【課題】多数枚のウェハが積層された状態の積層ウェハ群からウェハを分離し、分離したウェハを一枚ずつ所定の箇所にい載する作業において、分離するウェハに対し摩擦や変形等によるストレスをできるだけ与えないようにして破損を防止することにより、ウェハの歩留まりをより向上させてウェハの安定供給ができる、ウェハの分離装置を提供する。
【解決手段】ウェハ分離装置は、水槽(2)と、水槽(2)の水面近傍となる位置に配されている噴出ノズル(3)と、積層ウェハ群(7)を保持し、水面側の噴出ノズル(3)による水の入水部へ積層ウェハ群(7)を移動させるウェハ供給機(4)と、積層ウェハ群(7)から分離したウェハを保持して所定の箇所に移載するウェハ移動機(5)とを備え、噴出ノズル(3)は、吐出された水が水面で空気を取り込んで、水中に水と多数の気泡を含む気液混合流が生じるよう配されている。 （もっと読む）

【課題】構成が簡易で、確実にトレイの積上げや分離が行えるトレイ積上げ・分離機構、およびトレイ除給材装置を提供する。
【解決手段】上下動することによりトレイ２を移動させる移動部２１と、移動部２１により上方向へ移動するトレイ２に当接することで傾動し、自重により所定位置に戻りトレイ２を保持する保持部２２と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】ワークの搬送前の形状を維持しつつワークを積層することが可能なシート積層装置を提供する。
【解決手段】シート状のワークを積層するシート積層装置１であって、ワークを載置する載置部１１と、載置部１１に載置されたワークの搬送方向下流側の少なくとも一部を吸着しつつ搬送する搬送装置２０と、ワークの搬送方向下流側に配置され、搬送装置２０から搬送されたワークが載置される積層部３０と、を備え、搬送装置２０は、ワークの一部を吸着した後、ワークの一部を吸着した状態でワークを水平方向に搬送し、ワークを水平方向に搬送する水平搬送過程のうち第１工程でワークを載置部１１よりも高い位置に上昇させ、水平搬送過程のうち第２工程で上昇速度と下降速度とを切り換え、水平搬送過程のうち第３工程でワークを積層部３０に向けて下降させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】作業装置のカセットを、外部動力源を使用せず、台車を介して安全に交換する。
【解決手段】台車５０であって、カセット１８を投入／回収方向に移動可能に支持する支持機構５４と、カセットの移動を規制するカセット規制部材６２と、台車を作業装置１０に連結する台車連結部材６４と、カセット規制部材と台車連結部材とを連動させる連動部材７４と、連動部材を固定するトリガ部材８２とを有する。連動部材は、第１の位置に位置するときはカセット規制部材がカセットの移動を規制する規制位置に位置して台車連結部材が連結を解除する位置に位置し、且つ第２の位置に位置するときはカセット規制部材が規制を解除する位置に位置して台車連結部材が台車を作業装置に連結する連結位置に位置するように、カセット規制部材と台車連結部材とにリンク部材を介して接続されている。トリガ部材が作業装置と接触して固定位置から移動して、連動部材の固定が解除される。 （もっと読む）

【課題】作業効率を向上しつつ、給紙による紙の擦れ跡の発生を抑制することが可能な縦置き型フィーダー装置を提供する。
【解決手段】縦置き型フィーダー装置１００は、複数の紙材１をその紙面が縦になるように積載し、且つ、前端部２ｘに向かって該紙材１を移動させるため斜め下方向に傾斜する傾斜面２ｚを有する供給台２と、供給台２の前端部２ｘに移動した紙材１を取り出すフィーダーアーム３と、フィーダーアーム３により取り出された紙材１を受け止める爪部４ａを有する受け渡し胴４と、を備える。供給台２の傾斜面２ｚは、前端部２ｘ側に区画された第１の傾斜面２ａと、後端部２ｙ側に区画された第２の傾斜面２ｂとを含み、第１の傾斜面２ａは、第２の傾斜面２ｂに対して第１の段差２ａ１を境として低くなっている。 （もっと読む）

