【課題】本発明は、ポリマー材料を用いてアクチュエータを単純な構造で実現することにより破損や故障し難くすること、また、その製造工程及び工数を削減することを目的とする。
【解決手段】本発明のポリマーＭＥＭＳアクチュエータ１は、シリコン基板１０の上にポリマー材料により電気で駆動可能な微小機械構造を成しており、シリコン基板１０の上に固定した導電材料による第１の電極１１と、光反射用の鏡１４が固定された先端部がシリコン基板１０上の空間で当該基板１０に対して垂直方向に可動可能なポリマー材料によるポリマー可動部１２と、このポリマー可動部１２及びシリコン基板１０の上に、ポリマー可動部１２で第１の電極１１と電気的に絶縁状態に固定した導電材料による第２の電極１３とを備えて構成されている。 （もっと読む）

【課題】流路などの微小セル構造を積層形成するための１０μｍ以下の大きさの複数のマイクロパターンを有するマイクロパターン複合材であって、各層の位置合わせを容易とし、かつ加熱の必要なく確実に接着すること可能とするマイクロパターン複合材を提供する。
【解決手段】支持体４と、該支持体４上にマイクロパターンが形成されており、かつ、そのままでは接着力を有しないが、紫外線もしくはそれよりも短波長のエネルギー線の照射により接着能を発現するマイクロパターンフィルム５Ａとを備える、マイクロパターン複合材６。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ポリマー材料を用いてアクチュエータを単純な構造で実現することにより破損や故障し難くすること、また、その製造工程及び工数を削減することを目的とする。
【解決手段】本発明のポリマーＭＥＭＳアクチュエータ１０は、シリコン基板１１の上にポリマー材料により電気で駆動可能な微小機械構造を成しており、長手板状のポリマー材料によるポリマー可動部１２と、このポリマー可動部１２と概略同形状を成してその上面に固着された金属ヒータ１３と、ポリマー可動部１２及び金属ヒータ１３の先端部に固定された光を反射する鏡面１４ａを表裏面に有する鏡１４とを備えて構成されている。 （もっと読む）

【課題】 非接着部を有するマイクロチップを製造する際に、マスクを使用せず、また非接着性物質又はプラズマで活性化しない物質も塗布せずに非接着部を形成することができるマイクロチップの製造方法を提供する。
【解決手段】 互いに恒久接着可能な材質からなる第１の基板と第２の基板のうちの少なくとも一方の基板の貼り合わせ面を表面改質処理してから両基板を貼り合わせて恒久接着させることによりマイクロチップを製造する方法において、非接着部となるべき箇所に対応する箇所の前記第１の基板の外表面を吸引手段により引き上げながら前記第２の基板と貼り合わせることにより両基板間の非接着部となるべき箇所を剥離状態に維持し、前記表面改質処理による活性化状態が消失した後に、前記吸引手段による前記第１の基板の引き上げを停止させることにより非接着部を形成することを特徴とする非接着部を有するマイクロチップの製造方法。 （もっと読む）

自己組織化ブロック共重合体を使用して、改良された長距離秩序を有する、ポリマーマトリクスにおけるナノスケールの交互ラメラもしくは円筒のアレイを作製するための方法、ならびに、これらの方法から形成される膜およびデバイスが提供される。
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【課題】各ショット間に隙間を設けずともパターン転写不良を防止できるインプリント方法およびこのインプリント方法において用いられるテンプレートを提供する。
【解決手段】光硬化材料が塗布された基板１４にテンプレート１１の凹凸形成面を接触させた状態で光Ｌを照射することによって基板１４に塗布された光硬化材料を硬化させてパターニングを行なう場合、基板１４への１回あたりの照射光量として、テンプレート１１の凹凸パターンを含むパターン形成領域に対応する領域への照射光量よりも、テンプレート１１のパターン形成領域よりも外部であるパターン外周領域の少なくとも一部に対応する領域への照射光量の方を少なくしている。 （もっと読む）

【課題】プラスチック成形品の製造において、柱状構造における柱部分の間隔を狭めて形成することができるように、電界印加セルと製造方法について工夫すること。
【解決手段】互いに不溶で誘電率が異なる少なくとも２種類の液体を、一対の電極が対向して配置されている電界印加セルに層状に充填する液体供給工程と、前記電極間に電界を印加して前記少なくとも２種類の液体のうち、誘電率の高い液体を電界方向に平行な向きに伸ばすように集め、柱状構造を形成する電界印加工程とを有し、
前記少なくとも２種類の液体のうち、少なくとも１つが未硬化の硬化性樹脂であり、この硬化性樹脂を前記柱状構造の形成後に硬化させるプラスチック成形品の製造方法を前提として、
前記電界印加セル(10)を構成する対抗電極基板(11,12)の少なくとも一方の電極基板(11)が、微小電極アレイ(1)と薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）アレイ(3)を備えており、前記微小電極アレイの一部の電極に対して局所的に電界を印加することである。 （もっと読む）

