照明装置は、光を受光するための第１端部を有すると共にその長さに沿って光の伝播をサポートするように構成された光導波路を備える。ターニング微細構造は、前記光導波路の第１側面に配置されていると共に前記第１側面上に入射する光の方向を変更させて前記光導波路 の対向する第２側面へ光を導くように構成され、且つ複数の凹部を備える。カバーは、物理的に光導波路に結合（coupling）すると共に前記ターニング微細構造上に配置されている。中間層は、前記カバーを前記光導波路に物理的に結合すると共に前記カバーと前記光導波路との間に位置する。いくつかの実施形態において、中間層は、省略され、カバーが、光導波路と直接に接触する。複数の開放領域が中間層又はカバーと複数の凹部との間に位置する。各種実施形態は、中間層の有無にかかわらず、カバーと複数の凹部との間に開放領域が保存される間に、カバーを光導波路に結合する方法を含む。
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【課題】 ファージ・ライブラリを効率よくしかも安価にスクリーニングするために使用できる方法を提供する。
【解決手段】 チップと、チップ内に配置された流路であって、入口ポートおよび出口ポートと連絡しており、入口ポートから出口ポートへのライブラリの流れを可能にするように働く流路と、チップ上に配置された基板であって、流路のための上部壁として作用するように働く基板と、基板上に配置された受容体であって、ライブラリからのエレメントと相互作用するように働く受容体とを含むシステムが、開示される。 （もっと読む）

【課題】安価かつ簡便に、溝構造または中空構造を有する部材、特に微細な部材を製造する。
【解決手段】パターン形成された硬化性樹脂組成物のある基板上に、当該硬化性樹脂組成物とは違う組成の硬化性樹脂組成物を塗布し、パターンを形成し、その後、最初に形成した硬化性樹脂組成物パターンを溶剤によって除去することで、２番目の硬化性樹脂組成パターンを離型する。 （もっと読む）

本開示は、続いて微細構造物品を作製するために使用してもよい工具の製造方法に関する。本明細書に詳細に記述する方法は、マスター工具を作製するために基板上に微細構造アレイを形成するためのパターンのある微細構造工具構造体の形成について記載している。本方法は、基板の第１の面を光重合性液体でコーティングした部分的に透明な基板を提供する工程を含む。作製したマスター工具は、続いて、複製用工具の作製、ひいては導光体を作製するのに使用できる。 （もっと読む）

【課題】特に耐薬品性に優れると共に、通路用空間部を高精度、しかも製造も容易で量産性に優れている構成を提供する。
【解決手段】耐薬品性に優れた基材に設けられた流路を有しているマイクロ化学プラントの製造方法において、前記基材として樹脂粉末を用い、該樹脂粉末中に前記流路形成用中子１１を配置した状態で圧縮する予備成形工程と、前記予備成形工程で得られた圧縮体１を焼成すると共に、得られる焼結体１Ａから前記中子を焼成時の熱で分解除去して前記通路１１ａを形成する焼結・中子除去工程とを経ることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】特に耐薬品性に優れると共に、通路用空間部を高精度、しかも製造も容易で量産性に優れている構成を提供する。
【解決手段】耐薬品性に優れた基材に設けられた流路又は該流路を形成する空間部１１ａを有しているマイクロ化学プラント１０の製造方法において、前記基材として樹脂粉末を用いて、該樹脂粉末中に前記流路又は前記空間部形成用中子２１を配置した状態で圧縮する予備成形工程と、前記予備成形工程で得られた圧縮体を焼成する焼結工程と、前記焼結工程で得られた焼結体１を所定厚さの板状に切断する切断工程を経ることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】微小凹凸形状が外場に応じて可逆的にスイッチできる微小構造を提供する。
【解決手段】伸縮可能な支持体に密着した表面薄膜の微小領域での座屈変形に基づいて特性空間周波数を有する微細凹凸構造を備えた微小形状スイッチアレイであって、前記薄膜が微細加工パターンを有する２以上の固定化領域と該固定化領域間に挟まれた１以上の可変領域を有し、外部応力により離散的な複数の形状状態を取り得、その状態間のスイッチングが外部応力の変化で制御できることを特徴とする、微小形状スイッチアレイ。 （もっと読む）

