ＭＥＭＳは、基質材を使用しないでファイバーから作られる。装置は、ファイバーが基板のエッジに取り付けられる場所にのみ作ることが出来る（例えば、カンチレバー、ブリッジ）。動きは、弱い結合を有する複数のファイバー間の結合を調整することによって制御可能である（例えば、基礎部、先端、その中間）。駆動機構は、基礎部の加重（磁気、圧電、静電気）または先端の加重（磁気）を含む。光スキャナーを形成するために、ミラーがカンチレバーの自由端に形成される。 （もっと読む）

【課題】 加工の精度に優れ、材料を変質させることなく、無熱条件で材料を切断し、マイクロ機械部品を製造する手段を提供する。
【解決手段】 部品の固定手段（１２）と、複数の軸にしたがって前記部品に対するパルスレーザーの焦点ゾーンを移動させる過程を具備する加工プログラムを実行するための情報機器（１７）とを備えた装置によって、時間が５×１０^-13秒未満であり、レーザービーム−材料の相互作用面に対するパワーが１０¹²ワットを超えるパルスレーザー（１４）を用いたレーザー切断過程によって、マイクロ機械部品を製造する。 （もっと読む）

電解質の中に少なくとも１つの活性電極及び少なくとも１つの対向電極を有するアクチュエータであって、活性電極は少なくとも２つのウェブ（３）に直交して取り付けられたかつ優先方向に単一方向に配向された多数の幾何学的な異方性ナノ粒子（２）を有する導電性材料から成る少なくとも２つのウェブ（３）を含み、ナノ粒子とウェブとの間には導電性接続が存在し、電極及び対向電極には電圧又は電流源（１２）を介して電位差が印加可能である。本発明の課題は、アクチュエータをより高いアクチュエータ力及び振幅周波数に関して改善することである。上記課題はナノチューブが両側でそれぞれウェブに接続され、この接続が素材結合であることによって解決される。
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本発明は、マイクロおよびナノスケールのインプリント方法、ならびにポリマ、セラミックおよび／または金属材料からなる支持されたおよび／または独立した３Ｄマイクロおよび／またはナノ構造体を作製するための上記方法の使用に関する。いくつかの実施形態において、これらの構造物を作製する際に、二重モールドアプローチが採用されている。この方法において、表面処理を用いて、異なるモールドおよび／またはモールドの異なる部分に、異なる界面エネルギを与えている。このように表面処理することにより、構造体をインプリントし、基板に移転させて、３次元（３Ｄ）構造体を形成することができる。いくつかの実施形態において、表面処理および用いられるポリマのガラス転移温度の差異により、独立したマイクロおよび／またはナノ構造体をフィルム状および／または個別に形成するために、３Ｄ構造体をモールドから分離しやすくすることができる。
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流体輸送／封じ込め装置は、流体保持モジュールおよび操作モジュールを有する。この流体保持モジュールは、サブストレートと、このサブストレートに分散させた流体輸送／封じ込め素子とを有し、この流体輸送／封じ込め素子のうちの１個またはそれ以上の流体輸送／封じ込め素子は、マイクロ流体寸法を有する。操作モジュールは、操作素子が流体輸送／封じ込め素子と接触して作用インタフェース（境界面）を生ずるように、流体保持モジュールに着脱可能に固定する。 （もっと読む）

マイクロ流体デバイスにおいて流体の流れを制御するための弁が提供される。弁は基板２４上に形成されたチャンバ２６と加熱コイル４２とチャンバ２６内に収容された弁材料３０とを具備する。弁が閉じられるとき、加熱コイルが作動されて、弁材料をチャンバから外へ、ネック部２８を通って主流路２２内へ膨張させてそれを閉塞させる。好適には、弁材料はパラフィンワックスであり、また加熱コイル４２によって溶融を引き起こされる。溶融するとき、溶融されたパラフィンワックスは主流路内に流れ込み、そこでそれは冷えて再凝固する。カラー３６を有する狭窄部３４が冷却表面を備え、その冷却表面上に凝固するワックスが堆積する。
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本発明は、カプセル封入された電気的構成素子およびその製造方法である。チップ構成素子としてパネル上に配置されたＭＥＭＳ構成素子を提示する。チップのための各取付場所は密接にフレーム構造体によって取り囲まれている。ここでこのフレーム構造体はパネル上に載置されている。このフレーム構造体とチップの間の分断隙間はジェットプリント構造体によってシーリングされる。
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眼（２６６）の前眼房（２８４）からの流れを調節するのに用いることができるシャント（２９０）の流路（２９６）に配置することが可能なＭＥＭＳ流量モジュールの種々の実施形態が開示される。こうしたＭＥＭＳ流量モジュール（５８）の１つは、調整要素（７８）と、下部プレート（７０）とを有する。複数のばねまたはばね状の構造体（８２）が、下部プレート（７０）の下部流れポート（７４）を通る流れによって調整要素（７８）に及ぼされる圧力に応じて調整要素（７８）が下部プレート（７０）に向かう方向またはそこから離れる方向のいずれかに移動できるように、調整要素（７８）を下部プレート（７０）と相互接続する。調整要素（７８）は、（幾何学的に）非直線的な流路に沿ってＭＥＭＳ流量モジュール（５８）を通る流れを生じさせるように、この下部流れポート（７４）上に配置される。
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本発明は、電磁放射線によりポリマーレリーフ構造体を作製する方法に関する。本方法では、被覆基材の界面張力を低下させる化合物が使用される。その結果、アスペクト比さらには表面の曲率が向上するので、光学素子および複製目的に有益である。 （もっと読む）

機械的構造物は熱又は放射線のような非機械的手段によって第1形状を有する第1状態と第1形状とは異なる第2形状を有する第2状態との間で可動な素子を有する。この目的のため、素子は、そのような手段が与えられたときに異方的な膨張を示す配向した重合液晶層を含む。素子製造を促進するため、素子は重合した液晶の高架橋領域及び低架橋領域を有する基板上に設置される。そのような構造物を製造するため、配向した重合液晶層が基板上に形成される。基板は重合した液晶に対する高架橋を与える架橋領域及び重合した液晶に対する低架橋を与える非架橋領域を与えるパターニングされた面と共に供される。重合後、たとえば熱衝撃を与えることで、非架橋領域で重合した液晶層が剥がれる一方で、架橋領域では固定されたままである。よって、方法は時間のかかる下部エッチング工程を必要としない。
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一般に、１態様では、本発明は、第１の材料を含む層を提供すること；レジストのような処理層を必要とせずに層の表面を露出しながら層をパターン化すること；パターン化された層に前駆体を浸透させること；およびパターン化された層の中の前駆体を反応させて構造化材料を形成すること；を含む構造化材料の形成方法をその特徴とする。 （もっと読む）