【課題】多数枚のウェハが積層された状態の積層ウェハ群からウェハを分離し、分離したウェハを一枚ずつ所定の箇所にい載する作業において、分離するウェハに対し摩擦や変形等によるストレスをできるだけ与えないようにして破損を防止することにより、ウェハの歩留まりをより向上させてウェハの安定供給ができる、ウェハの分離装置を提供する。
【解決手段】ウェハ分離装置は、水槽(2)と、水槽(2)の水面近傍となる位置に配されている噴出ノズル(3)と、積層ウェハ群(7)を保持し、水面側の噴出ノズル(3)による水の入水部へ積層ウェハ群(7)を移動させるウェハ供給機(4)と、積層ウェハ群(7)から分離したウェハを保持して所定の箇所に移載するウェハ移動機(5)とを備え、噴出ノズル(3)は、吐出された水が水面で空気を取り込んで、水中に水と多数の気泡を含む気液混合流が生じるよう配されている。 （もっと読む）

【課題】構成が簡易で、確実にトレイの積上げや分離が行えるトレイ積上げ・分離機構、およびトレイ除給材装置を提供する。
【解決手段】上下動することによりトレイ２を移動させる移動部２１と、移動部２１により上方向へ移動するトレイ２に当接することで傾動し、自重により所定位置に戻りトレイ２を保持する保持部２２と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】複数枚の略矩形をなす保護シートが平置き状態で上下に積層されてなるシート積層体から、最上層の保護シートを取得する際の確実性を向上する。
【解決手段】複数枚の保護シートＡが平置き状態で上下に積層されてなるシート積層体Ｂから、最上層の保護シートＡを取得してシート積層体Ｂから分離させ、この分離した保護シートＡを、ガラス基板Ｇの表面Ｇａに配置させるように構成された保護シート供給装置１である。この装置１は、最上層の保護シートＡの一隅部Ａｃを上方から吸着保持して持ち上げる吸着手段としての吸着ヘッド１１と、吸着ヘッド１１の持ち上げにより生じた保護シートＡの一隅部Ａｃの下方隙間Ｃに挿脱可能なセパレータ１２とを備え、セパレータ１２が、下方隙間Ｃに挿入された状態から保護シートＡの一隅部Ａｃに連なる端縁部Ａｄに沿って略水平方向に移動することにより、保護シートＡの端縁部Ａｄの下方に補助隙間Ｃ１が生じるように構成される。 （もっと読む）

【課題】ワークの搬送前の形状を維持しつつワークを積層することが可能なシート積層装置を提供する。
【解決手段】シート状のワークを積層するシート積層装置１であって、ワークを載置する載置部１１と、載置部１１に載置されたワークの搬送方向下流側の少なくとも一部を吸着しつつ搬送する搬送装置２０と、ワークの搬送方向下流側に配置され、搬送装置２０から搬送されたワークが載置される積層部３０と、を備え、搬送装置２０は、ワークの一部を吸着した後、ワークの一部を吸着した状態でワークを水平方向に搬送し、ワークを水平方向に搬送する水平搬送過程のうち第１工程でワークを載置部１１よりも高い位置に上昇させ、水平搬送過程のうち第２工程で上昇速度と下降速度とを切り換え、水平搬送過程のうち第３工程でワークを積層部３０に向けて下降させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】異なる構造の二種の装置の使用及びその二種の装置間でのシート材の受け渡し動作を不要にして作業能率の向上ひいては生産性の改善を図ると共に、シート材に適切な張力を確実に付与してしわの発生等を招くことなく該シート材をパレット上のガラス板の表面側に適正に配置させる。
【解決手段】上流側から下流側に向かって送られる帯状シート元材４が下流側部位で一定長さに切断されてなるシート材３をパレット１３上のガラス板２の表面側に供給して配置させるに際して、シート材３の幅方向両側端における上流側端部及び下流側端部をそれぞれ保持する一対の上流端保持手段７及び一対の下流端保持手段８を備え、該各保持手段７、８をそれぞれシート材３の幅方向と上下流方向とに移動させ、該各保持手段７、８がシート材３を保持した状態でパレット１３上のガラス板２の表面側に供給して配置させる。 （もっと読む）

