【課題】保管棚および移送手段から保管容器が落下するのを確実に防止する。
【解決手段】保管棚システム１は、次工程の処理を受けるために待ち時間が生じたシリコンウエハを収納したＦＯＵＰ１０を入出庫させるシステムである。そして、スタッカロボット２２によりＦＯＵＰ１０が保管棚２１に入庫される場合には、保管棚２１の外周キネマティックピン２１ａは、ＦＯＵＰ１０の外周ピン窪み１１ｄに侵入することにより、スタッカロボット２２の内周キネマティックピン２３ａとＦＯＵＰ１０のロック爪１６との係合を解除するとともに当該係合が解除されたロック爪１６に係合する。また、スタッカロボット２２によりＦＯＵＰ１０が保管棚２１から出庫される場合にはスタッカロボット２２の内周キネマティックピン２３ａは、ＦＯＵＰ１０の内周ピン窪み１１ｅに侵入することにより、保管棚２１の外周キネマティックピン２１ａとＦＯＵＰ１０のロック爪１６との係合を解除するとともに当該係合が解除されたロック爪１６に係合する。 （もっと読む）

【課題】高度な回路の微細化要求を満たすとともに、半導体ウェーハの汚染を抑制し、パーティクルの発生をも有効に抑制できる半導体ウェーハ収納容器を提供する。
【解決手段】複数枚の半導体ウェーハＷを整列収納するフロントオープンボックスタイプの容器本体１と、容器本体１の開口正面部を密封閉鎖用のシールガスケットを介して開閉する蓋体とを備え、容器本体１の半導体ウェーハＷとの接触領域２０にイオン注入装置によりイオン注入処理を施して導電化する。容器本体１の半導体ウェーハＷとの接触領域２０に、イオン注入して表面改質し、耐汚染性、導電性、耐磨耗性等を付与するので、最近の回路の微細化要求を満たしながら半導体ウェーハＷの汚染を有効に抑制することができる。また、導電化による帯電防止により、静電気破壊やスパークを防止したり、パーティクルの発生を有効に防止できる。 （もっと読む）

囲い部及びドアを含むフロントオープンウエハ収納容器。一対の間隔があけられた片持ちウエハ棚を含むウエハ支持システムが備えられており、各ウエハ棚は一対の対向傾斜ランプ部を含む。ランプ部は、ウエハが棚に受入れられた時に、ウエハがその下側外縁角部においてランプ上で支持されるように協働的に位置決めされると共に構成され、ウエハの他の全ての部分は、ウエハ支持システムと接触していない。各ウエハ棚は概ね凹状の上面を有してよく、またランプの傾斜は、ウエハ棚の凹状上面と連続する。
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【課題】乾燥工程で形成され果実収容凹部の肩部（開口縁の９０°近い屈曲部）を無くして、収容果実の損傷を確実に防止する。
【解決手段】パルプ溶液に成形型を浸して金網製の成形型面の裏面側から吸引した後、パルプ溶液から取り出し、成形型面に付着している未乾燥品を成形型面から外して、成形型面を転写された果実収容凹部の側を下にして台上に載置して乾燥させて得る果実収容用パルプモールドトレイ。果実収容凹部５１の底部５１ｄの中心と開口縁部５１ａの任意位置とを結ぶ線で切った断面の少なくとも１／２高さより上の部分５１ｃ・５１ｂは、その曲率が開口縁部近傍５１ｂを除いて一定であり、開口縁部近傍５１ｂでは相対的に小さく形成されて拡げられている。 （もっと読む）

【課題】トレイと蓋との挟持する長手方向において、挟持力の差を小さくすることができるペリクル収納容器およびそのペリクル収納容器に用いられる挟持部材を提供する。
【解決手段】ペリクル膜と当該ペリクル膜を支持する支持枠とからなるペリクルを輸送するためのペリクル収納容器であって、トレイ３と、その蓋となるカバー２と、トレイ３とカバー２を挟持する挟持部材４とを備え、挟持部材４が、装着状態においてカバー２に接してカバー２をトレイ３側に押しつける第一押圧部４１と、装着状態においてトレイ３に接してトレイ３をカバー２側に押しつける第二押圧部４２と、第一押圧部４１と第二押圧部４２とを連接する連接部４３とを有し、連接部４３におけるペリクル収納容器の辺長方向の開放端部の厚さを、２つの開放端部の間の厚さよりも大きくしたペリクル収納容器とする。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、ペリクルの載置面の裏側に構造体を固定具により固定してペリクル収納容器の剛性を補強すると共にペリクルの載置面に直接平坦性を付与してマスク用粘着材の変形を防止し、構造体のリサイクルも可能としたペリクル収納容器を提供することを可能にすることを目的としている。
【解決手段】 ペリクル載置台３のペリクル２の載置面３ａとは反対側の面に構造体７を配置し、且つ該構造体７がペリクル載置台３に設けられた貫通穴３ｂに挿通されたネジ８により該ペリクル載置台３に固定されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】磁気ヘッド収容ケースに関し、収容ケース固有の情報、あるいは収容される磁気ヘッドに関する情報を確実に保持し、収容される磁気ヘッドの不良発生を防止することを目的とする。
【解決手段】磁気ヘッド１を収容可能で、少なくとも表層に導電性が付与されたケース本体２内にＲＦＩＤタグ３を埋め込んで構成する。。 （もっと読む）