【課題】合紙をスムーズに除去しつつ、ガラス基板を取り出す基板取出装置の提案
【解決手段】基板取出装置１００は、基板１１２と合紙１１４が交互に積層された積層体１２０が、水平に対して斜めに傾いた状態で載置される載置部１０１を有している。載置部１０１の下側には合紙受け１０２が設けられている。また、基板取出装置１００は、載置部１０１に載置された積層体１２０の最上層の合紙１１４ａを、積層体１２０の最上層の基板１１２ａから剥離し、積層体１２０の傾きに沿って合紙受け１０２に移す合紙剥離機１０３と、載置部１０１に載置された積層体１２０の最上層の基板１１２ａを取り出す基板取出機１０４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】積層された基材を吸着パッドで一枚ずつ引き上げる際、基材と共に積層されているシート材が、表面粘着力や静電気等の影響によって基材に付着し、分離できずに一緒に持ち上がることがある。
【解決手段】基材１０に付着したシート材１１を分離して搬送する基材搬送方法であって、基材１０を引き上げる工程と、引き上げた基材１０に付着して当該基材１０の周縁部に形成された切り欠け部から飛び出したシート材１１に対して、所定の角度でエアーを吹き付ける工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ベルヌーイチャックで基板を吸引保持するときのハンド部の位置精度を緩やかなものとしながら、吸引保持した基板の位置決めを基板自身で自動的に行なって、非接触状態での基板の移載を高速度で能率よく行なえる移載装置を提供する。
【解決手段】パラレルメカニズムのハンド部に、基板を非接触状態で吸引保持するベルヌーイチャックと、基板を位置決めする複数個のガイド体とを設ける。基板を吸引する際には、吸引開始位置におけるベルヌーイチャックをハンド部で位置保持して、ガイド体が基板の外郭線の外に位置する状態にして基板を吸引保持する。吸引保持された基板を、ノズル穴から吹き出される空気流で一方向へ旋回させ、旋回変位する基板の辺部をガイド体で受け止めて位置決めする。以上により、基板を吸引保持するときのハンド部の位置精度を緩やかにできる。さらに、吸引保持した基板の位置決めを基板自身で自動的に行なえる。 （もっと読む）

【課題】合紙とガラス基板等の板状体を交互に積層してなる積層体を開梱する場合において、真空吸着できないような合紙を用いた場合にも、ガラス基板に傷を発生させることなく、合紙除去可能な合紙除去装置、ならびに、この合紙除去装置を用いて合紙を取り除いてガラス基板を取り出す、積層体の開梱装置及び開梱方法を提供する。
【解決手段】合紙を吸引する吸引式空気輸送機構を有し、前記吸引式空気輸送機構が、空気入口および空気出口と合紙搬出口とを備え、かつ、前記合紙を空気入口より吸引する吸引室を備える合紙除去装置と、前記合紙除去装置により合紙を除去された前記積層体から前記基板を取り出す基板除去装置とを有する開梱装置で、合紙を除去する工程と基板を除去する工程とを、積層体から合紙および基板がなくなるまで交互に繰り返す。 （もっと読む）

【課題】多数の偏光板を平積みにした偏光板を確実に１枚ずつ分離して供給するに当って、円滑かつ迅速な分離供給を可能にする。
【解決手段】吸着ドラム１１によって、偏光板スタック部１０から偏光板６を取り出すために、吸着ドラム１１を回転させると共に、偏光板スタック部１０を前進方向に移動させる。吸着ドラム１１の外周面に吸着孔が開口しており、偏光板スタック部１０の最上段の偏光板６の表面を吸着させて取り出すが、この吸着ドラム１１に偏光板６が２枚密着していることが重送検出手段１５で検出されると、偏光板スタック部１０を前後方向に移動させて、リトライを所定回数行った上で、吸着ドラム１１が１８０度回転したときに、剥離用ローラ２１により外周側の偏光板６を回収し内周側の偏光板６を偏光板搬出部１７により送り出す。 （もっと読む）

