マイクロ構造物品を作るのに有効であるキャスト成形法及びモールド成形法に関する。物品の表面に複数のマイクロ特徴部を含むことによって、他の特性、例えば高い疎水性を対象物に与えることができる。本明細書で説明するキャスト成形法及びモールド成形法の幾つかにより、マイクロ特徴部及びマクロ特徴部の両方を有する物品、例えば、マクロ特徴部又は選択したマクロ特徴部領域上に又はその中にマイクロ特徴部を有する物品を製造することがさらに可能になる。 （もっと読む）

本明細書では、可撓性を有する超疎水性のフィルムを説明する。様々な物品、例えば、任意の形状又は表面の輪郭を有する物品に超疎水性を与える方法も説明する。特定の用途の場合には、可撓性を有する超疎水性のフィルムは、フィルムを物品に付着させるのに有効な接着バッキング層を含む。本明細書で説明するフィルムの幾つかにより、フィルムを撓曲することで表面の濡れ性に対する選択的な制御が可能になり、例えば、フィルムを撓曲することにより、フィルムの濡れ性が上昇する、フィルムの濡れ性が低下する、又はフィルムの濡れ性が変化しない。本明細書で説明する可撓性を有する超疎水性フィルムは、凹形又は凸形の湾曲に変形するときに超疎水性を維持するフィルムも含む。 （もっと読む）

【課題】マイクロフルイディック・システムにおいて使用するバルブを提供する。
【解決手段】バルブ５０は、上流チャネル５２の中心軸６０に対してある角度をなして配された第１対向壁７４によって規定された導管によって合流させた上流チャネル５２と下流チャネル５４とを規定する基板を含む。感熱物質５６の少なくとも一部が、第１対向壁７４との衝合によって、導管を遮断する。感熱物質５６と熱的に接触状態にある熱源３７の作動時に、感熱物質５６の開口運動によって導管を開放する。 （もっと読む）

小さい流体体積を取り扱うための磁気的に駆動されるマイクロポンプ。マイクロポンプは第一のチャンバ及び第二のチャンバを含む。可撓性膜は第一のチャンバと第二のチャンバの間に配列される。可撓性膜は、膜を変位させるためのアクチュエータに磁気的に連結される。 （もっと読む）

【課題】微少量の液体を正確に搬送することが出来るマイクロポンプを備えたマイクロ化学チップを提供する。
【解決手段】少なくとも１個以上の流路とマイクロポンプ２と試料注入部３と反応部４が形成されたマイクロ化学チップを、前記流路が前記マイクロポンプ２の内部に形成され、前記マイクロポンプ２が、第１、第２の屈曲型導電性高分子アクチュエータの両端部を接合することにより、中央部が開閉する構造とした開閉型アクチュエータを用いており、前記試料注入部３と前記反応部４が導電性高分子膜を用いて形成され、かつ前記試料注入部３と前記反応部４が前記マイクロポンプ２によりつながれた構成とする。 （もっと読む）

【課題】微小電子機械デバイスと、微小電子機械デバイスを作成する方法を提供する。
【解決手段】プレート間にスペーサを備えた微小電子機械システム(MEMS)デバイスを製作する方法と、その方法によって形成されたMEMSデバイス。一実施形態では、MEMSデバイスは、事前形成された構成要素を各々が有する、前面基板と保持体を積層することによって製作される。前面基板には、その上に重ねて形成された静止電極が提供される。その上に重ねて形成された可動電極を含む保持体は、前面基板に結合される。いくつかの実施形態の保持体は、可動電極を前面基板に移転させた後で除去される。他の実施形態では、保持体は、前面基板上に留まり、MEMSデバイスのための背面板として機能する。フィーチャは、付着およびパターン形成、型押し、またはパターン形成およびエッチングによって形成される。スペーサは前面基板と背面板の間に提供されてそれらの間隙を維持する。 （もっと読む）