【課題】導電体又はセラミックスのような機能性材料の比較的高いアスペクト比を有する比較的微細なライン又は構造体を作成するのに用いることができるようなインクを提供する。
【解決手段】実質的に降伏応力及び高粘度に欠ける第１のインクと、実質的に降伏応力及び高粘度に欠ける第２のインク又は犠牲材料の１つとを含み、第１のインクと第２のインク又は犠牲材料の１つとの界面に、第１のインクと第２のインク又は犠牲材料の１つとの局所的な混合の結果として有限降伏応力又は高粘度を有する材料が形成されることを特徴とする共押出しインク・セット。 （もっと読む）

【課題】マイクロチャンネルを覆うマスクを必要とせずにレーザ光による接合の可能なマイクロチップの接合方法を提供する。
【解決手段】表面側にマイクロチャンネル１１Ａが形成された樹脂基板１１のマイクロチャンネル１１Ａが形成された側の面と、樹脂基板１２の平坦な面とを接触させて被接合面１１２とし、レーザ光ＬＡを、樹脂基板１２を介して被接合面１１２に、接合幅ＳＨ以上の長さのライン状に、長手方向に略均一な光強度で集光させ、ライン状の集光部ＬＰにより、被接合面１１２を集光部ＬＰの長手方向に交わる向きに走査して、レーザ光ＬＡの光エネルギによる光融着により被接合面１１２において樹脂基板１１、１２の表面同志を接合し、ライン状に集光するレーザ光ＬＡのエネルギが、マイクロチャンネル１１Ａ内部においては熱ストレスを生じない程度に分散するように、レーザ光ＬＡのライン状の集光態様を設定する。 （もっと読む）

【課題】良好な解像度、熱安定性、耐薬品、溶解性を有し、高感度でかつ基板への密着性が低下しない感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】下記式（１）


（Ｒ₁はアルキル基又はアリール基を、Ｒ₂及びＲ₃はアルキル基、アリール基又はアルケニル基を表す。Ｙはフッ素原子又は塩素原子を、Ｚはフッ素原子、シアノ基、ニトロ基及びトリフルオロメチル基からなる群から選ばれる基２つ以上で置換されたフェニル基を、ｍは０から３の整数、ｎは１から４の整数、ｍ＋ｎ＝４。）で表される光カチオン重合開始剤（Ａ）とエポキシ樹脂（Ｂ）を含有してなるＭＥＭＳ用感光性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】乾燥時間短縮と、シート反り及びマイクロニードルなどの高アスペクト比構造体の変形防止とを両立することができる機能性シートの製造方法を提供する。
【解決手段】針状凹部１２を有するスタンパ１０に、原料液２０を注型した後、乾球温度及び相対湿度が調整された空気を吹き付けることにより、原料液２０を乾燥固化する。このとき、恒率乾燥期間における原料液２０の温度Ｔ_Ｐがゲル化温度Ｔ_gelより高い温度になるように、原料液２０に吹き付ける空気の乾球温度及び相対湿度が調整される。これにより、乾燥速度を極端に小さくすることなく、シート反りの発生及びこれに起因するマイクロニードルの変形を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】有機物質ヒンジを用いたＡＶＣにおけるドリフトの原因が、リフロー後における有機物質の機械的、化学的または電気的不安定性にあると考え、リフロー後に更に有機物質を高温加熱（アニール処理）することによりＡＶＣの安定動作を実現できる安定化処理方法を提供する。有機物質を構成物質の少なくとも１つとして含むＭＥＭＳ素子を改良する。
【解決手段】有機物質を加熱による架橋の後にフッ化水素処理し、所定温度以上で所定時間以上アニール処理すること（とくに２００℃以上２５０℃以下で３時間以上アニール処理すること）により安定化させる。有機物質は、テトラメチルシロキサンジビニルベンゾシクロブテンを主成分とする。 （もっと読む）

【課題】基板とスタンパとの間のレジストの厚さが薄く、かつ基板の両面にスタンパが存在する場合でも、スタンパを容易に剥離することができるインプリント方法を提供する。
【解決手段】基板上にレジストを塗布し、前記基板上に塗布されたレジストに対して凸パターンが形成されたスタンパをインプリントし、前記基板とスタンパとの間に剥離爪の先端を押し込み、前記基板とスタンパとの間に気体を導入して前記基板から前記スタンパを剥離する方法であって、前記剥離爪の先端が押し込まれる個所で、前記基板とスタンパとの間隙を前記レジストの厚みよりも大きくすることを特徴とするインプリント方法。 （もっと読む）