【課題】金属酸化物に対する接着性に優れる上、硬化後にモールドから脱型し易く、モールドへの離型剤の塗布回数を低減することが可能なインプリント成形用組成物を提供する。
【解決手段】ウレタン(メタ)アクリレートオリゴマー及びエポキシ(メタ)アクリレートオリゴマーからなる群から選択される少なくとも一種の(メタ)アクリレートオリゴマー（Ａ）と、ヒドロキシル基含有(メタ)アクリレートモノマー（Ｂ）と、下記式(II)：


［式中、Ｒ³は炭素数４〜１４のアルキル基であり、Ｒ⁴は水素又はメチル基である］で表わされるアルキル基含有(メタ)アクリレートモノマー（Ｃ１）又は(メタ)アクリロイル基含有反応性シリコーン（Ｃ２）と、光重合開始剤（Ｄ）とを含むインプリント成形用組成物である。 （もっと読む）

【課題】 生体分解性樹脂を用いて、微小針の先端部に欠損のない、品質の安定した微小針を大量に製造すること。
【解決手段】まず、連子窓状の構造を持ち、微小針が水平方向に伸びている微小針デバイスを作製し、次に冶具にて該微小針の方向を９０度曲げることにより、垂直に微小針を設定する等の、微小針の２段階作製方法を提供する。これにより、微小針の先端部分に欠損が生じ難く、製品規格的に信頼性が高いものが提供できる。しかもこの方法により、これまで製造が困難であった形状の微小針を作製できる。 （もっと読む）

【課題】 アクチュエータアレイ用の基板とミラー面用の基板を別に製造することなく、効率の良く形状可変ミラーを製造する。
【解決手段】 形状可変ミラーの製造方法において、圧電膜と、圧電膜の下に配置された第１の電極と、圧電膜の上に配置された第２の電極と、を有する圧電アクチュエータが基板上に複数配置されたアクチュエータアレイを準備する工程と、最終的に除去される犠牲層を形成する工程と、犠牲層に孔を形成し第２の電極の少なくとも一部を露出させる工程と、露出した第２の電極の上に柱部を形成するために、犠牲層に形成された孔を柱部用材料で埋没させる工程と、犠牲層及び柱部の上面を平坦化させる工程と、平坦化した犠牲層及び柱部の上面にミラー面を形成する工程と、ミラー面が形成された後，犠牲層をエッチング法により除去する工程と、を含む。 （もっと読む）

干渉型変調器が、可動反射体の反対側の、可動柔軟層の一側上に、熱膨張平衡層を備え、温度が変化した場合に、可動反射体と光学積層体との間の距離が、大きく変化せず、これにより、安定したカラーを生じる。さらに、干渉型変調デバイスが、可動柔軟層と可動反射体との間に補強層、及び少なくとも一つの空間を備え、この空間は、可動反射体と補強層とが互いに接触する表面上に存在し、可動反射体が、曲げに対してさらに堅固なものとなり、これにより、可動反射体の感温性を低減させる。
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【課題】化学エッチング液の膜を通じた拡散による犠牲膜材料の分解により、微細構造のエアギャップを形成する。
【解決手段】微細構造に少なくとも一つのエアギャップ３５を製造する方法として、（ａ）犠牲材料で充填された少なくとも一つのギャップ３５を備えた微細構造を提供し、前記ギャップ３５は非透過性膜であるが犠牲材料を分解する性質を有する化学エッチング液の作用により透過性膜へと転換し得る膜３３によりその表面の少なくとも一部分を覆われ画定される工程と、（ｂ）膜３３を透過性へと転換させ犠牲材料を分解するために前記化学エッチング液と微細構造とを接触させる工程と、（ｃ）微細構造から化学エッチング液を除去し、前記化学エッチング液はフッ化水素酸及び／又はフッ化アンモニウムを含む流体である工程を含む。 （もっと読む）

