【課題】外箱を必要とせず、使用する材料が少なく、梱包開梱の作業負荷が少なく、また、使用しないときは折り畳んで、少ないスペースで保管でき、耐衝撃性と断熱性に優れた基板収納ケースを提供する。
【解決手段】底面部と正面部と背面部と対向する２つの側面部と開放された開口部を有するケース本体と、ケース本体の開口部を塞ぐケース蓋からなる基板収納ケースであって、ケース本体が、周縁部を接着された、折り曲げ可能な２枚のシートからなり、シートに取り付けられた気体注排口より気体を２枚のシートの間に、注入することによって、直方体形状が保持され、気体注排口より気体を排出することによって、折り畳み可能にする。 （もっと読む）

【課題】薄い大型の平板状基板を表面へのダメージ無く収納し搬送することができる、薄型、軽量の基板収納用トレイを提供するにより、一度に輸送できる基板の枚数を多くでき、輸送コストを低減する。
【解決手段】平板状で同一形状の複数の基板を一枚ずつ収納し、該基板を囲む枠部で水平に多段に積み重ねて搬送するための基板収納用トレイにおいて、枠部と連結して枠部の内側に基板を担持する基板支持部を有し、基板支持部の基板と接する部分に自己粘着性を有する基板固定部材を設けた。 （もっと読む）

【課題】表面に周期凸構造を有する光拡散板を、粘着剤残りによる光拡散板の光学性能の劣化を防止し、かつ、凸構造に傷をつけることなく保管・運搬すること。
【解決手段】保護フィルムを、光拡散板の保護すべき周期凸構造が設けられた面ではなく、その反対側の面に設けると共に、そのようにして得られた光拡散板積層体を周期凸構造と緩衝材層が接するように順次重ねる。 （もっと読む）

【課題】マスクに貼り付けても、マスクに歪みを与えることの少ないリソグラフィー用ペリクルを提供する。
【解決手段】ペリクルフレームの一方の端面に接着剤層を介してペリクル膜が張設され、他方の端面にマスク貼付側の面が平坦な粘着剤層が設けられ、かつその粘着力が１Ｎ／ｍから100Ｎ／ｍの範囲にあることを特徴とし、前記粘着剤層のマスク貼付側の面の平坦度を15μｍ以下とし、ペリクル膜が貼付された前記接着剤層の面の平坦度を15μｍ以下とするのが望ましい。 （もっと読む）

【課題】容器本体の側壁の撓み変形や歪みを抑制でき、ガラス基板等の板状体の撓みを防ぎ、溝外れ及び干渉による破損を防止でき、板状体の薄肉化にも対応できる、板状体の搬送容器を提供する。
【解決手段】相対向する側壁１２ｂの内面に板状体の側端部を支持する支持用溝１３を設けた容器本体１と、蓋体３と、中蓋５とを備え、中蓋５を、四周各辺部５１ａ，５１ｂを側壁上端部の内側に嵌合することにより容器本体１の側壁１２ａ，１２ｂの変形を抑制できる板体よりなるものとし、少なくとも一方の相対向辺部５１ｂの側端面に突設した突縁５ａ，５２ｂを、容器本体１の側壁上端部の内側に形成された切欠段部２２ａ、２２ｂに嵌合して所定位置に位置決めするように設ける。 （もっと読む）

