【課題】長尺な基板を、しわ等を発生させることなく、真空中で搬送することができる搬送装置、搬送方法および成膜装置を提供する。
【解決手段】本発明の搬送装置は、長尺の基板を真空中で搬送するものであり、基板の搬送方向と直交する幅方向に回転軸を有する回転軸部と、回転軸部の両端に設けられ、基板が巻き掛けられるローラ部とを備える回転可能な段付きローラと、ローラ部に巻き掛けられた基板のうち、少なくとも回転軸部の上方を搬送される部分に接離可能であり、基板に接して基板を支持して基板の搬送を補助する搬送補助手段と、段付きローラの回転を制御するとともに、搬送補助手段の基板への接離を制御する制御部とを有する。基板を段付きローラのローラ部に巻き掛けて搬送する際、基板の少なくとも回転軸部の上方の部分を一時的に、搬送補助手段で支持して搬送した後、搬送補助手段による支持を外して、基板を搬送する。 （もっと読む）

【課題】光学フィルムを搬送して処理部で所定の処理を行うために、搬送用ベルトとロールが、広いニップ面積で光学フィルムと接触してこれを良好に搬送することができる光学フィルムの搬送方法を提供する。
【解決手段】処理部３で光学フィルム２に所定の処理を行うために光学フィルムを搬送する方法は、無端帯状の搬送用ベルト５の外周面をロール６に押し付け、搬送用ベルト外周面とロールとの間に光学フィルムを挟んだ状態で搬送用ベルトとロールを回転させて光学フィルムを搬送する。 （もっと読む）

【課題】 フィルム状のワークＴを弛ませた箇所で、ワークＴの幅方向の位置を規制するとともにワークＴが摩擦なく送り出すことができる搬送装置を提供する。
【解決手段】 搬送装置（ＦＥ）は、所定幅の長尺のフィルム状のワーク（Ｔ）を巻回した供給リール（２）と、供給リールから送り出された長尺のフィルム状のワークを巻き取る巻取リール（５）と、供給リールから巻取リールまでの間に配置され、長尺のフィルム状のワークに弛み領域を持たせる第１ガイドローラ（３２ａ）及び第２ガイドローラ（３２ｂ）と、第１ガイドローラと第２ガイドローラとの間で長尺のフィルム状のワークに弛みを持たせたワークの所定幅方向の少なくとも一方の端部と交差するように配置し、ワークの送り方向に回転可能な回転ガイド（２１）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】テープ部材の厚さ等に拘らず精度良く搬送可能なテープ部材搬送装置を提供する
。
【解決手段】キャリアテープ３を加工対象として加工ステージである金型装置２側に送り
出す送出し機構４と、金型装置のテープ搬送方向上流側に配置され、送出し機構から送り
出されたキャリアテープを金型装置に案内する送りガイド機構５と、金型装置を通過した
キャリアテープを加工毎に巻き取る巻き取り機構７とを設け、送出し機構と送りガイド機
構との間のキャリアテープを弛ませて待機させるように構成した。 （もっと読む）

【課題】シート材料を供給する材料供給装置の大型化を避ける。
【解決手段】積層ロールの複数のシート材料の周長差を吸収する周長差吸収機構は、積層ロール５の巻芯６の軸方向両端側にベアリングを介して懸架され且つ自重または回転姿勢維持手段により回転姿勢が維持された取付ベース３５と、両取付ベース３５にスライド自在に装着された支持アーム３１、３３と、支持アーム３１、３３に回転自在に支持され且つ両支持アーム３１、３１および３３、３３間に前記巻芯６に平行に懸架された張力付加ロール３２、３４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】搬送時のテンションによる皺によってテープ状部材がダメージを受けることを防止するテープ処理装置を提供する。
【解決手段】テープ処理装置１は、ＦＰＣテープ２に作りこんだ多数の印刷回路をプレス装置４において処理する装置であり、ＦＰＣテープ２の印刷回路の打ち抜き動作と印刷回路部分の間欠送りとを繰り返すプレス装置４と、プレス装置４に送り込まれるＰＦＣテープ２に常時バックテンションを付与するバックテンション機構９と、プレス装置４から送り出されるＰＦＣテープ２に常時フォワードテンションを付与するフォワードテンション機構１０とを備えており、バックテンション機構９は、プレス装置４が打ち抜き動作から間欠送り動作に移るときに、バックテンションを一瞬解除するテンション解除手段としての電磁ソレノイド３４を備えている。 （もっと読む）

