【課題】長期連続運転が可能で、脈動の発生も防止することができ、安定した状態で低温液化ガスを送液できる低温液化ガスポンプを提供する。
【解決手段】低温液化ガスポンプ１０は、低温液化ガス容器１１の外部に配置される駆動部１２と内部に配置されるポンプ部１３と、ポンプ部のインペラ１４と駆動部の駆動軸１５とを接続するシャフト１６と、シャフトを軸受を介して回転可能に収納するケーシング１９とを備えている。シャフトは、駆動側の上部シャフト１６ａと従動側の下部シャフト１６ｂとに分割されし、上部シャフトと下部シャフトとを磁気継手２０によって非接触状態で磁気結合し、下部シャフトを磁気軸受１７，１８を介して非接触状態でケーシングに支持するとともに、ケーシング内と低温液化ガス容器内と連通させる連通孔２６を有している。 （もっと読む）

【課題】ガス容器の交換等の際に、作業者が手順を間違えて操作を行った場合であっても、高圧ガスの大量流出を確実に防止して、甚大なトラブルを回避する。
【解決手段】高圧排気弁５は、第２空気圧ライン１１内の空気圧が所定値以上の場合に開状態となる。インターロック手段２は、誤操作防止用治具１が開状態となると、第２空気圧ライン１１を遮断すると共に、その遮断点の下流の圧力を解放することにより、空気圧を所定値未満にする。 （もっと読む）

【課題】 簡便な構成で、外気との接触なくガス供給流路のパージ可能に、かつ充填ガスのロスの少なく効率的に充填ガスを供給すること。
【解決手段】 ガスが充填される容器Ｂと、容器Ｂに取付けられた容器バルブＢａと、容器バルブＢａに接続されるガス供給流路Ｌｓ，ベントＬｖ，およびパージガス流路Ｌｐと、ガス供給流路Ｌｓに設けられた開閉弁Ｖａおよび圧力調整器Ｒｓと、ベントＬｖに設けられた開閉弁Ｖｂと、パージガス流路Ｌｐに設けられた逆止機構付のパージ弁１０と、を備え、パージ弁１０が、固定用ナット４と、パッキン５と、弁体６と、を有し、固定用ナット４の操作によって、パージ弁１０を介してパージガス流路Ｌｐへのパージガスの流通・封止の切換を行なうできることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】既設プラントから送出されるＢＯＧに影響を与えることなく、窒素ガスをパージすることができるＬＮＧタンクのパージ方法を提供する。
【解決手段】ＬＮＧタンク本体１０と、ＬＮＧタンク本体内にＬＮＧを受け入れるためのＬＮＧ受入配管１３と、ＬＮＧタンク内のＬＮＧを払い出すためのＬＮＧ払出配管１４と、タンク本体内においてＬＮＧが気化して発生したＢＯＧを取り出すためのＢＯＧ取出配管１９と、を備えたＬＮＧタンク１のパージ方法であって、ＬＮＧ受入配管およびＢＯＧ取出配管の少なくともいずれか一方よりメタンガスを供給することで、ＬＮＧタンク内に充満された窒素ガスを、ＬＮＧ払出配管を経由して直接外気へ排出するようにした。 （もっと読む）

【課題】ガスの無駄な廃棄を減らすことができるシリンダーキャビネットを提供すること。
【解決手段】実施形態のシリンダーキャビネットでは、制御部は、第１のガス容器の残ガス量が所定量以下となった場合にガスを供給するガス供給配管を、前記第１のガス供給配管から第２のガス供給配管に切り替える。また、前記制御部は、第２のガス容器から前記ガスを供給している間に前記第１のガス容器内の残ガスを回収容器内に回収させる。さらに、前記制御部は、前記第１のガス容器が新しいガス容器に交換された際には、前記回収容器に貯められた残ガスで前記第１のガス供給配管内をパージする。 （もっと読む）