【課題】薄板収納容器を真空包装する際に袋が破損するのを防止する。
【解決手段】トップフランジ５と、トップフランジを覆う保護カバー４１とを備えた。トップフランジがほぼ四角形平板状のフランジ部２５を有し、保護カバーが、フランジ部全体を覆う四角形皿状に形成した。保護カバーには、フランジ部の対向する２つの辺に当接して一方向の位置決めをする一対の当接部４２と、各当接部と直交するフランジ部の２つの辺に当接して他方向の位置決めをすると共に当該２つの辺に係止する一対の係止爪４３とを備えた。保護カバーの周縁の端部から係止爪の両側の位置まで２つのスリット４５を設けて係止爪を撓みやすくした。２つのスリットで仕切られた保護カバーの周縁部と係止爪との間には係止爪を開閉させる取っ手部４４を設けた。 （もっと読む）

【課題】第８世代と呼ばれるような大サイズのガラス基板の保持においても、基板のたわみを充分に抑制可能な基板カセットを提供する。
【解決手段】複数枚の基板を水平姿勢で上下方向に多段に収納し、上記各基板の中央部のたわみを抑制するように支持するサポートバー２０が配置された基板カセット１２であって、基板搬入側とは反対側の背面に形成されたフレームと上記サポートバー２０との間に、上記サポートバー２０の上下方向の歪みを調整する上下方向調整機構を具える。 （もっと読む）

【課題】マスク用部材の耐久性を向上させることのできる補強部材及びそれを備えたマスク用部材を提供すること。
【解決手段】電子部品用部材を挿入保持する複数の保持孔を有する弾性部材に内蔵される補強部材であって、複数の貫通孔６が配列されて成るところの、配列方向に平行で、かつ、最外列に配列された貫通孔に接する外側の接線で囲繞される貫通孔集合部２と、前記貫通孔集合部２を囲繞する周辺部３から隅部４を除外して成る外側領域５に形成されたところの、前記弾性部材が貫入する貫入孔７とを備え、前記貫入孔７は、前記外側領域５の仮想面積に対して１３〜５５％の面積を有することを特徴とする補強部材１、及び、補強部材１と電子部品用部材を挿入保持する複数の保持孔を有する弾性部材とを備え、補強部材１は保持孔が貫通孔６を貫通するように弾性部材に内蔵されてなるマスク用部材。 （もっと読む）

【課題】半導体パッケージを収納/移動させるのに使用される半導体パッケージ用収納トレーに関し、特に半導体パッケージが揺れても、揺れを緩衝して半導体パッケージを安全に保管可能とする。
【解決手段】平板形状の第１材質の本体１１０と、該本体１１０を貫通するように複数形成される装着孔１１４と、該装着孔１１４の内側面を囲むようにそれぞれ装着され、半導体パッケージを収容することができる空間を提供する第２材質のポケット１２０と、少なくとも一対の装着孔１１４の間に形成され、第２材質を装着孔１１４へ案内する注入湯道用空間とを含むことを特徴とする半導体パッケージ用収納トレーを提供する。 （もっと読む）

【課題】容器の壁部に開けた通気孔などに比べて、特に横方向からの冷気などが効率よく通り抜けることができる通気部を有し、収容されている果実に対してより直接的で効果的な通気を可能にした、果実などの包装に有用な包装容器を提供する。
【解決手段】
合成樹脂シートで成形された包装容器(A1)は、底容器(10)と、底容器(10)と連結部(12)でつながった蓋容器(11)で構成されている。底容器(10)と蓋容器(11)は、所要数の収容部(13,16)を備えている。係合凹部(15)と係合凸部(18)を係合させ底容器(10)と蓋容器(11)を本質的に閉じた状態では、底容器(10)開口縁部と蓋容器(11)開口縁部の間に、連結部(120)を除く全周にわたり開口縁部が非接触の通気隙間(19)が形成される。 （もっと読む）

【課題】 落下時の衝撃を有効に吸収する。
【解決手段】 半導体ウェーハ等の精密基板を収納する精密基板収納容器を包装体に梱包する際に、精密基板収納容器の上部または下部に配置される梱包用緩衝体２であって、この梱包用緩衝体２が、梱包時に精密基板収納容器の上面または下面を覆う底部２１と、この底部２１の外周縁から立ち上がって隆起する外周壁２２と、この外周壁２２の上面および下面に設けられるベローズ２３と、底部２１から、外周壁２２の隆起方向とは反対側の方向に突出する複数の突出部２４とを備え、これら突出部２４の座屈強度が異なることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】寸法の異なる複数の半導体チップに対応可能であって、破損のおそれを最小限にして半導体チップを収納およびピックアップすることのできる半導体チップトレイを提供する。
【解決手段】半導体チップトレイは、平板１と、平板１を支持する枠体１２と、平板１の表面に設けられてチップ７が載置される弾性体シート１０とを備える。平板１には、表面２と裏面３の間を貫通する第一の貫通孔４と第二の貫通孔５が設けられている。弾性体シート１０は、接着性を有する材料からなるとともに、第二の貫通孔５を通じて設けられた接続部材９によって平板１の裏面３に固定されている。そして、第一の貫通孔４は、載置されたチップ７の略中心に対応する位置に設けられる。 （もっと読む）

