【課題】生産性がよく、基板に微細な流路パターンが形成されている場合であっても、該流路パターンの変形を生じない基板の貼り合わせ方法およびマイクロチップの製造方法、ならびに流体回路の変形が抑制されたマイクロチップを提供する。
【解決手段】光を透過する熱可塑性樹脂からなる第１の基板（１０１）と、光吸収物質が分散され、熱可塑性樹脂からなる第２の基板（１０２）とを貼り合わせる方法であって、（Ａ）少なくとも一方の基板の貼り合わせ面の温度を、熱板（１０４）等により、該基板を構成する熱可塑性樹脂のガラス転移温度近傍に調整する工程と、（Ｂ）第１の基板（１０１）および第２の基板（１０２）を重ね合わせて圧力を印加する工程と、（Ｃ）第１の基板を介して、光吸収物質に対して光（１０５）を照射する工程とを含む基板の貼り合わせ方法およびマイクロチップの製造方法、ならびにマイクロチップ。 （もっと読む）

本発明は、マイクロ流体デバイスであって、第１の膜および第２の膜の積層物を含み、１つのまたは各々の膜は、膜が合わせてその間の流体封じ込めのための密閉体積（１９）を画定するように一体的に熱成形された構造を含み、各々の膜自体は、比較的高い軟化温度の熱可塑性ポリマー材料（１４，１７）、およびそれに対して、比較的低い溶融温度の熱可塑性ポリマー材料（１５，１６）の積層物を含み、各膜のそれぞれの比較的低い溶融温度の熱可塑性ポリマー材料は、第１の膜と第２の膜とを一緒に貼り付けるために一緒に溶ける、マイクロ流体デバイスに関する。本発明は、マイクロ流体デバイスを製造する方法にさらに関する。 （もっと読む）

【課題】反応に悪影響を及ぼす温度変化や添加物等が無くとも簡単な仕組みで流路に気体や液体を脈動無く流すことができる反応装置を提供すること。
【解決手段】少なくとも供給路３または排出路４となる溝２と前記溝２に形成された反応部分５を有する基体１と、前記供給路３または排出路４となる溝２の内壁に形成されており、導体または磁性体と、前記導体または前記磁性体を覆う保護膜とからなる複数の微小突起７と、前記複数の微小突起７を駆動する電磁誘導発生手段とを備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、マイクロ流体デバイスを局所的に温度制御することである。
【手段】温度制御する部位の近傍に開口部を備えるマイクロ流体デバイスにより、マイクロ流体デバイスを局所的に温度制御することが可能になる。また、本発明は、マイクロ流体デバイスの開口部に、熱交換流体を導入あるいは熱交換部材を挿入する工程と、該熱交換流体または該熱交換部材を介してマイクロ流体デバイスと熱交換を行う工程とを含む、マイクロ流体デバイスの温度制御方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】マイクロチップの流路内において一定量の液体を加熱して、所望の化学反応を得るに際し、蒸発に伴う液量の減少・濃縮、液の移動、気泡の発生が生じないようにし、検体の安定した検出を図る。
【解決手段】平面板内に形成された微細な反応流路３５を有するマイクロ流体チップ２００に対して、反応流路３５に溜められた液体の温度を制御するマイクロ流体チップ２００の温調方法であって、反応流路３５を所定の反応温度に加熱すると同時に、反応流路３５の一端に連通する第１の流路４９ａと反応流路の他端に連通する第２の流路４９ｂとを、加熱又は冷却によって所定の反応温度と異なる同一の温度に保持する。 （もっと読む）

本発明の態様は、マイクロ流体集合体を含む。このマイクロ流体集合体は、少なくとも１つの開いたマイクロチャネル機構を少なくとも第１の面が有する平坦な基材と、この平坦な基材の前記第１の面に第１の面が取着されている蓋を形成するシート材とを具備し、この蓋を形成するシート材は、前記少なくとも１つのマイクロチャネル機構の少なくとも一部を覆い、また、前記蓋を形成するシート材は、第１の剛性を有する第１の領域と、第２の剛性を有する第２の領域とを有している。本発明のその他の様態は、発明を実施するための形態と、図面と、特許請求の範囲とに示されている。
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【課題】ハードマスクの除去を必要としない構造体の製造方法を提供する。
【解決手段】 酸化ケイ素を有する構造体の製造方法である。基板上に、有機ＳＯＧからなる第一の層を形成する工程と、この第一の層の上に、無機ＳＯＧからなる第二の層を形成する工程を有する。その後、第二の層に形成された前記パターンをマスクとして、第一の層をエッチングし、第一の層と第二の層とを焼成することにより、酸化ケイ素を有する構造体を作製する。 （もっと読む）