【課題】流路や反応容器等に残留する気泡を減少させる。
【解決手段】カバー基板１１及びベース基板１３が貼り合わされ、その接合面には液体を流す流路１７，２３と反応容器１５が形成されている。両基板の接合面の材質は流路を流れる液体が両基板の接合面に対して９０°以上の接触角をもつように選定されている。両基板の少なくとも一方には、流路１７，１９及び反応容器１５とデバイスの端面との間に、凹凸が形成されていることにより空隙が形成されている。この空隙の大きさは気体を通過させ液体を通過させない大きさである。 （もっと読む）

【課題】マイクロチップ等の微細加工のコスト削減を進展させることを可能とする。
【解決手段】基材３の表面に微細流路５を加工する微細形状加工方法において、基材３の表面に金属の薄膜７を形成する（ａ）薄膜形成工程と、薄膜７に放電加工により微細形状パターン９を貫通形成する（ｂ）放電加工工程と、薄膜７に微細形状パターン９を備えた基板３をエッチングして薄膜７の微細形状パターン９に対応する微細流路５を基板３の表面に形成する（ｃ）エッチング工程と、エッチング後に金属の薄膜７を除去して表面に微細流路５を有するマイクロチップ１を得る（ｄ）除去工程とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】転写成形時の欠損を抑制することが可能となる形状を有する針状体の作製方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の針状体の製造方法は、研削刃の断面形状において、先端面と側面との間に傾斜面が形成されており、尚且つ、少なくとも２種類以上の砥粒面によって構成された加工面を有する研削刃を用いることを特徴とする。本発明の製造方法を用いることで、転写成形時の欠損が発生しやすい針状体の先端領域のみ、表面粗さが極めて小さな表面形状に加工することができる。尚且つ、その他の領域は砥粒径に縛られること無く加工条件を設定することができるため、研削能力の不足によって生じる基板の破壊を抑制することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 柔軟で自己粘着性を有する樹脂を用いたマイクロサイズの加工方法において、従来のフォトリソグラフィー技術に代わり、エンドユーザーから要求された様々なパターンに対応でき、且つ、複雑な３次元形状も高効率・高精度に加工することができる新らたなマイクロ加工方法を提供する。
【解決手段】 柔軟で自己粘着性のある高分子材料に極低温冷却を適用してガラス転移温度以下に冷却し、ガラス状態として、一刃あたりの切り取り量をサブマイクロスケールにした延性モード切削を適用することにより、機械的切削加工によりマイクロサイズの溝や穴を極めて精度よく形成でき、特に、得られた切削表面が非常に高い平滑性を有したマイクロ流路を形成できる。さらに、常温で任意の形状に弾性変形させて、これを極低温冷却して切削加工を行うことにより、特殊形状を有する溝や穴を形成することができる。 （もっと読む）

【課題】簡単かつ高精度に中空ニードルを形成できる中空ニードルシートの製造方法と、当該製造方法により製造される中空ニードルシートとを提供する。
【解決手段】針状凹部１２を有するモールド１０に、ポリマーを含むポリマー溶解液２０を注型した後、ポリマー溶解液２０を乾燥させる。このとき、ポリマー溶解液２０がモールド１０の凹部壁面１４に密着した状態を維持しながら、ポリマー溶解液２０を乾燥収縮させる。これにより、中空針状凸部２４が形成されたポリマーシート２２が得られる。 （もっと読む）

【課題】被覆樹脂９に所望形状の微細構造（インク吐出口等）を精度良く形成できるインクジェット記録ヘッド（又は微細構造体）の製造方法を提供する。
【解決手段】インク吐出エネルギー発生素子２を形成した基板１上にインク流路の型パターンを形成し、被覆樹脂９で被覆し、その後型パターンを溶解除去することによりインク流路を形成する方法において、被覆樹脂９に対してｉ線を用いたパターン露光を行なう工程を少なくとも有し、かつインク流路の型パターンの少なくとも一部（樹脂層（２）６）を、波長３６５ｎｍの吸光度が０.１以上となるポジ型感光性レジスト又はジアゾナフトキノンを含有するｉ線用ポジ型感光性レジストにより形成するインクジェット記録ヘッド（又は微細構造体）の製造方法。 （もっと読む）

【課題】電気機械的スイッチ及びこれの形成方法を提供すること。
【解決手段】メモリ素子は、メモリセル内に具備されるストレージノード、第１、及び第２電極を含む。前記ストレージノードは電荷を保存し、前記第１電極は第２部分と電気的に接続するための第１部分を含む。前記第２電極が活性化された際、前記第１部分は前記ストレージノードと接続するように移動する。 （もっと読む）