【課題】離剥フイルムの量がが少なく、比較的簡単な設備により、より低コストで清浄度を維持することが出来るトレイ型容器を提供する。
【解決手段】トレイ型容器（１Ａ）は、略平板状の容器本体（１）と略平板状の蓋（２）とから成り且つ清浄度を維持すべき物品を略固定状態で収容し、しかも、多段に積み重ねて使用される剛性容器であり、容器本体（１）及び蓋（２）は、各々、原料シート（３）を絞り成形して形成され、かつ、原料シート（３）として、導電層と保護層とが一体成形により積層された積層シートを保護層が表面に露出する様に基材シートに貼り合わせて成る原料シートを使用することにより、容器本体（１）及び蓋（２）の各内表面には、物品を収容する際に剥離シート（４）として剥離される保護層が配置されている。 （もっと読む）

【課題】 従来より短期間で製造可能であり、分別廃棄及び再利用が可能な電子部品搬送用トレイを提供する。
【解決手段】 中央部分に載置部を有する固定部材１と、電子部品を収納するポケット４を複数有する可動部材２とを具備し、可動部材２は、固定部材１の載置部に搭載されるように構成されている。固定部材１は、射出成形により形成された成形品であり、可動部材２は、通常真空成形により形成された成形品である。可動部材には真空成形品とともにエンボステープなどのキャリアテープであることも可能である。固定部材１は、周辺に少なくとも２つの固定爪３を有して可動部材２を固定する。 （もっと読む）

【課題】弾性保持片の汚染や変形を抑制し、基板を安定した状態で抑えることのできるリテーナ及び基板収納容器を提供する。
【解決手段】リテーナ１を、長方形を呈した略枠形のベース体２と、このベース体２に設けられて半導体ウェーハの上部周縁を保持する複数の弾性保持片１０と、ベース体２に設けられる一対の脱着用の操作体２０と、他のリテーナ１との接触を制限する複数の接触制限体３０とから形成する。そして、このリテーナ１を複数枚の半導体ウェーハを整列収納する基板収納容器の蓋体内面に着脱自在に装着する。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の荷重による容器の変形が生じにくく、輸送時におけるガラス基板の振動による粉塵が発生しにくいガラス基板搬送用トレイ及び輸送時にガラス基板の振動が生じにくいガラス基板搬送用トレイを提供することを目的とする。
【解決手段】複数の収納部が形成されたポリオレフィン系樹脂発泡体からなるガラス基板搬送用トレイであって、該収納部は底面と底面を取り囲む側壁とを有し、前記底面の周縁に凹部を有し、最も外側に位置する側壁１５’の外周であって側壁１５’よりも低い位置に形成されたフランジ部３１と、トレイの裏面に形成された突条部とを有すること、及び、前記収納部において対向する２組の側壁のうちそれぞれ１組又は２組の側壁において隣接する収納部間の側壁に凹部１６が設けられ、最も外側に位置する前記側壁１５’の中央部分に凹部１７が設けられていること、を特徴とするガラス基板搬送用トレイ。 （もっと読む）

【課題】メロン等のように比較的サイズが大きな果実類を収容して損傷無く輸送等できるハルプモールド成形品を提供する。
【解決手段】果実類収容用の複数個の凹部２０を備えたパルプモールド成形品。果実類を収容するための複数個の凹部２０が上面視で略長方形を成すトレイ内に配設され、凹部２０の中で相互に隣接する少なくとも一組の凹部の各隣接側部位には凹部の開口高さより上方へ突出する上部支持壁２７が凹部内壁２１から連設され、各上部支持壁２７はその上縁部２７０にて隣接相手の上部支持壁２７の上縁部２７０に水平連設部２７１を介して連設されているパルプモールド成形品。 （もっと読む）

【課題】搬送時に激しい振動を受けた場合でも、ガラス板の移動が生じ難く、これによる破損や表面傷の発生を防止することを回避するとともに、ガラス板の大板化に伴う梱包体の大型化やこれに起因する取り扱いの困難化に適切に対処可能とする。
【解決手段】ガラス板Ｇを略垂直方向に載置するための載置面２ｂと載置面２ｂの後端部から略垂直方向に延在する背もたれ面２ａとを備えた断面が略Ｌ字型の基台２上に、複数枚のガラス板をＧ各相互間に保護部材３を介装して、背もたれ面２ａに立て掛け状態で収納してなるガラス板Ｇの梱包体において、前記基台２の背もたれ面２ａを湾曲してなり、複数枚のガラス板Ｇを背もたれ面２ａに沿った湾曲状態で収納してなる。 （もっと読む）