【課題】磁性光硬化樹脂を用いて作成した回転構造体およびそれを使用した磁気駆動マイクロチュエータを提供する。
【解決手段】磁気駆動マイクロアクチュエータは、磁性光硬化樹脂を用いて光造形法によって実際に作製された回転子と、この回転子の周りに配置した電磁コイル対とから構成され、電磁コイル対で回転磁場を印加することにより回転子を回転させることを特徴としている。このアクチュエータによれば、微小流量を連続流で送液可能なマイクロスクリューポンプおよび狭所空間を移動する泳動マクロマシン等を達成することができる。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも１つのボンディング基板と反応性多層システムとを含むマイクロ構造に関し、ここで反応性多層システムは、互いに離間された垂直配向のナノ構造を備えるボンディング基板の少なくとも１つの表面層と、ナノ構造間に位置し、且つナノ構造の材料に関する反応相手をなす少なくとも１つの材料で充填された領域とを有する。本発明は、さらに、少なくとも１つのボンディング基板及び反応性多層システムの作製方法を含み、ここでは、反応性多層システムを形成するため、ボンディング基板の少なくとも１つの表面層がパターニングされ、又はパターン状に堆積されて、それに伴い互いに離間された垂直配向のナノ構造が形成され、及びナノ構造間の領域が、ナノ構造の材料に関する反応相手をなす少なくとも１つの材料で充填される。加えて、本発明は、少なくとも１つのボンディング基板と反応性多層システムとを有するマイクロ構造を、ボンディング基板を有する別の構造とボンディングする装置を含み、ここでこの装置は、開閉及び排気を行うことのできるボンディングチャンバであって、そこにマイクロ構造及び別の構造を導入して互いに位置合わせすることのできるボンディングチャンバを有し、また、ボンディングチャンバに連結される活性化機構であって、それによって、マイクロ構造の反応性多層システムであって、ナノ構造の材料に関する反応相手をなす材料を−ナノ構造間に位置して−備える反応性ナノ構造から形成される反応性多層システムを、ナノ構造とナノ構造の材料に関する反応相手をなす材料との間に自己伝播発熱反応が起こるような方法で機械的に、電気的に、電磁的に、光学的に及び／又は熱的に活性化することのできる活性化機構も有する。さらに、本発明は、２つのボンディング基板とボンディング基板の間に位置する構成体とから形成されたマイクロシステムに関し、前記構成体は既反応の反応性層システムを有し、ここで既反応の反応性層システムは、互いに離間された垂直配向のナノ構造を備える−ボンディング基板上に提供された−少なくとも１つの表面層と、ナノ構造の材料に関する反応相手をなす少なくとも１つの材料でナノ構造間が充填された領域とから構成される既反応の構造配列であり、ここでこのマイクロシステムは、バイオマテリアルで被覆されたセンサであり、及び／又はポリマー材料から構成される素子及び／又は少なくとも１つの磁性及び／又は圧電性及び／又はピエゾ抵抗性部品を有する。
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【課題】高分子マイクロ構造を封止するための、簡単で、再現可能で、歩留まりが高い方法を提供する。
【解決手段】マイクロ流体構造の２つ以上の構成要素が固く結合されるか、又は弱溶剤結合剤特にアセトニトリルやアセトニトリルとアルコールとの混合物により成層された、高分子マイクロ流体構造の製造方法。ある態様では、アセトニトリルは、ポリスチレン、ポリカーボネート、アクリル、又は三次元マイクロ流体ネットワークを形成する他の線状高分子などの非エラストマー重合体内のマイクロ構造を封止するための、弱溶剤結合剤として使用可能である。本方法は、所与の、より低い温度範囲の、対向する表面へ隣接接触し、所与の時間の間に低い温度範囲よりも高い温度で結合剤を活性化する弱溶剤結合剤により、高分子基板構成要素の対向する表面の少なくとも１つを濡らす過程を有している。 （もっと読む）

