可視光の大部分をユーザに反射する。暗（“オフ”又は“閉（close）”）状態にある場合は、ディスプレイ素子は、入射可視光をユーザにほとんど反射しない。実施形態に応じて、“オン”状態及び“オフ”状態の光反射率特性が、逆にされることがある。ＭＥＭＳピクセルは、選択された色で主に反射するように構成されることができ、白黒に加えてカラー表示を可能にする。
【００１４】
図１は、視覚ディスプレイの一連のピクセル中の２つの隣接するピクセルを図示する等測図であり、ここでは、各ピクセルは、ＭＥＭＳ光干渉変調器を備える。ある複数の実施形態では、光干渉変調器ディスプレイは、これらの光干渉変調器の行／列アレイを備える。各光干渉変調器は、互いに可変でありそして制御可能な距離に位置する１対の反射層を含み、少なくとも１つの可変の大きさを有する共鳴光学的キャビティを形成する。１つの実施形態において、反射層のうちの１つは、２つの位置の間を移動することができる。第１の位置では、本明細書中ではリラックスした位置（relaxed position）と呼ぶ、可動反射層は、固定された部分反射層から比較的大きな距離のところに置かれる。第２の位置では、本明細書中ではアクチュエートされた位置（actuated position）と呼ぶ、可動反射層は、部分反射層により近くに隣接して置かれる。２つの層で反射する入射光は、可動反射層の位置に応じて、積極的に（constructively）又は否定的に（destructively）干渉して、各ピクセルに対して全体が反射状態又は非反射状態のいずれかを作る。
【００１５】
図１のピクセル・アレイの図示された部分は、２つの隣接する光干渉変調器１２ａ及び１２ｂを含む。左の光干渉変調器１２ａでは、可動反射層１４ａは、部分反射層を含む光学積層構造１６ａから所定の距離のところのリラックスした位置に図示される。右の光干渉変調器１２ｂでは、可動反射層１４ｂは、光学積層構造１６ｂに隣接するアクチュエートされた位置に図示される。
【００１６】
光学積層構造１６ａ，１６ｂ（一括して光学積層構造１６と呼ぶ）は、本明細書中で参照されるように、一般的に複数のヒューズ層を備え、それは、インジウム・スズ酸化物（ＩＴＯ：indium tin oxide）のような電極層、クロムのような部分反射層、及び透明誘電体を含むことができる。光学積層構造１６は、それゆえ、電気的に導電性であり、部分的に透明であり、部分的に反射性であり、そして、例えば、透明基板２０上に１つ又はそれより多くの上記の層を堆積することにより製作されることができる。ある複数の実施形態では、複数の層は、平行なストライプにパターニングされ、下にさらに説明されるようにディスプレイ・デバイス中の行電極を形成することができる。可動反射層１４ａ，１４ｂは、支柱１８の頂上に及び複数の支柱１８間に堆積された介在する犠牲材料上に堆積された（行電極１６ａ，１６ｂに直交する）１層又は複数の層の堆積された金属層の一連の平行なストライプとして形成されることができる。犠牲材料がエッチされて除去されるときに、可動反射層１４ａ，１４ｂは、決められたギャップ１９だけ光学積層構造１６ａ，１６ｂから分離される。アルミニウムのような非常に電導性があり反射する材料が、可動反射層１４として使用されることができ、そしてこれらのストライプは、ディスプレイ・デバイスにおいて列電極を形成できる。
【００１７】
印加電圧がないと、キャビティ１９は、可動反射層１４ａと光学積層構造１６ａとの間に維持され、可動反射層１４ａは、図１のピクセル１２ａに図示されたように機械的にリラックスした状態にある。しかしながら、電位差が選択された行と列に印加されると、対応するピクセルにおいて行電極及び列電極の交差点のところに形成されたキャパシタは、充電され、そして静電力が電極を互いに引きつける。電圧が十分に高い場合には、可動反射層１４は、変形され、光学積層構造１６に対して押し付けられる。光学積層構造１６内部の（この図に図示されていない）誘電体層は、図１中の右のピクセル１２ｂにより図示されたように、短絡することを防止し、層１４と１６との間の分離距離を制御する。この動きは、印加される電位差の極性に拘わらず同じである。このようにして、反射ピクセル状態に対して非反射ピクセル状態を制御できる行／列アクチュエーションは、従来のＬＣＤ及びその他のディスプレイ技術において使用される多くの方法に類似している。
【００１８】
図２から図５Ｂは、ディスプレイ・アプリケーションにおいて光干渉変調器のアレイを使用するための１つの具体例のプロセス及びシステムを説明する。
【００１９】
図２は、本発明の態様を組み込むことができる電子デバイスの１実施形態を説明するシステム・ブロック図である。具体例の実施形態において、電子デバイスは、プロセッサ２１を含み、それは、いずれかの汎用のシングル・チップ・マイクロプロセッサ又はマルチ・チップ・マイクロプロセッサ、例えば、ＡＲＭ，ペンティアム（登録商標）、ペンティアムＩＩ（登録商標）、ペンティアムＩＩＩ（登録商標）、ペンティアムＩＶ（登録商標）、ペンティアム（登録商標）プロ、８０５１、ＭＩＰＳ（登録商標）、パワーＰＣ（登録商標）、ＡＬＰＨＡ（登録商標）、若しくはディジタル信号プロセッサ、マイクロコントローラ、又はプログラム可能なゲート・アレイのようないずれかの特殊用途マイクロプロセッサ、であり得る。本技術において普通であるように、プロセッサ２１は、１又はそれより多くのソフトウェア・モジュールを実行するように構成されることができる。オペレーティング・システムを実行することに加えて、プロセッサは、ウェブ・ブラウザ、電話アプリケーション、電子メール・プログラム、又はいずれかの別のソフトウェア・アプリケーションを含む、１又はそれより多くのソフトウェア・アプリケーションを実行するように構成されることができる。
【００２０】
１実施形態では、プロセッサ２１は、しかも、アレイ・ドライバ２２と通信するように構成される。１実施形態では、アレイ・ドライバ２２は、行ドライバ回路２４及び列ドライバ回路２６を含み、それはディスプレイ・アレイ又はパネル３０に信号を供給する。図１に図示されたアレイの断面は、図２中に線１−１により示される。ＭＥＭＳ光干渉変調器に関して、行／列アクチュエーション・プロトコルは、図３に図示されたこれらのデバイスのヒステリシス特性を利用することができる。これは、例えば、可動層をリラックスした状態からアクチュエートされた状態へ変形させるために１０ボルトの電位差を必要とすることがある。しかしながら、電圧がその値から減少される場合に、１０ボルトより下に電圧が降下して戻るとしても、可動層はその状態を維持する。図３の具体例の実施形態では、可動層は、電圧が２ボルトより下に降下するまで完全にはリラックスされない。そのようにして、図３に図示された例では、約３Ｖから７Ｖの電圧の範囲があり、そこでは、その範囲内でデバイスがリラックスした状態又はアクチュエートされた状態のいずれかで安定である、印加電圧のウィンドウが存在する。これは、本明細書中では“ヒステリシス・ウィンドウ”又は“安定ウィンドウ”と呼ばれる。図３のヒステリシス特性を有するディスプレイ・アレイに関して、行ストロービング（strobing）の間に、アクチュエートされようとしているストローブされた行中のピクセルが、約１０ボルトの電圧差を受け、そしてリラックスされようとしているピクセルが、ゼロ・ボルトに近い電圧差を受けるように、行／列アクチュエーション・プロトコルは、設計されることができる。ストローブの後で、ピクセルは、約５ボルトの定常状態電圧差受け、その結果、ピクセルは、行ストローブがピクセルをどんな状態に置いてもそこに留まる。書き込まれた後で、各ピクセルは、この例では３−７ボルトの“安定ウィンドウ”の範囲内の電位差を受ける。この特徴は、アクチュエートされた現在の状態又はリラックスした現在の状態のいずれかの状態に同じ印加電圧条件の下で、図１に図示されたピクセル設計を安定にさせる。アクチュエートされた状態又はリラックスした状態であるかどうかに拘わらず、光干渉変調器の各ピクセルが、基本的に固定反射層と移動反射層とにより形成されたキャパシタであるので、この安定状態は、ほとんど電力消費なしにヒステリシス・ウィンドウの範囲内の電圧で保持されることができる。印加された電位が一定であるならば、基本的に電流は、ピクセルに流れ込まない。
【００２１】
代表的なアプリケーションでは、ディスプレイ・フレームは、第１行中のアクチュエートされたピクセルの所望のセットにしたがって列電極のセットを明示すること（asserting）によって創り出されることができる。行パルスは、それから行１の電極に印加されて、明示された列ラインに対応するピクセルをアクチュエートする。列電極の明示されたセットは、その後、第２行中のアクチュエートされたピクセルの所望のセットに対応するように変更される。パルスは、それから、行２の電極に印加されて、明示された列電極にしたがって行２中の適切なピクセルをアクチュエートする。行１ピクセルは、行２パルスにより影響されず、そして行１パルスの間に行１ピクセルが設定された状態に留まる。これは、連続した方式で一連の行全体に対して繰り返され、フレームを生成する。一般に、フレームは、１秒当たり所望のフレームの数でこのプロセスを連続的に繰り返すことにより、リフレッシュされる及び／又は新たなディスプレイ・データで更新される。ディスプレイ・フレームを生成するためにピクセル・アレイの行電極及び列電極を駆動するための広範なプロトコルは、同様に周知であり、そして本発明とともに使用されることができる。
【００２２】
図４、図５Ａ及び図５Ｂは、図２の３×３アレイ上でディスプレイ・フレームを創り出すための１つの可能性のあるアクチュエーション・プロトコルを説明する。図４は、図３のヒステリシス曲線を示すピクセルに対して使用されることができる、列電圧レベル及び行電圧レベルの可能性のあるセットを図示する。図４の実施形態では、ピクセルをアクチュエートすることは、適切な列を−Ｖｂｉａｓに、そして適切な行を＋ΔＶに設定することを含む。これは、それぞれ−５Ｖ及び＋５Ｖに対応することがある。ピクセルをリラックスさせることは、適切な列を＋Ｖｂｉａｓに、そして適切な行を同じ＋ΔＶに設定することにより、ピクセルを横切るゼロ・ボルトの電位差を生成することにより実現される。行電圧がゼロ・ボルトに保持されるこれらの行では、列が＋Ｖｂｉａｓであるか又は−Ｖｂｉａｓであるかどうかに拘らず、ピクセルが元々あった状態がどうであろうとも、ピクセルは、その状態で安定である。同様に図４に図示されているように、上に記載されたものとは反対の極性の電圧が使用され得ることが評価される、例えば、ピクセルをアクチュエートすることは、適切な列を＋Ｖｂｉａｓに、そして適切な行を−ΔＶに設定することを含むことができる。この実施形態では、ピクセルをリリースさせることは、適切な列を−Ｖｂｉａｓに、そして適切な行を同じ−ΔＶに設定し、ピクセルを横切るゼロ・ボルトの電位差を生成することにより実現される。
【００２３】
図５Ｂは、図２の３×３アレイに印加される一連の行信号及び列信号を示すタイミング図であり、そこではアクチュエートされたピクセルが非反射である図５Ａに図示されたディスプレイ配列に結果としてなる。図５Ａに図示されたフレームを書き込む前に、ピクセルは、任意の状態であることができ、そしてこの例では、全ての行が０ボルトであり、全ての列が＋５ボルトである。これらの印加電圧では、全てのピクセルは、その現在のアクチュエートされた状態又はリラックスした状態で安定である。
【００２４】
図５Ａのフレームでは、ピクセル（１，１）、（１，２）、（２，２）、（３，２）及び（３，３）がアクチュエートされている。これを実現するために、行１に対する“ライン時間”の期間に、列１及び列２は、−５ボルトに設定され、そして列３は、＋５ボルトに設定される。全てのピクセルが３−７ボルトの安定ウィンドウの中に留まるため、これは、どのピクセルの状態も変化させない。行１は、その後、０から５ボルトまで上がり、ゼロに戻るパルスでストローブされる。これは、（１，１）及び（１，２）ピクセルをアクチュエートし、（１，３）ピクセルをリラックスさせる。アレイ中のその他のピクセルは、影響されない。行２を望まれるように設定するために、列２は、−５ボルトに設定され、そして列１及び列３は、＋５ボルトに設定される。行２に印加された同じストローブは、その後、ピクセル（２，２）をアクチュエートし、ピクセル（２，１）及び（２，３）をリラックスさせる。再び、アレイのその他のピクセルは、影響されない。行３は、列２及び列３を−５ボルトに、そして列１を＋５ボルトに設定することより同様に設定される。行３ストローブは、図５Ａに示されたように行３ピクセルを設定する。フレームを書き込んだ後で、行電位はゼロに、そして列電位は＋５又は−５ボルトのいずれかに留まることができ、そしてディスプレイは、その後、図５Ａの配列で安定である。同じ手順が数十から数百の行及び列のアレイに対して採用されることができることが、評価される。しかも、行及び列アクチュエーションを実行するために使用された電圧のタイミング、シーケンス、及びレベルが、上記に概要を示された一般的な原理の範囲内で広範囲に変化されることができ、そして、上記の例は、例示だけであり、そして任意のアクチュエーション電圧方法が、本明細書中に記載されたシステム及び方法で使用されることができる。
【００２５】
図６Ａ及び図６Ｂは、ディスプレイ・デバイス４０の実施形態を説明するシステム・ブロック図である。ディスプレイ・デバイス４０は、例えば、セルラ電話機又は携帯電話機であり得る。しかしながら、ディスプレイ・デバイス４０の同じコンポーネント又はそのわずかな変形は、同様にテレビ及び携帯型メディア・プレーヤのような種々のタイプのディスプレイ・デバイスの例示である。
【００２６】
ディスプレイ・デバイス４０は、ハウジング４１、ディスプレイ３０、アンテナ４３、スピーカ４４、入力デバイス４８、及びマイクロフォン４６を含む。ハウジング４１は、当業者に周知の各種の製造技術のいずれかから一般に形成され、射出成型、及び真空形成を含む。その上、ハウジング４１は、プラスチック、金属、ガラス、ゴム、及びセラミックス、又はこれらの組み合わせを含むが、これらに限定されない任意の種々の材料から形成されることができる。１つの実施形態では、ハウジング４１は、除去可能な部分（図示せず）を含み、それは異なる色、若しくは異なるロゴ、絵柄、又はシンボルを含むその他の取り外し可能な部分と取り替えられることができる。
【００２７】
具体例のディスプレイ・デバイス４０のディスプレイ３０は、本明細書中に説明されるように、双安定ディスプレイを含む種々のディスプレイのうちのいずれかであり得る。別の実施形態では、当業者に周知であるように、ディスプレイ３０は、上に説明されるように、プラズマ、ＥＬ、ＯＬＥＤ、ＳＴＮ ＬＣＤ、又はＴＦＴ ＬＣＤのようなフラット−パネル・ディスプレイ、若しくはＣＲＴ又はその他の真空管デバイスのような、非フラット−パネル・ディスプレイを含む。しかしながら、本実施形態を説明する目的のために、ディスプレイ３０は、本明細書中に説明されるように、光干渉変調器ディスプレイを含む。
【００２８】
具体例のディスプレイ・デバイス４０の１つの実施形態のコンポーネントが、図６Ｂに模式的に図示される。図示された具体例のディスプレイ・デバイス４０は、ハウジング４１を含み、そして少なくとも一部がその中に納められた増設のコンポーネントを含むことができる。例えば、１つの実施形態では、具体例のディスプレイ・デバイス４０は、トランシーバ４７に接続されたアンテナ４３を含むネットワーク・インターフェース２７を含む。トランシーバ４７は、プロセッサ２１に接続され、プロセッサ２１は調整ハードウェア５２に接続される。調整ハードウェア５２は、信号を調整する（例えば、信号をフィルタする）ために構成されることができる。調整ハードウェア５２は、スピーカ４５及びマイクロフォン４６に接続される。プロセッサ２１は、同様に、入力デバイス４８及びドライバ・コントローラ２９に接続される。ドライバ・コントローラ２９は、フレーム・バッファ２８に接続され、そしてアレイ・ドライバ２２に接続される。アレイ・ドライバ２２は、順番にディスプレイ・アレイ３０に接続される。電源５０は、個々の具体例のディスプレイ・デバイス４０の設計によって必要とされるように全てのコンポーネントに電力を供給する。
【００２９】
ネットワーク・インターフェース２７は、アンテナ４３及びトランシーバ４７を含み、その結果、具体例のディスプレイ・デバイス４０は、ネットワークを介して１又はそれより多くのデバイスと通信できる。１つの実施形態では、ネットワーク・インターフェース２７は、しかも、プロセッサ２１の要求を軽減させるためにある種の処理能力を持つことができる。アンテナ４３は、信号を送信するため、そして受信するために当業者に公知にいずれかのアンテナである。１つの実施形態では、アンテナは、ＩＥＥＥ ８０２．１１（ａ），（ｂ），又は（ｇ）を含む、ＩＥＥＥ ８０２．１１規格にしたがってＲＦ信号を送信し、受信する。別の１つの実施形態では、アンテナは、ブルートゥース（BLUETOOTH）（登録商標）規格にしたがってＲＦ信号を送信し、そして受信する。セルラ電話機の場合には、アンテナは、ＣＤＭＡ信号、ＧＳＭ（登録商標）信号、ＡＭＰＳ信号又は無線セル電話ネットワークの範囲内で通信するために使用される別の公知の信号を受信するように設計される。トランシーバ４７は、アンテナ４３からの受信された信号を事前処理し、その結果、信号はプロセッサ２１によって受け取られ、そしてさらに操作されることができる。トランシーバ４７は、プロセッサ２１からの受信された信号を同様に処理し、その結果、信号はアンテナ４３を介して具体例のディスプレイ・デバイス４０から送信されることができる。
【００３０】
代わりの実施形態では、トランシーバ４７は、受信機によって置き換えられることができる。しかも別の１つの代わりの実施形態では、ネットワーク・インターフェース２７は、画像ソースによって置き換えられることができる。画像ソースは、プロセッサ２１に送られるべき画像データを格納できる、又は発生できる。例えば、画像ソースは、ディジタル・ビデオ・ディスク（ＤＶＤ：digital video disc）又は画像データを含んでいるハード−ディスク駆動装置、若しくは画像データを発生させるソフトウェア・モジュールであり得る。
【００３１】
プロセッサ２１は、一般に具体例のディスプレイ・デバイス４０の総合的な動作を制御する。プロセッサ２１は、ネットワーク・インターフェース２７からの又は画像ソースからの圧縮された画像データのような、データを受け取り、そしてデータを生の画像データに、又は生の画像データに容易に処理されるフォーマットに処理する。プロセッサ２１は、その後、処理されたデータをドライバ・コントローラ２９へ又は格納のためにフレーム
・バッファ２８へ送る。生のデータは、一般的に、画像の内部でのそれぞれの位置における画像特性を識別する情報を呼ぶ。例えば、そのような画像特性は、色彩、彩度、及びグレー・スケール・レベルを含むことができる。
【００３２】
１つの実施形態では、プロセッサ２１は、マイクロコントローラ、ＣＰＵ、又は論理ユニットを含み、具体例のディスプレイ・デバイス４０の動作を制御する。調整ハードウェア５２は、一般に、スピーカ４５に信号を伝送するために、そして、マイクロフォン４６から信号を受け取るために、増幅器及びフィルタを含む。調整ハードウェア５２は、具体例のディスプレイ・デバイス４０内部の独立したコンポーネントであり得る、若しくは、プロセッサ２１又は他のコンポーネントの内部に組み込まれることができる。
【００３３】
ドライバ・コントローラ２９は、プロセッサ２１により発生された生の画像データをプロセッサ２１から直接又はフレーム・バッファ２８からのいずれかで取得し、そしてアレイ・ドライバ２２への高速伝送に適切であるように生の画像データを再フォーマット化する。具体的には、ドライバ・コントローラ２９は、生の画像データをラスタ状のフォーマットを有するデータ・フローに再フォーマットする、その結果、データ・フローは、ディスプレイ・アレイ３０全体にわたってスキャニングするために適した時間の順番を有する。それから、ドライバ・コントローラ２９は、フォーマット化された情報をアレイ・ドライバ２２へ送る。ＬＣＤコントローラのようなドライバ・コントローラ２９が、独立型の集積回路（ＩＣ：Integrated Circuit）のようなシステム・プロセッサ２１に多くの場合に関連付けられるけれども、そのようなコントローラは、複数の方法で与えられることができる。これらは、ハードウェアとしてプロセッサ２１に搭載される、ソフトウェアとしてプロセッサ２１に搭載される、又はアレイ・ドライバ２２とともにハードウェア中に完全に集積されることができる。
【００３４】
一般的に、アレイ・ドライバ２２は、フォーマット化された情報をドライバ・コントローラ２９から受け取り、そしてビデオ・データをウェーブフォームの並列セットに再フォーマット化する。ウェーブフォームの並列セットは、ディスプレイのピクセルのｘ−ｙ行列から来る数百のそして時には数千のリード線（lead）に毎秒複数回適用される。
【００３５】
１つの実施形態では、ドライバ・コントローラ２９、アレイ・ドライバ２２、及びディスプレイ・アレイ３０は、本明細書中に説明されたディスプレイのいずれのタイプに対しても適切である。例えば、１つの実施形態では、ドライバ・コントローラ２９は、従来型のディスプレイ・コントローラ又は双安定ディスプレイ・コントローラ（例えば、光干渉変調器コントローラ）である。別の１つの実施形態では、アレイ・ドライバ２２は、従来型のドライバ又は双安定ディスプレイ・ドライバ（例えば、光干渉変調器ディスプレイ）である。１つの実施形態では、ドライバ・コントローラ２９は、アレイ・ドライバ２２と統合される。そのような実施形態は、セルラ電話機、腕時計、及びその他の小面積ディスプレイのような高度に集積されたシステムにおいて一般的である。さらに別の１つの実施
形態では、ディスプレイ・アレイ３０は、典型的なディスプレイ・アレイ又は双安定ディスプレイ・アレイ（例えば、光干渉変調器のアレイを含むディスプレイ）である。
【００３６】
入力デバイス４８は、ユーザが具体例のディスプレイ・デバイス４０の動作を制御することを可能にする。１つの実施形態では、入力デバイス４８は、クワーティ（QWERTY）キーボード又は電話機キーパッドのようなキーパッド、ボタン、スイッチ、接触感応スクリーン、感圧又は感熱膜を含む。１つの実施形態では、マイクロフォン４６は、具体例のディスプレイ・デバイス４０のための入力デバイスである。マイクロフォン４６がデバイスにデータを入力するために使用される場合に、音声命令が、具体例のディスプレイ・デバイス４０の動作を制御するためにユーザによって与えられることができる。