【課題】ＬＮＧの性状を変えないために積載時の置換ガスを出荷タンクに戻さななくてもＬＮＧを出荷できるＬＮＧ受入基地タンクからのＬＮＧ出荷方法及びその装置を提供する。
【解決手段】ＬＮＧ受入基地のＬＮＧタンク１０内のＬＮＧをローリ車２０Ａ，２０Ｂやバージ船の積載タンク２１に出荷するＬＮＧ出荷方法において、積載タンク２１からＬＮＧタンク１０へガスを戻すガス戻しライン３４を閉じ、上記ＬＮＧタンク１０のＬＮＧをＬＮＧ出荷ポンプ１２よりＬＮＧ供給ライン３１を介して上記積載タンク２１に出荷し、その出荷ＬＮＧ液で積載タンク２１内のガスを冷却・吸収しつつ液化させてＬＮＧを上記積載タンク２１に積載するものである。 （もっと読む）

【課題】需要先にガスを供給する需要流路に、着脱可能な外部の系から、空気を混入させることなく、ガスを供給できるガス供給システムを提供する。
【解決手段】需要流路１３に受入弁１４を介して接続される受入流路１５の受入カプラ１７と、ガス供給源１９に供給弁２３を介して接続される供給流路２６の供給カプラ２５とを、受入弁１４および供給弁２３を閉鎖した状態で結合し、受入流路１５または供給流路２６に排気流路２８を接続する排気弁２７を閉鎖した状態で供給弁２３を開放することにより受入流路１５および供給流路２６の中にガスを供給してから供給弁２３を閉鎖し、排気弁２７を開放することにより受入流路１５および供給流路２６の中のガスを排出してから排気弁２７を閉鎖するパージング処理を少なくとも１回行い、供給弁２３および受入弁１４を開いて、需要流路１３にガスを供給する。 （もっと読む）

【課題】半導体製造等の工業プロセスにおけるガス分配のための装置および方法を提供すること。
【解決手段】ガスマニホルド（１２６）と選択的なフロー関係で結合されたガスソース（１０２）を使用してガスを分配するための装置および方法。ガスを使用するゾーンにガスを放出するためのフロー回路（１１０）を含むガスマニホルド（１２６）、およびガスソース（１２６）は、過圧のガスを含む圧力調整式ガスソース容器（１２６）を含む。 （もっと読む）

【課題】ガス貯蔵能力に無駄を生じさせることなく、ガス供給ラインにおけるガス貯蔵能力の最適化を実現する。
【解決手段】低圧ガスホルダ９の圧力と高圧ガスホルダ７の圧力の関係が、（低圧ガスホルダの圧力）＞（高圧ガスホルダの圧力）であり、かつ、低圧ガスホルダの圧力が下限設定値以上であるときは、流量調節弁８を開として、低圧ガスホルダのガスを高圧ガスホルダにも送給し、（低圧ガスホルダの圧力）≦（高圧ガスホルダの圧力）であり、かつ、低圧ガスホルダの圧力が下限設定値以上であり、高圧ガスホルダの圧力が上限設定値未満であるときは、前記流量調節弁を閉として、低圧ガスホルダのガスを低圧ガス使用設備１２にのみ送給する。 （もっと読む）

