【課題】相互接続構造などに必要な機能性材料を含む、高精度な複合多機能ミクロ構造とその製造方法を提供する。
【解決手段】第１の層（１６）、および第２の層（１７）を設ける。第２の層（１７）は、その上にレリーフ機構（１８）を有し、レリーフ機構間に溝（１９）を形成し保持機構とする。溝には導電材料などの機能性材料からなる第３の層（２０）が堆積され、オプションの浸漬オーバーレイヤ（２２）をその上に含む。層（２０）は、その基部にわたって連続する。 （もっと読む）

【課題】詰まりの発生が抑制されたマイクロ流路を有するマイクロ流路構造体及びその製造方法、並びに、詰まりの発生が抑制されたマイクロリアクターを提供すること。
【解決手段】マイクロ流路を形成する少なくとも２つの部材により形成された少なくとも１つの接続部を有し、マイクロ流路内表面の凹部を少なくとも部分的に埋設した被膜が形成されたマイクロ流路を有することを特徴とするマイクロ流路構造体、前記マイクロ流路構造体の製造方法、並びに、前記マイクロ流路構造体がマイクロ流路の一部又は全部を形成することを特徴とするマイクロリアクター。 （もっと読む）

【課題】均一で微細な先端を持つ高アスペクト比構造を有し、欠陥の少ないアレイ状に形成された高アスペクト比構造を有する機能性膜の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】微細な凹部アレイが形成されたスタンパー１３に、ポリマー樹脂の溶解液１６を塗布する塗布工程と、ポリマー樹脂の溶解液１６の表面に基材２０を重ね合わせて接着する接着工程と、ポリマー樹脂の溶解液１６を乾燥する乾燥工程と、乾燥工程により乾燥し固化した樹脂ポリマーを、基材２０と一緒にスタンパー１３より剥離する剥離工程と、を有する、機能製膜を製造する方法において、接着工程は、基材２０のポリマー樹脂の溶解液１６との接着面側にゲル化材料２３を塗布し、ポリマー樹脂の溶解液１６と該ゲル化材料２３とで混合層２４を形成させることを特徴とする機能性膜の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】磁気障壁通路又は反磁気障壁流路に沿って流す流体の流体制御を簡単な構成で高精度に行うことができる。
【解決手段】基板１２に配設された細線状の磁性体材料２２に対して外部磁場を印加することにより磁性体材料２２に沿った磁気障壁通路を形成し、該磁気障壁通路に沿って磁性流体Ａ，Ｂを流通させる。この流通において、磁性体材料２２の途中を断線させる断線工程と、断線した通路断線部３４を通路断片３６で結線させる結線工程と、により、磁気障壁通路に沿って流れる磁性流体Ａ，Ｂの流通を制御する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、中央に孔を設けた形状のマイクロニードルの製造に適したマイクロニードル製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明のマイクロニードル製造方法は、基板に孔を設け、孔に充填剤を充填し、該充填剤の一部変形させ、基板にエッチングを行うことを特徴とする。本発明の構成によれば、充填剤の一部をマスクとして基板にエッチングを行うため、マイクロニードルの突起の部位の位置と、孔の部位の位置とが、ずれることなく１対１で対応するように、孔を設けたマイクロニードル形状を形成することが出来る。よって、中央に孔を設けた形状のマイクロニードルを好適に製造することが出来る。 （もっと読む）

【課題】微細な針状体を皮膚に接触させ、押圧を加えて皮膚を穿刺する際に、外部から力が加えられたとき破壊および変形の双方が抑制される針状体を提供する。
【解決手段】基板と、前記基板上の突起部を備え、前記突起部が、突起部外形を構成する構造層と、前記突起部内部に位置して前記突起部の強度を補強するための補強層とから構成されることを特徴とする針状体。突起部外形を構成する構造層に剛性の低い材料を用い、突起部内部の補強層に剛性の高い材質を用いることで、穿刺性能を低下させること無く、穿刺時に加えられる力による突起部の破壊および変形を抑制することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】室温であっても微細な凹凸パターンを短時間で効率よく形成することができる方法を提供する。
【解決手段】フルオロエチレンに由来する単量体単位が５０質量％以上であり室温で固体状態である含フッ素重合体からなる膜の表面に、微細な凹凸パターンを有するモールドを室温で圧着させる工程（１）と、上記モールドを室温で上記膜から脱離する工程（２）とを含むことを特徴とする凹凸パターンの形成方法。 （もっと読む）