【００３７】
電源５０は、この技術において周知のような各種のエネルギー蓄積デバイスを含むことができる。例えば、１つの実施形態では、電源５０は、ニッケル−カドミウム電池又はリチウム・イオン電池のような、再充電可能な電池である。別の１つの実施形態では、電源５０は、回復可能なエネルギー源、キャパシタ、又はプラスチック太陽電池、及びソーラー−セル塗料を含む太陽電池である。別の１つの実施形態では、電源５０は、壁のコンセントから電力を受け取るように構成される。
【００３８】
いくつかの方法では、制御のプログラム可能性は、上に説明されたように、電子ディスプレイ・システム中の複数の場所に置かれることができるドライバ・コントローラ中に存在する。ある複数の場合では、制御のプログラム可能性は、アレイ・ドライバ２２中に存在する。上に説明された最適化が、任意の数のハードウェア・コンポーネント及び／又はソフトウェア・コンポーネントにおいてそして種々の構成において実施されることができることを、当業者は、認識する。
【００３９】
上に説明された原理にしたがって動作する光干渉変調器の構造の詳細は、広い範囲で変化できる。例えば、図７Ａから図７Ｅは、可動反射層１４及びその支持構造の５つの異なる実施形態を図示する。図７Ａは、図１の実施形態の断面であり、そこでは金属材料１４のストライプが、直角に延びている支柱１８上に堆積される。図７Ｂでは、可動反射層１４は、連結部（tether）３２上に、角だけで支柱に取り付けられる。図７Ｃでは、可動反射層１４は、変形可能層３４から吊り下げられ、それは柔軟な金属を備えることができる。変形可能層３４は、変形可能層３４の周囲で基板２０に直接的に又は間接的に接続される。これらの接続部は、本明細書中では支持ポストと呼ばれる。図７Ｄに図示された実施形態は、支持ポスト・プラグ４２を有し、その上に変形可能層３４が載っている。可動反射層１４は、図７Ａから図７Ｃのように、キャビティを覆って吊り下げられたままであるが、変形可能層３４は、変形可能層３４と光学積層構造１６との間の穴を埋めることによって支持ポストを形成しない。むしろ、支持ポストは、平坦化材料で形成され、それは支持ポスト・プラグ４２を形成するために使用される。図７Ｅに図示された実施形態は、図７Ｄに示された実施形態に基づいているが、同様に、図７Ａから図７Ｃに図示された実施形態のいずれかを用いて、同様に図示されていないさらなる実施形態のいずれかを用いて働くように適合されることができる。図７Ｅに示された実施形態では、金属又は他の導電性材料の追加層が、バス構造４４’を形成するために使用されている。これは、光干渉変調器の背面に沿った信号迂回（routing）を可能にし、そうでなければ基板２０上に形成される必要があるはずの多数の電極を削除する。
【００４０】
図７Ａから図７Ｅに示されたもののような複数の実施形態では、光干渉変調器は、直視デバイスとして機能し、その中では画像は、透明基板２０の表面側、変調器が配置されている面とは反対側から見られる。これらの実施形態では、反射層１４は、基板２０と反対側の反射層側上の光干渉変調器の複数の部分、それは変形可能層３４を含む、を光学的に覆う。これは、覆われた範囲が画像品質に悪影響を及ぼすことなく構成されそして動作することを可能にする。そのように覆うことは、図７Ｅのバス構造４４’を与え、変調器の電気機械的特性、例えば、アドレシング及びそのアドレシングからの結果の動き、から変調器の光学的特性を分離する能力を提供する。この分離可能な変調器の構造は、変調器の電気機械的観点及び光学的観点のために使用する構造的設計及び材料が選択されることを可能にし、そして互いに独立に機能することを可能にする。その上、図７Ｃから図７Ｅに示された実施形態は、反射層１４の光学的特性がその機械的特性から切り離されることを引き出す追加の利点を有し、それは変形可能層３４によって実行される。これは、反射材料１４に使用される構造設計及び材料が光学的特性に関して最適化されることを可能にし、そして変形可能層３４に使用される構造設計及び材料が所望の機械的特性に関して最適化できることを可能にする。
【００４１】
上に説明されたように、直視ディスプレイの画像素子（ピクセル）は、図７Ａから図７Ｅに示されたもののような素子を備えることができる。種々の実施形態において、非変形状態にある鏡１４を有するこれらの変調器素子は、明、すなわち“ＯＮ”である。鏡１４がキャビティの前表面に向けてキャビティの中へと全設計深さまで移動した時に、キャビティ内の変化は、結果のピクセルが‘暗’、すなわち、ＯＦＦになるようさせる。カラー・ピクセルに関して、個々の変調素子のＯＮ状態は、変調器構成及びディスプレイの色彩体系に応じて、白、赤、緑、青、又は別の色であり得る。赤／緑／青（ＲＧＢ）ピクセルを使用するある複数の実施形態では、例えば、一色のピクセルは、光干渉青色光を作り出す複数の変調器素子を備え、同様な数の素子が光干渉赤色光を作り出し、そして同様な数の素子が光干渉緑色光を作り出す。ディスプレイ情報にしたがって鏡を動かすことによって、変調器は全色の画像を生成できる。
【００４２】
様々な実施形態は、種々の光学フィルムを使用して光干渉変調器デバイスに行うことが可能な改善を含む。光学フィルムは、巻物で又はシートで与えられるフィルムを含む。フィルムは、光干渉変調器に取り付けられる又はその近くに取り付けられ、光干渉変調器で反射された光が観察者に伝達するようにフィルムを通り抜けるように置かれる。光学フィルムは、コーティングを同様に含むことができ、それは光干渉変調器の表面上にスピンされる、スパッタされる又はそれ以外では堆積されることができ、その結果、光干渉変調器で反射した光が、観察者に伝達するにつれてフィルムを通過する。
【００４３】
フィルムは、一般に光干渉変調器の外部表面上に配置され、その結果、所望の光学的特性が、光干渉変調器そのものを変更することなく実現されることができる。本明細書中で使用される“外部”は、製作された光干渉変調器の外にフィルムを設置することを呼ぶ、例えば、光干渉変調器の外側表面上であり、その結果、外部フィルムは、光干渉変調器ディスプレイを製作した後で付けられることができる。外部フィルムは、最初に入射光を受ける光干渉変調器の表面上に又はその近くに配置されることができ、それは光干渉変調器の外側表面と本明細書中では呼ばれる。この外側表面は、同様に光干渉変調器を見る人に近接して位置する表面である。外部フィルムは、光干渉変調器を形成する複数の層の上であり得る、又は光干渉変調器上に形成される１又はそれより多くの層の上に形成されることができる。光干渉変調器ディスプレイの外部であるとして種々の実施形態が一般に本明細書中に記載されるが、これらのタイプのフィルムは、同様に、他の実施形態では光干渉変調器の内部に製作されることができる、そして／又は記載される外部フィルムの特性は、同様な効果を実現するために、例えば、光干渉変調器の製作中に、光干渉変調器に組み込まれることができる。
【００４４】
図８Ａに図示されたように、ディスプレイ１００Ａの１つの実施形態は、空間光変調器１０５及び空間光変調器１０５の外側表面１１５上に又は近くに配置された外部フィルム１１０を含む。空間光変調器１０５は、光干渉変調器デバイスの１つの表示であり、それは、例えば、基板、導電体層、部分反射層、誘電体層、及び可動鏡と誘電体との間にギャップを用いて構成された可動反射体（鏡とも呼ぶ）を含むことができる。空間光変調器１０５は、全色、単色、又は白黒光干渉変調器ディスプレイ・デバイスであり得るが、これらに限定されない。光干渉変調器の設計及び動作は、例えば、米国特許番号第６，６５０，４５５号、第５，８３５，２５５号、第５，９８６，７９６号及び第６，０５５，０９０号に詳細に記載され、これらの全ては、引用により本明細書中に組み込まれている。
【００４５】
外部フィルム１１０は、様々な方法で製作されることができ、例えば、外部フィルム１１０がディスプレイに流し込まれる、スピンされる、堆積される、又は積層される製作技術を使用することを含む。ある複数の実施形態では、外部フィルム１１０は、単一フィルム層であり、ところが他の実施形態では、外部フィルム１１０は１より多くのフィルム層を含む。外部フィルム１１０が１より多くのフィルム層を備える場合に、各フィルム層は、異なる特性を有することができ、それは空間光変調器１０５で反射される光そして外部フィルム１１０を通り伝達する光の１又はそれより多くの特性に影響を与える。多層外部フィルム１１０の各層は、同じフィルム製作技術によって又は異なるフィルム製作技術によって製作されることができる、例えば、任意の単一層が、例えば、隣接層に流し込まれる、スピンされる、堆積される、又は積層されることができる。別の配向（orientation）及び構成も、同様に可能である。
【００４６】
図８Ｂを参照して、ディスプレイ１００Ｂの１つの実施形態は、カラー光干渉変調器を備えるＲＧＢ空間光変調器１０５Ｂの外側表面１１５の上方に外部フィルム１１０を有する。この実施形態では、ＲＧＢ空間光変調器１０５Ｂは、例えば、導電体層（それは少なくとも部分的に透過性である）、部分反射層、及び誘電体層１２５を備える多重層１２５上方の基板１２０を具備し、多重層は、順に、赤、緑及び青の色に対応し、それぞれが異なるギャップ幅１７５，１８０，１９０を有する、赤反射体１５０、緑反射体１６０、及び青反射体１７０を含む１組の反射体（例えば、鏡）の上方にある。ある種の実施形態では、図８Ｂに図示されたように、基板１２０は、外部フィルム１１０と反射体１５０，１６０，１７０との間であることがある。他の実施形態では、反射体１５０，１６０，１７０は、外部フィルム１１０と基板１２０との間であることがある。
【００４７】
別の実施形態では、外部フィルムは、単色又は白黒の光干渉変調器の上方に配置されることができる。図８Ｃにより図示されるように、単色又は白黒空間光変調器１０５Ｃは、導電体層、部分的反射層１２４、誘電体層１２５の上方の基板１２０を備え、それは順に、１組の反射体（例えば、鏡）１３０，１３５，１４０の上方にある。単色空間光変調器１０５Ｃは、反射体１３０，１３５，１４０と誘電体層１２５との間に１つのギャップ１４５幅で構成される反射体１３０，１３５，１４０を有するように製作されることができる。
【００４８】
ある実施形態では、外部フィルムは、光干渉変調器ディスプレイで反射する光を拡散させる（diffuse）ことができる。光干渉変調器ディスプレイで反射する光は、少なくとも部分的に拡散されることがあり、その結果、ディスプレイは、紙に似た外観を有する（例えば、ディスプレイは散漫に反射するように見える）。
【００４９】
図９を参照して、ディスプレイ３００は、空間光変調器１０５の上に置かれた外部拡散フィルム３０５を含むことができる。ディスプレイ３００上に入射する光３２０は、反射性空間光変調器１０５によって鏡のように反射される。鏡のように反射した光３０７がディスプレイ３００から伝播するにつれて、拡散フィルム３０５は、鏡のように反射した光３０７の特性を変える、それは拡散光に変換する。ディフューザ３０５は、光干渉変調器上に入射する光を同様に拡散させる。
【００５０】
拡散フィルム３０５は、複数の物質から製作されることができ、そして拡散物質の１又はそれより多くの層を含むことができる。ディフューザ３０５は、表面を変化させた（例えば、波型及び粗面）物質又は物質の変更を含むことができる。この変更は、別の実施形態では光を屈折させる又は散乱（scatter）させることができる。ディフューザ３０５の広い範囲の変更が可能であり、そして本明細書中に記載されたもの限定されない。
【００５１】
図１０は、散漫な反射光を生成するディスプレイ４００の具体例の実施形態を図示する。ディスプレイ４００は、空間光変調器１０５に取り付けられた外部フィルム４０５を含む。外部フィルム４０５は、散乱性フィーチャ（feature）（例えば、粒子）を備える物質４１０を含み、それは空間光変調器１０５で反射する光４０３を散乱させ、光干渉変調器デバイスから放出される光の特性を鏡面反射から拡散へと変化させる。
【００５２】
ある複数の実施形態では、外部拡散フィルム３０５は、反射された光４０３のスペクトル特性を変化させる物質及び反射された光の拡散特性又は鏡面反射特性を変化させる物質を含む。そのような物質は、外部フィルム３０５，４０５（図９及び図１０）の１つの層に含まれることができる。あるいは、反射光のスペクトル特性を変化させる物質は、外部フィルム３０５の１つの層の中に組み込まれることができ、そして反射光の拡散特性又は鏡面反射特性を変化させる物質は、外部フィルムの別の層に組み込まれることができる。１つの実施形態では、拡散物質は、外部フィルム３０５と空間光変調器１０５との間に使用される接着剤中に含まれることができる（図９）。
【００５３】
上記のように、あるタイプのディフューザは、ディスプレイ３００，４００が鏡の外観よりはむしろ紙の外観を有することが望まれている光干渉変調器ディスプレイにおいて有用である。当然ながら、ある複数の実施形態では、ディスプレイ３００，４００の外観又はディスプレイの一部の外観が高反射性、すなわち“鏡面状”であることが望まれる、そしてこれらの実施形態では、ディスプレイは、光干渉変調器ディスプレイ・デバイス３０５，４０５の全体又は一部を覆う拡散フィルム３０５，４０５を有することができる。ある複数の実施形態では、光学的透過層は、所望の拡散を実現するために“曇らせられる”。例えば、ディスプレイ１０５（図９）の外側表面は、反射光の拡散を与えるために曇らせられることができる。表面が非常に曇っている場合、光は、表面が軽く曇っている場合よりさらに拡散される。ある複数の実施形態では、曇っている光学的に透過層は、ガラス層又はポリマ層を備えることができる。
【００５４】
ある複数の実施形態では、例えば、暗い状態又は周りの照明が少ない状態で光干渉変調器を見ることのために、光干渉変調器に追加の光を提供するための光源（本明細書中では“前面光”と呼ばれる）を含むことが有益である。図１１Ａを参照して、ディスプレイ５００Ａの１つの実施形態は、前面プレート５０５の横に置かれた光源５１５を含む。この前面プレート５０５は、光源５１５からの光５０７に対して実質的に光学的に透過性の物質を備える。前面プレート５０５は、例えば、ある複数の実施形態ではガラス又はプラスチックを備えることができる。前面プレート５０５は、前面プレート中の光の伝播を分裂させるため、そして空間光変調器１０５に向けて光の向きを変えるために構成された光学的フィーチャ（例えば、溝のような起伏）を有する。エアー・ギャップ５２５は、起伏を付けられた／溝を付けられた前面プレート５０５を空間光変調器１０５から分離する。動作上では、光源５１５は、前面プレート５０５の中へと光５０７を与える、そこでは、光５２０は、傾斜した表面フィーチャ５０６で反射され、そして空間光変調器１０５へ向けて進む。ディスプレイ５００に入る周囲の光に関して、エアー・ギャップ５２５内の空気と前面プレート５０５及び空間光変調器１０５を形成するために使用する物質との間の屈折率の違いのために、エアー・ギャップ５２５は、ディスプレイ５００Ａの感知されるコントラストを低下させる。
【００５５】
図１１Ｂを参照して、ディスプレイ５００Ｂは、空間光変調器１０５へ光をより効率的に伝達する、その理由は、前面プレート５０５と空間光変調器１０５とを分離するエアー・ギャップがないためである。その代わりに、前面プレート５０５は、空間光変調器１０５に取り付けられる。ディスプレイ５００Ｂの構成が空間光変調器１０５への光の伝達を増加させるが、２つの部品を接着することは、良い製作作業ではない、その理由は、前面プレート５０５及び空間光変調器１０５は、両方とも比較的高価な部品であり、そしてもしどちらかの部品が製作の間に不良になると、両方の部品が失われるためである。
【００５６】
ここで図１１Ｃを参照して、ディスプレイ５００Ｃは、図１１Ａ及び図１１Ｂのディスプレイ５００Ａ、５００Ｂによって経験される問題が、前面プレートよりは外部フィルムを使用してどのように克服されるかを説明する。図１１Ｃに示されたように、ディスプレイ５００Ｃは、外部フィルム５３０が積層されている空間光変調器１０５の端部５３１の隣に置かれた光源５１５を含み、外部フィルム５３０は空間光変調器１０５に向けて光の向きを変えるように構成された起伏、例えば、溝又は傾斜した表面フィーチャのような光学的フィーチャを備える表面５１４を有する。光源５１５は、例えば、空間光変調器１０５を支持している基板の端部に設置される。外部フィルム５３０は、空間光変調器１０５に取り付けられる、又は空間光変調器１０５上に積層される。接着剤が使用されることができる。外部フィルム５３０は、溝を付けられた前面ガラス・プレート５０５（図１１Ａ、１１Ｂ）の価格と比較して比較的安価であり、そのためもし、ディスプレイ１０５が不良であっても、大きなさらなる損失を伴わないで破棄されることができる。動作上では、外部フィルム５３０は、光源５１５からの光５１１を受ける。光が空間光変調器１０５（例えば、光干渉変調器デバイスの基板）及び外部フィルム５３０を通って伝播するので、光５１１は、起伏を付けられた／溝を付けられた表面５１４の内側部分で反射し、そして反射光５１３は、光干渉変調器デバイスの基板を通って伝播しそして光干渉変調器の鏡面で反射する。
【００５７】
ここで図１２Ａを参照して、別の実施形態では、ディスプレイ６００は、空間光変調器１０５の外側表面に取り付けられている外部フィルム６０５を備える、ここで外部フィルムは、ディスプレイの視界を狭くする又は最小にする複数の構造物６０３を備える。１つの実施形態では、構造物６０３は、小さな垂直に向きを揃えて配列された障害物であり、それは格子に形成されることができ、外部フィルム６０５へと“落とし込む”又は拡散させることができる。他の１つの実施形態では、外部フィルム６０５の材料は、垂直に向きを揃えて配列された構造物６０３を与える。これらの構造物６０３は、バッフルと呼ばれることがある。バッフル６０３は、実質的に不透明であり得る。バッフル６０３は、実質的に吸収性である又は反射性であり得る。
【００５８】
図１２Ｂは、実質的に垂直でない方向６０７に反射した光が外部フィルム６０５から出射することを構造物６０３によってどのようにして実質的に遮られるか、そして実質的に垂直な方向に反射した光６０９が構造物６０３によりどのようにして実質的に妨害されないかを説明する。図１２Ａ及び図１２Ｂに示された実施形態では、バッフル構造物６０３の形状（及び方向）、サイズ（例えば、長さ）、及びスペーシングに応じて、視界が狭くされる。例えば、バッフル６０３は、ディスプレイ６００の前面６０６に垂直な面６１０から測定して約２０度より大きくない視界又は４０度より大きくない視界を与えるためのサイズ、形状、及びスペーシングを有することができる。視界は、それゆえ、垂線から測定して２０度、２５度、３０度、３５度及び４０度の間であり得る。１つの具体例の実施形態では、バッフル６０３は、約３０度の視界を有するディスプレイ６００を提供する。本明細書中で使用されるように、用語バッフルは、図１２Ａ及び図１２Ｂに図示された構造物６０３を含むが、限定されない。
【００５９】
バッフル構造物６０３は、図１２Ｃ及び図１２Ｄに図示された実施形態にしたがって形成されることができる。例えば、複数の実質的に垂直に向きを揃えて配列された柱状フィーチャ６１２は、柱状の形状をした透過性物質の外側表面６１２ａ上に不透明物質のコーティングを有する柱状の形状の透過性物質を備えることができる。柱状フィーチャ６１２は、一緒に束ねられそして向きを揃えて配列されることができる。垂直に向きを揃えて配列された柱状フィーチャ６１２の間のスペースは、ポリカーボネート、ポリエチレン・テレフタレート（ＰＥＴ）、アクリル、又はポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）のような透過性物質で埋められることができ、それらはこれらの垂直に向きを揃えて配列された柱状フィーチャ６１２の母材６１３を形成する。その中に配置された柱状フィーチャ６１２を有する母材６１３は、線Ａ−Ａを横切って垂直に切断されることができて、薄いフィルムを生成する。外部フィルム６０５を形成するための切断面の上面図が図１２Ｄに図示される。この実施形態では、柱状フィーチャ６１２の不透明な外側表面６１２ａは、実質的に垂直でない方向に外部フィルム６０５を出る光を実質的に遮る。
【００６０】
バッフル構造物６０３は、同様に、図１２Ｅ及び図１２Ｆを参照して説明されるような別の実施形態にしたがって作られることができる。図１２Ｅでは、複数の積み重ねられた層を有する多層構造物６１８が作られる。多層構造物６１８は、交互の実質的に透過性物質６１５の層と実質的に不透明物質の層６１４とを有する。この多層構造物６１８を製作するために、わずかに拡散物質を備えることができる光学的透過性層６１５が形成され、実質的に不透明物質を備える不透明層６１４がその上に形成される。多層構造物６１８は、それから線Ａ−Ａを横切って垂直に切断されることができる。外部フィルム６０５を形成するための切断面の上面図が図１２Ｆに図示される。実質的に不透明な層６１４は、実質的に垂直でない方向に外部フィルム６０５を出る光を実質的に遮るバッフル６０３を形成する。
【００６１】
図１２Ｇに図示されたように、外部フィルム６０５は、水平な不透明層６１６及び垂直な不透明層６１７を備える２次元の格子を備える。この２次元の格子は、多層構造物６１８（図１２Ｅ）から切断された１対の切片を使用して製作されることができ、図１２Ｆに図示されたように１つの切片が他の前に置かれる。切片のうちの１つは、別の外部フィルム構造物６０５に相対的に実質的に垂直に向けられる。別の並べ方及び構成も、同様に可能である。
【００６２】
ある実施形態では、図１２Ｃから図１２Ｇに示されたバッフル構造物６０３は、反射性物質を備えることができる。例えば、図１２Ｈを参照して、空間光変調器１０５に最も近いバッフル構造物６０３の一部が実質的に反射性である場合、バッフルの反射性部分６２５上に入射される空間光変調器１０５で反射された光６２０は、外部フィルム構造物６０５を通過しないが、空間光変調器１０５に反射して戻されるはずである。あるいは、バッフル構造物６０３の外側表面６０３ａ及び６０３ｂは、実質的に反射性物質で形成されることができ、例えば、バッフル構造物６０３上の実質的に反射性物質のフラッシュ・コーティングである。この実施形態では、バッフル構造物６０３の底部分は、同様に、実質的に反射性物質を用いてフラッシュ・コートされることができる。
【００６３】