【課題】上流側装置と下流側装置の間を伸びる帯状フィルムをアキュームボックスに蓄積するアキューム装置において、帯状フィルムの移動速度が高くなったとしても、アキュームボックス内の帯状フィルムの積層状態に乱れが生じることのないアキューム装置を提供する。
【解決手段】本発明に係るアキューム装置においては、アキュームボックス２の上方位置に、前記上流側装置から送り出された帯状フィルムをアキュームボックス２の内部へ繰り出しつつ、アキュームボックス２の底面上に積層状態で折り畳むフィルム折り畳み装置が配備され、アキュームボックス２の底面には、その中央部に出口２０ａが開設され、該出口２０ａから下方へ向けてアキュームボックス２内の帯状フィルムを引き出し、前記下流側装置へ供給する。 （もっと読む）

【課題】上流側装置と下流側装置の間を伸びる帯状フィルムをアキュームボックスに蓄積するアキューム装置において、帯状フィルムが薄いものであったとしても、アキュームボックス内にて帯状フィルムを整然とした積層状態で折り畳むことが出来るアキューム装置を提供する。
【解決手段】本発明に係るアキューム装置においては、アキュームボックス２の上方位置に、前記上流側装置から送り出された帯状フィルムをアキュームボックスの内部へ繰り出しつつ、アキュームボックスの底面上に積層状態で折り畳むフィルム折り畳み装置が配備され、アキュームボックス２を構成する左右の側壁２６には、各側壁２６の内面に沿って複数本の導電線１００が暖簾状にぶら下がっており、各導電線１００の基端部はアース部に接続されている。 （もっと読む）

【課題】ピンがフィルムから離脱する離脱位置における異物故障の発生を抑える。
【解決手段】スプロケット４２ｄ近くのピンプレート４３の上方位置からテンタ出口４０ａまでの間で、湿潤フィルム２５の両耳部に近接させて、異物除去部７０を設ける。異物除去部７０を、チャンバ７１、ブラシローラ７２、エアブロー吸引ヘッド７３、粘着ローラ部７４から構成する。ブラシローラ７２をスプロケット４５ｄの上方位置のピンプレート４３に接触させることで、ピンの離脱位置の変動が抑えられる。ピン離脱時のフィルムへの衝撃が小さくなり、バリの分離による異物発生が抑えられる。エアブロー吸引ヘッド７３で、異物を吸引して除去し、この後に粘着ローラ部７４により異物を除去するため、異物が確実に除去される。チャンバ７１でピンの離脱部を被うため、製品エリアに異物が飛散することがなくなり、異物故障の発生が抑えられる。 （もっと読む）

【課題】ピンがフィルムから離脱する離脱位置を安定化させる。
【解決手段】スプロケット４２ｄの上方位置に、ブラシローラ７２を設けて、湿潤フィルム２５の両耳部からピン４６が抜け出る位置を一定にする。ブラシローラ７２によって離脱位置が常に一定となるため、ピン４６の離脱位置が湿潤フィルム２５の搬送方向で変動することがなくなる。ピン４６の離脱位置の変動がないため、湿潤フィルム２５からピン４６が抜け出る時の衝撃が小さくなる。衝撃による湿潤フィルム２５のバリの分離や飛散が少なくなり、バリが湿潤フィルム２５の製品エリアに付着することがない。異物故障の発生を少なくすることができる。 （もっと読む）