【課題】シート材を成形したものでありながら、他の補強体を用いずとも、保管、輸送中の外力に耐え、内部に収納したペリクルへの異物付着を防止する十分な剛性を有する、軽量かつ低コストのペリクル収納容器を提供する。
【解決手段】ペリクルを載置する容器本体と、ペリクルを被覆すると共に容器本体と周縁部で嵌め合い係止する蓋体とからなる樹脂のシート材を成形した少なくとも一辺の長さが５００ｍｍを超えるペリクル収納容器において、容器本体の互いに平行な２辺が、側面方向から見た場合に、蓋体と嵌め合い係止した周縁部の内側に少なくとも２段の立面を有する階段形状に形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 少なくともひとつの辺長が５００ｍｍを超える矩形のペリクルを安全、確実かつ容易にハンドリングできるペリクルハンドリング治具を提供する。
【解決手段】 ペリクルフレームの一対の辺の外側面に沿って配置される２本の腕部を有し、該２本の各腕部はその一端で連結部に接続され、該連結部には操作部が設けられ、該２本の各腕部上には少なくとも２箇のペリクルフレーム把持手段が、任意の位置に移動ならびに固定可能な移動手段に搭載されていることを特徴とし、前記ペリクルフレーム把持手段の先端はピン形状または爪形状を有し、該先端をペリクルフレームの外側面に設けられた凹み部または溝部に挿入してペリクルの把持を行う。 （もっと読む）

【課題】モジュールにより複数の薄板パネルを上下方向に積み重ねる際、薄板パネルの荷重伝達面積を十分に確保可能なモジュールおよび薄板パネルの積重ね方法を提供する。
【解決手段】薄板パネルを下方から支持する支持部と、パネルの重さを上下方向に伝達する荷重伝達部と、パネルの水平方向の位置決めをする位置決め部とを有する、薄板パネルの積重ねに用いるモジュール１０であって、荷重伝達部は、支持部から外方に延びる荷重伝達面を有し、荷重伝達面は、モジュールの上部に設けられた荷重受け面と、モジュールの下部に設けられた荷重解放面とを有し、位置決め部は、モジュールの下部に下方に突出する突出部７０を有し、上方のモジュールの荷重解放面を下方のモジュールの荷重受け面に載置する形態で上方のモジュールを下方のモジュールに積み重ねる際、上方のモジュールの突出部の外側面を下方のモジュールの上部の内側面に対して内方から当接させる。 （もっと読む）

【課題】本発明はガラス基板が収納される収納容器本体の蓋を係止する際の発塵がガラス基板に付着することを防止することを課題とする。
【解決手段】ガラス基板収納容器１０は、複数のガラス基板が収納される収納容器本体２０と、ガラス基板の製造ラインの検査工程で使用される第１の蓋３０と、出荷時に使用される第２の蓋４０と、底部蓋５０とを有する。検査工程では、第１の蓋３０を収納容器本体２０に装着し、検査終了後の出荷時に第２の蓋４０を収納容器本体２０に装着することにより、係止部１１２と被係止部４５との摺接回数を減少させ、収納容器本体２０に収納されたガラス基板に付着する異物の数を削減する。 （もっと読む）

【課題】光学材料に対する粘着特性、経時粘着安定性、透明性、巻き戻し性および耐熱性に優れた表面保護フィルムを提供する。
【課題を解決するための手段】表面層（Ａ）および粘着層（Ｘ）の少なくとも２層からなる表面保護フィルムであり、表面層（Ａ）がポリオレフィン樹脂からなり、粘着層（Ｘ）が、メタロセン触媒を用いて得られる炭素数３以上のα−オレフィンを主成分とする低結晶性α−オレフィン（共）重合体（Ｘ−１）５〜９５重量％、および融点が５０〜１３０℃の範囲にあり、メタロセン触媒を用いて得られるプロピレン（共）重合体（Ｘ−２）９５〜５重量％（（Ｘ−１）および（Ｘ−２）の合計で１００重量％とする）からなる組成物から形成されること特徴とする表面保護フィルム。 （もっと読む）

【課題】表面からだけでなく、端面からの酸素及び水蒸気の浸入も防ぐことができ、且つ透明性を兼ね備えたガスバリア性積層体、及び包装袋を提供する。
【解決手段】第１の透明ガスバリア性フィルム１ａ，１ｂと、該第１の透明ガスバリア性フィルム上に積層された粘着剤層２と、該粘着剤層上に積層された第２の透明ガスバリア性フィルムとを有する積層体であって、該粘着剤層がシランカップリング剤を含むことを特徴とするガスバリア性フィルム積層体。 （もっと読む）