ある複数の実施形態では、光干渉変調器は、ユーザ入力デバイスを組み込むことができ、しかも、それは光干渉変調器で反射される光の特性を変えることができる。例えば、図１３Ａのディスプレイ７００は、空間光変調器１０５の外側表面に接続されているタッチスクリーン７０５を含む。タッチスクリーン７０５は、ユーザからタッチ信号を受けるために構成された外側タッチ表面７３０を有する外側タッチスクリーン部分７１５、及びディスプレイ１０５に取り付けられている内側タッチスクリーン部分７２０を含む。タッチスクリーン内側部分７２０及びタッチスクリーン外側部分７１５は、スペース７１０によって分離され、そしてスペーサ７１７によって離されて保持されている。ユーザ入力に関して、タッチスクリーン７０５は、本技術において周知の方法で操作できる、例えば、ユーザは外側タッチスクリーン部分７１５上のタッチ表面７３０に圧力を加える、それは、タッチスクリーン内側部分７２０と接触させて、そしてアクティブされた時に信号を送るために構成されている回路をアクティブにする。ユーザ入力機能を提供することに加えて、タッチスクリーン７０５は、タッチスクリーン内側部分７２０内に光拡散性物質７３１を及び／又はタッチスクリーン外側部分７１５内に光拡散性物質７２５をともなって構成されることができる。
【００６４】
図１３Ｂは、拡散性物質を有するタッチスクリーン外側部分７１５及び／又はタッチスクリーン内側部分７２０の１実施形態の側面図である。この実施形態では、拡散性物質は、上層７５０ａと下層７５０ｂとの間の拡散性接着剤７５１である。拡散性接着剤７５１は、散乱光の散乱中心として作用するフィラー粒子７５１ａを混合した接着剤であり得る。光を屈折させる、反射させる、又は散乱させる任意の好適な物質が、フィラー粒子７５１ａとして使用されることができる。例えば、フィラー粒子７５１ａは、次のポリマ：ポリスチレン・シリカ、ポリメチル−メタクリレート（ＰＭＭＡ）、及び中空のポリマ粒子、のような物質で作られることができるが、これらに限定されない。１つの代わりの実施形態では、拡散性接着剤７５１は、光を屈折させる気泡を有するように構成される。他の実施形態では、不透明非反射性粒子が使用されることができる。上層７５０ａ及び／又は下層７５０ｂは、ポリカーボネート、アクリル、及びポリエチレン・テレフタレート（ＰＥＴ）のような物質、同様に他の物質を備えることができる。図１３Ｃは、拡散性物質を備えているタッチスクリーン外側部分７１５及び／又はタッチスクリーン内側部分７２０の別の１つの実施形態であり、そこでは拡散性物質７５２は、タッチスクリーンの上側及び／又は下側部分７１５，７２０を形成する層７５０中に組み込まれる。図１３Ｄは、拡散性物質７５３がタッチスクリーン７０５と空間光変調器１０５との間にある１つの実施形態である。例えば、図１３Ｄでは、拡散性物質７５３は、空間光変調器１０５の外側表面７５４の上面上にコートされる。この実施形態では、拡散性物質７５３は、ディスプレイ１０５の外側表面７５４上にパターニングされることができ、そこでは拡散性物質７５３は、空間光変調器１０５の外側表面７５４とタッチスクリーン７０５との間にある。ある複数の実施形態では、拡散性物質７５３は、例えば、空間光変調器１０５のガラス外側表面上にスピンされることができる。ある種の実施形態では、拡散性物質は、紫外線エポキシ又は熱硬化性エポキシと混合された散乱フィーチャを備えることができる。エポキシが使用される場合に、拡散性物質７５３は、エポキシと混合されたフィラー粒子であることができ、そこではフィラー粒子は、光を散乱させるための散乱中心として作用する。別の構成も、同様に可能である。
【００６５】
図１４Ａは、空間光変調器１０５に取り付けられた内側部分７２０を有するタッチスクリーン７０５を含むディスプレイ８００の１つの実施形態を示し、それは基板、及びユーザ入力を受けるためのタッチスクリーン表面７３０を有する外側部分７１５を含む。スペーサ７１７は、内側部分７２０と外側部分７１５との間のギャップ７１０内に配置される。ディスプレイ８００は、しかも、タッチスクリーン７０５、例えば、内側部分７２０、外側部分７１５、又は両方に光７１９を与えるために構成された光源７４０を含む。１つの実施形態では、タッチスクリーン７０５は、光７１９の向きを変える光学的構造物を含むことができ、その結果、光は、空間光変調器１０５上に入射される。ある複数の実施形態では、光学的構造物は、タッチスクリーン７０５の内側に傾斜させた（inclined）又は斜めの（slanted）面を備える。ある複数の実施形態では、内部全反射（ＴＩＲ：total internal reflection）素子が使用されることができる。同様に、ある種の実施形態では、光学素子は、光を散乱させる粒子を備え、その結果、散乱された光の一部は、空間光変調器１０５上に入射する。ある複数の実施形態では、タッチスクリーン７０５の内側部分７２０内の物質７４５及び／又は外側部分７１５内の物質７３５は、燐光物質を含むことができる。この燐光物質は、光源７４０からの光７１９によりアクティブにされた時に光を放出し、タッチスクリーン７０５及び空間光変調器１０５に直接的に光を与え、その光はその後、タッチスクリーン７０５に反射して戻されることができる。
【００６６】
図１４Ｂ１及び図１４Ｂ２に図示された別の実施形態では、タッチスクリーン７０５を有するディスプレイ８００は、同様に、起伏を付けられた光ガイドを含むことができる。例えば、図１４Ｂ１では、タッチスクリーン７０５の内側部分７２０は、起伏を付けられた、例えば、溝を付けられた表面７６５を有するプレート又は層７６０ａを備えることができる。この起伏を付けられた表面７６５は、複数の斜めの部分を含むことができる。この表面７６５は、例えば、のこぎり歯形状を有することができる。透過性物質７６０ｂは、そこで表面７６５の起伏又は溝内に置かれることができ、プレート／層７６０ａの上方に実質的に平坦な表面７６０ｃを形成する。光源７４０は、プレート又は層７６０ａへと光７１９を向ける、そこでは、光７１９が光学的に導かれる。プレート７６０ａ内を伝播している光は、表面７６５の傾斜した部分で反射し、そして空間光変調器１０５に向けて進む。光をガイドするプレート又は層７６０ａ、若しくはいずれかの別の好適な光ガイドを使用している実施形態では、ディフューザ物質は、プレート７６０ａの上方又は下方のディスプレイ８００内に組み込まれることができる。例えば、拡散性物質は、タッチスクリーン７０５の外側部分７１５の内部に又は空間光変調器１０５の外側表面７５４上にあり得る。
【００６７】
図１４Ｂ２に図示された１つの代わりの実施形態では、プレート又は層７６０ａは、タッチスクリーン７０５と空間光変調器１０５との間に置かれることができる。この実施形態では、透過性物質７６０ｂ（図１４Ｂ１）は、プレート７６０ａの表面７６５上に置かれない。むしろ、空気又は真空が、プレート／層７６０ａとタッチスクリーン７０５との間のキャビティ７６０ｃを占有する。
【００６８】
図１４Ｃに図示された別の１つの実施形態では、光源７４０に関する光７１９は、タッチスクリーン７０５の端部の中に向けられることができ、そしてタッチスクリーン７０５の少なくとも一部を通って導かれることができる、そしてタッチスクリーン７０５は、この光を空間光変調器１０５に向けて向きを変えるフィーチャを備えることができる。例えば、図１４Ｃでは、タッチスクリーン７０５の内側部分７２０は、空間光変調器１０５に向けて光を散乱させる粒子７７０を組み込むことができる。図１４Ｄにより図示されたように、内側部分７２０は、上層７５０ａと下層７５０ｂとの間に接着剤中に混合された粒子７７０を用いて多層にされることができる。上層７５０ａ及び／又は下層７５０ｂは、ポリカーボネート、アクリル、及びポリエチレン・テレフタレート（ＰＥＴ）のような物質、又は他の物質を備えることができる。図１４Ｅに図示されたような別の実施形態では、散乱フィーチャ又は散乱粒子７７０は、空間光変調器１０５の外側表面７５４の一番上にコートされることができる。これらの散乱フィーチャ又は散乱粒子７７０は、光干渉変調器の可動反射体に向けて光の向きを変えることができる：例えば、米国特許出願番号第１０／７９４，８２５号、２００４年３月５日出願、そして名称“統合された変調器照明（Integrated Modulator Illumination）”を参照のこと、これは引用により本明細書中に取り込まれている。この実施形態では、散乱フィーチャ又は散乱粒子７７０は、ディスプレイ１０５の外側表面７５４上にパターニングされることができる、そこでは、散乱フィーチャ７７０は、空間光変調器１０５の外側表面７５４とタッチスクリーン７０５との間にある。ある種の実施形態では、散乱フィーチャ７７０は、空間光変調器１０５のガラス表面上にスピンされることができる。ある複数の実施形態では、散乱フィーチャは、紫外線エポキシ又は熱硬化性エポキシと混合される。エポキシが使用される場合に、散乱フィーチャ７７０は、エポキシと混合された粒子を備えることができ、そこでは粒子は、散乱中心として働き、光干渉変調器の鏡面にされた表面に向けて光の向きを変える。
【００６９】
図１５Ａは、複数のアクティブな反射体領域の間のインアクティブな領域上に入射する光を使用するディスプレイ１１００の１つの実施形態の代表例である。本明細書中で使用されるように、用語インアクティブ領域は、光干渉変調器の複数の反射領域（例えば、鏡）の間のスペースを含むが、これに限定されない。本明細書中で使用されるように、アクティブ領域は、例えば、光干渉変調器の反射領域（例えば、鏡）、それは光学的キャビティを形成する、を含むが、これに限定されない。
【００７０】
図１５Ａを参照して、ディスプレイ１１００は、空間光変調器１０５の外側表面に接続されたフィルム１１０５を含む。赤１１２１、緑１１２２、及び青１１２３のアクティブ反射体領域は、空間光変調器１０５の底面上に示され、そしてディスプレイ１１００の多数のアクティブ反射体領域（例えば、共鳴光学キャビティ）を表す。第１のスペース１１１０は、赤色アクティブ反射体領域１１２１を緑色アクティブ反射体領域１１２２から分離し、緑色アクティブ反射体領域１１２２は第２のスペース１１１１によって青色アクティブ反射体領域から分離される。スペース１１１０及び１１１１は、約２から１０μｍの間の幅であることができ、そして互いに約１２５から２５４μｍだけ離れて間を空けられる。同様に、光の向きを変えるフィルム１１０５中のスペース１１１０及び１１１１内の光学的フィーチャは、約２から１０μｍの幅であることができ、そして互いに約１２５から２５４μｍだけ離れて間を空けられる。これらの範囲外の大きさも可能である。
【００７１】
一般に、フィルム１１０５を用いないと、第１のスペース１１１０又は第２のスペース１１１１の領域上に入射する光は、アクティブ反射体領域１１２１，１１２２，１１２３のうちの１つに届かないことがある。光干渉変調器１１００の反射率を増加させるために、複数のアクティブ反射体領域の間のインアクティブ領域（例えば、第１のスペース１１１０及び第２のスペース１１１１）上に入射する光は、アクティブ反射体領域１１２１，１１２２，１１２３のうちの１つに向きを変えられることができる。インアクティブ領域及びアクティブ反射体領域の位置が既知であるので、外部フィルム１１０５は、インアクティブ領域１１１０及び１１１１内のフィルム１１０５上に入射する光１１１５を矢印１１２０により示されるように、アクティブ反射体領域１１２１，１１２２，１１２３（例えば、光学的キャビティ）の中へと向きを変えて戻すように構成されることができる。ある複数の実施形態では、フィルム１１０５は、光の向きを変えるための反射体を含む。ある複数の実施形態では、フィルム１１０５は、光の向きを変えるためにスペース１１１０及び１１１１の領域内にカスタマイズされた屈折率で構成される。別の実施形態では、フィルム１１０５は、スペース１１１０、１１１１の領域内に散乱性成分を含むことができ、その結果、光の少なくとも一部は、アクティブ反射体領域（例えば、光学的キャビティ）の中へと散乱されそしてその上へと達する。
【００７２】
図１５Ｂに図示された１つの代わりの実施形態では、フィルム１１０５は、反射体領域１１２１，１１２，１１２３の上方であるが空間光変調器１０５の基板の下方に置かれる。フィルム１１０５は、そのように空間光変調器１０５内にある。この実施形態では、フィルム１１０５は、矢印１１２０により示されたように、アクティブ領域上を照射するが通常はインアクティブ領域に進むはずである光１１１５をアクティブ反射体領域１１２１，１１２２，１１２３に向きを変えるために構成される。
【００７３】
図１６Ａから図１６Ｈを参照して、外部フィルムの種々の実施形態が図示される。図１６Ａでは、外部フィルム１２０５は、光を散乱する散乱領域１２１２を有する。図１６Ａに図示されたように、光を散乱するこれらの散乱領域１２１２は、光を散乱しない領域１２１７で挟まれることができる。散乱領域１２１２は、例えば、反射又は屈折によって光を散乱できる。図１６Ｂを参照して、外部フィルム１２０５は、より低い屈折率の物質を備えた母材又はフィルム内部により高い屈折率の領域を有する。この実施形態は、ＴＩＲを使用して光の向きを変える。例えば、高屈折率を有する外部フィルム１２０５の区域が光干渉変調器のアクティブ領域を覆って置かれ、そして低屈折率を有する外部フィルム１２０５の区域が光干渉変調器のインアクティブ領域を覆って置かれる場合に、通常はインアクティブ領域に通過するはずの外部フィルム１２０５の低屈折領域上に入射する光のあるものは、光干渉変調器のアクティブ領域に向きを変えられる。図１６Ｃを参照して、外部フィルム１２０５は、外部フィルムの１つの表面上に凹んだ領域１２１３を有することができ、それは凹レンズとして作用する。図１６Ｄを参照して、外部フィルム１２０５は、領域１２１４内にフレネル・レンズを有することができる。別の実施形態では、ホログラフ光学素子又は回折光学素子が、領域１２１４のところに配置される。これらの光学素子は、光を散乱させる又は回折させることができ、そして例えば、負の能率を有するレンズとして動作し、レンズ上に入射する光をアクティブ領域に向けて向きを変える。図１６Ｅを参照して、外部フィルム１２０５は、反対に傾斜した表面１２１５有することができ、異なるアクティブ領域に向けて反対の方向に光を屈折させる。図１６Ｆは、同じ方向に光を屈折させるために同じように向きを定められた表面１２１５を有する外部フィルム１２０５を示す。図１６Ｇを参照して、外部フィルム１２０５は、１又はそれより多くの反射する傾斜した表面１２１６を有することができ、それはアクティブ領域に向けて光を反射する。多くの他の構成が可能であり、それは同様に、外部フィルム１２０５のところで光を所望の方向に向きを変えることを実現する。
【００７４】
ここで図１７を参照して、光干渉変調器１２００は、空間光変調器１０５の外側表面に接続された外部フィルム１２０５を含むことができ、そこではフィルム１２０５は、広い範囲の角度で入射する光を集光するため、そして光変調素子上へとより狭い範囲の角度に光を向ける。図１７では、外部フィルム１２０５は、様々な角度で入射光１２０６，１２０７を受けそして実質的に光を平行にするため（矢印１２０８，１２０９により表される）、そしてアクティブな反射体１２１１の方に光を向けるために構成される。ある複数の実施形態では、図１７に示されたもののように、外部フィルム１２０５は、実質的に光を平行にするコリメーティング素子１２１８を含む。ある複数の実施形態では、外部フィルム１２０５は、複数の非結像光学素子、例えば、複合パラボラ集束器、１２１８を含む。非結像光学素子、例えば、複合パラボラ集束器１２１８は、ある範囲の角度で外部フィルム１２０５上に入射される光１２０６及び１２０７の少なくともあるものを平行にする。光１２０８及び１２０９の一部は、その後、さらに垂直な角度で複合パラボラ集束器１２１８を出て、そしてアクティブ反射体１２１１の方に向けられる。その光１２０８及び１２０９のあるものは、その後、アクティブ反射体１２１１により反射され、そして限られた範囲の角度でディスプレイ１２００から外に出る光１２１０ａ及び１２１０ｂとしてディスプレイ１２００を出射する。したがって、フィルム１２０５は、限られた視界を有する。ある複数の実施形態では、光１２１０ａ及び１２１０ｂの少なくともあるものは、外部フィルム１２０５の前表面に垂直な面６１０から約７０°よりも大きくない角度の円錐形でディスプレイ１２００を出射する。ある複数の実施形態では、円錐の角度は、外部フィルム１２０５の前表面に垂直な面６１０から約６５°、６０°、５５°、５０°、４５°、４０°、３５°、３０°、２５°、又は２０°よりも大きくない角度である。コリメーティング素子１２０５は、デバイス１２００の視界を実効的に制限する、その理由は、光が、一般的に入射角よりも実質的に大きな角度でディスプレイ１２００から外に出ないためである。したがって、外部フィルムの視界は、垂線から測定されたとして約７０°、６５°、６０°、５５°、５０°、４５°、４０°、３５°、３０°、２５°、又は２０°若しくはそれより小さいことがある。これらの角度は、半分の角度である。これらの範囲の外側の別の値も、同様に可能である。
【００７５】
図１８Ａから図１８Ｃは、空間光変調器１０５の前方に配置された光学フィルム１３０５を含むディスプレイ１３００の別の１つの実施形態を図示する。光学フィルム１３０５は、広い範囲の各度で入射する光を受け、そして光変調素子上へとより狭い範囲の角度に光を向けるために構成される。光学フィルム１３０５は、しかも光を拡散させる。ある種の実施形態では、光学フィルム１３０５は、光を拡散させるために構成され、その結果ディフューザ素子上に入射する光が入射光よりもさらに平行にされて光変調素子へ向けられる。
【００７６】
１つの実施形態では、光学フィルム１３０５は、ホログラフ・ディフューザを備える。ホログラフ・ディフューザは、光を操作するために、例えば、狭い範囲の角度にわたり強められた強度分布を生成するために、配列された回折性フィーチャを備える。別の１つの実施形態では、光学フィルム１３０５は、複数の非結像性光学素子、例えば、上記されたような複数の複合パラボラ集束器及び光学フィルム１３０５の上側表面１３４０上の拡散性物質の薄い層、を含む。別の１つの実施形態では、光学フィルム１３０５は、外側表面１３４０上に拡散性物質のフィルムを有する別のコリメーティング素子を含む。
【００７７】
図１８Ａを参照して、フィルム１３０５は、入射光１３１０を受けるために構成される。図１８Ｂを参照して、フィルムは、しかも入射光１３１０の向きを実質的に変えるために構成され（実質的に向きを変えられた光は矢印１３１５によって表示される）、それはアクティブな反射体の表面に垂直に向けて、空間光変調器１０５内部のアクティブな反射体に向けられる。＋／−７５°の範囲にわたる入射光に関して、向きを変えられた光は、＋／−３５°の範囲になることができ、そこでは、角度は、垂線から測定される。この実施形態では、向きを変えられた光は、実質的に平行にされる。ある複数の実施形態では、反射体は、空間光変調器１０５の底部のところであり得る。図１８Ｃを参照して、アクティブな反射体で反射された光１３２５は、フィルム１３０５の下側表面１３３０に入る。フィルム１３０５は、その下側表面１３３０のところで反射された鏡面反射光を受けるように構成され、そして拡散光としてフィルム１３０５から放出される前に拡散される。ある複数の実施形態では、光は、フィルム１３０５を伝播して通るにつれて拡散される。他の実施形態では、光は、フィルム１３０５の上側表面１３４０（又は下側表面１３３０）のところで拡散される。別の構成又は上記の範囲外の値も、同様に可能である。
【００７８】
これまでの説明は、本発明のある実施形態を詳細に説明する。しかしながら、上記の詳細が文章中にどのように記載されたとしても、本発明は、多くの方法で実行されることができることが、理解される。同様に上記されたように、本発明のある種の特徴または態様を記載する時に特定の用語の使用が、その用語が関係付けられる本発明の特徴又は態様のいずれかの具体的な特性を含むことで限定されるように本明細書中で再定義されることを意味するように取られるべきないことに、注意すべきである。
【符号の説明】
【００７９】
１２…干渉変調器，１４…可動反射層（可動鏡），１６…光学積層構造（固定鏡），１８…支柱，１９…キャビティ，２０…基板，３０…ディスプレイ・アレイ（ディスプレイ），４０…ディスプレイ・デバイス，４１…ハウジング，４３…アンテナ，４４…スピーカ，４６…マイクロフォン，４８…入力デバイス，３２…連結部，３４…変形可能層，４２…支持ポスト・プラグ，４４’…バス構造，１０５…空間光変調器，１１０，３０５，４０５…外部フィルム，１２０…基板，１２５…誘電体層，１５０…赤反射体、１６０…緑反射体，１７０…青反射体，１３０，１３５，１４０…反射体，５０５…全面プレート，５３０…外部フィルム，５１５…光源，６０３…構造物（バッフル），６０５…外部フィルム，６１２…柱状フィーチャ，６１３…母材，６１４…不透明物質層，６１５…透過性物質，７０５…タッチスクリーン，７１０…空隙，７１７…スペーサ，７１５…タッチスクリーン外側部分，７２０…タッチスクリーン内側部分，７５１…拡散性接着剤，７５１ａ…フィラー粒子，７４０…光源，７７０…散乱粒子，１１００…ディスプレイ，１１０５…フィルム，１１１０，１１１１…スペース，１１２１，１１２２，１１２３…アクティブ反射体領域，１２０５…外部フィルム，１２１２…光散乱領域，１２１７…光を散乱しない領域，１２１３…凹んだ領域，１２１４…フレネル・レンズ領域，１２１８…コリメーティング素子，１２１１…反射体，１３０５…光学フィルム。
【技術分野】
【０００１】
本発明の分野は、微小電気機械システム(ＭＥＭＳ：microelectromechanical systems)に関する。
【背景技術】
【０００２】