【課題】組成変形、疲労あるいは過大歪みにより故障しない弾性装置構造を提供する。
【解決手段】長さＬ、可変の幅ｗ（ｘ）、可変の厚さｔ（ｘ）であり、第１の縦区画、第２の縦区画および第３の縦区画を備える弾性装置を提供する。長さｌ１の第１の縦区画ＬＳ１は、断面二次モーメントＩ（０≦ｘ≦ｌ１）を有し、ｘ＝０において第１の末端部を有する。長さｌ２の第２の縦区画ＬＳ２は、一定の断面二次モーメントＩ（ｌ１＜ｘ≦ｌ１＋ｌ２）を有し、第１の縦区画に付着している。長さｌ３の第３の縦区画ＬＳ３は、断面二次モーメントＩ（ｌ１＋ｌ２＜ｘ≦ｌ１＋ｌ２＋ｌ３）を有し、第２の縦区画に付着しており、ｘ＝Ｌにおいて第２の末端部を有する。第１の縦区画の断面二次モーメントは、ｘ＝０からｘ＝ｌ１において減少し、第３の縦区画の断面二次モーメントは、ｘ＝ｌ１＋ｌ２からｘ＝ｌ１＋ｌ２＋ｌ３において増加する。 （もっと読む）

【課題】可動部とストッパとの間のギャップを精度良く確実に設定でき製造歩留まりが高いＭＥＭＳを提供する。
【解決手段】支持部と、前記支持部に対して相対的に運動する可動部と、を有するダイと、前記可動部の運動範囲を制限する位置において前記可動部に対向するストッパと、前記可動部の運動範囲が制限される方向において前記ストッパと前記支持部とに挟まれている樹脂であって封止樹脂よりも硬質の硬質樹脂からなるスペーサと、前記スペーサより前記可動部とは反対側において前記支持部と前記ストッパとを結合している接着層と、を備え、前記スペーサは前記接着層と前記可動部との間において前記接着層と前記可動部との間を遮る方向に延びている、ＭＥＭＳ。 （もっと読む）

【課題】 反応や分析のステップ数や量の制限が緩く、製造が容易であるマイクロ流体システム用支持ユニット、さらに、複雑な流体回路を高密度に実装できるマイクロ流体システム用支持ユニットを提供する。
【解決手段】 第一の支持体と、マイクロ流体システムの流路を構成する少なくとも一本の中空フィラメントとを備え、該中空フィラメントが前記第一の支持体に任意の形状に敷設され、かつ前記少なくとも一本の中空フィラメントの内側の所定箇所に充填剤を固定することにより機能性を付与し、前記機能性は、吸・脱着、イオン交換、分離、除去、分配及び酸化・還元からなる群から選ばれる少なくとも一つであるマイクロ流体システム用支持ユニットに関する。 （もっと読む）

【課題】非使用時には流路容積がゼロであるが、使用時には圧力を印加して膨隆させることにより或る容積の流路を形成し得る非接着薄膜層部分を有するマイクロ流路チップにおいて、非接着薄膜層部分を効率的に膨隆させる。
【解決手段】相互に接着された第１の基板１３と第２の基板１５とからなり、少なくとも一方の基板の接着面側に１本以上のマイクロチャネル生成用の非接着薄膜層１７が形成されており、前記第１の基板には大気に向かって開口するポート５が配設されており、前記非接着薄膜層の端部の少なくとも一方は前記ポートに連接されているマイクロ流路チップであって、前記第２の基板の下面側に自ら変形し難い材料からなる下敷板１９を有し、前記下敷板は前記第２の基板との界面側に、前記ポートの中心部に達しない位置から前記非接着薄膜層側に向かって延びる凹部２１を有し、前記凹部の幅は前記非接着薄膜層の幅よりも広い。 （もっと読む）

【課題】可動部の運動範囲を規制するストッパ基板部と可動部との空隙の幅を精度よく調整することができなかった。
【解決手段】支持部と、前記支持部に支持され前記支持部に対して運動する可動部と、を有する構造体と、前記構造体の前記支持部の底面が接合される平坦な接合面と、前記可動部と対向する領域において底部が前記接合面より後退している凹部と、を有するストッパ基板部と、前記ストッパ基板部の材料に対してエッチング選択性を有する材料からなり、前記凹部を前記接合面よりも後退した位置まで満たすことによって前記可動部の底面と予め決められた所定距離で対向する距離調整部と、を備える。 （もっと読む）