【課題】塗装材にて塗装を行う場合において、塗膜の破損を抑制できるペリクル枠体、ペリクル、ペリクル枠体の製造方法を提供する。
【解決手段】ペリクル１のペリクル枠体２は、アルミニウム又はアルミニウム合金からなる枠部材のコーティングにおいて、塗装材のガラス転移点を５０℃以上３５０℃以下としている。これにより、ペリクル枠体２に撓みが生じた場合であっても、ペリクル枠体２と塗装材との密着性を確保できているため、塗膜Ｐの剥がれを防止できる。また、所定の強度を有するため、ハンドリング治具等による塗膜Ｐの削れも防止できる。したがって、塗膜Ｐの亀裂等の破損の発生を抑制できる。 （もっと読む）

【課題】 飛行機搬送用のアウターケースによる梱包形態のサイズを従来の梱包形態よりも小さくできるアウターケースの梱包形態を提供する。特に、Ｇ７．５（第７．５世代）、Ｇ８（第８世代）の大型のフォトマスクの場合において、飛行機搬送の旅客便でも、搬送できるサイズのアウターケースによる梱包形態を提供する。
【解決手段】 底面内側に、搭載部と搬送用のフォークリフトのフォーク差し込み口部とを兼ね、且つ、取り外しができるパレットを備え、インナーケ−スを持ち上げるためのジャッキを備え、インナーケースを出し入れする側面扉を備え、上面側に、上部の側面全周を覆うようにして上面側全体を塞ぎ、上下に移動でき、且つ、上下移動により面扉の開閉可否を制御する上蓋部を備えている。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板等の板状体を平置き状態で収納する搬送用容器として、四角形の一辺と対向辺の両コーナー部で支持可能な板状体を、他の接触支持不可部分を当接させず安定性よく保持できるようにする。
【解決手段】四角形の板状体を平置き状態で収納できる収納凹部１を、本体周縁部に段積み用の枠部２を残して凹設し、少なくとも１枚の板状体Ｂを、各辺の周囲にクリアランスを存して収納できるように形成し、収納凹部１の底部３の上面３ａを一辺に対応する辺部の側に向かって下り傾斜の傾斜面とし、接触可能な一辺の側を低位側に寄せて位置させて、接触可能な一辺を枠部内側面に当接させて支持できるようにする。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板等の板状体を、板状スペーサを介して重ねた状態で収納でき、その保護を良好になすことができる板状体の搬送用容器を提供する。
【解決手段】平面矩形の板状体Ｂを板状スペーサ１０を介在させて複数枚を重ねて平置き状態で容器本体１内に収納して搬送するもので、板状スペーサ１０を、容器本体１の収納部５に対応した板状とし、一方の相対向辺部に、容器本体１の相対向側壁３，３の内面に形成された嵌合凹部６，６に嵌合できる突出縁部１２，１２を形成し、突出縁部１２，１２の厚みをスペーサ本体部１１の厚みより大きく、突出縁部１２，１２を嵌合凹部６，６に嵌合して各板状スペーサ１０を、各スペーサ間に板状体Ｂを挟んで積み重ねた状態において、積み重ね荷重を突出縁部１２で受支するように設ける。 （もっと読む）