微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）は、微小機械素子、アクチュエータ、及び電子機器を含む。微小機械素子は、堆積、エッチング、そしてあるいは、電子デバイス及び電子機械デバイスを形成するために基板及び／又は堆積された材料層の一部分をエッチングして取り除く、若しくは複数の層を付加するその他のマイクロマシニング・プロセスを使用して創り出されることができる。ＭＥＭＳデバイスの１つのタイプは、光干渉変調器と呼ばれる。本明細書中で使用されるように、用語、光干渉変調器又は干渉光変調器は、光学的な干渉の原理を使用して光を選択的に吸収する及び／又は反射するデバイスを呼ぶ。ある実施形態では、光干渉変調器は、１対の導電性プレートを備え、その一方又は両方が、全体として又は一部分が透明でありかつ／又は反射性であり、そして適切な電子信号の印加により相対的動きが可能である。特定の実施形態では、一方のプレートは、基板上に堆積された静止層を備え、他方のプレートは、エアー・ギャップにより静止層から分離された金属膜を備えることができる。本明細書中でさらに詳細に説明されるように、他方と相対的に一方のプレートの位置は、光干渉変調器上に入射する光の光学的干渉を変化させることができる。そのようなデバイスは、広範囲のアプリケーションを有し、そしてこれらのタイプのデバイスの特性を利用すること及び／又は変形することは、この技術において有益であり、その結果、それらの特徴は、既存の製品を改善する際に活用されることができ、そして未だ開発されていない新たな製品を創り出す際に活用されることができる。
【特許文献１】米国特許第６，６５０，４５５号明細書
【特許文献２】米国特許第５，８３５，２５５号明細書
【特許文献３】米国特許第５，９８６，７９６号明細書
【特許文献４】米国特許第６，０５５，０９０号明細書
【特許文献５】米国特許出願番号第１０／７９４，８２５号明細書
【発明の概要】
【０００３】
本発明のシステム、方法、及びデバイスは、それぞれ複数の態様を有し、その１つのものも、その好ましい特性に単独で寄与するのではない。本発明の範囲を制限することなく、そのより卓越した特徴が、ここに簡潔に説明される。本明細書を熟考した後で、特に“特定の実施形態の詳細な説明”と題された項を読んだ後で、本発明の特徴が、その他のディスプレイ・デバイスに対して利点をどのようにして提供するかを、理解するであろう。
【０００４】
１つの実施形態では、ディスプレイが提供され、該ディスプレイは、第１の光学表面及び第２の光学表面を含んでいる複数の光変調素子、ここにおいて該第２の光学表面は該第１の光学表面に対して移動可能である；及び該ディスプレイの視界を制限するために構成された複数の素子、を具備する。
【０００５】
他の１つの実施形態では、ディスプレイが提供され、該ディスプレイは、第１の光学表面及び第２の光学表面を含んでいる複数の光変調素子、ここにおいて該第２の光学表面は該第１の光学表面に対して移動可能である；及び当該ディフューザ素子上に入射する光が該入射光よりもさらに平行にされて該光変調素子に向けられるように光を拡散させるために構成された該複数の光変調素子の前方のディフューザ素子、を具備する。
【０００６】
他の１つの実施形態では、ディスプレイを製作する方法が提供され、該方法は、第１の光学表面及び第２の光学表面を含んでいる複数の光変調素子を形成すること、ここにおいて該第２の光学表面は該第１の光学表面に対して移動可能である；及び該ディスプレイの視界を制限するために構成された複数の素子を形成すること、を具備する。
【０００７】
他の１つの実施形態では、ディスプレイを製作する方法が提供され、該方法は、第１の光学表面及び第２の光学表面を含んでいる複数の光変調素子を形成すること、ここにおいて該第２の光学表面は該第１の光学表面に対して移動可能である；及び広い範囲の角度で入射する光を受けるため、そして該光変調素子上へとより狭い範囲の角度に光を向けるために構成された該複数の光変調素子の前方のディフューザ素子を形成すること、を具備する。
【０００８】
他の１つの実施形態では、ディスプレイが提供され、該ディスプレイは、光を操作するための第１の光学手段及び第２の光学手段を備える光を変調するための手段、ここにおいて該第２の光学手段は該第１の光学手段に対して移動可能である；及び該光変調手段の視界を制限するための手段、を具備する。
【０００９】
他の１つの実施形態では、ディスプレイが提供され、該ディスプレイは、光を操作するための第１の光学手段及び第２の光学手段を備える光を変調するための手段、ここにおいて該第２の光学手段は該第１の光学手段に対して移動可能である；及び当該拡散させる手段上に入射する光がその上に入射する該光よりもさらに平行にされて該光変調手段に向けられる該光変調手段の前方の光を拡散させるための手段、を具備する。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１は、光干渉変調器ディスプレイの１実施形態の一部分を図示する等測図であり、そこでは、第１の光干渉変調器の可動反射層は、リラックスした位置にあり、第２の光干渉変調器の可動反射層は、アクチュエートされた位置にある。
【図２】図２は、３×３光干渉変調器ディスプレイを組み込んでいる電子デバイスの１実施形態を説明するシステム・ブロック図である。
【図３】図３は、図１の光干渉変調器の１つの具体例の実施形態に関する可動鏡位置に対する印加電圧の図である。
【図４】図４は、光干渉変調器ディスプレイを駆動するために使用されることができる行及び列電圧のセットの説明図である。
【図５Ａ】図５Ａは、図２の３×３光干渉変調器ディスプレイ内のディスプレイ・データの１つの具体例のフレームを図示する。
【図５Ｂ】図５Ｂは、図５Ａのフレームに書き込むために使用されることができる行信号及び列信号に関する１つの具体例のタイミング図を図示する。
【図６Ａ】図６Ａは、複数の光干渉変調器を備える光学ディスプレイ・デバイスの１実施形態を説明するシステム・ブロック図である。
【図６Ｂ】図６Ｂは、複数の光干渉変調器を備える光学ディスプレイ・デバイスの１実施形態を説明するシステム・ブロック図である。
【図７Ａ】図７Ａは、図１のデバイスの断面図である。
【図７Ｂ】図７Ｂは、光干渉変調器の代わりの実施形態の断面図である。
【図７Ｃ】図７Ｃは、光干渉変調器の別の１つの実施形態の断面図である。
【図７Ｄ】図７Ｄは、光干渉変調器のしかも別の１つの実施形態の断面図である。
【図７Ｅ】図７Ｅは、光干渉変調器のさらに別の１つの実施形態の断面図である。
【図８Ａ】図８Ａは、外部フィルムを有するディスプレイ・デバイスの側面図である。
【図８Ｂ】図８Ｂは、ＲＧＢカラーの情報を表示するために構成された光干渉変調器デバイスの側面図である。
【図８Ｃ】図８ＣＢは、白黒の情報を表示するために構成された光干渉変調器デバイスの側面図である。
【図９】図９は、その外側表面上に光ディフューザを用いて構成された光干渉変調器デバイスの側面図である。
【図１０】図１０は、その外側表面上に光ディフューザを用いて構成された光干渉変調器デバイスの側面図であり、ここで光ディフューザは、拡散性粒子を含む。
【図１１Ａ】図１１Ａは、光干渉変調器デバイスからエアー・ギャップにより分離されている溝を付けられた前面光プレートを用いて構成された光干渉変調器デバイスの側面図である。
【図１１Ｂ】図１１Ｂは、光干渉変調器デバイス結合された溝を付けられた前面光プレートを用いて構成された光干渉変調器デバイスの側面図である。
【図１１Ｃ】図１１Ｃは、外部フィルムを用いて構成された光干渉変調器デバイスの側面図であり、外部フィルムは起伏を付けられた外側表面を有し、その結果、光源から与えられる光が光干渉変調器デバイスに向きを変えられ、そして光干渉変調器の外へと観察者に反射される。
【図１２Ａ】図１２Ａは、外部フィルムを用いて構成された光干渉変調器デバイスの側面図であり、外部フィルムは光干渉変調器デバイスの視界を制限するバッフル構造を含む。
【図１２Ｂ】図１２Ｂは、外部フィルム内に含まれるバッフル構造がどのようにして反射光の方向を限定するかを示す光干渉変調器デバイスの１実施形態の側面図である。
【図１２Ｃ】図１２Ｃは、不透明柱を備えたバッフル構造を有する外部フィルムの実施形態である。
【図１２Ｄ】図１２Ｄは、不透明柱を備えたバッフル構造を有する外部フィルムの実施形態である。
【図１２Ｅ】図１２Ｅは、不透明部分を備えたバッフル構造を有する外部フィルムの実施形態である。
【図１２Ｆ】図１２Ｆは、不透明部分を備えたバッフル構造を有する外部フィルムの実施形態である。
【図１２Ｇ】図１２Ｇは、不透明部分を備えたバッフル構造を有する外部フィルムの実施形態である。
【図１２Ｈ】図１２Ｈは、反射性物質を備えたバッフル構造を有する外部フィルムを図示する。
【図１３Ａ】図１３Ａは、タッチスクリーンを含む光干渉変調器ディスプレイの側面図である。
【図１３Ｂ】図１３Ｂは、拡散性物質を組み込むための別のアプローチを示す。
【図１３Ｃ】図１３Ｃは、拡散性物質を組み込むための別のアプローチを示す。
【図１３Ｄ】図１３Ｄは、拡散性物質を組み込むための別のアプローチを示す。
【図１４Ａ】図１４Ａは、光干渉変調器デバイスに向けて光源からの光を散乱させるディフューザ物質を備えるタッチスクリーン用いて構成された光干渉変調器デバイスの側面図である。
【図１４Ｂ１】図１４Ｂ１は、光源から光干渉変調器デバイスへ光を伝えるための別の構成を示す。
【図１４Ｂ２】図１４Ｂ２は、光源から光干渉変調器デバイスへ光を伝えるための別の構成を示す。
【図１４Ｃ】図１４Ｃは、光源から光干渉変調器デバイスへ光を向けるためにディスプレイ中に拡散性物質を組み込むための別のアプローチを例示する。
【図１４Ｄ】図１４Ｄは、光源から光干渉変調器デバイスへ光を向けるためにディスプレイ中に拡散性物質を組み込むための別のアプローチを例示する。
【図１４Ｅ】図１４Ｅは、光源から光干渉変調器デバイスへ光を向けるためにディスプレイ中に拡散性物質を組み込むための別のアプローチを例示する。
【図１５Ａ】図１５Ａは、複数のアクティブな反射体領域間のスペースに入射された光の少なくとも一部をアクティブな反射体領域に向ける膜を用いて構成される光干渉変調器デバイスの側面図である。
【図１５Ｂ】図１５Ｂは、複数のアクティブな反射体領域間のスペースに入射された光の少なくとも一部をアクティブな反射体領域に向ける膜を用いて構成される光干渉変調器デバイスの側面図である。
【図１６Ａ】図１６Ａは、光を散乱させる領域を有する外部フィルムの側面図である。
【図１６Ｂ】図１６Ｂは、低屈折率物質の母材中に光の向きを変える高屈折率の領域を有する外部フィルムの側面図である。
【図１６Ｃ】図１６Ｃは、凹レンズとして作用するディンプル領域を有する表面を有する外部フィルムの側面図である。
【図１６Ｄ】図１６Ｄは、フレネル・レンズを備えた表面を有する外部フィルムの側面図である。
【図１６Ｅ】図１６Ｅは、反対方向に光を屈折させるために構成された反対に傾斜する表面を有する外部フィルムの側面図である。
【図１６Ｆ】図１６Ｆは、一方向に向けて光を屈折させるために構成された傾斜する表面を有する外部フィルムの側面図である。
【図１６Ｇ】図１６Ｇは、光を反射させるために構成された傾斜する表面を有する外部フィルムの側面図である。
【図１７】図１７は、外部フィルムを用いて構成された光干渉変調器デバイスの側面図であり、それは外部フィルム上に入射される光の方向を変えて、外部フィルムにおけるその入射角よりさらに垂直である角度で光を光干渉変調器デバイスのアクティブな反射体領域に与える。
【図１８Ａ】図１８Ａは、光干渉変調器デバイスの方へ向けられた光を平行にするために構成された拡散性成分を備えた外部フィルムを用いて構成された光干渉変調器デバイスの側面図である。
【図１８Ｂ】図１８Ｂは、図１８Ａの光干渉変調器デバイスの側面図であり、入射光が平行にされそして光干渉変調器デバイスのアクティブな反射体領域に向きを変えられることを示す。
【図１８Ｃ】図１８Ｃは、図１８Ａの光干渉変調器デバイスの側面図であり、光干渉変調器デバイスのアクティブ領域で反射された光が外部フィルムによって拡散されることを示す。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）は、微小機械素子、アクチュエータ、及び電子機器を含む。微小機械素子は、堆積、エッチング、そしてあるいは、電子デバイス及び電子機械デバイスを形成するために基板及び／又は堆積された材料層の一部分をエッチングして取り除く、若しくは複数の層を付加するその他のマイクロマシニング・プロセスを使用して創り出されることができる。ＭＥＭＳデバイスの１つのタイプは、光干渉変調器と呼ばれる。本明細書中で使用されるように、用語、光干渉変調器又は干渉光変調器は、光学的な干渉の原理を使用して光を選択的に吸収する及び／又は反射するデバイスを呼ぶ。ある実施形態では、光干渉変調器は、１対の導電性プレートを備え、その一方又は両方が、全体として又は一部分が透明でありかつ／又は反射性であり、そして適切な電子信号の印加により相対的動きが可能である。特定の実施形態では、一方のプレートは、基板上に堆積された静止層を備え、他方のプレートは、エアー・ギャップにより静止層から分離された金属膜を備えることができる。本明細書中でさらに詳細に説明されるように、他方と相対的に一方のプレートの位置は、光干渉変調器上に入射する光の光学的干渉を変化させることができる。そのようなデバイスは、広範囲のアプリケーションを有し、そしてこれらのタイプのデバイスの特性を利用すること及び／又は変形することは、この技術において有益であり、その結果、それらの特徴は、既存の製品を改善する際に活用されることができ、そして未だ開発されていない新たな製品を創り出す際に活用されることができる。
【００１２】
本発明の種々の実施形態において、光干渉ディスプレイ・デバイスは、ディスプレイの観察視界を狭くする複数の構造を有する外部フィルムを用いて与えられる。これらの構造は、例えば、バッフル又は複合パラボラ集束器のような非結像光学素子を備えることができる。バッフルは、例えば、格子状に配置された複数の垂直に向きを揃えて並べられた面を備えることができる。ある種の好ましい実施形態では、これらのバッフルは不透明である又は反射性である。したがって、これらの垂直な面は、実質的に垂直でない方向に光干渉ディスプレイ・デバイスから出る光を実質的に遮ることができる。しかしながら、これらの垂直な面は、実質的に垂直な方向に向けられた光がディスプレイを出ることを可能にする。非結像光学素子、例えば、複合パラボラ集束器は、大きな入射角からディスプレイに向けてより垂直な角度へと光の向きを変える。その結果、ユーザに向けてディスプレイによって反射された光は、同様に、さらに垂直な角度になる。
【００１３】
光干渉ＭＥＭＳディスプレイ素子を備える１つの光干渉変調器ディスプレイの実施形態が、図１に図示される。これらのデバイスにおいて、ピクセルは、明状態又は暗状態のいずれかである。明（“オン”又は“開（open）”）状態では、ディスプレイ素子は、入射可視光の大部分をユーザに反射する。暗（“オフ”又は“閉（close）”）状態にある場合は、ディスプレイ素子は、入射可視光をユーザにほとんど反射しない。実施形態に応じて、“オン”状態及び“オフ”状態の光反射率特性が、逆にされることがある。ＭＥＭＳピクセルは、選択された色で主に反射するように構成されることができ、白黒に加えてカラー表示を可能にする。
【００１４】
図１は、視覚ディスプレイの一連のピクセル中の２つの隣接するピクセルを図示する等測図であり、ここでは、各ピクセルは、ＭＥＭＳ光干渉変調器を備える。ある複数の実施形態では、光干渉変調器ディスプレイは、これらの光干渉変調器の行／列アレイを備える。各光干渉変調器は、互いに可変でありそして制御可能な距離に位置する１対の反射層を含み、少なくとも１つの可変の大きさを有する共鳴光学的キャビティを形成する。１つの実施形態において、反射層のうちの１つは、２つの位置の間を移動することができる。第１の位置では、本明細書中ではリラックスした位置（relaxed position）と呼ぶ、可動反射層は、固定された部分反射層から比較的大きな距離のところに置かれる。第２の位置では、本明細書中ではアクチュエートされた位置（actuated position）と呼ぶ、可動反射層は、部分反射層により近くに隣接して置かれる。２つの層で反射する入射光は、可動反射層の位置に応じて、積極的に（constructively）又は否定的に（destructively）干渉して、各ピクセルに対して全体が反射状態又は非反射状態のいずれかを作る。
【００１５】
図１のピクセル・アレイの図示された部分は、２つの隣接する光干渉変調器１２ａ及び１２ｂを含む。左の光干渉変調器１２ａでは、可動反射層１４ａは、部分反射層を含む光学積層構造１６ａから所定の距離のところのリラックスした位置に図示される。右の光干渉変調器１２ｂでは、可動反射層１４ｂは、光学積層構造１６ｂに隣接するアクチュエートされた位置に図示される。
【００１６】
光学積層構造１６ａ，１６ｂ（一括して光学積層構造１６と呼ぶ）は、本明細書中で参照されるように、一般的に複数のヒューズ層を備え、それは、インジウム・スズ酸化物（ＩＴＯ：indium tin oxide）のような電極層、クロムのような部分反射層、及び透明誘電体を含むことができる。光学積層構造１６は、それゆえ、電気的に導電性であり、部分的に透明であり、部分的に反射性であり、そして、例えば、透明基板２０上に１つ又はそれより多くの上記の層を堆積することにより製作されることができる。ある複数の実施形態では、複数の層は、平行なストライプにパターニングされ、下にさらに説明されるようにディスプレイ・デバイス中の行電極を形成することができる。可動反射層１４ａ，１４ｂは、支柱１８の頂上に及び複数の支柱１８間に堆積された介在する犠牲材料上に堆積された（行電極１６ａ，１６ｂに直交する）１層又は複数の層の堆積された金属層の一連の平行なストライプとして形成されることができる。犠牲材料がエッチされて除去されるときに、可動反射層１４ａ，１４ｂは、決められたギャップ１９だけ光学積層構造１６ａ，１６ｂから分離される。アルミニウムのような非常に電導性があり反射する材料が、可動反射層１４として使用されることができ、そしてこれらのストライプは、ディスプレイ・デバイスにおいて列電極を形成できる。
【００１７】
印加電圧がないと、キャビティ１９は、可動反射層１４ａと光学積層構造１６ａとの間に維持され、可動反射層１４ａは、図１のピクセル１２ａに図示されたように機械的にリラックスした状態にある。しかしながら、電位差が選択された行と列に印加されると、対応するピクセルにおいて行電極及び列電極の交差点のところに形成されたキャパシタは、充電され、そして静電力が電極を互いに引きつける。電圧が十分に高い場合には、可動反射層１４は、変形され、光学積層構造１６に対して押し付けられる。光学積層構造１６内部の（この図に図示されていない）誘電体層は、図１中の右のピクセル１２ｂにより図示されたように、短絡することを防止し、層１４と１６との間の分離距離を制御する。この動きは、印加される電位差の極性に拘わらず同じである。このようにして、反射ピクセル状態に対して非反射ピクセル状態を制御できる行／列アクチュエーションは、従来のＬＣＤ及びその他のディスプレイ技術において使用される多くの方法に類似している。
【００１８】
図２から図５Ｂは、ディスプレイ・アプリケーションにおいて光干渉変調器のアレイを使用するための１つの具体例のプロセス及びシステムを説明する。
【００１９】
図２は、本発明の態様を組み込むことができる電子デバイスの１実施形態を説明するシステム・ブロック図である。具体例の実施形態において、電子デバイスは、プロセッサ２１を含み、それは、いずれかの汎用のシングル・チップ・マイクロプロセッサ又はマルチ・チップ・マイクロプロセッサ、例えば、ＡＲＭ，ペンティアム（登録商標）、ペンティアムＩＩ（登録商標）、ペンティアムＩＩＩ（登録商標）、ペンティアムＩＶ（登録商標）、ペンティアム（登録商標）プロ、８０５１、ＭＩＰＳ（登録商標）、パワーＰＣ（登録商標）、ＡＬＰＨＡ（登録商標）、若しくはディジタル信号プロセッサ、マイクロコントローラ、又はプログラム可能なゲート・アレイのようないずれかの特殊用途マイクロプロセッサ、であり得る。本技術において普通であるように、プロセッサ２１は、１又はそれより多くのソフトウェア・モジュールを実行するように構成されることができる。オペレーティング・システムを実行することに加えて、プロセッサは、ウェブ・ブラウザ、電話アプリケーション、電子メール・プログラム、又はいずれかの別のソフトウェア・アプリケーションを含む、１又はそれより多くのソフトウェア・アプリケーションを実行するように構成されることができる。
【００２０】
１実施形態では、プロセッサ２１は、しかも、アレイ・ドライバ２２と通信するように構成される。１実施形態では、アレイ・ドライバ２２は、行ドライバ回路２４及び列ドライバ回路２６を含み、それはディスプレイ・アレイ又はパネル３０に信号を供給する。図１に図示されたアレイの断面は、図２中に線１−１により示される。ＭＥＭＳ光干渉変調器に関して、行／列アクチュエーション・プロトコルは、図３に図示されたこれらのデバイスのヒステリシス特性を利用することができる。これは、例えば、可動層をリラックスした状態からアクチュエートされた状態へ変形させるために１０ボルトの電位差を必要とすることがある。しかしながら、電圧がその値から減少される場合に、１０ボルトより下に電圧が降下して戻るとしても、可動層はその状態を維持する。図３の具体例の実施形態では、可動層は、電圧が２ボルトより下に降下するまで完全にはリラックスされない。そのようにして、図３に図示された例では、約３Ｖから７Ｖの電圧の範囲があり、そこでは、その範囲内でデバイスがリラックスした状態又はアクチュエートされた状態のいずれかで安定である、印加電圧のウィンドウが存在する。これは、本明細書中では“ヒステリシス・ウィンドウ”又は“安定ウィンドウ”と呼ばれる。図３のヒステリシス特性を有するディスプレイ・アレイに関して、行ストロービング（strobing）の間に、アクチュエートされようとしているストローブされた行中のピクセルが、約１０ボルトの電圧差を受け、そしてリラックスされようとしているピクセルが、ゼロ・ボルトに近い電圧差を受けるように、行／列アクチュエーション・プロトコルは、設計されることができる。ストローブの後で、ピクセルは、約５ボルトの定常状態電圧差受け、その結果、ピクセルは、行ストローブがピクセルをどんな状態に置いてもそこに留まる。書き込まれた後で、各ピクセルは、この例では３−７ボルトの“安定ウィンドウ”の範囲内の電位差を受ける。この特徴は、アクチュエートされた現在の状態又はリラックスした現在の状態のいずれかの状態に同じ印加電圧条件の下で、図１に図示されたピクセル設計を安定にさせる。アクチュエートされた状態又はリラックスした状態であるかどうかに拘わらず、光干渉変調器の各ピクセルが、基本的に固定反射層と移動反射層とにより形成されたキャパシタであるので、この安定状態は、ほとんど電力消費なしにヒステリシス・ウィンドウの範囲内の電圧で保持されることができる。印加された電位が一定であるならば、基本的に電流は、ピクセルに流れ込まない。