マイクロチップを様々なタイプのモジュールにインターフェースするための方法およびデバイスが、開示される。開示される技術は、ＤＮＡ配列決定および遺伝子型決定、プロテオミクス、病原体検出、診断および生物兵器防衛などの様々な用途のためのサンプル調製および分析システムとして使用することができる。本開示は、様々なサンプルに由来する標的分析物の調製および分析のための補足的な機能を有する集積化モジュラーシステムを提供する。
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【課題】本発明は、マイクロポンプ室が形成されているマイクロ全分析システムであって、容易且つ安価に製造しうるマイクロ全分析システムを提供する。
【解決手段】 基板内に微細流路とマイクロポンプ室が形成されているマイクロ全分析システムにおいて、該マイクロポンプ室に熱によりガスを発生する材料が充填されていることを特徴とするマイクロ全分析システムであり、熱によりガスを発生する材料が、酸素含有量が１５〜５５重量％のポリオキシアルキレン樹脂である。 （もっと読む）

【課題】ギャップ計測用の段差を正確に測定することができる新規なギャップ測定方法等を提供する。
【解決手段】２つの部材間のギャップを測定するギャップ測定方法であって、
対向して配置されている第１の部材と第２の部材を用意し、
前記第１及び第２の部材に、一方の部材側から光を照射し、
照射された光の反射光あるいは透過光の強度に関するスペクトルデータを取得し、
ギャップの大きさと強度スペクトルとが関連付けられているデータベースと、
前記スペクトルデータとを比較して、
前記第１の部材と前記第２の部材間のギャップを測定する構成とする。 （もっと読む）

【課題】キャディの使用により、分析機器との容易な相互接続を可能にする構成を備えている微小流体デバイスを提供する。また流体デバイスを形成するための方法を提供する。
【解決手段】流体デバイス１０は、本体部１１及び隣接導電性層１００を含む。本体部１１は、内部表面及び外部表面を有する。内部表面は、ウェル及び流体搬送造作２５、たとえばウェルと流体が流れるように連通する微小造作を画定する。隣接導電性層１００は、ウェルの側壁４６Ｓ及び、外部表面、内部表面の選択された領域上に位置し、流体搬送造作２５内の任意の流体と電気的に接続した状態で、外部表面４４上に接触パッド領域が形成されている。 （もっと読む）

本発明は集積電子マイクロ流体素子に関する。当該素子は、第1支持体(122)上に存在する半導体基板(106)、該半導体基板の第1半導体基板面上に存在する電子回路(102,104)、及び外部素子への信号インターフェース構造を有する。前記信号インターフェース構造は、前記第1半導体基板面上に備えられ、かつ前記電子回路から電気信号を受け取るように備えられている。マイクロ流体構造(126)は、前記半導体基板内に形成され、かつ流体を閉じこめて、該流体が、前記第1半導体基板面に対向して、かつ前記第1支持体の反対を向く第2半導体基板面上にのみ存在する前記マイクロ流体構造から流れること、及び前記マイクロ流体構造へ流れることを可能にするように備えられている。当該電子マイクロ流体素子は、様々なシステム・イン・パッケージ用途を構築するための柔軟性を有するプラットフォームを形成する。それにより、電気面と液体化学面とが明確に分離される。本発明の素子を作製する方法についての請求項に係る方法はまた、単純な断熱マイクロ流体構造の構築をも可能にする。

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本発明はチップ(10)のキャピラリーのアレイ(12)を製造する方法に関し、方法はサポートプレート(14)上に溶融または重合可能な構成材料の少なくとも1つの層を堆積させ、材料を溶融または重合させるために前記層それぞれの上にレーザービームを収束させ、かつその上を移動させ、キャピラリー(12)の側壁(18)を形成し、その後キャピラリーの側壁上にカバープレート(16)を固着させることからなる工程を含む。本発明は、化学または生体分子が固定されるキャピラリーのアレイを含むチップも提供し、チップはクロマトグラフィーおよび/または電気泳動キャピラリーのアレイを含む。
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【課題】
【解決手段】少なくとも第１プライにマイクロスケールの窪み部を作り、第１プライの窪み部が流体的な連続性のある（fluidly continuous）チャネル（１２）を形成するように第１プライを第２プライで覆って、硬化材料でチャネルを実質的に満たすように硬化材料をチャネル内に促し、特に注入口（１７）を介してそこから離れた排出口（１８）から硬化材料が出てくるまで流体的な連続性のある（fluidly continuous）チャネルに硬化材料を促し、硬化材料をその場で（in situ）硬化させるステップを含む、特に異種材料の、第１プライ（１４）と第２プライ（１６）との間に細線接着接合および／またはシールまたはガスケットおよび／またはライニングされたチャネル、特に細線接合シールを設ける方法。また、前記方法を実施するシステムと、該方法で作られた接合および／またはシーリングおよび／またはライニングされた製品について記載する。 （もっと読む）