少なくとも１つの露出面を有する固体状材料を提供する工程と；露出面に補助層を適用して複合物構造（応力パターンを有する補助層）を形成する工程と；その中の深さで面に沿って固体状材料の破壊を促進する条件に複合物構造をさらす工程と；補助層および、それと共に、破壊深さで終了する固体状材料の層（応力パターンに対応する表面トポロジーを有する固体状材料の除去された層の露出面）を除去する工程とを含む印刷方法が開示される。
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【課題】ＰＶＤＦ系ポリマー及び電解物質を含むポリマーアクチュエータを提供する。
【解決手段】ＰＶＤＦ系ポリマーは、架橋剤により架橋された状態でアクチュエータに適用できる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成により先端側から改質度が徐々に変化しているマイクロピラー構造体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】マイクロピラー構造体１０は、基板１１と基板１１の表面に形成された複数本のマイクロピラー１２とから成り、マイクロピラー１２の表面特性は、マイクロピラー１２の先端側から根元方向に向かって改質度が低下するように改質されている。マイクロピラー構造体１０は、基板１１の表面に複数本のマイクロピラー１２を形成して、マイクロピラー１２の表面における先端側から根元方向に向かって改質度が低下するように、波長１７２ｎｍ以下の真空紫外線を照射することによって形成することができる。 （もっと読む）

【課題】可撓性変換器ユニットを製造するための新規な方法を提供する。
【解決手段】複数の変換器構造体を含むウェハーから、可撓性変換器ユニットを製造する方法に関するものであり、変換器構造体が、基板１と、金属−酸化物層１０と、金属−酸化物層１０における少なくとも１個のメッシュ構造体４と、金属−酸化物層１０に少なくとも１個の第１コンタクトパッド３を有する電線２とを備える。本製造方法は、メッシュ４を解放するために金属−酸化物層１０をエッチングする工程と、メッシュ４上に密封層７を形成する工程と、金属−酸化物層１０上に第１可撓性材料層８を形成する工程と、変換器構造体を十分可撓性のあるものにするにはために基板１のかなりの厚さを除去する工程とを含む。また、メッシュを解放する前に、第１可撓性材料層８を形成してもよい。さらに、ウェハーの裏側に第２可撓性層９を形成する工程を有してもよい。 （もっと読む）

【課題】ごく小さな容器において、揮発性及び／又はクリーピング性の物質を含有する液体を、数ヶ月の長期に亘って、好ましくは少なくとも1年間保存することを可能とし、比較的僅かな技術的努力の下に前記液体を自動的に投与することを可能とすること。
【解決手段】容器として構成されるベローズが提供される。このベローズ型容器は、一旦充填されると、気密及び液密に密封、好ましくは溶接される。このベローズ型容器は、同時に投与デバイスとしても機能する。容器の内容物は、比較的単純な手段によって自動的に送出することが可能である。このために、容器は、例えば、デバイスに固定され、前記デバイスは、ベローズを圧縮する、すなわち、中空針−カニューレ又は皮下針とも呼ばれる−または、相当手段の方向にベローズを圧縮する。その過程において、中空針又は相当手段は容器壁を貫通する。次に、容器内容物は、中空針又は相当手段を通じて自動的に送出される。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成で、変位量および駆動力の大きな高分子アクチュエータを提供すること。
【解決手段】 第１の高分子シート２０と第２の高分子シート３０とが拘束部材１５ａ，１５ｂに並設されている。一方の第１の高分子シートを仮想中心線Ｏａ−Ｏａに対して左右対称となる形状で形成し、他方の第２の高分子シート３０を仮想中心線Ｏｂ−Ｏｂに対して左右非対称となる形状で形成する。両高分子シート２０，３０に所定の電界を与えると、一方の左右対称の第１の高分子シート２０の自由端２２はＺ１方向に曲げ変形する。他方の左右非対称の第２の高分子シート３０の自由端３２は、Ｚ１方向への曲げ変形と捩れ変形とが同時に発生し、自由端３２が第１の高分子シート２０の湾曲面の外側に回り込んで第１の高分子シート２０の外面をＺ１方向に支持する。これにより、高分子アクチュエータ１の変位量および駆動力を大きくすることができる。 （もっと読む）