【課題】板状物を撓んだ状態で保持するトレイで、板状物の機能を有する部分を、他と接触させずに、板状物同士、所定の間隔を保持した状態で、重ねて、搬送、保管が簡単に、効率的にでき、振動よる板状物の品質面の問題を解消できるトレイを提供する。
【解決手段】全体を支持する基材で、枠内側領域が前記板状物より大きい枠部２０と、枠部に支持され、枠部の枠内側領域において、板状物を鉛直方向下側に撓ませた状態でその下側から保持する板状物保持部３０とを備え、枠部は、トレイを複数重ねる際の重なり部であり、トレイを複数重ねる際にその表裏が互いに面接触するように形成されているもので、板状物保持部の板状物を載せない側の面である裏面の少なくとも一部に、板状物を載せたトレイを複数重ねた状態において、板状物と接触して振動を抑制する、振動抑制部材４０が取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】分割枠とする場合であっても接合部に枠体よりも剛性の高い部材等を用いることなく実用上問題のない剛性及び寸法安定性を維持すると共に、歩留まりを向上させることができるペリクル枠体及びペリクルを提供する。
【解決手段】ペリクル１のペリクル枠体２では、接合部２２ａ〜２２ｈにおける接合強度を１０ｋｇｆ以上としているため、分割枠体であっても、撓みや歪みを抑制できると共に、剛性を確保することができる。また、分割枠体とすることで、寸法を容易に調整することができ、寸法精度を確保することができると共に製造工程を簡易化できる。そのため、接合部を有さない枠体と同様の寸法精度を容易にでることができる。したがって、分割枠体を用いる際に、接合部２２ａ〜２２ｈに剛性の高い部材等を用いることなく剛性及び寸法安定性を維持できると共に、歩留まりを向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】型枠付き太陽電池モジュールなどの板状体からの抜け出しを確実に防止して梱包する。
【解決手段】底面部２の側端縁に側面部３および側面側上面部４が折り目を介して順に連設される一方、底面部２の上下各端縁に背面部５及び正面部６が折り目を介して連設されるとともに、背面部５の上端縁及び正面部６の下端縁に、背面側上面部７及び正面側上面部８がそれぞれ折り目を介して連設されて構成される。そして、側面側上面部４の各差込孔４ａに臨む上下各端部近傍に側面部３との折り目ｂに向かって凸状の切れ目ｇが形成されるととに、該凸状の切れ目ｇを挟んで側面側上面部４の端縁から設定長さにわたって一対の切れ目ｈが形成され、凸状の切れ目ｇと一対の切れ目ｈとの間に内フランジ部の幅に対応して折り目ｂと平行に内フランジ部の厚みに相当する間隔の一対の折り目ｉが形成される。 （もっと読む）

【課題】 ペリクルフレームの内壁面に、薄い粘着剤層をコーティングすることにより、フォトマスクにゴミなどの異物が付着することを効果的に防止することができ、リソグラフィ用ペリクルの歩留まりを向上させることができるリソグラフィ用のペリクルの製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明のリソグラフィ用のペリクルの製造方法は、第一のスプレーノズル１１と第二のスプレーノズル１２とが所定の間隔で設けられたスプレーノズルセット１０を用いて、まず、ペリクルフレーム２０の内壁面１に、第一のスプレーノズル１１から粘着剤溶液を噴射し、次いで、溶媒の揮発によって、粘着剤溶液中の粘着剤濃度が所定濃度以下にならないうちに、第二のスプレーノズル１２から粘着剤溶液の溶媒を噴射するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】積層方向と直交する方向におけるクリアランスをゼロとすることができるとともに、積み重ねを解除しやすいコーナー部材を提供する。
【解決手段】コーナー部材１は、パネル状製品Ｐの積層（積み重ね）方向に延びて、同製品の重量を受ける柱部１０と、パネル状製品Ｐの隅が載置される受部４０とを有する。柱部１０は、略直交するコーナーを形成する周壁面を有し、受部４０は、周壁面の下辺から内方向に水平に張り出すテラス状の底面４１を有する。周壁面の内面の傾斜面１２ｘ、１２ｙは、底壁面４１の外面の傾斜面４７ｘ、４７ｙと当接して、Ｘ方向又はＹ方向の＋方向又は−方向のズレ止めとなる。さらに、周壁面の上面の傾斜面２３ｘ、２３ｙは、周壁面の下面の傾斜面と当接して、Ｘ方向又はＹ方向の−方向又は＋方向のズレ止めとなる。 （もっと読む）