【課題】効率よくパネルを梱包箱に梱包することが可能なパネル梱包方法を提供する。
【解決手段】本発明に基づくパネル梱包方法は、厚み方向に貫通孔２１を有する合紙２０を間に挟み込んだ状態で複数のパネル１０を梱包箱に梱包する方法であって、合紙２０をパネル１０上に非吸着で供給するステップと、合紙２０に設けられた貫通孔２１を介して露出する部分のパネル表面を吸着することにより、合紙２０をパネル１０上に載置した状態でパネル１０を合紙２０ごと保持するステップと、パネル１０を合紙２０ごと保持した状態でこれを梱包箱内に移載するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】シート状の被吸着物の複数枚が積層されたスタックからシート状の被吸着物を取り出す際に、確実に２枚目のシート状の被吸着物から１枚目のシート状の被吸着物を分離でき、シート状の被吸着物にしわ等の永久歪みを生じさせることのない被吸着物の吸着装置および取出装置を提供すること。
【解決手段】本発明は、シート状の被吸着物を吸着する吸着装置であって、シート状の被吸着物を吸着する吸着面が、少なくとも１対の凹凸を有する曲面を含む吸着装置、および、その装置を備えた取出装置である。 （もっと読む）

【課題】ウェハの２枚取りが防止できるウェハ取得装置を提供したい。
【解決手段】ウェハ取得装置１００は、複数のウェハ１０を重ねて載せる置き台２０と、置き台２０に重ねて載せた複数のウェハ１０のうち１枚目のウェハ１１を保持する吸着パッド３２（保持機構３０）と、保持機構３０が１枚目のウェハ１１を保持してから、１枚目のウェハから２枚目以下のウェハを離隔させる離隔用エアノズル５２と昇降機構８０（離隔機構５０）と、離隔機構５０が１枚目のウェハ１１から２枚目以下のウェハを離隔させる場合に、１枚目のウェハ１１の表面にエアを噴き付けて１枚目のウェハ１１の中央を下方に湾曲させる撓み用エアノズル４２（湾曲機構４０）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】枚葉ワークの搬送元から搬送先への搬送過程で、位置決めを正確に行う。
【解決手段】搬送手段１２による枚葉ワークＷの搬送元Ｄから搬送先Ａへの搬送過程で、浮上式ワーク支持手段１８によって枚葉ワークＷをフローティング支持した状態で、付勢手段２２により、枚葉ワークＷの外周端の角を挟んで連続する２面Ｗａ、Ｗｂを固定ガイド手段２０に当接させる。そして、枚葉ワークＷが実際にフローティング支持状態を解除された状態で、位置補正手段１４から枚葉ワークＷを開放することで、搬送先Ａに枚葉ワークを置く際に、位置補正された状態にある枚葉ワークＷの位置精度を維持する。枚葉ワークＷの搬送元Ｄでは、各枚葉ワークＷに位置ずれＸが生じているような場合でも、搬送先Ａへ重ねられる際には、位置ずれは解消され、枚葉ワークＷの積層体の傾斜を防ぐ。 （もっと読む）

【課題】可撓性板状体に、大きな押圧力を加えることなく、積み重なった可撓性板状体を１枚ずつ分離し、取得するための可撓性板状体の分離取得装置および方法を提供する。
【解決手段】 積層された可撓性板状体を１枚ずつ分離して取得する分離取得装置は、直線上にリードフレーム吸着パッド２と層間紙吸着パッド３を有しており、リードフレーム吸着パッド２あるいは層間紙吸着パッド３が可撓性板状体を吸着し、その状態ですべての吸着パッド２、３を持ち上げることにより、可撓性板状体の、吸着状態の吸着パッドが配された直線上以外の部分が自重により下に撓むようにする。 （もっと読む）