【課題】凹部を形成した基板とカバー材料とで構成されるマイクロ流体デバイスにおいて、幾何学的な個体間のばらつきと、基板とカバー材料との接合部に非接合領域を発生させる可能性を軽減したマイクロ流体デバイスの製造法を提供すること。
【解決手段】マイクロ流体デバイスの製造において、流路やチャンバ、リザーバになる凹部をあらかじめ基板に形成し、その基板の凹部を形成した側の面に、液体状のエネルギ線硬化樹脂を付着させる。そして、エネルギ線照射手段によってエネルギ線硬化樹脂を硬化させることで、基板凹部上のカバーとなり、流路やチャンバ、リザーバを形成できる。 （もっと読む）

【課題】生体分解性樹脂を用いて、微小針の先端部に欠損のない、品質の安定したマイクロアレイを大量に製造すること。更には、そのための金属母型を精度良く作製すること。
【解決手段】所望の微小針に対応する貫通孔を有するＰＤＭＳ製の鋳型を品質良く大量に作成し、生体分解性樹脂の遷移点から融点までの高温で転写加工を行い、遷移点近傍で樹脂を離型させ、それによって樹脂製の微小針を製造する方法を提供する。更に、良質なＰＤＭＳ製の鋳型を大量に作製するための金属製母型の製造方法を提供する。これらにより、製品規格的に信頼性の高い微小針が効率的に製造できることとなった。 （もっと読む）

【課題】生体分解性樹脂を用いて、微小針の先端部に欠損のない、品質の安定したマイクロアレイを大量に製造するために必要な、微小針母型を精度良く作製すること。
【解決手段】所望の微小針に対応する貫通孔を有するＳｉ平板にＵＶ硬化樹脂を充填しＵＶ照射後、整形してパイレックスガラス基板上の固定する。そして、Ｓｉ平板を溶解除去して精度の良好なＵＶ硬化樹脂製の微小針母型を作製する方法である。更には、得られた母型の耐久性を改善するために、金属メッキ等で被覆し、ＵＶ硬化樹脂製の微小針母型の耐空性を強化した。 （もっと読む）

【課題】超臨界流体を利用して製造され、無機固体材料と高分子材料との間の密着性が改善された、無機−高分子間の接合面を含む無機・高分子構造体、該無機・高分子構造体を含む微小および超微小電気機械システム、該無機・高分子構造体の製造方法および製造装置を提供する。
【解決手段】無機・高分子構造体１０は、無機固体材料１２に接して形成された高分子材料１４ａ〜ｃを含み、無機−高分子間の接合面Ａを含んでいる。無機・高分子構造体は、容器内に、無機固体材料に接して形成された高分子材料を配置する工程と、容器内で高分子材料を超臨界流体または亜臨界流体中に保持する工程と、容器内の超臨界流体または亜臨界流体に作用する圧力を所定の平均減圧速度で減圧する工程とを含む方法により得られる。 （もっと読む）

ＭＥＭＳ装置（８００）は、基板（８０２）と、基板（８０２）上の作動電極（８０４）と、作動電極（８０４）上の反射層（８１０）と、作動電極（８０４）と反射層（８１０）との間の支持層（８０８）とを含む。反射層（８１０）は、その反射層（８１０）を貫通する少なくとも一つの開口（８１４）を含む。支持層（８０８）は、作動電極（８０４）と少なくとも一つの開口（８１４）との間に凹部（８１２）を含む。制御信号を装置（８００）に印加する際に、反射層（８１０）の少なくとも第一の部分（８１６）は凹部（８１２）内に移動するように構成されていて、反射層（８１０）の少なくとも第二の部分（８１８）は静止したままであるように構成されている。ＭＥＭＳ装置（８００）の反射性は、第一の部分（８１６）から反射される光と第二の部分（８１８）から反射される光との間の位相差を変更することによって、支配的に変調される。
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（１）基材上に第一微細構造パターンを形成する工程と、（２）前記第一微細構造パターンを複製して、第二微細構造パターンを可撓性材料内に作製する工程と、（３）前記第二微細構造パターンを複数回複製して、第三微細構造パターンを架橋性材料内に形成して、第一キャリア上に工具を作製する工程と、（４）前記第三微細構造パターンをポリマーに複製して、少なくとも１つの微細構造物品を作製する工程と、を含む、微細構造物品を作製する方法。
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【課題】流体サンプルを操作するための、微小流体アセンブリ、システムおよび操作方法を提供する。
【解決手段】アセンブリ９８は、弾性変形可能なカバー層１０４およびより低い弾性で変形可能な基材１００を備える。処理方法は、このアセンブリにおいて、カバー層１０４と基材１００との間で新たな連絡が生じるように、そして／または新たなバリア壁が形成されるように、カバー層１０４を介して基材１００を弾性変形させる工程を包含する。この方法を実施するためのシステムもまた、提供される。 （もっと読む）