【課題】薄膜太陽電池など、幅広の長尺フィルムから製品部分を型抜き加工する場合における搬送時の皺の発生を抑制し、寸法精度の高い型抜き加工を行うことが可能な長尺フィルムの型抜き加工方法および装置を提供する。
【解決手段】ダンサロール３３の下流側に設けたグリップフィーダにより間歇的に搬送し、型抜き加工部６に位置決めして製品部分１１の型抜き加工を行う場合に、グリップフィーダによる長尺フィルムのグリップ搬送中は、ダンサロール３３でごく小さい張力付加のみ行うか、または張力付加を行わないようにし、長尺フィルムが型抜き加工部６に位置決めされた後、型抜き加工部の下流側で長尺フィルムの両側部をグリップフィーダで把持した状態で、型抜き加工部の上流側にてグリップ搬送中より相対的に大きい張力を付加３４し、その後、製品部分の型抜き加工を行うようにした。 （もっと読む）

【課題】 従来使用されている、吸着、搬送案内ロールは、ウェブの全面を均等に吸着することができず、また、吸着中のウェブの面は、ロールの外面の面状態が転写されるため、面粗さを一定以上下げることは難しい。
【解決手段】 ロールのウェブを吸着する部分を、筒状多孔室セラミックス焼結体とし、ロール内部を負圧とすることにより、前期課題を解決した。ウェブの前面を均等に吸着できるために、吸着、搬送案内するさいの印刷、塗布、検査などの処理が、ウェブに対して均等に行うことができ、また処理中の面粗度も低いため、ウェブに処理中にウェブ表面の凹凸による不具合が出にくくなる。 （もっと読む）

【課題】上流側装置と下流側装置の間を伸びる帯状フィルムをフィルム収容部に蓄積するアキューム装置であって、アキューム運転時に帯状フィルムにねじれや折れ曲がりが生じる虞がなく、然も、スルー運転時に動力の損失が殆ど発生することのないアキューム装置を提供する。
【解決手段】本発明に係るアキューム装置は、上流側装置から送り出された帯状フィルムをフィルム収容部へ向けて繰り出すフィルム繰り出し機構３と、フィルム繰り出し機構３から繰り出される帯状フィルムを入口から出口まで案内しつつ入口側を中心として出口側をフィルム収容部上で振り子運動させる揺動アーム機構４と、フィルム収容部に蓄積された帯状フィルムを後方へ引き出して下流側装置に向けて排出するフィルム排出機構７とを具えている。 （もっと読む）

【課題】帯状感光材の銀汚れ、傷、膜剥がれなどの発生を抑制すると共に、幅方向における処理ムラを抑制することができる感光材方向転換部材及び現像処理装置を得る。
【解決手段】現像処理槽１６内に配置される液中ターンバー２８Ａは、外側の第１円筒体３４と内側の第２円筒体３８とを備えており、第１円筒体３４には、長手方向に沿って現像液を吐出する複数のスリット状の吐出口３６が形成され、第２円筒体３８には、現像液を噴出する複数の噴出孔４０が形成されている。第２円筒体３８の一端３８Ａには、現像液を導入する管状導入部４８が設けられており、複数の噴出孔４０は、長手方向の他端３８Ｂ側から一端３８Ａ側に向かうに従って徐々に大きくなるように形成されている。また、第１円筒体３４の幅方向両端部には、感光ウエブ１２の幅方向両端から排出される現像液の排出量を規制する規制板４２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】フレキシブルフィルムを連続的に搬送しながら行う複数の処理を短いＴＡＴをもって行うことが可能な処理装置を提供すること。
【解決手段】連続的に搬送されるフレキシブルフィルム１に複数の処理を順次行う処理装置であって、フレキシブルフィルム１を連続的に搬送する搬送機構１３と、フレキシブルフィルム１に第１の処理を施す第１の処理ユニット１１と、フレキシブルフィルム１に第２の処理を施す第２の処理ユニット１２と、第１の処理ユニット１１と第２の処理ユニット１２の間に生ずるフレキシブルフィルム１の搬送速度差に応じてフレキシブルフィルム１のバッファリングを行うバッファ機構１４とを具備する。 （もっと読む）