マイクロ流体システム（１、２、１０、１１、１６）は、第一の部分（３、４、２４、２５）と第二の部分（５−７）を包含し、前記第一の部分（３、４）が、刺激要因によって活性化された時に、その体積を変化させることが出来る物質から成り、前記第一の部分（３、４）と前記第二の部分（５−７）とは、前記第一の部分（３、４）が未だ前記刺激要因によって活性化されていない時に、いかなる流体経路も備えていない第一のトポグラフィを示し、前記刺激要因によって活性化された後に、少なくとも一つの流体経路を包含するようになっている第二のトポグラフィ（９、１４）を示す領域（３−７）を画定すること、及びさらに、前記マイクロ流体システムが、前記第一の部分（３，４）と前記第二の部分（５−７）との上方に位置付けられる密閉の覆い面（２０）を包含することを特徴とする。
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本発明は、マイクロシステムの製造方法に関し、さらには当該マイクロシステムにも関する。この方法によって、マイクロシステムは、少なくとも1面上に導電性層(11a,11b)を有する前処理がされた処理ホイル(10)を積層することによって製造されて良い。積層後、ホイル(10)は、圧力及び熱を用いることによって密閉される。最終的には、マイクロシステムは積層体(S)から分離される。ホイルの前処理（レーザービームの手段によって行われることが好ましい）は、次の、(A)ホイルをそのままにしておく工程、(B)導電性層を除去する工程、(C) 導電性層を除去し、かつホイル(10)を部分的に蒸発させる工程、及び(D)ホイル(10)だけではなく導電性層をも除去することでホイル(10)内に穴を作る工程、を選択する。前記の積層と併用することによって、空洞、自由に浮くカンチレバー、及び膜を作製することが可能となる。これによって、MEMS素子及びマイクロ流体システムのような様々なマイクロシステムを製造する可能性が開かれる。
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本発明は、マイクロシステムの製造方法に関し、さらには当該マイクロシステムにも関する。この方法によって、マイクロシステムは、少なくとも1面上に導電性層(11a,11b)を有する前処理がされた処理ホイル(10)を積層することによって製造されて良い。積層後、ホイル(10)は、圧力及び熱を用いることによって密閉される。最終的には、マイクロシステムは積層体(S)から分離される。ホイルの前処理（レーザービームの手段によって行われることが好ましい）は、次の、(A)ホイルをそのままにしておく工程、(B)導電性層を除去する工程、(C) 導電性層を除去し、かつホイル(10)を部分的に蒸発させる工程、及び(D)ホイル(10)だけではなく導電性層をも除去することでホイル(10)内に穴を作る工程、を選択する。前記の積層と併用することによって、空洞、自由に浮くカンチレバー、及び膜を作製することが可能となる。これによって、MEMS素子及びマイクロ流体システムのような様々なマイクロシステムを製造する可能性が開かれる。

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ラボ・オン・チップ（LOC）およびマイクロ・トータル・アナリシス・システムズ（Micro Total Analyses Systems）の製造のための相互接続およびパッケージング方法が提供される。バイオセンサー、ヒーター、クーラー、バルブおよびポンプといった種々の機能が、電子的／機械的／流体的モジュール内に、超音波接合処理を使ったフリップチップ技術によって組み合わされる。チップ上での所定のポリマー環がシールのはたらきをする。
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本体内に形成された少なくとも１本のマイクロチャネル（７４）と該マイクロチャネルに連通するポンプ（７２）とを有する閉ループマイクロ流体デバイス。ポンプは外部駆動力によって作動し、マイクロチャネル内の流体の押進及び牽引を行う。試薬を貯蔵するために、マイクロチャネルに連通する複数のチャンバ（７３，７６）が形成される。試薬はポンプによってマイクロチャネル内を移動させられる。マイクロチャネルには複数の活性区域（７０，７１）も形成される。様々な反応及び診断は活性区域において行なわれる。試料はシール可能な流入ポート（７７）を介してマイクロチャネルへ導入される。マイクロチャネルは、すべての必要な試薬及び診断装置を閉ループマイクロ流体デバイス内に収容して、閉ループを形成する。試料は、完全に閉ループマイクロチャネル内で処理され分析される。
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流体輸送／封じ込め装置は、流体保持モジュールおよび操作モジュールを有する。この流体保持モジュールは、サブストレートと、このサブストレートに分散させた流体輸送／封じ込め素子とを有し、この流体輸送／封じ込め素子のうちの１個またはそれ以上の流体輸送／封じ込め素子は、マイクロ流体寸法を有する。操作モジュールは、操作素子が流体輸送／封じ込め素子と接触して作用インタフェース（境界面）を生ずるように、流体保持モジュールに着脱可能に固定する。 （もっと読む）