【００２１】
代表的なアプリケーションでは、ディスプレイ・フレームは、第１行中のアクチュエートされたピクセルの所望のセットにしたがって列電極のセットを明示すること（asserting）によって創り出されることができる。行パルスは、それから行１の電極に印加されて、明示された列ラインに対応するピクセルをアクチュエートする。列電極の明示されたセットは、その後、第２行中のアクチュエートされたピクセルの所望のセットに対応するように変更される。パルスは、それから、行２の電極に印加されて、明示された列電極にしたがって行２中の適切なピクセルをアクチュエートする。行１ピクセルは、行２パルスにより影響されず、そして行１パルスの間に行１ピクセルが設定された状態に留まる。これは、連続した方式で一連の行全体に対して繰り返され、フレームを生成する。一般に、フレームは、１秒当たり所望のフレームの数でこのプロセスを連続的に繰り返すことにより、リフレッシュされる及び／又は新たなディスプレイ・データで更新される。ディスプレイ・フレームを生成するためにピクセル・アレイの行電極及び列電極を駆動するための広範なプロトコルは、同様に周知であり、そして本発明とともに使用されることができる。
【００２２】
図４、図５Ａ及び図５Ｂは、図２の３×３アレイ上でディスプレイ・フレームを創り出すための１つの可能性のあるアクチュエーション・プロトコルを説明する。図４は、図３のヒステリシス曲線を示すピクセルに対して使用されることができる、列電圧レベル及び行電圧レベルの可能性のあるセットを図示する。図４の実施形態では、ピクセルをアクチュエートすることは、適切な列を−Ｖｂｉａｓに、そして適切な行を＋ΔＶに設定することを含む。これは、それぞれ−５Ｖ及び＋５Ｖに対応することがある。ピクセルをリラックスさせることは、適切な列を＋Ｖｂｉａｓに、そして適切な行を同じ＋ΔＶに設定することにより、ピクセルを横切るゼロ・ボルトの電位差を生成することにより実現される。行電圧がゼロ・ボルトに保持されるこれらの行では、列が＋Ｖｂｉａｓであるか又は−Ｖｂｉａｓであるかどうかに拘らず、ピクセルが元々あった状態がどうであろうとも、ピクセルは、その状態で安定である。同様に図４に図示されているように、上に記載されたものとは反対の極性の電圧が使用され得ることが評価される、例えば、ピクセルをアクチュエートすることは、適切な列を＋Ｖｂｉａｓに、そして適切な行を−ΔＶに設定することを含むことができる。この実施形態では、ピクセルをリリースさせることは、適切な列を−Ｖｂｉａｓに、そして適切な行を同じ−ΔＶに設定し、ピクセルを横切るゼロ・ボルトの電位差を生成することにより実現される。
【００２３】
図５Ｂは、図２の３×３アレイに印加される一連の行信号及び列信号を示すタイミング図であり、そこではアクチュエートされたピクセルが非反射である図５Ａに図示されたディスプレイ配列に結果としてなる。図５Ａに図示されたフレームを書き込む前に、ピクセルは、任意の状態であることができ、そしてこの例では、全ての行が０ボルトであり、全ての列が＋５ボルトである。これらの印加電圧では、全てのピクセルは、その現在のアクチュエートされた状態又はリラックスした状態で安定である。
【００２４】
図５Ａのフレームでは、ピクセル（１，１）、（１，２）、（２，２）、（３，２）及び（３，３）がアクチュエートされている。これを実現するために、行１に対する“ライン時間”の期間に、列１及び列２は、−５ボルトに設定され、そして列３は、＋５ボルトに設定される。全てのピクセルが３−７ボルトの安定ウィンドウの中に留まるため、これは、どのピクセルの状態も変化させない。行１は、その後、０から５ボルトまで上がり、ゼロに戻るパルスでストローブされる。これは、（１，１）及び（１，２）ピクセルをアクチュエートし、（１，３）ピクセルをリラックスさせる。アレイ中のその他のピクセルは、影響されない。行２を望まれるように設定するために、列２は、−５ボルトに設定され、そして列１及び列３は、＋５ボルトに設定される。行２に印加された同じストローブは、その後、ピクセル（２，２）をアクチュエートし、ピクセル（２，１）及び（２，３）をリラックスさせる。再び、アレイのその他のピクセルは、影響されない。行３は、列２及び列３を−５ボルトに、そして列１を＋５ボルトに設定することより同様に設定される。行３ストローブは、図５Ａに示されたように行３ピクセルを設定する。フレームを書き込んだ後で、行電位はゼロに、そして列電位は＋５又は−５ボルトのいずれかに留まることができ、そしてディスプレイは、その後、図５Ａの配列で安定である。同じ手順が数十から数百の行及び列のアレイに対して採用されることができることが、評価される。しかも、行及び列アクチュエーションを実行するために使用された電圧のタイミング、シーケンス、及びレベルが、上記に概要を示された一般的な原理の範囲内で広範囲に変化されることができ、そして、上記の例は、例示だけであり、そして任意のアクチュエーション電圧方法が、本明細書中に記載されたシステム及び方法で使用されることができる。
【００２５】
図６Ａ及び図６Ｂは、ディスプレイ・デバイス４０の実施形態を説明するシステム・ブロック図である。ディスプレイ・デバイス４０は、例えば、セルラ電話機又は携帯電話機であり得る。しかしながら、ディスプレイ・デバイス４０の同じコンポーネント又はそのわずかな変形は、同様にテレビ及び携帯型メディア・プレーヤのような種々のタイプのディスプレイ・デバイスの例示である。
【００２６】
ディスプレイ・デバイス４０は、ハウジング４１、ディスプレイ３０、アンテナ４３、スピーカ４４、入力デバイス４８、及びマイクロフォン４６を含む。ハウジング４１は、当業者に周知の各種の製造技術のいずれかから一般に形成され、射出成型、及び真空形成を含む。その上、ハウジング４１は、プラスチック、金属、ガラス、ゴム、及びセラミックス、又はこれらの組み合わせを含むが、これらに限定されない任意の種々の材料から形成されることができる。１つの実施形態では、ハウジング４１は、除去可能な部分（図示せず）を含み、それは異なる色、若しくは異なるロゴ、絵柄、又はシンボルを含むその他の取り外し可能な部分と取り替えられることができる。
【００２７】
具体例のディスプレイ・デバイス４０のディスプレイ３０は、本明細書中に説明されるように、双安定ディスプレイを含む種々のディスプレイのうちのいずれかであり得る。別の実施形態では、当業者に周知であるように、ディスプレイ３０は、上に説明されるように、プラズマ、ＥＬ、ＯＬＥＤ、ＳＴＮ ＬＣＤ、又はＴＦＴ ＬＣＤのようなフラット−パネル・ディスプレイ、若しくはＣＲＴ又はその他の真空管デバイスのような、非フラット−パネル・ディスプレイを含む。しかしながら、本実施形態を説明する目的のために、ディスプレイ３０は、本明細書中に説明されるように、光干渉変調器ディスプレイを含む。
【００２８】
具体例のディスプレイ・デバイス４０の１つの実施形態のコンポーネントが、図６Ｂに模式的に図示される。図示された具体例のディスプレイ・デバイス４０は、ハウジング４１を含み、そして少なくとも一部がその中に納められた増設のコンポーネントを含むことができる。例えば、１つの実施形態では、具体例のディスプレイ・デバイス４０は、トランシーバ４７に接続されたアンテナ４３を含むネットワーク・インターフェース２７を含む。トランシーバ４７は、プロセッサ２１に接続され、プロセッサ２１は調整ハードウェア５２に接続される。調整ハードウェア５２は、信号を調整する（例えば、信号をフィルタする）ために構成されることができる。調整ハードウェア５２は、スピーカ４５及びマイクロフォン４６に接続される。プロセッサ２１は、同様に、入力デバイス４８及びドライバ・コントローラ２９に接続される。ドライバ・コントローラ２９は、フレーム・バッファ２８に接続され、そしてアレイ・ドライバ２２に接続される。アレイ・ドライバ２２は、順番にディスプレイ・アレイ３０に接続される。電源５０は、個々の具体例のディスプレイ・デバイス４０の設計によって必要とされるように全てのコンポーネントに電力を供給する。
【００２９】
ネットワーク・インターフェース２７は、アンテナ４３及びトランシーバ４７を含み、その結果、具体例のディスプレイ・デバイス４０は、ネットワークを介して１又はそれより多くのデバイスと通信できる。１つの実施形態では、ネットワーク・インターフェース２７は、しかも、プロセッサ２１の要求を軽減させるためにある種の処理能力を持つことができる。アンテナ４３は、信号を送信するため、そして受信するために当業者に公知にいずれかのアンテナである。１つの実施形態では、アンテナは、ＩＥＥＥ ８０２．１１（ａ），（ｂ），又は（ｇ）を含む、ＩＥＥＥ ８０２．１１規格にしたがってＲＦ信号を送信し、受信する。別の１つの実施形態では、アンテナは、ブルートゥース（BLUETOOTH）（登録商標）規格にしたがってＲＦ信号を送信し、そして受信する。セルラ電話機の場合には、アンテナは、ＣＤＭＡ信号、ＧＳＭ（登録商標）信号、ＡＭＰＳ信号又は無線セル電話ネットワークの範囲内で通信するために使用される別の公知の信号を受信するように設計される。トランシーバ４７は、アンテナ４３からの受信された信号を事前処理し、その結果、信号はプロセッサ２１によって受け取られ、そしてさらに操作されることができる。トランシーバ４７は、プロセッサ２１からの受信された信号を同様に処理し、その結果、信号はアンテナ４３を介して具体例のディスプレイ・デバイス４０から送信されることができる。
【００３０】
代わりの実施形態では、トランシーバ４７は、受信機によって置き換えられることができる。しかも別の１つの代わりの実施形態では、ネットワーク・インターフェース２７は、画像ソースによって置き換えられることができる。画像ソースは、プロセッサ２１に送られるべき画像データを格納できる、又は発生できる。例えば、画像ソースは、ディジタル・ビデオ・ディスク（ＤＶＤ：digital video disc）又は画像データを含んでいるハード−ディスク駆動装置、若しくは画像データを発生させるソフトウェア・モジュールであり得る。
【００３１】
プロセッサ２１は、一般に具体例のディスプレイ・デバイス４０の総合的な動作を制御する。プロセッサ２１は、ネットワーク・インターフェース２７からの又は画像ソースからの圧縮された画像データのような、データを受け取り、そしてデータを生の画像データに、又は生の画像データに容易に処理されるフォーマットに処理する。プロセッサ２１は、その後、処理されたデータをドライバ・コントローラ２９へ又は格納のためにフレーム
・バッファ２８へ送る。生のデータは、一般的に、画像の内部でのそれぞれの位置における画像特性を識別する情報を呼ぶ。例えば、そのような画像特性は、色彩、彩度、及びグレー・スケール・レベルを含むことができる。
【００３２】
１つの実施形態では、プロセッサ２１は、マイクロコントローラ、ＣＰＵ、又は論理ユニットを含み、具体例のディスプレイ・デバイス４０の動作を制御する。調整ハードウェア５２は、一般に、スピーカ４５に信号を伝送するために、そして、マイクロフォン４６から信号を受け取るために、増幅器及びフィルタを含む。調整ハードウェア５２は、具体例のディスプレイ・デバイス４０内部の独立したコンポーネントであり得る、若しくは、プロセッサ２１又は他のコンポーネントの内部に組み込まれることができる。
【００３３】
ドライバ・コントローラ２９は、プロセッサ２１により発生された生の画像データをプロセッサ２１から直接又はフレーム・バッファ２８からのいずれかで取得し、そしてアレイ・ドライバ２２への高速伝送に適切であるように生の画像データを再フォーマット化する。具体的には、ドライバ・コントローラ２９は、生の画像データをラスタ状のフォーマットを有するデータ・フローに再フォーマットする、その結果、データ・フローは、ディスプレイ・アレイ３０全体にわたってスキャニングするために適した時間の順番を有する。それから、ドライバ・コントローラ２９は、フォーマット化された情報をアレイ・ドライバ２２へ送る。ＬＣＤコントローラのようなドライバ・コントローラ２９が、独立型の集積回路（ＩＣ：Integrated Circuit）のようなシステム・プロセッサ２１に多くの場合に関連付けられるけれども、そのようなコントローラは、複数の方法で与えられることができる。これらは、ハードウェアとしてプロセッサ２１に搭載される、ソフトウェアとしてプロセッサ２１に搭載される、又はアレイ・ドライバ２２とともにハードウェア中に完全に集積されることができる。
【００３４】
一般的に、アレイ・ドライバ２２は、フォーマット化された情報をドライバ・コントローラ２９から受け取り、そしてビデオ・データをウェーブフォームの並列セットに再フォーマット化する。ウェーブフォームの並列セットは、ディスプレイのピクセルのｘ−ｙ行列から来る数百のそして時には数千のリード線（lead）に毎秒複数回適用される。
【００３５】
１つの実施形態では、ドライバ・コントローラ２９、アレイ・ドライバ２２、及びディスプレイ・アレイ３０は、本明細書中に説明されたディスプレイのいずれのタイプに対しても適切である。例えば、１つの実施形態では、ドライバ・コントローラ２９は、従来型のディスプレイ・コントローラ又は双安定ディスプレイ・コントローラ（例えば、光干渉変調器コントローラ）である。別の１つの実施形態では、アレイ・ドライバ２２は、従来型のドライバ又は双安定ディスプレイ・ドライバ（例えば、光干渉変調器ディスプレイ）である。１つの実施形態では、ドライバ・コントローラ２９は、アレイ・ドライバ２２と統合される。そのような実施形態は、セルラ電話機、腕時計、及びその他の小面積ディスプレイのような高度に集積されたシステムにおいて一般的である。さらに別の１つの実施
形態では、ディスプレイ・アレイ３０は、典型的なディスプレイ・アレイ又は双安定ディスプレイ・アレイ（例えば、光干渉変調器のアレイを含むディスプレイ）である。
【００３６】
入力デバイス４８は、ユーザが具体例のディスプレイ・デバイス４０の動作を制御することを可能にする。１つの実施形態では、入力デバイス４８は、クワーティ（QWERTY）キーボード又は電話機キーパッドのようなキーパッド、ボタン、スイッチ、接触感応スクリーン、感圧又は感熱膜を含む。１つの実施形態では、マイクロフォン４６は、具体例のディスプレイ・デバイス４０のための入力デバイスである。マイクロフォン４６がデバイスにデータを入力するために使用される場合に、音声命令が、具体例のディスプレイ・デバイス４０の動作を制御するためにユーザによって与えられることができる。
【００３７】
電源５０は、この技術において周知のような各種のエネルギー蓄積デバイスを含むことができる。例えば、１つの実施形態では、電源５０は、ニッケル−カドミウム電池又はリチウム・イオン電池のような、再充電可能な電池である。別の１つの実施形態では、電源５０は、回復可能なエネルギー源、キャパシタ、又はプラスチック太陽電池、及びソーラー−セル塗料を含む太陽電池である。別の１つの実施形態では、電源５０は、壁のコンセントから電力を受け取るように構成される。
【００３８】
いくつかの方法では、制御のプログラム可能性は、上に説明されたように、電子ディスプレイ・システム中の複数の場所に置かれることができるドライバ・コントローラ中に存在する。ある複数の場合では、制御のプログラム可能性は、アレイ・ドライバ２２中に存在する。上に説明された最適化が、任意の数のハードウェア・コンポーネント及び／又はソフトウェア・コンポーネントにおいてそして種々の構成において実施されることができることを、当業者は、認識する。
【００３９】
上に説明された原理にしたがって動作する光干渉変調器の構造の詳細は、広い範囲で変化できる。例えば、図７Ａから図７Ｅは、可動反射層１４及びその支持構造の５つの異なる実施形態を図示する。図７Ａは、図１の実施形態の断面であり、そこでは金属材料１４のストライプが、直角に延びている支柱１８上に堆積される。図７Ｂでは、可動反射層１４は、連結部（tether）３２上に、角だけで支柱に取り付けられる。図７Ｃでは、可動反射層１４は、変形可能層３４から吊り下げられ、それは柔軟な金属を備えることができる。変形可能層３４は、変形可能層３４の周囲で基板２０に直接的に又は間接的に接続される。これらの接続部は、本明細書中では支持ポストと呼ばれる。図７Ｄに図示された実施形態は、支持ポスト・プラグ４２を有し、その上に変形可能層３４が載っている。可動反射層１４は、図７Ａから図７Ｃのように、キャビティを覆って吊り下げられたままであるが、変形可能層３４は、変形可能層３４と光学積層構造１６との間の穴を埋めることによって支持ポストを形成しない。むしろ、支持ポストは、平坦化材料で形成され、それは支持ポスト・プラグ４２を形成するために使用される。図７Ｅに図示された実施形態は、図７Ｄに示された実施形態に基づいているが、同様に、図７Ａから図７Ｃに図示された実施形態のいずれかを用いて、同様に図示されていないさらなる実施形態のいずれかを用いて働くように適合されることができる。図７Ｅに示された実施形態では、金属又は他の導電性材料の追加層が、バス構造４４’を形成するために使用されている。これは、光干渉変調器の背面に沿った信号迂回（routing）を可能にし、そうでなければ基板２０上に形成される必要があるはずの多数の電極を削除する。
【００４０】
図７Ａから図７Ｅに示されたもののような複数の実施形態では、光干渉変調器は、直視デバイスとして機能し、その中では画像は、透明基板２０の表面側、変調器が配置されている面とは反対側から見られる。これらの実施形態では、反射層１４は、基板２０と反対側の反射層側上の光干渉変調器の複数の部分、それは変形可能層３４を含む、を光学的に覆う。これは、覆われた範囲が画像品質に悪影響を及ぼすことなく構成されそして動作することを可能にする。そのように覆うことは、図７Ｅのバス構造４４’を与え、変調器の電気機械的特性、例えば、アドレシング及びそのアドレシングからの結果の動き、から変調器の光学的特性を分離する能力を提供する。この分離可能な変調器の構造は、変調器の電気機械的観点及び光学的観点のために使用する構造的設計及び材料が選択されることを可能にし、そして互いに独立に機能することを可能にする。その上、図７Ｃから図７Ｅに示された実施形態は、反射層１４の光学的特性がその機械的特性から切り離されることを引き出す追加の利点を有し、それは変形可能層３４によって実行される。これは、反射材料１４に使用される構造設計及び材料が光学的特性に関して最適化されることを可能にし、そして変形可能層３４に使用される構造設計及び材料が所望の機械的特性に関して最適化できることを可能にする。
【００４１】
上に説明されたように、直視ディスプレイの画像素子（ピクセル）は、図７Ａから図７Ｅに示されたもののような素子を備えることができる。種々の実施形態において、非変形状態にある鏡１４を有するこれらの変調器素子は、明、すなわち“ＯＮ”である。鏡１４がキャビティの前表面に向けてキャビティの中へと全設計深さまで移動した時に、キャビティ内の変化は、結果のピクセルが‘暗’、すなわち、ＯＦＦになるようさせる。カラー・ピクセルに関して、個々の変調素子のＯＮ状態は、変調器構成及びディスプレイの色彩体系に応じて、白、赤、緑、青、又は別の色であり得る。赤／緑／青（ＲＧＢ）ピクセルを使用するある複数の実施形態では、例えば、一色のピクセルは、光干渉青色光を作り出す複数の変調器素子を備え、同様な数の素子が光干渉赤色光を作り出し、そして同様な数の素子が光干渉緑色光を作り出す。ディスプレイ情報にしたがって鏡を動かすことによって、変調器は全色の画像を生成できる。
【００４２】
様々な実施形態は、種々の光学フィルムを使用して光干渉変調器デバイスに行うことが可能な改善を含む。光学フィルムは、巻物で又はシートで与えられるフィルムを含む。フィルムは、光干渉変調器に取り付けられる又はその近くに取り付けられ、光干渉変調器で反射された光が観察者に伝達するようにフィルムを通り抜けるように置かれる。光学フィルムは、コーティングを同様に含むことができ、それは光干渉変調器の表面上にスピンされる、スパッタされる又はそれ以外では堆積されることができ、その結果、光干渉変調器で反射した光が、観察者に伝達するにつれてフィルムを通過する。
【００４３】
フィルムは、一般に光干渉変調器の外部表面上に配置され、その結果、所望の光学的特性が、光干渉変調器そのものを変更することなく実現されることができる。本明細書中で使用される“外部”は、製作された光干渉変調器の外にフィルムを設置することを呼ぶ、例えば、光干渉変調器の外側表面上であり、その結果、外部フィルムは、光干渉変調器ディスプレイを製作した後で付けられることができる。外部フィルムは、最初に入射光を受ける光干渉変調器の表面上に又はその近くに配置されることができ、それは光干渉変調器の外側表面と本明細書中では呼ばれる。この外側表面は、同様に光干渉変調器を見る人に近接して位置する表面である。外部フィルムは、光干渉変調器を形成する複数の層の上であり得る、又は光干渉変調器上に形成される１又はそれより多くの層の上に形成されることができる。光干渉変調器ディスプレイの外部であるとして種々の実施形態が一般に本明細書中に記載されるが、これらのタイプのフィルムは、同様に、他の実施形態では光干渉変調器の内部に製作されることができる、そして／又は記載される外部フィルムの特性は、同様な効果を実現するために、例えば、光干渉変調器の製作中に、光干渉変調器に組み込まれることができる。
【００４４】
図８Ａに図示されたように、ディスプレイ１００Ａの１つの実施形態は、空間光変調器１０５及び空間光変調器１０５の外側表面１１５上に又は近くに配置された外部フィルム１１０を含む。空間光変調器１０５は、光干渉変調器デバイスの１つの表示であり、それは、例えば、基板、導電体層、部分反射層、誘電体層、及び可動鏡と誘電体との間にギャップを用いて構成された可動反射体（鏡とも呼ぶ）を含むことができる。空間光変調器１０５は、全色、単色、又は白黒光干渉変調器ディスプレイ・デバイスであり得るが、これらに限定されない。光干渉変調器の設計及び動作は、例えば、米国特許番号第６，６５０，４５５号、第５，８３５，２５５号、第５，９８６，７９６号及び第６，０５５，０９０号に詳細に記載され、これらの全ては、引用により本明細書中に組み込まれている。
【００４５】