【課題】簡単な工程及び構成で、クリーン環境を維持するとともに、ローラ表面を良好且つ確実に洗浄することを可能にする。
【解決手段】貼り付け装置４６は、ラミネートローラ対１１０と、このラミネートローラ対１１０に近接して配置されるローラ洗浄機構１１８とを備える。ラミネートローラ対１１０は、感光性ウエブ２２に摺接して回転する第１加熱ゴムローラ１１０ａと、ガラス基板２４に摺接して回転する第２加熱ゴムローラ１１０ｂとを有する。ローラ洗浄機構１１８は、第１加熱ゴムローラ１１０ａの外周部に対して、感光性ウエブ２２が摺接する範囲内に摺接可能な洗浄部材１３０と、前記洗浄部材１３０を前記第１加熱ゴムローラ１１０ａに向かって進退させるシリンダ１２６と、前記洗浄部材１３０を前記第１加熱ゴムローラ１１０ａの軸方向に沿って移動させる電動シリンダ１２０と、前記洗浄部材１３０に洗浄液を供給する洗浄液供給部１５２とを備える。 （もっと読む）

【課題】 耐熱性、機械的性質に優れたポリイミドフィルムの、極薄長尺フィルムを安定的に製造する方法を提供する。
【解決手段】 厚さが７．５μｍ以下のポリイミドフィルムを得る製造方法であって、イミド化させる工程のフィルム端部固定式テンターでフィルムの幅方向の両側端部におけるフィルム把持を、別に用意された細幅の易接着性ポリイミドフィルムを重ねて細幅のフィルムを重ねた部分をピンで突き刺し固定することによって行うことを特徴とするポリイミドフィルムの製造方法。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、サクションロールの真円度・円筒度及び振れの精度を高くして、吸引口の径を小さくすることができるサクションロール及びサクションロール装置を提供することにある。
【解決手段】
サクションロール２はサクションロール外筒１１により構成され、密閉空間１２に負圧を供給される。サクションロール筒１１は円筒形状に構成されて周面に複数の装着口１４が穿設されている。サクションロール筒１１の装着口１４の外周面側に吸引部材（単管）が嵌着固定される。吸引部材の長さはサクションロール筒１１の板厚より短く、長さ方向に貫通する吸引口が穿設されている。 （もっと読む）

【課題】反転部における湿潤フイルムの鼓状変形を抑える。
【解決手段】第１反転部１０１では、両側端部をピンで担持しながら、乾燥した湿潤フイルム３８を搬送する。第１反転部１０１に導入される湿潤フイルム３８は、乾燥風をあてられ、乾燥する。この乾燥により、湿潤フイルム３８は収縮しようとする。第１反転部１０１における湿潤フイルム３８の搬送方向は、方向Ｘ１から徐々に変わりながら、搬送される。第１反転部１０１を通過する湿潤フイルム３８の幅方向の中央部は凹み、全体として鼓状に変形する。エア供給装置１２６は、湿潤フイルム３８の両側端部とスリット１３０との距離をｈ１とするときに、湿潤フイルム３８と外周面１２ａとの最短距離Ｌが０．２５ｈ１以上３ｈ以下になるように、湿潤フイルム３８の内側からエアを供給する。 （もっと読む）

【課題】 ロール・ツー・ロール装置間に提供されるコンベヤーベルト上で材料を移送することによって、ロール・ツー・ロール装置で巻き戻されるフィルムに張力を除去できる無張力ロール・ツー・ロール装置を提供する。
【解決手段】 本発明の無張力ロール・ツー・ロール装置は、巻き取りロール、巻き取りロール及びコンベヤー手段で構成される。巻き取りロールは、帯形状の材料が巻き取られ、巻き取られた材料を巻出し、巻き取りロールは、巻き取りロールから巻出された材料をロール・ツー・ロール方式で巻き戻す。コンベヤー手段は、巻き取りロールと巻き取りロールとの間に配置され、巻き取りロールから巻出された材料をコンベヤーベルト上で無張力状態で移送させる。 （もっと読む）