【課題】 樹脂シート、特に太陽電池モジュール用の樹脂シートを確実に分離して搬送することができる、簡易な構造で、生産効率が高い樹脂シートの搬送装置を提供すること。
【解決手段】 本発明の樹脂シート搬送システムは、樹脂シートの積重物から、樹脂シートを分離して搬送する樹脂シート搬送システムであって、該積重物を載置する載置部と、該載置部に載置された積重物の最上部に位置する第１の樹脂シートと、その下に位置する第２の樹脂シートとを分離する分離手段を備える移送装置と、該積重物の側部外方から、該第１の樹脂シートと、該第２の樹脂シートとの間に送風する送風装置とを備える。 （もっと読む）

【課題】支持体に積層された基板の枚数が少なくなっても確実に基板を１枚ずつ搬出することができる分離装置及びこの分離装置を備え、基板の検査を容易に行うことが可能な基板の検査装置を提供する。
【解決手段】複数の基板Ｗが積層状態で支持された支持体２０から、基板Ｗを１枚ずつ分離して搬出する分離装置１０であって、支持体２０に対して基板Ｗの積層方向に相対移動可能とされるとともに、基板Ｗの表面に吸着して基板Ｗを保持する吸着ヘッド３０と、積層された基板Ｗの側面に向けてエアを噴出して積層された基板Ｗの一部を浮上させて分離するエア分離機構４０と、支持体２０に積層された基板Ｗの数量が一定量以下となったことを検知する数量検知部２７と、数量検知部２７の検知結果に応じてエア分離機構４０からのエア噴射状態を調整するエア分離機構制御部１３と、を備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】装置のメンテナンス作業を極力少なくしながら、２枚取りを防止して積載された最上位置の基板のみを取り出す基板取出装置およびその方法を提供する。
【解決手段】吸着ユニット７０は、積載された最上位置の基板Ｓｔの上面端部近傍のみをその吸着面で吸着する第１吸着部７０２を少なくとも備える。昇降機構７３は、吸着ユニット７０を昇降する。昇降機構７３は、第１吸着部７０２の吸着面と最上位置の基板Ｓｔの上面端部近傍とが近接する位置まで吸着ユニット７０を下降させる。第１吸着部７０２は、その吸着面を最上位置の基板Ｓｔの上面端部近傍に吸着させる。昇降機構７３は、第１吸着部７０２の吸着面が最上位置の基板Ｓｔの上面端部近傍に吸着した状態で吸着ユニット７０を上昇させる。 （もっと読む）

【課題】積層体を開包して基板を分離する際に基板を傷、破損から守るような開包システムおよび開包方法を提供する。
【解決手段】開包システム１は、積層体７を有し、積層体７の上方には、積層体７から基板３を分離する基板移載装置９、積層体７から合紙５を分離する合紙剥離装置１１が設けられている。
積層体７の隣には剥離した合紙５ａを保管するゴミ箱１３が設けられている。
積層体７に隣接するようにしてブロー装置１５ａ、１５ｂおよび合紙押さえ装置１７が設けられている。
積層体７から基板３と合紙５を分離する際は、基板移載装置９と合紙剥離装置１１を交互に積層体７上に移動させ、基板３および合紙５を分離する。 （もっと読む）

【課題】複数枚の積層状態で保管されている太陽電池セルを破損させることなく１枚ずつ確実に取り出す。
【解決手段】中空の真空ボックス２と、真空ボックス２の左右方向中央部に接続され、フラットパッド３１を有する第１吸着部材３と、真空ボックス２の左右に接続され、下端面が第１吸着部材３のフラットパッド３１の下端面と同一水平面上に位置するベローズパッド４１を有する第２吸着部材４と、から構成される。そして、真空ボックス２を減圧して第１吸着部材３のフラットパッド３１および第２吸着部材４のベローズパッド４１によって太陽電池セルＰを吸着した際，ベローズパッド４１の縮み代がフラットパッド３１の縮み代よりも大きいことにより、太陽電池セルＰの左右を中央部よりも相対的に上方に持ち上げて、次層の太陽電池セルＰから切り離す。 （もっと読む）