【課題】 配管部等の取り付け・取り外し操作に伴う不純物の混入を排除するとともに、簡易な構成によって、高純度ガスの充填容器を迅速な操作で安全に保守管理を行うことができるガス供給システムを提供すること。
【解決手段】 パージガス流路Ｌｓと配管部Ｌの接続部Ｓを有し、該配管部Ｌの一部として、容器バルブ１ａとの接合部Ｓｏと、接合部Ｓｏと容器バルブ１ａの中間に設けられた第１バイパス流路Ｂ１と、接続部Ｓとプロセス装置２の中間に設けられた第２バイパス流路Ｂ２を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ガス消費設備へのガス供給操作等において発生する危険性のある液化ガスの突沸を防止し、パージによって排気される供給用ガスの量を最小限にするとともに、簡易な構成によって迅速かつ安全な操作で保守管理を行うことができる液化ガス供給システムを提供すること。
【解決手段】 配管部を構成する開閉弁Ｖａの開閉操作をプロセス制御部６によって制御し、瞬時の開時間とその数倍の閉時間を組合せた開閉操作を繰返し可能なフラッシング操作機能を付加して、減圧状態にある配管Ｌｂへの供給用ガスの給送開始時において、開閉弁Ｖａをフラッシング操作させて配管Ｌｂに供給用ガスを供給することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 充填容器の交換時や配管部の保守点検時などにおいて、取り付け・取り外し操作に伴い清浄化のためのパージを必要とする配管内容積を低減し、パージによって排気される供給用ガスの量を最小限にするとともに、簡易な構成によって、供給用ガスの充填容器を迅速な操作で安全に保守管理を行うことができるガス供給システムを提供すること。
【解決手段】 容器バルブ１ａに近接する位置に設けられた開閉弁Ｖａと圧力調整部３の１次側の近接する位置に設けられた開閉弁Ｖｂを両端部に有する配管Ｌｏを配設するとともに、容器バルブ１ａと開閉弁Ｖａを接続する配管Ｌａに、開閉弁Ｖｃを介して減圧処理部および不活性ガス供給部を有するパージ操作部５を接続することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】シリンダーキャビネットからのプロセスガスの排気量を制御して除害装置の負荷を低減させることができ、十分な安全性を保ちながらプロセスガス供給設備の装置コストや除害装置の保守コストの削減を図れるシリンダーキャビネットを提供する。
【解決手段】ガス供給経路２２から高圧側排気弁２６，低圧側排気弁３１を介して分岐し、排気弁を介して真空排気手段に接続する排気経路４１を備えたシリンダーキャビネット１１において、前記排気経路として、主排気弁４２を備えた主排気経路４３と、該主排気経路に並列に設けられ、ガス流量を前記主排気経路のガス流量より少なく制御される流量調整手段４４及び副排気弁４５を備えた副排気経路４６とを設けるとともに、前記主排気弁と副排気弁とを切替開閉する弁制御部を設ける。 （もっと読む）

【課題】処理装置で処理ガスを使用しない場合には，処理ガス供給源から処理装置までの配管内を不活性ガス充填状態にしてその間に配管内に堆積物が発生することを防止する。
【解決手段】ガスボンベ２１０からの処理ガスを処理装置へ供給する処理ガス供給配管２２０と，ガス供給配管に不活性ガスを供給する不活性ガス供給源２３０とを備え，システム稼働中はガス供給配管内に不活性ガスを充填して待機し，処理装置から処理ガス使用開始信号（Ｓ）を受信すると，ガス供給配管内の不活性ガスを真空引き排気して処理ガスを充填して処理ガス供給源からの処理ガス供給を開始し，処理装置から処理ガス使用終了信号（Ｆ）を受信すると，処理ガス供給源からの処理ガス供給を停止してガス供給配管内の処理ガスを真空引き排気して不活性ガスを充填する。 （もっと読む）

【課題】改良されたガス輸送装置を提供する。
【解決手段】ガス供給源を含むベッセル、始端と、使用のポイントへのガスの輸送に適合した終端とを有するピグテール導管、第一端と、ボディーセクションと、第二端とを有するサージチャンバーであって、前記第一端は前記ピグテール導管の始端と連絡されており、前記サージチャンバーの前記ボディーセクションは前記ピグテール導管の断面よりも大きい断面を有し、第二端は前記ガス供給源を含む前記ベッセルと連絡されている、サージチャンバー、前記ピグテール導管内で、前記終端からガス供給源を含むベッセルに向かう方向へのパージガスの輸送のためのパージガス供給源であって、前記パージガスでの前記ピグテールの加圧の交互サイクルの間に用いられるパージガス供給源、及び、前記ピグテール内に保持された不純物ガスの除去を可能にする、前記ピグテール導管内の脱圧源を含む、ガスを輸送するための装置。 （もっと読む）

ガス消費プロセスに対してガスの継続的供給を提供するために、継続的な交換が必要になるガス分配容器の複数の容器配列を含み、ポンプが該配列とガス連通して接続されるガス貯蔵および分配システム。このシステムは、切換え運転の時間遅延自動切換えシーケンスの機能を備えており、この場合、稼動中のガス分配容器の終点限界検知の後、応答可能に、ポンプへのガス流れの停止、ポンプの休止、容器の自動切換え、ポンプへのガス流れの再開始、およびポンプの再起動が続く。このシステムは、複数の容器配列における一方の容器から他方の容器へのガス供給の切換えに付随するポンプ入口での圧力変動に応答して、ポンプ出口での圧力急上昇が発生するのを最小限に抑える。
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