エネルギー源とインプリント・リソグラフィ・テンプレートとの間に配置されたデバイスが、基板上に分配された重合性材料の一部分に対するエネルギーの露光を遮断することができる。エネルギーから遮断された重合性材料の一部分は流体のままであり得るが、残りの重合性材料は凝固する。
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【課題】微小電気機械の形成において、材料の除去量が少なく加工時間が短い方法を提供する。
【解決手段】基板３０上にエアロゲルベース層３１を堆積する。ガリウムイオンビームでエアロゲルベース層３１にキャビティー３２を形成する。キャビティーを含むエアロゲルベース層の形状は微小電気機械の表面外形と同一とする。このエアロゲルベース層３１を型としてこの上に酸化シリコン、金、白金、ポリシリコンなどの重い金属層３４を堆積し、微小電気機械の一部とする。 （もっと読む）

【課題】耐圧性に優れた流体制御バルブを有するマイクロチップを提供する
【解決手段】内部に流路ＦＡが形成されたチップ本体と、流路ＦＡを開閉する流体制御バルブ４０と、を備えたマイクロチップであって、流体制御バルブ４０は、チップ本体に形成され流路ＦＡに連通する孔部４１と、孔部４１に挿入された閉塞部材４２と、孔部４１と閉塞部材４２との間に充填され閉塞部材４２を流路ＦＡ側に変位可能に支持する充填部材４３と、充填部材４３の孔部４１からの離脱を防止する離脱防止手段４４と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ミクロ流体構造体を使用して、タンパク質の結晶化のハイスループットスクリーニングを可能にすることを課題とする。
【解決手段】本発明は、上記課題を、１つの実施形態において、一体化された組み合わせ混合チップによって解決した。この混合チップにおいて、可能な結晶形成がチップ上で観察される、多数の潜在的な結晶化条件を迅速に作製するための、試薬の正確な計量供給を可能にする。代替の実施形態において、ミクロ流体構造体は、特定のタンパク質結晶化剤の組み合わせの位相空間条件を調査するために利用され得、これによって、確実な条件を同定し、そして引き続いて、結晶成長を得る集中した試みを可能にする。 （もっと読む）

【課題】射出成形法で作製された樹脂製基板の接合強度を高めることが可能なマイクロチップの製造方法を提供する。
【解決手段】マイクロチップは、表面に流路用溝が形成された樹脂製基板１０と、平板状の樹脂製基板２０とを備えている。樹脂製基板１０には、外周部に突起部１１が設けられている。この突起部１１は、射出成形のときに使用されたゲート中に残された成形体である。樹脂製基板２０の寸法は樹脂製基板１０の寸法よりも小さい。そして、流路用溝が形成されている表面を内側にし、突起部１１が形成されている位置から距離ｄ以内の範囲に含まれる表面を覆わないように、樹脂製基板２０を樹脂製基板１０に重ね、加熱しながら加圧することでマイクロチップを作製する。 （もっと読む）

【課題】梁やダイヤフラムなどの可動部に対するカバーの緩衝能力を高めるとともにカバーと可動部とのスティッキングを防止する。
【解決手段】可動部を備える可動素子と、前記可動部を覆う天井部と前記天井部から前記可動部に向かって突出しているとともに樹脂からなる緩衝部とを備えるカバーと、を備え、前記可動部と前記緩衝部との間に空間が形成されている、ＭＥＭＳ。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で小型化し得るマイクロデバイスを提供することを目的とする。
【解決手段】マイクロモータ１では、エレクトロウェッティングを利用して、疎水性膜７と液体との接触角を円周方向に沿って周期的に変化させるようにした。その結果、表面張力を利用して液体膨出部３上に浮かせて載置させた回転板６を所定回転速度で回転させることができ、当該回転板６を固定するための固定部材や、従来のモータのような固定子等の複雑な機械的構成が不要となり、その分だけ簡易な構成にできると共に、小型化を図ることができるマイクロモータ１を提供し得る。 （もっと読む）

【課題】所定のパターン形状及び曲面形状を有する微細構造体の製造方法を提供する。
【解決手段】アウターレンズ１４の製造に際して、レジスト塗布、露光及び現像の各工程からなるフォトリソグラフィ工程を、平面基板２１及びフレキシブル基板２２からなる二層基板２３上で行うことにより、フォトマスク２５のドットパターンをレジスト層２４に正確に転写し、形成精度の確保されたレジスト微細構造体２４ａを製作する。この後、フレキシブル基板２２を平面基板２１から剥離して曲面構造体２７の表面に貼り付けることにより曲面母型Ｍを構成し、金属による電鋳を施すことにより金属微細構造体２８ａを形成する。レジスト微細構造体２４ａの形成精度が確保されていることから、レジスト微細構造体２４ａに基づき製造される金属微細構造体２８ａの成形精度、さらには金属微細構造体２８ａを金型として製造されるアウターレンズ１４の光学特性も確保される。 （もっと読む）