外部フィルム１１０は、様々な方法で製作されることができ、例えば、外部フィルム１１０がディスプレイに流し込まれる、スピンされる、堆積される、又は積層される製作技術を使用することを含む。ある複数の実施形態では、外部フィルム１１０は、単一フィルム層であり、ところが他の実施形態では、外部フィルム１１０は１より多くのフィルム層を含む。外部フィルム１１０が１より多くのフィルム層を備える場合に、各フィルム層は、異なる特性を有することができ、それは空間光変調器１０５で反射される光そして外部フィルム１１０を通り伝達する光の１又はそれより多くの特性に影響を与える。多層外部フィルム１１０の各層は、同じフィルム製作技術によって又は異なるフィルム製作技術によって製作されることができる、例えば、任意の単一層が、例えば、隣接層に流し込まれる、スピンされる、堆積される、又は積層されることができる。別の配向（orientation）及び構成も、同様に可能である。
【００４６】
図８Ｂを参照して、ディスプレイ１００Ｂの１つの実施形態は、カラー光干渉変調器を備えるＲＧＢ空間光変調器１０５Ｂの外側表面１１５の上方に外部フィルム１１０を有する。この実施形態では、ＲＧＢ空間光変調器１０５Ｂは、例えば、導電体層（それは少なくとも部分的に透過性である）、部分反射層、及び誘電体層１２５を備える多重層１２５上方の基板１２０を具備し、多重層は、順に、赤、緑及び青の色に対応し、それぞれが異なるギャップ幅１７５，１８０，１９０を有する、赤反射体１５０、緑反射体１６０、及び青反射体１７０を含む１組の反射体（例えば、鏡）の上方にある。ある種の実施形態では、図８Ｂに図示されたように、基板１２０は、外部フィルム１１０と反射体１５０，１６０，１７０との間であることがある。他の実施形態では、反射体１５０，１６０，１７０は、外部フィルム１１０と基板１２０との間であることがある。
【００４７】
別の実施形態では、外部フィルムは、単色又は白黒の光干渉変調器の上方に配置されることができる。図８Ｃにより図示されるように、単色又は白黒空間光変調器１０５Ｃは、導電体層、部分的反射層１２４、誘電体層１２５の上方の基板１２０を備え、それは順に、１組の反射体（例えば、鏡）１３０，１３５，１４０の上方にある。単色空間光変調器１０５Ｃは、反射体１３０，１３５，１４０と誘電体層１２５との間に１つのギャップ１４５幅で構成される反射体１３０，１３５，１４０を有するように製作されることができる。
【００４８】
ある実施形態では、外部フィルムは、光干渉変調器ディスプレイで反射する光を拡散させる（diffuse）ことができる。光干渉変調器ディスプレイで反射する光は、少なくとも部分的に拡散されることがあり、その結果、ディスプレイは、紙に似た外観を有する（例えば、ディスプレイは散漫に反射するように見える）。
【００４９】
図９を参照して、ディスプレイ３００は、空間光変調器１０５の上に置かれた外部拡散フィルム３０５を含むことができる。ディスプレイ３００上に入射する光３２０は、反射性空間光変調器１０５によって鏡のように反射される。鏡のように反射した光３０７がディスプレイ３００から伝播するにつれて、拡散フィルム３０５は、鏡のように反射した光３０７の特性を変える、それは拡散光に変換する。ディフューザ３０５は、光干渉変調器上に入射する光を同様に拡散させる。
【００５０】
拡散フィルム３０５は、複数の物質から製作されることができ、そして拡散物質の１又はそれより多くの層を含むことができる。ディフューザ３０５は、表面を変化させた（例えば、波型及び粗面）物質又は物質の変更を含むことができる。この変更は、別の実施形態では光を屈折させる又は散乱（scatter）させることができる。ディフューザ３０５の広い範囲の変更が可能であり、そして本明細書中に記載されたもの限定されない。
【００５１】
図１０は、散漫な反射光を生成するディスプレイ４００の具体例の実施形態を図示する。ディスプレイ４００は、空間光変調器１０５に取り付けられた外部フィルム４０５を含む。外部フィルム４０５は、散乱性フィーチャ（feature）（例えば、粒子）を備える物質４１０を含み、それは空間光変調器１０５で反射する光４０３を散乱させ、光干渉変調器デバイスから放出される光の特性を鏡面反射から拡散へと変化させる。
【００５２】
ある複数の実施形態では、外部拡散フィルム３０５は、反射された光４０３のスペクトル特性を変化させる物質及び反射された光の拡散特性又は鏡面反射特性を変化させる物質を含む。そのような物質は、外部フィルム３０５，４０５（図９及び図１０）の１つの層に含まれることができる。あるいは、反射光のスペクトル特性を変化させる物質は、外部フィルム３０５の１つの層の中に組み込まれることができ、そして反射光の拡散特性又は鏡面反射特性を変化させる物質は、外部フィルムの別の層に組み込まれることができる。１つの実施形態では、拡散物質は、外部フィルム３０５と空間光変調器１０５との間に使用される接着剤中に含まれることができる（図９）。
【００５３】
上記のように、あるタイプのディフューザは、ディスプレイ３００，４００が鏡の外観よりはむしろ紙の外観を有することが望まれている光干渉変調器ディスプレイにおいて有用である。当然ながら、ある複数の実施形態では、ディスプレイ３００，４００の外観又はディスプレイの一部の外観が高反射性、すなわち“鏡面状”であることが望まれる、そしてこれらの実施形態では、ディスプレイは、光干渉変調器ディスプレイ・デバイス３０５，４０５の全体又は一部を覆う拡散フィルム３０５，４０５を有することができる。ある複数の実施形態では、光学的透過層は、所望の拡散を実現するために“曇らせられる”。例えば、ディスプレイ１０５（図９）の外側表面は、反射光の拡散を与えるために曇らせられることができる。表面が非常に曇っている場合、光は、表面が軽く曇っている場合よりさらに拡散される。ある複数の実施形態では、曇っている光学的に透過層は、ガラス層又はポリマ層を備えることができる。
【００５４】
ある複数の実施形態では、例えば、暗い状態又は周りの照明が少ない状態で光干渉変調器を見ることのために、光干渉変調器に追加の光を提供するための光源（本明細書中では“前面光”と呼ばれる）を含むことが有益である。図１１Ａを参照して、ディスプレイ５００Ａの１つの実施形態は、前面プレート５０５の横に置かれた光源５１５を含む。この前面プレート５０５は、光源５１５からの光５０７に対して実質的に光学的に透過性の物質を備える。前面プレート５０５は、例えば、ある複数の実施形態ではガラス又はプラスチックを備えることができる。前面プレート５０５は、前面プレート中の光の伝播を分裂させるため、そして空間光変調器１０５に向けて光の向きを変えるために構成された光学的フィーチャ（例えば、溝のような起伏）を有する。エアー・ギャップ５２５は、起伏を付けられた／溝を付けられた前面プレート５０５を空間光変調器１０５から分離する。動作上では、光源５１５は、前面プレート５０５の中へと光５０７を与える、そこでは、光５２０は、傾斜した表面フィーチャ５０６で反射され、そして空間光変調器１０５へ向けて進む。ディスプレイ５００に入る周囲の光に関して、エアー・ギャップ５２５内の空気と前面プレート５０５及び空間光変調器１０５を形成するために使用する物質との間の屈折率の違いのために、エアー・ギャップ５２５は、ディスプレイ５００Ａの感知されるコントラストを低下させる。
【００５５】
図１１Ｂを参照して、ディスプレイ５００Ｂは、空間光変調器１０５へ光をより効率的に伝達する、その理由は、前面プレート５０５と空間光変調器１０５とを分離するエアー・ギャップがないためである。その代わりに、前面プレート５０５は、空間光変調器１０５に取り付けられる。ディスプレイ５００Ｂの構成が空間光変調器１０５への光の伝達を増加させるが、２つの部品を接着することは、良い製作作業ではない、その理由は、前面プレート５０５及び空間光変調器１０５は、両方とも比較的高価な部品であり、そしてもしどちらかの部品が製作の間に不良になると、両方の部品が失われるためである。
【００５６】
ここで図１１Ｃを参照して、ディスプレイ５００Ｃは、図１１Ａ及び図１１Ｂのディスプレイ５００Ａ、５００Ｂによって経験される問題が、前面プレートよりは外部フィルムを使用してどのように克服されるかを説明する。図１１Ｃに示されたように、ディスプレイ５００Ｃは、外部フィルム５３０が積層されている空間光変調器１０５の端部５３１の隣に置かれた光源５１５を含み、外部フィルム５３０は空間光変調器１０５に向けて光の向きを変えるように構成された起伏、例えば、溝又は傾斜した表面フィーチャのような光学的フィーチャを備える表面５１４を有する。光源５１５は、例えば、空間光変調器１０５を支持している基板の端部に設置される。外部フィルム５３０は、空間光変調器１０５に取り付けられる、又は空間光変調器１０５上に積層される。接着剤が使用されることができる。外部フィルム５３０は、溝を付けられた前面ガラス・プレート５０５（図１１Ａ、１１Ｂ）の価格と比較して比較的安価であり、そのためもし、ディスプレイ１０５が不良であっても、大きなさらなる損失を伴わないで破棄されることができる。動作上では、外部フィルム５３０は、光源５１５からの光５１１を受ける。光が空間光変調器１０５（例えば、光干渉変調器デバイスの基板）及び外部フィルム５３０を通って伝播するので、光５１１は、起伏を付けられた／溝を付けられた表面５１４の内側部分で反射し、そして反射光５１３は、光干渉変調器デバイスの基板を通って伝播しそして光干渉変調器の鏡面で反射する。
【００５７】
ここで図１２Ａを参照して、別の実施形態では、ディスプレイ６００は、空間光変調器１０５の外側表面に取り付けられている外部フィルム６０５を備える、ここで外部フィルムは、ディスプレイの視界を狭くする又は最小にする複数の構造物６０３を備える。１つの実施形態では、構造物６０３は、小さな垂直に向きを揃えて配列された障害物であり、それは格子に形成されることができ、外部フィルム６０５へと“落とし込む”又は拡散させることができる。他の１つの実施形態では、外部フィルム６０５の材料は、垂直に向きを揃えて配列された構造物６０３を与える。これらの構造物６０３は、バッフルと呼ばれることがある。バッフル６０３は、実質的に不透明であり得る。バッフル６０３は、実質的に吸収性である又は反射性であり得る。
【００５８】
図１２Ｂは、実質的に垂直でない方向６０７に反射した光が外部フィルム６０５から出射することを構造物６０３によってどのようにして実質的に遮られるか、そして実質的に垂直な方向に反射した光６０９が構造物６０３によりどのようにして実質的に妨害されないかを説明する。図１２Ａ及び図１２Ｂに示された実施形態では、バッフル構造物６０３の形状（及び方向）、サイズ（例えば、長さ）、及びスペーシングに応じて、視界が狭くされる。例えば、バッフル６０３は、ディスプレイ６００の前面６０６に垂直な面６１０から測定して約２０度より大きくない視界又は４０度より大きくない視界を与えるためのサイズ、形状、及びスペーシングを有することができる。視界は、それゆえ、垂線から測定して２０度、２５度、３０度、３５度及び４０度の間であり得る。１つの具体例の実施形態では、バッフル６０３は、約３０度の視界を有するディスプレイ６００を提供する。本明細書中で使用されるように、用語バッフルは、図１２Ａ及び図１２Ｂに図示された構造物６０３を含むが、限定されない。
【００５９】
バッフル構造物６０３は、図１２Ｃ及び図１２Ｄに図示された実施形態にしたがって形成されることができる。例えば、複数の実質的に垂直に向きを揃えて配列された柱状フィーチャ６１２は、柱状の形状をした透過性物質の外側表面６１２ａ上に不透明物質のコーティングを有する柱状の形状の透過性物質を備えることができる。柱状フィーチャ６１２は、一緒に束ねられそして向きを揃えて配列されることができる。垂直に向きを揃えて配列された柱状フィーチャ６１２の間のスペースは、ポリカーボネート、ポリエチレン・テレフタレート（ＰＥＴ）、アクリル、又はポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）のような透過性物質で埋められることができ、それらはこれらの垂直に向きを揃えて配列された柱状フィーチャ６１２の母材６１３を形成する。その中に配置された柱状フィーチャ６１２を有する母材６１３は、線Ａ−Ａを横切って垂直に切断されることができて、薄いフィルムを生成する。外部フィルム６０５を形成するための切断面の上面図が図１２Ｄに図示される。この実施形態では、柱状フィーチャ６１２の不透明な外側表面６１２ａは、実質的に垂直でない方向に外部フィルム６０５を出る光を実質的に遮る。
【００６０】
バッフル構造物６０３は、同様に、図１２Ｅ及び図１２Ｆを参照して説明されるような別の実施形態にしたがって作られることができる。図１２Ｅでは、複数の積み重ねられた層を有する多層構造物６１８が作られる。多層構造物６１８は、交互の実質的に透過性物質６１５の層と実質的に不透明物質の層６１４とを有する。この多層構造物６１８を製作するために、わずかに拡散物質を備えることができる光学的透過性層６１５が形成され、実質的に不透明物質を備える不透明層６１４がその上に形成される。多層構造物６１８は、それから線Ａ−Ａを横切って垂直に切断されることができる。外部フィルム６０５を形成するための切断面の上面図が図１２Ｆに図示される。実質的に不透明な層６１４は、実質的に垂直でない方向に外部フィルム６０５を出る光を実質的に遮るバッフル６０３を形成する。
【００６１】
図１２Ｇに図示されたように、外部フィルム６０５は、水平な不透明層６１６及び垂直な不透明層６１７を備える２次元の格子を備える。この２次元の格子は、多層構造物６１８（図１２Ｅ）から切断された１対の切片を使用して製作されることができ、図１２Ｆに図示されたように１つの切片が他の前に置かれる。切片のうちの１つは、別の外部フィルム構造物６０５に相対的に実質的に垂直に向けられる。別の並べ方及び構成も、同様に可能である。
【００６２】
ある実施形態では、図１２Ｃから図１２Ｇに示されたバッフル構造物６０３は、反射性物質を備えることができる。例えば、図１２Ｈを参照して、空間光変調器１０５に最も近いバッフル構造物６０３の一部が実質的に反射性である場合、バッフルの反射性部分６２５上に入射される空間光変調器１０５で反射された光６２０は、外部フィルム構造物６０５を通過しないが、空間光変調器１０５に反射して戻されるはずである。あるいは、バッフル構造物６０３の外側表面６０３ａ及び６０３ｂは、実質的に反射性物質で形成されることができ、例えば、バッフル構造物６０３上の実質的に反射性物質のフラッシュ・コーティングである。この実施形態では、バッフル構造物６０３の底部分は、同様に、実質的に反射性物質を用いてフラッシュ・コートされることができる。
【００６３】
ある複数の実施形態では、光干渉変調器は、ユーザ入力デバイスを組み込むことができ、しかも、それは光干渉変調器で反射される光の特性を変えることができる。例えば、図１３Ａのディスプレイ７００は、空間光変調器１０５の外側表面に接続されているタッチスクリーン７０５を含む。タッチスクリーン７０５は、ユーザからタッチ信号を受けるために構成された外側タッチ表面７３０を有する外側タッチスクリーン部分７１５、及びディスプレイ１０５に取り付けられている内側タッチスクリーン部分７２０を含む。タッチスクリーン内側部分７２０及びタッチスクリーン外側部分７１５は、スペース７１０によって分離され、そしてスペーサ７１７によって離されて保持されている。ユーザ入力に関して、タッチスクリーン７０５は、本技術において周知の方法で操作できる、例えば、ユーザは外側タッチスクリーン部分７１５上のタッチ表面７３０に圧力を加える、それは、タッチスクリーン内側部分７２０と接触させて、そしてアクティブされた時に信号を送るために構成されている回路をアクティブにする。ユーザ入力機能を提供することに加えて、タッチスクリーン７０５は、タッチスクリーン内側部分７２０内に光拡散性物質７３１を及び／又はタッチスクリーン外側部分７１５内に光拡散性物質７２５をともなって構成されることができる。
【００６４】
図１３Ｂは、拡散性物質を有するタッチスクリーン外側部分７１５及び／又はタッチスクリーン内側部分７２０の１実施形態の側面図である。この実施形態では、拡散性物質は、上層７５０ａと下層７５０ｂとの間の拡散性接着剤７５１である。拡散性接着剤７５１は、散乱光の散乱中心として作用するフィラー粒子７５１ａを混合した接着剤であり得る。光を屈折させる、反射させる、又は散乱させる任意の好適な物質が、フィラー粒子７５１ａとして使用されることができる。例えば、フィラー粒子７５１ａは、次のポリマ：ポリスチレン・シリカ、ポリメチル−メタクリレート（ＰＭＭＡ）、及び中空のポリマ粒子、のような物質で作られることができるが、これらに限定されない。１つの代わりの実施形態では、拡散性接着剤７５１は、光を屈折させる気泡を有するように構成される。他の実施形態では、不透明非反射性粒子が使用されることができる。上層７５０ａ及び／又は下層７５０ｂは、ポリカーボネート、アクリル、及びポリエチレン・テレフタレート（ＰＥＴ）のような物質、同様に他の物質を備えることができる。図１３Ｃは、拡散性物質を備えているタッチスクリーン外側部分７１５及び／又はタッチスクリーン内側部分７２０の別の１つの実施形態であり、そこでは拡散性物質７５２は、タッチスクリーンの上側及び／又は下側部分７１５，７２０を形成する層７５０中に組み込まれる。図１３Ｄは、拡散性物質７５３がタッチスクリーン７０５と空間光変調器１０５との間にある１つの実施形態である。例えば、図１３Ｄでは、拡散性物質７５３は、空間光変調器１０５の外側表面７５４の上面上にコートされる。この実施形態では、拡散性物質７５３は、ディスプレイ１０５の外側表面７５４上にパターニングされることができ、そこでは拡散性物質７５３は、空間光変調器１０５の外側表面７５４とタッチスクリーン７０５との間にある。ある複数の実施形態では、拡散性物質７５３は、例えば、空間光変調器１０５のガラス外側表面上にスピンされることができる。ある種の実施形態では、拡散性物質は、紫外線エポキシ又は熱硬化性エポキシと混合された散乱フィーチャを備えることができる。エポキシが使用される場合に、拡散性物質７５３は、エポキシと混合されたフィラー粒子であることができ、そこではフィラー粒子は、光を散乱させるための散乱中心として作用する。別の構成も、同様に可能である。
【００６５】
図１４Ａは、空間光変調器１０５に取り付けられた内側部分７２０を有するタッチスクリーン７０５を含むディスプレイ８００の１つの実施形態を示し、それは基板、及びユーザ入力を受けるためのタッチスクリーン表面７３０を有する外側部分７１５を含む。スペーサ７１７は、内側部分７２０と外側部分７１５との間のギャップ７１０内に配置される。ディスプレイ８００は、しかも、タッチスクリーン７０５、例えば、内側部分７２０、外側部分７１５、又は両方に光７１９を与えるために構成された光源７４０を含む。１つの実施形態では、タッチスクリーン７０５は、光７１９の向きを変える光学的構造物を含むことができ、その結果、光は、空間光変調器１０５上に入射される。ある複数の実施形態では、光学的構造物は、タッチスクリーン７０５の内側に傾斜させた（inclined）又は斜めの（slanted）面を備える。ある複数の実施形態では、内部全反射（ＴＩＲ：total internal reflection）素子が使用されることができる。同様に、ある種の実施形態では、光学素子は、光を散乱させる粒子を備え、その結果、散乱された光の一部は、空間光変調器１０５上に入射する。ある複数の実施形態では、タッチスクリーン７０５の内側部分７２０内の物質７４５及び／又は外側部分７１５内の物質７３５は、燐光物質を含むことができる。この燐光物質は、光源７４０からの光７１９によりアクティブにされた時に光を放出し、タッチスクリーン７０５及び空間光変調器１０５に直接的に光を与え、その光はその後、タッチスクリーン７０５に反射して戻されることができる。
【００６６】
図１４Ｂ１及び図１４Ｂ２に図示された別の実施形態では、タッチスクリーン７０５を有するディスプレイ８００は、同様に、起伏を付けられた光ガイドを含むことができる。例えば、図１４Ｂ１では、タッチスクリーン７０５の内側部分７２０は、起伏を付けられた、例えば、溝を付けられた表面７６５を有するプレート又は層７６０ａを備えることができる。この起伏を付けられた表面７６５は、複数の斜めの部分を含むことができる。この表面７６５は、例えば、のこぎり歯形状を有することができる。透過性物質７６０ｂは、そこで表面７６５の起伏又は溝内に置かれることができ、プレート／層７６０ａの上方に実質的に平坦な表面７６０ｃを形成する。光源７４０は、プレート又は層７６０ａへと光７１９を向ける、そこでは、光７１９が光学的に導かれる。プレート７６０ａ内を伝播している光は、表面７６５の傾斜した部分で反射し、そして空間光変調器１０５に向けて進む。光をガイドするプレート又は層７６０ａ、若しくはいずれかの別の好適な光ガイドを使用している実施形態では、ディフューザ物質は、プレート７６０ａの上方又は下方のディスプレイ８００内に組み込まれることができる。例えば、拡散性物質は、タッチスクリーン７０５の外側部分７１５の内部に又は空間光変調器１０５の外側表面７５４上にあり得る。
【００６７】
図１４Ｂ２に図示された１つの代わりの実施形態では、プレート又は層７６０ａは、タッチスクリーン７０５と空間光変調器１０５との間に置かれることができる。この実施形態では、透過性物質７６０ｂ（図１４Ｂ１）は、プレート７６０ａの表面７６５上に置かれない。むしろ、空気又は真空が、プレート／層７６０ａとタッチスクリーン７０５との間のキャビティ７６０ｃを占有する。
【００６８】
図１４Ｃに図示された別の１つの実施形態では、光源７４０に関する光７１９は、タッチスクリーン７０５の端部の中に向けられることができ、そしてタッチスクリーン７０５の少なくとも一部を通って導かれることができる、そしてタッチスクリーン７０５は、この光を空間光変調器１０５に向けて向きを変えるフィーチャを備えることができる。例えば、図１４Ｃでは、タッチスクリーン７０５の内側部分７２０は、空間光変調器１０５に向けて光を散乱させる粒子７７０を組み込むことができる。図１４Ｄにより図示されたように、内側部分７２０は、上層７５０ａと下層７５０ｂとの間に接着剤中に混合された粒子７７０を用いて多層にされることができる。上層７５０ａ及び／又は下層７５０ｂは、ポリカーボネート、アクリル、及びポリエチレン・テレフタレート（ＰＥＴ）のような物質、又は他の物質を備えることができる。図１４Ｅに図示されたような別の実施形態では、散乱フィーチャ又は散乱粒子７７０は、空間光変調器１０５の外側表面７５４の一番上にコートされることができる。これらの散乱フィーチャ又は散乱粒子７７０は、光干渉変調器の可動反射体に向けて光の向きを変えることができる：例えば、米国特許出願番号第１０／７９４，８２５号、２００４年３月５日出願、そして名称“統合された変調器照明（Integrated Modulator Illumination）”を参照のこと、これは引用により本明細書中に取り込まれている。この実施形態では、散乱フィーチャ又は散乱粒子７７０は、ディスプレイ１０５の外側表面７５４上にパターニングされることができる、そこでは、散乱フィーチャ７７０は、空間光変調器１０５の外側表面７５４とタッチスクリーン７０５との間にある。ある種の実施形態では、散乱フィーチャ７７０は、空間光変調器１０５のガラス表面上にスピンされることができる。ある複数の実施形態では、散乱フィーチャは、紫外線エポキシ又は熱硬化性エポキシと混合される。エポキシが使用される場合に、散乱フィーチャ７７０は、エポキシと混合された粒子を備えることができ、そこでは粒子は、散乱中心として働き、光干渉変調器の鏡面にされた表面に向けて光の向きを変える。