【課題】エラストマーバルブの構造体製造方法を提供する。
【解決手段】微細製作モールドの頂部上で第一エラストマー層を形成する工程であって、該微細製作モールドが、該第一エラストマー層２０の底部表面に沿って延びる第一凹部を形成する第一隆起突出部を有する、工程；第二エラストマー層２２を微細製作モールドの頂部上に形成する工程であって、該微細製作モールドが、該第二エラストマー層２２の底部表面に沿って延びる、第二凹部を形成する第二隆起突出部を有する工程；該第二エラストマー層２２の底部表面を、該第一エラストマー層２２の頂部表面上へ結合し、その結果、制御チャネルが、該第一および第二エラストマー層２０の間の第二凹部中に形成される工程；および平坦基板の頂部上の該第一エラストマー層を位置決めし、その結果、フローチャネル３２が該第一エラストマー層２２と該平坦基板との間の該第一凹部中に形成される工程、を包む。 （もっと読む）

【課題】 鋳型などの原型を使用することなく製造されたマイクロチャネルを有するマイクロ流路チップを提供する。
【解決手段】 少なくとも第１の基板と第２の基板とからなり、該第１の基板と第２の基板とが接着されているマイクロ流路チップにおいて、少なくとも一方の基板の接着面側に１本以上の、媒体により除去可能な材料層が形成されており、該媒体により除去可能な材料層の少なくとも一方の端部は大気に向かって開口するポートに接続されているマイクロ流路チップ。材料層を媒体で除去すると、材料層が存在していた箇所に非接着状態の微小隙間が生じる。この微小隙間を膨隆させることによりマイクロチャネルとして機能可能な空隙を発現させることができる。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い電気部品およびその製造方法を提供する。
【解決手段】機能素子１１を有する基板１２と、機能素子１１よりサイズの大きい凹部１３ａを有する蓋体１３と、凹部１３ａと機能素子１１が対向し、基板１２に蓋体１３を固着する接着層１４と、接着層１４の外側を被覆し、且つ接着層１４よりガス透過率の小さい封止層１５と、を具備する。基板１２と凹部１３ａで囲まれた空洞内の雰囲気を、接着層１４を介して調整した後に、接着層１４の外側を封止層１５で被覆する。 （もっと読む）

【課題】薄型化が可能かつ小さい力で作動し、しかもシリコン基板プロセスに比べて比較的製作が容易なエラストマバルブ構造及びそれを用いたポンピングシステムを提供する。
【解決手段】エラストマブロック内に第一フローチャネル３０と直交して積層された第二フローチャネル３２を形成する。第一フローチャネル３０の頂部を形成する膜２５は二つのフローチャネルを分離し、第一フローチャネル３０の頂部であると同時に第二フローチャネル３２の底部を形成している。第二フローチャネル３２の圧力を変動させることにより膜２５は下方への撓みと復帰を繰り返し、それにより第一フローチャネル３０は線形動作のバルブ動作システムを構成することになる。 （もっと読む）

【課題】洗浄水残渣を十分に除去でき、上下電極間における洗浄水残渣の表面張力によるスティッキングの発生がない磁気駆動マイクロマシンスイッチの製造方法及び磁気駆動マイクロマシンスイッチを得る。
【解決手段】樹脂フィルム３１０上に梁部３１ｂとなる梁構造層３１１ｂを形成する工程と、梁構造層３１１ｂ上に磁性体部３２を形成する工程と、樹脂フィルム３１０の一部をエッチング除去して基部３１ａを形成すると同時に梁部３１ｂを形成する工程とを有する上部電極形成工程と、上部電極形成工程で形成された上部電極３０を、下部電極２０が形成されたベース基板１０上に接合する接合工程とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】電極を微細流路の内表面の複数形成することにより、流路内を流れる液体の濃度、あるいはまた液体中の目的物質の濃度等を正確に検出することができる微細流路構造体及び微細流路構造体の製造方法を提供する。
【解決手段】薄膜からなる電極２ａ，２ｂ，２ｃが形成された基板１ａ，１ｂ，１ｃが順次積層された積層体に、所定の断面形状の微細流路３が形成された微細流路構造体１０であって、前記微細流路３が前記積層体の積層方向αに対して垂直な垂直方向βに形成されると共に、前記微細流路３の内表面３ａ、３ｂは、前記積層体の積層方向αに対して鋭角の角度θを有し、前記電極２ａ，２ｂ，２ｃが前記微細流路３の内表面３ａ、３ｂの積層方向αに複数露出して形成されている。 （もっと読む）