【００６９】
図１５Ａは、複数のアクティブな反射体領域の間のインアクティブな領域上に入射する光を使用するディスプレイ１１００の１つの実施形態の代表例である。本明細書中で使用されるように、用語インアクティブ領域は、光干渉変調器の複数の反射領域（例えば、鏡）の間のスペースを含むが、これに限定されない。本明細書中で使用されるように、アクティブ領域は、例えば、光干渉変調器の反射領域（例えば、鏡）、それは光学的キャビティを形成する、を含むが、これに限定されない。
【００７０】
図１５Ａを参照して、ディスプレイ１１００は、空間光変調器１０５の外側表面に接続されたフィルム１１０５を含む。赤１１２１、緑１１２２、及び青１１２３のアクティブ反射体領域は、空間光変調器１０５の底面上に示され、そしてディスプレイ１１００の多数のアクティブ反射体領域（例えば、共鳴光学キャビティ）を表す。第１のスペース１１１０は、赤色アクティブ反射体領域１１２１を緑色アクティブ反射体領域１１２２から分離し、緑色アクティブ反射体領域１１２２は第２のスペース１１１１によって青色アクティブ反射体領域から分離される。スペース１１１０及び１１１１は、約２から１０μｍの間の幅であることができ、そして互いに約１２５から２５４μｍだけ離れて間を空けられる。同様に、光の向きを変えるフィルム１１０５中のスペース１１１０及び１１１１内の光学的フィーチャは、約２から１０μｍの幅であることができ、そして互いに約１２５から２５４μｍだけ離れて間を空けられる。これらの範囲外の大きさも可能である。
【００７１】
一般に、フィルム１１０５を用いないと、第１のスペース１１１０又は第２のスペース１１１１の領域上に入射する光は、アクティブ反射体領域１１２１，１１２２，１１２３のうちの１つに届かないことがある。光干渉変調器１１００の反射率を増加させるために、複数のアクティブ反射体領域の間のインアクティブ領域（例えば、第１のスペース１１１０及び第２のスペース１１１１）上に入射する光は、アクティブ反射体領域１１２１，１１２２，１１２３のうちの１つに向きを変えられることができる。インアクティブ領域及びアクティブ反射体領域の位置が既知であるので、外部フィルム１１０５は、インアクティブ領域１１１０及び１１１１内のフィルム１１０５上に入射する光１１１５を矢印１１２０により示されるように、アクティブ反射体領域１１２１，１１２２，１１２３（例えば、光学的キャビティ）の中へと向きを変えて戻すように構成されることができる。ある複数の実施形態では、フィルム１１０５は、光の向きを変えるための反射体を含む。ある複数の実施形態では、フィルム１１０５は、光の向きを変えるためにスペース１１１０及び１１１１の領域内にカスタマイズされた屈折率で構成される。別の実施形態では、フィルム１１０５は、スペース１１１０、１１１１の領域内に散乱性成分を含むことができ、その結果、光の少なくとも一部は、アクティブ反射体領域（例えば、光学的キャビティ）の中へと散乱されそしてその上へと達する。
【００７２】
図１５Ｂに図示された１つの代わりの実施形態では、フィルム１１０５は、反射体領域１１２１，１１２，１１２３の上方であるが空間光変調器１０５の基板の下方に置かれる。フィルム１１０５は、そのように空間光変調器１０５内にある。この実施形態では、フィルム１１０５は、矢印１１２０により示されたように、アクティブ領域上を照射するが通常はインアクティブ領域に進むはずである光１１１５をアクティブ反射体領域１１２１，１１２２，１１２３に向きを変えるために構成される。
【００７３】
図１６Ａから図１６Ｈを参照して、外部フィルムの種々の実施形態が図示される。図１６Ａでは、外部フィルム１２０５は、光を散乱する散乱領域１２１２を有する。図１６Ａに図示されたように、光を散乱するこれらの散乱領域１２１２は、光を散乱しない領域１２１７で挟まれることができる。散乱領域１２１２は、例えば、反射又は屈折によって光を散乱できる。図１６Ｂを参照して、外部フィルム１２０５は、より低い屈折率の物質を備えた母材又はフィルム内部により高い屈折率の領域を有する。この実施形態は、ＴＩＲを使用して光の向きを変える。例えば、高屈折率を有する外部フィルム１２０５の区域が光干渉変調器のアクティブ領域を覆って置かれ、そして低屈折率を有する外部フィルム１２０５の区域が光干渉変調器のインアクティブ領域を覆って置かれる場合に、通常はインアクティブ領域に通過するはずの外部フィルム１２０５の低屈折領域上に入射する光のあるものは、光干渉変調器のアクティブ領域に向きを変えられる。図１６Ｃを参照して、外部フィルム１２０５は、外部フィルムの１つの表面上に凹んだ領域１２１３を有することができ、それは凹レンズとして作用する。図１６Ｄを参照して、外部フィルム１２０５は、領域１２１４内にフレネル・レンズを有することができる。別の実施形態では、ホログラフ光学素子又は回折光学素子が、領域１２１４のところに配置される。これらの光学素子は、光を散乱させる又は回折させることができ、そして例えば、負の能率を有するレンズとして動作し、レンズ上に入射する光をアクティブ領域に向けて向きを変える。図１６Ｅを参照して、外部フィルム１２０５は、反対に傾斜した表面１２１５有することができ、異なるアクティブ領域に向けて反対の方向に光を屈折させる。図１６Ｆは、同じ方向に光を屈折させるために同じように向きを定められた表面１２１５を有する外部フィルム１２０５を示す。図１６Ｇを参照して、外部フィルム１２０５は、１又はそれより多くの反射する傾斜した表面１２１６を有することができ、それはアクティブ領域に向けて光を反射する。多くの他の構成が可能であり、それは同様に、外部フィルム１２０５のところで光を所望の方向に向きを変えることを実現する。
【００７４】
ここで図１７を参照して、光干渉変調器１２００は、空間光変調器１０５の外側表面に接続された外部フィルム１２０５を含むことができ、そこではフィルム１２０５は、広い範囲の角度で入射する光を集光するため、そして光変調素子上へとより狭い範囲の角度に光を向ける。図１７では、外部フィルム１２０５は、様々な角度で入射光１２０６，１２０７を受けそして実質的に光を平行にするため（矢印１２０８，１２０９により表される）、そしてアクティブな反射体１２１１の方に光を向けるために構成される。ある複数の実施形態では、図１７に示されたもののように、外部フィルム１２０５は、実質的に光を平行にするコリメーティング素子１２１８を含む。ある複数の実施形態では、外部フィルム１２０５は、複数の非結像光学素子、例えば、複合パラボラ集束器、１２１８を含む。非結像光学素子、例えば、複合パラボラ集束器１２１８は、ある範囲の角度で外部フィルム１２０５上に入射される光１２０６及び１２０７の少なくともあるものを平行にする。光１２０８及び１２０９の一部は、その後、さらに垂直な角度で複合パラボラ集束器１２１８を出て、そしてアクティブ反射体１２１１の方に向けられる。その光１２０８及び１２０９のあるものは、その後、アクティブ反射体１２１１により反射され、そして限られた範囲の角度でディスプレイ１２００から外に出る光１２１０ａ及び１２１０ｂとしてディスプレイ１２００を出射する。したがって、フィルム１２０５は、限られた視界を有する。ある複数の実施形態では、光１２１０ａ及び１２１０ｂの少なくともあるものは、外部フィルム１２０５の前表面に垂直な面６１０から約７０°よりも大きくない角度の円錐形でディスプレイ１２００を出射する。ある複数の実施形態では、円錐の角度は、外部フィルム１２０５の前表面に垂直な面６１０から約６５°、６０°、５５°、５０°、４５°、４０°、３５°、３０°、２５°、又は２０°よりも大きくない角度である。コリメーティング素子１２０５は、デバイス１２００の視界を実効的に制限する、その理由は、光が、一般的に入射角よりも実質的に大きな角度でディスプレイ１２００から外に出ないためである。したがって、外部フィルムの視界は、垂線から測定されたとして約７０°、６５°、６０°、５５°、５０°、４５°、４０°、３５°、３０°、２５°、又は２０°若しくはそれより小さいことがある。これらの角度は、半分の角度である。これらの範囲の外側の別の値も、同様に可能である。
【００７５】
図１８Ａから図１８Ｃは、空間光変調器１０５の前方に配置された光学フィルム１３０５を含むディスプレイ１３００の別の１つの実施形態を図示する。光学フィルム１３０５は、広い範囲の各度で入射する光を受け、そして光変調素子上へとより狭い範囲の角度に光を向けるために構成される。光学フィルム１３０５は、しかも光を拡散させる。ある種の実施形態では、光学フィルム１３０５は、光を拡散させるために構成され、その結果ディフューザ素子上に入射する光が入射光よりもさらに平行にされて光変調素子へ向けられる。
【００７６】
１つの実施形態では、光学フィルム１３０５は、ホログラフ・ディフューザを備える。ホログラフ・ディフューザは、光を操作するために、例えば、狭い範囲の角度にわたり強められた強度分布を生成するために、配列された回折性フィーチャを備える。別の１つの実施形態では、光学フィルム１３０５は、複数の非結像性光学素子、例えば、上記されたような複数の複合パラボラ集束器及び光学フィルム１３０５の上側表面１３４０上の拡散性物質の薄い層、を含む。別の１つの実施形態では、光学フィルム１３０５は、外側表面１３４０上に拡散性物質のフィルムを有する別のコリメーティング素子を含む。
【００７７】
図１８Ａを参照して、フィルム１３０５は、入射光１３１０を受けるために構成される。図１８Ｂを参照して、フィルムは、しかも入射光１３１０の向きを実質的に変えるために構成され（実質的に向きを変えられた光は矢印１３１５によって表示される）、それはアクティブな反射体の表面に垂直に向けて、空間光変調器１０５内部のアクティブな反射体に向けられる。＋／−７５°の範囲にわたる入射光に関して、向きを変えられた光は、＋／−３５°の範囲になることができ、そこでは、角度は、垂線から測定される。この実施形態では、向きを変えられた光は、実質的に平行にされる。ある複数の実施形態では、反射体は、空間光変調器１０５の底部のところであり得る。図１８Ｃを参照して、アクティブな反射体で反射された光１３２５は、フィルム１３０５の下側表面１３３０に入る。フィルム１３０５は、その下側表面１３３０のところで反射された鏡面反射光を受けるように構成され、そして拡散光としてフィルム１３０５から放出される前に拡散される。ある複数の実施形態では、光は、フィルム１３０５を伝播して通るにつれて拡散される。他の実施形態では、光は、フィルム１３０５の上側表面１３４０（又は下側表面１３３０）のところで拡散される。別の構成又は上記の範囲外の値も、同様に可能である。
【００７８】
これまでの説明は、本発明のある実施形態を詳細に説明する。しかしながら、上記の詳細が文章中にどのように記載されたとしても、本発明は、多くの方法で実行されることができることが、理解される。同様に上記されたように、本発明のある種の特徴または態様を記載する時に特定の用語の使用が、その用語が関係付けられる本発明の特徴又は態様のいずれかの具体的な特性を含むことで限定されるように本明細書中で再定義されることを意味するように取られるべきないことに、注意すべきである。
【符号の説明】
【００７９】
１２…干渉変調器，１４…可動反射層（可動鏡），１６…光学積層構造（固定鏡），１８…支柱，１９…キャビティ，２０…基板，３０…ディスプレイ・アレイ（ディスプレイ），４０…ディスプレイ・デバイス，４１…ハウジング，４３…アンテナ，４４…スピーカ，４６…マイクロフォン，４８…入力デバイス，３２…連結部，３４…変形可能層，４２…支持ポスト・プラグ，４４’…バス構造，１０５…空間光変調器，１１０，３０５，４０５…外部フィルム，１２０…基板，１２５…誘電体層，１５０…赤反射体、１６０…緑反射体，１７０…青反射体，１３０，１３５，１４０…反射体，５０５…全面プレート，５３０…外部フィルム，５１５…光源，６０３…構造物（バッフル），６０５…外部フィルム，６１２…柱状フィーチャ，６１３…母材，６１４…不透明物質層，６１５…透過性物質，７０５…タッチスクリーン，７１０…空隙，７１７…スペーサ，７１５…タッチスクリーン外側部分，７２０…タッチスクリーン内側部分，７５１…拡散性接着剤，７５１ａ…フィラー粒子，７４０…光源，７７０…散乱粒子，１１００…ディスプレイ，１１０５…フィルム，１１１０，１１１１…スペース，１１２１，１１２２，１１２３…アクティブ反射体領域，１２０５…外部フィルム，１２１２…光散乱領域，１２１７…光を散乱しない領域，１２１３…凹んだ領域，１２１４…フレネル・レンズ領域，１２１８…コリメーティング素子，１２１１…反射体，１３０５…光学フィルム。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の光学表面及び第２の光学表面を含んでいる複数の光変調素子、ここにおいて、該第２の光学表面は該第１の光学表面に対して移動可能である；及び
該ディスプレイの視界を制限するために構成された複数の素子、
を具備することを特徴とするディスプレイ。
【請求項２】
該ディスプレイの視界を制限するために構成された該複数の素子は、複数のバッフルを備えることを特徴とする請求項１のディスプレイ。
【請求項３】
該複数のバッフルは、該複数の光変調素子を覆って形成された光学層中に組み込まれることを特徴とする請求項２のディスプレイ。
【請求項４】
光を変調する該複数の光変調素子は、水平面内に配置されたアレイを形成する、そして該複数のバッフルは、垂直面に平行である実質的に平らな表面を備えることを特徴とする請求項２のディスプレイ。
【請求項５】
該複数のバッフルは、個々のバッフル間にスペーシングを備える、ここにおいて、前記スペーシングは該ディスプレイの前表面に垂直な面から約４０度よりも大きくない視野角を与える大きさを有する、ここにおいて、該角度は、該垂直面に対して半分の角度として測定されることを特徴とする請求項２のディスプレイ。
【請求項６】
該複数のバッフルは、個々のバッフル間にスペーシングを備える、ここにおいて、前記スペーシングは該ディスプレイの前表面に垂直な面から約２０度よりも大きくない視野角を与える大きさを有する、ここにおいて、該角度は、該垂直面に対して半分の角度として測定されることを特徴とする請求項２のディスプレイ。
【請求項７】
該バッフルは、実質的に不透明であることを特徴とする請求項２のディスプレイ。
【請求項８】
該バッフルは、実質的に平面の不透明な表面を備えることを特徴とする請求項７のディスプレイ。
【請求項９】
該バッフルは、吸収性物質を備えることを特徴とする請求項２のディスプレイ。
【請求項１０】
該バッフルは、反射性物質を備えることを特徴とする請求項２のディスプレイ。
【請求項１１】
該ディスプレイの視界を制限するために構成された該複数の素子は、広い範囲の角度で入射する光を集めるため、そして該光変調素子上へとより狭い範囲の角度に光を向けるために成形された曲がった反射表面を備える光集束器のアレイを備えることを特徴とする請求項１のディスプレイ。
【請求項１２】
該複数の素子は、該ディスプレイの前表面に垂直な面から約７０度よりも大きくない角度に該ディスプレイの視界を制限する、ここにおいて、該角度は、該垂直面に対して半分の角度として測定されることを特徴とする請求項１１のディスプレイ。
【請求項１３】
該複数の素子は、該ディスプレイの前表面に垂直な面から約２０度よりも大きくない角度に該ディスプレイの視界を制限する、ここにおいて、該角度は、該垂直面に対して半分の角度として測定されることを特徴とする請求項１１のディスプレイ。
【請求項１４】
前記光集束器は、非結像光学素子を備えることを特徴とする請求項１１のディスプレイ。
【請求項１５】
前記非結像光学素子は、複合パラボラ集束器を備えることを特徴とする請求項１４のディスプレイ。
【請求項１６】
前記反射表面は、該光集束器を通り抜ける中心光軸に関して対称であることを特徴とする請求項１１のディスプレイ。
【請求項１７】
前記光集束器は、該光集束器を通り抜ける中心光軸に関して円対称であることを特徴とする請求項１１のディスプレイ。
【請求項１８】
前記曲がった反射表面は、前記光集束器のための入力アパーチャ及び出力アパーチャを規定する、ここにおいて、前記出力アパーチャは前記入力アパーチャよりも大きいことを特徴とする請求項１１のディスプレイ。
【請求項１９】
前記曲がった反射表面は、光を実質的に平行にするように成形されることを特徴とする請求項１１のディスプレイ。
【請求項２０】
該複数の光変調素子と電気的に通信するプロセッサ、ここにおいて、前記プロセッサは画像データを処理するために構成される；及び
前記プロセッサと電気的に通信するメモリ・デバイス、
をさらに具備することを特徴とする請求項１のディスプレイ。
【請求項２１】
該複数の光変調素子に少なくとも１つの信号を送るために構成されたドライバ回路をさらに具備することを特徴とする請求項２０のディスプレイ・システム。
【請求項２２】
前記ドライバ回路に前記画像データの少なくとも一部を送るために構成されたコントローラをさらに具備することを特徴とする請求項２１のディスプレイ・システム。
【請求項２３】
前記プロセッサに前記画像データを送るために構成された画像ソース・モジュールをさらに具備することを特徴とする請求項２０に記載のディスプレイ・システム。
【請求項２４】
前記画像ソース・モジュールは、受信機、トランシーバ、及び送信機のうちの少なくとも１つを備えることを特徴とする請求項２３に記載のディスプレイ・システム。
【請求項２５】
入力データを受け取るため、そして前記プロセッサに前記入力データを通信するために構成された入力デバイスをさらに具備することを特徴とする請求項２０に記載のディスプレイ・システム。
【請求項２６】
第１の光学表面及び第２の光学表面を含んでいる複数の光変調素子、ここにおいて、該第２の光学表面は該第１の光学表面に対して移動可能である；及び
当該ディフューザ素子上に入射する光が該入射光よりもさらに平行にされて該光変調素子に向けられるように光を拡散させるために構成された該複数の光変調素子の前方のディフューザ素子、
を具備することを特徴とするディスプレイ。
【請求項２７】
該ディフューザ素子は、該ディフューザ素子上に入射する光が該入射光よりもさらに平行にされて該光変調素子に向けられるように配列された複数の散乱フィーチャを備えることを特徴とする請求項２６のディスプレイ。
【請求項２８】
該ディフューザ素子は、回折光学素子を備えることを特徴とする請求項２６のディスプレイ。
【請求項２９】
該ディフューザ素子は、ホログラフ光学素子を備えることを特徴とする請求項２８のディスプレイ。
【請求項３０】
該ディフューザ素子は、多層フィルムを備えることを特徴とする請求項２６のディスプレイ。
【請求項３１】
該多層フィルムは、
該ディフューザ素子上に入射する光を実質的に平行にするために構成された第１の層；及び
該光変調素子で反射された光を拡散させるために構成された拡散性物質を備える第２の層、
を備えることを特徴とする請求項３０のディスプレイ。
【請求項３２】
該複数の光変調素子と電気的に通信するプロセッサ、ここにおいて、前記プロセッサは画像データを処理するために構成される；及び
前記プロセッサと電気的に通信するメモリ・デバイス、
をさらに具備することを特徴とする請求項２６のディスプレイ。
【請求項３３】
該複数の光変調素子に少なくとも１つの信号を送るために構成されたドライバ回路をさらに具備することを特徴とする請求項３２に記載のディスプレイ・システム。
【請求項３４】
前記ドライバ回路に前記画像データの少なくとも一部を送るために構成されたコントローラをさらに具備することを特徴とする請求項３３に記載のディスプレイ・システム。
【請求項３５】
前記プロセッサに前記画像データを送るために構成された画像ソース・モジュールをさらに具備することを特徴とする請求項３２に記載のディスプレイ・システム。
【請求項３６】
前記画像ソース・モジュールは、受信機、トランシーバ、及び送信機のうちの少なくとも１つを備えることを特徴とする請求項３５に記載のディスプレイ・システム。
【請求項３７】
入力データを受け取るため、そして前記プロセッサに前記入力データを通信するために構成された入力デバイスをさらに具備することを特徴とする請求項３２に記載のディスプレイ・システム。
【請求項３８】
ディスプレイを製作する方法であって、
第１の光学表面及び第２の光学表面を含んでいる複数の光変調素子を形成すること、ここにおいて、該第２の光学表面は該第１の光学表面に対して移動可能である；及び
該ディスプレイの視界を制限するために構成された複数の素子を形成すること、
を具備することを特徴とする方法。
【請求項３９】
該ディスプレイの視界を制限するために構成された該複数の素子は、複数のバッフルを備えることを特徴とする請求項３８の方法。
【請求項４０】
該複数のバッフルは、該複数の光変調素子を覆って形成された光学層中に組み込まれることを特徴とする請求項３９の方法。
【請求項４１】
該複数の光変調素子は、水平面内に配置された光変調アレイを形成する、そして該バッフルは、垂直面に平行に向きを揃えて並べられることを特徴とする請求項３９の方法。
【請求項４２】
該複数のバッフルは、個々のバッフル間にスペーシングを備える、ここにおいて、前記スペーシングは該ディスプレイの前表面に垂直な面から約４０度よりも大きくない視野角を与える大きさを有する、ここにおいて、該角度は、該垂直面に対して半分の角度として測定されることを特徴とする請求項３９の方法。
【請求項４３】
該バッフルは、実質的に不透明であることを特徴とする請求項３９の方法。
【請求項４４】
該バッフルは、実質的に平面の不透明な表面を備えることを特徴とする請求項４３の方法。
【請求項４５】
該バッフルは、吸収性物質を備えることを特徴とする請求項３９の方法。
【請求項４６】
該バッフルは、反射性物質を備えることを特徴とする請求項３９の方法。
【請求項４７】
該ディスプレイの視界を制限するために構成された該複数の素子は、広い範囲の角度で入射する光を集めるため、そして該光変調素子上へとより狭い範囲の角度に光を向けるように成形された曲がった反射表面を備える光集束器のアレイを備えることを特徴とする請求項３８の方法。
【請求項４８】
前記光集束器は、非結像光学素子を備えることを特徴とする請求項４７の方法。
【請求項４９】
前記非結像光学素子は、複合パラボラ集束器を備えることを特徴とする請求項４８の方法。
【請求項５０】
前記反射表面は、該光集束器を通り抜ける中心光軸に関して対称であることを特徴とする請求項４７の方法。
【請求項５１】
前記光集束器は、該光集束器を通り抜ける中心光軸に関して円対称であることを特徴とする請求項４７の方法。
【請求項５２】
前記曲がった反射表面は、前記光集束器のための入力アパーチャ及び出力アパーチャを規定する、ここにおいて、前記出力アパーチャは前記入力アパーチャよりも大きいことを特徴とする請求項４７の方法。
【請求項５３】
前記曲がった反射表面は、光を実質的に平行にするように成形されることを特徴とする請求項４７の方法。
【請求項５４】
請求項３８ないし５３のいずれかの方法によって形成されたディスプレイ。
【請求項５５】
ディスプレイを製作する方法であって、
第１の光学表面及び第２の光学表面を含んでいる複数の光変調素子を形成すること、
ここにおいて、該第２の光学表面は該第１の光学表面に対して移動可能である；及び
広い範囲の角度で入射する光を受けるため、そして該光変調素子上へとより狭い範囲の角度に光を向けるために構成された該複数の光変調素子の前方のディフューザ素子を形成すること、
を具備することを特徴とする方法。
【請求項５６】
該ディフューザ素子は、広い範囲の角度で該ディフューザ素子上に入射する該光が該光変調素子上へとより狭い範囲の角度へと向けられるように配置された複数の散乱フィーチャを備えることを特徴とする請求項５５の方法。
【請求項５７】
該ディフューザ素子は、回折光学素子を備えることを特徴とする請求項５５の方法。
【請求項５８】
該ディフューザ素子は、ホログラフ光学素子を備えることを特徴とする請求項５７の方法。
【請求項５９】
該ディフューザ素子は、多層フィルムを備えることを特徴とする請求項５５の方法。
【請求項６０】
該多層フィルムは、
実質的に広い範囲の角度で入射する光を受けるため、そして該光変調素子上へとより狭い範囲の角度に該光を向けるために構成された第１の層；及び
該光変調素子で反射された光を拡散させるために構成された拡散性物質を備える第２の層、
を備えることを特徴とする請求項５９の方法。
【請求項６１】
請求項５５ないし６０のいずれかの方法によって形成されたディスプレイ。
【請求項６２】
光を操作するための第１の光学手段及び第２の光学手段を備える光を変調するための手段、ここにおいて、前記第２の光学手段は前記第１の光学手段に対して移動可能である；
及び
該光変調手段の視界を制限するための手段、
を具備することを特徴とするディスプレイ。
【請求項６３】
該光変調手段は、複数の光変調素子を備えることを特徴とする請求項６２のディスプレイ。
【請求項６４】
前記第１の光学手段及び第２の光学手段は、第１の光学表面及び第２の光学表面を備える、ここにおいて、前記第２の光学表面は該第１の光学表面に対して移動可能であることを特徴とする請求項６２又は６３のディスプレイ。
【請求項６５】
前記複数の光変調素子は、複数の光干渉変調器を備えることを特徴とする請求項６２，６３，又は６４のディスプレイ。
【請求項６６】
前記視界を制限するための手段は、バッフルを備えることを特徴とする請求項６２，６３，６４，又は６５のディスプレイ。
【請求項６７】
光を操作するための第１の光学手段及び第２の光学手段を備える光を変調するための手段、ここにおいて、該第２の光学手段は前記第１の光学手段に対して移動可能である；及び
当該拡散させる手段上に入射する光がその上に入射する該光よりもさらに平行にされて該光変調手段に向けられる該光変調手段の前方の光を拡散させるための手段、
を具備するディスプレイ。
【請求項６８】
前記光変調手段は、複数の光変調素子を備えることを特徴とする請求項６７のディスプレイ。
【請求項６９】
前記第１の光学手段及び第２の光学手段は、第１の光学表面及び第２の光学表面を備える、ここにおいて、前記第２の光学表面は該第１の光学表面に対して移動可能であることを特徴とする請求項６７又は６８のディスプレイ。
【請求項７０】
前記複数の光変調素子は、複数の光干渉変調器を備えることを特徴とする請求項６７，６８、又は６９のディスプレイ。
【請求項７１】
前記拡散する手段は、少なくとも１つのディフューザを備えることを特徴とする請求項６７，６８、６９、又は７０のディスプレイ。
【請求項１】
第１の光学表面及び第２の光学表面を含んでいる複数の光変調素子、ここにおいて、該第２の光学表面は該第１の光学表面に対して移動可能である；及び
該ディスプレイの視界を制限するために構成された複数の素子、
を具備することを特徴とするディスプレイ。
【請求項２】
該ディスプレイの視界を制限するために構成された該複数の素子は、複数のバッフルを備えることを特徴とする請求項１のディスプレイ。
【請求項３】
該複数のバッフルは、該複数の光変調素子を覆って形成された光学層中に組み込まれることを特徴とする請求項２のディスプレイ。
【請求項４】
光を変調する該複数の光変調素子は、水平面内に配置されたアレイを形成する、そして該複数のバッフルは、垂直面に平行である実質的に平らな表面を備えることを特徴とする請求項２のディスプレイ。
【請求項５】
該複数のバッフルは、個々のバッフル間にスペーシングを備える、ここにおいて、前記スペーシングは該ディスプレイの前表面に垂直な面から約４０度よりも大きくない視野角を与える大きさを有する、ここにおいて、該角度は、該垂直面に対して半分の角度として測定されることを特徴とする請求項２のディスプレイ。
【請求項６】
該複数のバッフルは、個々のバッフル間にスペーシングを備える、ここにおいて、前記スペーシングは該ディスプレイの前表面に垂直な面から約２０度よりも大きくない視野角を与える大きさを有する、ここにおいて、該角度は、該垂直面に対して半分の角度として測定されることを特徴とする請求項２のディスプレイ。
【請求項７】
該バッフルは、実質的に不透明であることを特徴とする請求項２のディスプレイ。
【請求項８】
該バッフルは、実質的に平面の不透明な表面を備えることを特徴とする請求項７のディスプレイ。
【請求項９】
該バッフルは、吸収性物質を備えることを特徴とする請求項２のディスプレイ。
【請求項１０】
該バッフルは、反射性物質を備えることを特徴とする請求項２のディスプレイ。
【請求項１１】
該ディスプレイの視界を制限するために構成された該複数の素子は、広い範囲の角度で入射する光を集めるため、そして該光変調素子上へとより狭い範囲の角度に光を向けるために成形された曲がった反射表面を備える光集束器のアレイを備えることを特徴とする請求項１のディスプレイ。
【請求項１２】
該複数の素子は、該ディスプレイの前表面に垂直な面から約７０度よりも大きくない角度に該ディスプレイの視界を制限する、ここにおいて、該角度は、該垂直面に対して半分の角度として測定されることを特徴とする請求項１１のディスプレイ。
【請求項１３】
該複数の素子は、該ディスプレイの前表面に垂直な面から約２０度よりも大きくない角度に該ディスプレイの視界を制限する、ここにおいて、該角度は、該垂直面に対して半分の角度として測定されることを特徴とする請求項１１のディスプレイ。
【請求項１４】
前記光集束器は、非結像光学素子を備えることを特徴とする請求項１１のディスプレイ。
【請求項１５】
前記非結像光学素子は、複合パラボラ集束器を備えることを特徴とする請求項１４のディスプレイ。
【請求項１６】
前記反射表面は、該光集束器を通り抜ける中心光軸に関して対称であることを特徴とする請求項１１のディスプレイ。
【請求項１７】
前記光集束器は、該光集束器を通り抜ける中心光軸に関して円対称であることを特徴とする請求項１１のディスプレイ。
【請求項１８】
前記曲がった反射表面は、前記光集束器のための入力アパーチャ及び出力アパーチャを規定する、ここにおいて、前記出力アパーチャは前記入力アパーチャよりも大きいことを特徴とする請求項１１のディスプレイ。
【請求項１９】
前記曲がった反射表面は、光を実質的に平行にするように成形されることを特徴とする請求項１１のディスプレイ。
【請求項２０】
該複数の光変調素子と電気的に通信するプロセッサ、ここにおいて、前記プロセッサは画像データを処理するために構成される；及び
前記プロセッサと電気的に通信するメモリ・デバイス、
をさらに具備することを特徴とする請求項１のディスプレイ。
【請求項２１】
該複数の光変調素子に少なくとも１つの信号を送るために構成されたドライバ回路をさらに具備することを特徴とする請求項２０のディスプレイ・システム。
【請求項２２】
前記ドライバ回路に前記画像データの少なくとも一部を送るために構成されたコントローラをさらに具備することを特徴とする請求項２１のディスプレイ・システム。
【請求項２３】
前記プロセッサに前記画像データを送るために構成された画像ソース・モジュールをさらに具備することを特徴とする請求項２０に記載のディスプレイ・システム。
【請求項２４】
前記画像ソース・モジュールは、受信機、トランシーバ、及び送信機のうちの少なくとも１つを備えることを特徴とする請求項２３に記載のディスプレイ・システム。
【請求項２５】
入力データを受け取るため、そして前記プロセッサに前記入力データを通信するために構成された入力デバイスをさらに具備することを特徴とする請求項２０に記載のディスプレイ・システム。
【請求項２６】
第１の光学表面及び第２の光学表面を含んでいる複数の光変調素子、ここにおいて、該第２の光学表面は該第１の光学表面に対して移動可能である；及び
当該ディフューザ素子上に入射する光が該入射光よりもさらに平行にされて該光変調素子に向けられるように光を拡散させるために構成された該複数の光変調素子の前方のディフューザ素子、
を具備することを特徴とするディスプレイ。
【請求項２７】
該ディフューザ素子は、該ディフューザ素子上に入射する光が該入射光よりもさらに平行にされて該光変調素子に向けられるように配列された複数の散乱フィーチャを備えることを特徴とする請求項２６のディスプレイ。
【請求項２８】
該ディフューザ素子は、回折光学素子を備えることを特徴とする請求項２６のディスプレイ。
【請求項２９】
該ディフューザ素子は、ホログラフ光学素子を備えることを特徴とする請求項２８のディスプレイ。
【請求項３０】
該ディフューザ素子は、多層フィルムを備えることを特徴とする請求項２６のディスプレイ。
【請求項３１】
該多層フィルムは、
該ディフューザ素子上に入射する光を実質的に平行にするために構成された第１の層；及び
該光変調素子で反射された光を拡散させるために構成された拡散性物質を備える第２の層、
を備えることを特徴とする請求項３０のディスプレイ。
【請求項３２】
該複数の光変調素子と電気的に通信するプロセッサ、ここにおいて、前記プロセッサは画像データを処理するために構成される；及び
前記プロセッサと電気的に通信するメモリ・デバイス、
をさらに具備することを特徴とする請求項２６のディスプレイ。
【請求項３３】
該複数の光変調素子に少なくとも１つの信号を送るために構成されたドライバ回路をさらに具備することを特徴とする請求項３２に記載のディスプレイ・システム。
【請求項３４】
前記ドライバ回路に前記画像データの少なくとも一部を送るために構成されたコントローラをさらに具備することを特徴とする請求項３３に記載のディスプレイ・システム。
【請求項３５】
前記プロセッサに前記画像データを送るために構成された画像ソース・モジュールをさらに具備することを特徴とする請求項３２に記載のディスプレイ・システム。
【請求項３６】
前記画像ソース・モジュールは、受信機、トランシーバ、及び送信機のうちの少なくとも１つを備えることを特徴とする請求項３５に記載のディスプレイ・システム。
【請求項３７】
入力データを受け取るため、そして前記プロセッサに前記入力データを通信するために構成された入力デバイスをさらに具備することを特徴とする請求項３２に記載のディスプレイ・システム。
【請求項３８】
ディスプレイを製作する方法であって、
第１の光学表面及び第２の光学表面を含んでいる複数の光変調素子を形成すること、ここにおいて、該第２の光学表面は該第１の光学表面に対して移動可能である；及び
該ディスプレイの視界を制限するために構成された複数の素子を形成すること、
を具備することを特徴とする方法。
【請求項３９】
該ディスプレイの視界を制限するために構成された該複数の素子は、複数のバッフルを備えることを特徴とする請求項３８の方法。
【請求項４０】
該複数のバッフルは、該複数の光変調素子を覆って形成された光学層中に組み込まれることを特徴とする請求項３９の方法。
【請求項４１】
該複数の光変調素子は、水平面内に配置された光変調アレイを形成する、そして該バッフルは、垂直面に平行に向きを揃えて並べられることを特徴とする請求項３９の方法。
【請求項４２】
該複数のバッフルは、個々のバッフル間にスペーシングを備える、ここにおいて、前記スペーシングは該ディスプレイの前表面に垂直な面から約４０度よりも大きくない視野角を与える大きさを有する、ここにおいて、該角度は、該垂直面に対して半分の角度として測定されることを特徴とする請求項３９の方法。
【請求項４３】
該バッフルは、実質的に不透明であることを特徴とする請求項３９の方法。
【請求項４４】
該バッフルは、実質的に平面の不透明な表面を備えることを特徴とする請求項４３の方法。
【請求項４５】
該バッフルは、吸収性物質を備えることを特徴とする請求項３９の方法。
【請求項４６】
該バッフルは、反射性物質を備えることを特徴とする請求項３９の方法。
【請求項４７】
該ディスプレイの視界を制限するために構成された該複数の素子は、広い範囲の角度で入射する光を集めるため、そして該光変調素子上へとより狭い範囲の角度に光を向けるように成形された曲がった反射表面を備える光集束器のアレイを備えることを特徴とする請求項３８の方法。
【請求項４８】
前記光集束器は、非結像光学素子を備えることを特徴とする請求項４７の方法。
【請求項４９】
前記非結像光学素子は、複合パラボラ集束器を備えることを特徴とする請求項４８の方法。
【請求項５０】
前記反射表面は、該光集束器を通り抜ける中心光軸に関して対称であることを特徴とする請求項４７の方法。
【請求項５１】
前記光集束器は、該光集束器を通り抜ける中心光軸に関して円対称であることを特徴とする請求項４７の方法。
【請求項５２】
前記曲がった反射表面は、前記光集束器のための入力アパーチャ及び出力アパーチャを規定する、ここにおいて、前記出力アパーチャは前記入力アパーチャよりも大きいことを特徴とする請求項４７の方法。
【請求項５３】
前記曲がった反射表面は、光を実質的に平行にするように成形されることを特徴とする請求項４７の方法。
【請求項５４】
請求項３８ないし５３のいずれかの方法によって形成されたディスプレイ。
【請求項５５】
ディスプレイを製作する方法であって、
第１の光学表面及び第２の光学表面を含んでいる複数の光変調素子を形成すること、
ここにおいて、該第２の光学表面は該第１の光学表面に対して移動可能である；及び
広い範囲の角度で入射する光を受けるため、そして該光変調素子上へとより狭い範囲の角度に光を向けるために構成された該複数の光変調素子の前方のディフューザ素子を形成すること、
を具備することを特徴とする方法。
【請求項５６】
該ディフューザ素子は、広い範囲の角度で該ディフューザ素子上に入射する該光が該光変調素子上へとより狭い範囲の角度へと向けられるように配置された複数の散乱フィーチャを備えることを特徴とする請求項５５の方法。
【請求項５７】
該ディフューザ素子は、回折光学素子を備えることを特徴とする請求項５５の方法。
【請求項５８】
該ディフューザ素子は、ホログラフ光学素子を備えることを特徴とする請求項５７の方法。
【請求項５９】
該ディフューザ素子は、多層フィルムを備えることを特徴とする請求項５５の方法。
【請求項６０】
該多層フィルムは、
実質的に広い範囲の角度で入射する光を受けるため、そして該光変調素子上へとより狭い範囲の角度に該光を向けるために構成された第１の層；及び
該光変調素子で反射された光を拡散させるために構成された拡散性物質を備える第２の層、
を備えることを特徴とする請求項５９の方法。
【請求項６１】
請求項５５ないし６０のいずれかの方法によって形成されたディスプレイ。
【請求項６２】
光を操作するための第１の光学手段及び第２の光学手段を備える光を変調するための手段、ここにおいて、前記第２の光学手段は前記第１の光学手段に対して移動可能である；
及び
該光変調手段の視界を制限するための手段、
を具備することを特徴とするディスプレイ。
【請求項６３】
該光変調手段は、複数の光変調素子を備えることを特徴とする請求項６２のディスプレイ。
【請求項６４】
前記第１の光学手段及び第２の光学手段は、第１の光学表面及び第２の光学表面を備える、ここにおいて、前記第２の光学表面は該第１の光学表面に対して移動可能であることを特徴とする請求項６２又は６３のディスプレイ。
【請求項６５】
前記複数の光変調素子は、複数の光干渉変調器を備えることを特徴とする請求項６２，６３，又は６４のディスプレイ。
【請求項６６】
前記視界を制限するための手段は、バッフルを備えることを特徴とする請求項６２，６３，６４，又は６５のディスプレイ。
【請求項６７】
光を操作するための第１の光学手段及び第２の光学手段を備える光を変調するための手段、ここにおいて、該第２の光学手段は前記第１の光学手段に対して移動可能である；及び
当該拡散させる手段上に入射する光がその上に入射する該光よりもさらに平行にされて該光変調手段に向けられる該光変調手段の前方の光を拡散させるための手段、
を具備するディスプレイ。
【請求項６８】
前記光変調手段は、複数の光変調素子を備えることを特徴とする請求項６７のディスプレイ。
【請求項６９】
前記第１の光学手段及び第２の光学手段は、第１の光学表面及び第２の光学表面を備える、ここにおいて、前記第２の光学表面は該第１の光学表面に対して移動可能であることを特徴とする請求項６７又は６８のディスプレイ。
【請求項７０】
前記複数の光変調素子は、複数の光干渉変調器を備えることを特徴とする請求項６７，６８、又は６９のディスプレイ。
【請求項７１】
前記拡散する手段は、少なくとも１つのディフューザを備えることを特徴とする請求項６７，６８、６９、又は７０のディスプレイ。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５Ａ】
【図５Ｂ】
【図６Ａ】
【図６Ｂ】
【図７Ａ】
【図７Ｂ】
【図７Ｃ】
【図７Ｄ】
【図７Ｅ】
【図８Ａ】
【図８Ｂ】
【図８Ｃ】
【図９】
【図１０】
【図１１Ａ】
【図１１Ｂ】
【図１１Ｃ】
【図１２Ａ】
【図１２Ｂ】
【図１２Ｃ】
【図１２Ｄ】
【図１２Ｅ】
【図１２Ｆ】
【図１２Ｇ】
【図１２Ｈ】
【図１３Ａ】
【図１３Ｂ】
【図１３Ｃ】
【図１３Ｄ】
【図１４Ａ】
【図１４Ｂ１】
【図１４Ｂ２】
【図１４Ｃ】
【図１４Ｄ】
【図１４Ｅ】
【図１５Ａ】
【図１５Ｂ】
【図１６Ａ】
【図１６Ｂ】
【図１６Ｃ】
【図１６Ｄ】
【図１６Ｅ】
【図１６Ｆ】
【図１６Ｇ】
【図１７】
【図１８Ａ】
【図１８Ｂ】
【図１８Ｃ】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５Ａ】
【図５Ｂ】
【図６Ａ】
【図６Ｂ】
【図７Ａ】
【図７Ｂ】
【図７Ｃ】
【図７Ｄ】
【図７Ｅ】
【図８Ａ】
【図８Ｂ】
【図８Ｃ】
【図９】
【図１０】
【図１１Ａ】
【図１１Ｂ】
【図１１Ｃ】
【図１２Ａ】
【図１２Ｂ】
【図１２Ｃ】
【図１２Ｄ】
【図１２Ｅ】
【図１２Ｆ】
【図１２Ｇ】
【図１２Ｈ】
【図１３Ａ】
【図１３Ｂ】
【図１３Ｃ】
【図１３Ｄ】
【図１４Ａ】
【図１４Ｂ１】
【図１４Ｂ２】
【図１４Ｃ】
【図１４Ｄ】
【図１４Ｅ】
【図１５Ａ】
【図１５Ｂ】
【図１６Ａ】
【図１６Ｂ】
【図１６Ｃ】
【図１６Ｄ】
【図１６Ｅ】
【図１６Ｆ】
【図１６Ｇ】
【図１７】
【図１８Ａ】
【図１８Ｂ】
【図１８Ｃ】
【公開番号】特開２０１１−１３８１３８（Ｐ２０１１−１３８１３８Ａ）
【公開日】平成２３年７月１４日（２０１１．７．１４）
【国際特許分類】
【外国語出願】
【出願番号】特願２０１１−５２７９（Ｐ２０１１−５２７９）
【出願日】平成２３年１月１３日（２０１１．１．１３）
【分割の表示】特願２００７−５３３４９８（Ｐ２００７−５３３４９８）の分割
【原出願日】平成１７年９月１日（２００５．９．１）
【出願人】（５０６１０９８５６）クゥアルコム・メムス・テクノロジーズ・インコーポレイテッド (27)
【氏名又は名称原語表記】ＱＵＡＬＣＯＭＭ ＭＥＭＳ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ， Ｉｎｃ．
【住所又は居所原語表記】５７７５ Ｍｏｒｅｈｏｕｓｅ Ｄｒｉｖｅ， Ｓａｎ Ｄｉｅｇｏ， ＣＡ ９２１２１−１７１４，Ｕ．Ｓ．Ａ．
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年７月１４日（２０１１．７．１４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−５２７９（Ｐ２０１１−５２７９）
【出願日】平成２３年１月１３日（２０１１．１．１３）
【分割の表示】特願２００７−５３３４９８（Ｐ２００７−５３３４９８）の分割
【原出願日】平成１７年９月１日（２００５．９．１）
【出願人】（５０６１０９８５６）クゥアルコム・メムス・テクノロジーズ・インコーポレイテッド (27)
【氏名又は名称原語表記】ＱＵＡＬＣＯＭＭ ＭＥＭＳ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ， Ｉｎｃ．
【住所又は居所原語表記】５７７５ Ｍｏｒｅｈｏｕｓｅ Ｄｒｉｖｅ， Ｓａｎ Ｄｉｅｇｏ， ＣＡ ９２１２１−１７１４，Ｕ．Ｓ．Ａ．
【Ｆターム（参考）】
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