【課題】積層された多数枚の太陽電池セルのうちの最上層の太陽電池セルのみを破損することなく確実に取り出すとともに、寸法精度を確保して移送する。
【解決手段】水平な下面を有するフラットテーブル４を備え、最上層の太陽電池セルを吸着する位置と上方に退避した位置との間を昇降自在で、太陽電池セルの退避位置と移送位置との間を移送自在なベース３と、フラットテーブル４の幅方向中央を貫通してベース３に対して昇降自在な吸着パッド７と、フラットテーブル４の四隅をそれぞれ貫通するとともに、下端面がフラットテーブル４の下面よりも下方に突出して設けられた規正パッド８とから構成される。そして、吸着パッド７を介して太陽電池セルの幅方向中央部を吸着してフラットテーブル４の下面に接触するように持ち上げるとともに、規正パッド８を介して太陽電池セルの四隅を吸着してフラットテーブル４の下面に沿わせる （もっと読む）

【課題】異なる寸法の基板にも対応可能で、合紙とガラス基板等の板状体を交互に積層してなる積層体を開梱する場合において、真空吸着できないような合紙を用いた場合にも、ガラス基板に傷を発生させることなく、合紙除去可能な合紙除去装置、並びに、積層体の開梱装置及び開梱方法を提供する。
【課題手段】積層体を載置する台座と、支柱に横設したアーム部と、アーム部から垂設され、先端に合紙を付着する合紙付着部と合紙付着部より合紙を分離する合紙分離部とが一体となった合紙除去ヘッドとを有し、かつ、合紙除去ヘッドが積層体に近づく方向または離れる方向に上下移動する上下移動機構と、合紙除去ヘッドの合紙付着部に合紙を付着させた状態で、合紙付着部を合紙分離部に対して後退、あるいは、合紙分離部を合紙付着部に対して前進させることによって、合紙を合紙付着部から分離する合紙分離機構とを備えている。 （もっと読む）

【課題】作業装置のカセットを、外部動力源を使用せず、台車を介して安全に交換する。
【解決手段】台車５０であって、カセット１８を投入／回収方向に移動可能に支持する支持機構５４と、カセットの移動を規制するカセット規制部材６２と、台車を作業装置１０に連結する台車連結部材６４と、カセット規制部材と台車連結部材とを連動させる連動部材７４と、連動部材を固定するトリガ部材８２とを有する。連動部材は、第１の位置に位置するときはカセット規制部材がカセットの移動を規制する規制位置に位置して台車連結部材が連結を解除する位置に位置し、且つ第２の位置に位置するときはカセット規制部材が規制を解除する位置に位置して台車連結部材が台車を作業装置に連結する連結位置に位置するように、カセット規制部材と台車連結部材とにリンク部材を介して接続されている。トリガ部材が作業装置と接触して固定位置から移動して、連動部材の固定が解除される。 （もっと読む）

【課題】梱包箱への合紙の移載を効率よく実施するための合紙移載方法、およびそのような移載の実施を実現する合紙移載装置、を提供する。
【解決手段】合紙移載方法は、梱包箱３０の外に準備された合紙２０を、その紙面２１が撓んだ状態となるように吸着機構部４１により吸着するステップと、吸着機構部４１に吸着された合紙２０を梱包箱３０に向けて移動させるステップと、合紙２０を移動させるステップの後、吸着機構部４１による合紙２０の吸着を解除するステップとを備える。 （もっと読む）

【課題】 薄板状部品を一枚ずつ取り出すことができるとともに、二層重なって吸着された場合でも、二層目の部品を確実に分離できる薄板状部品ハンドリング装置を提供する。
【解決手段】 薄板状部品ハンドリング装置１は、薄板状部品を複数枚積層して保持するホルダー１０と、薄板状部品の最上部のものに当てられる真空チャック４０と、真空チャックを進退させるチャック駆動機構と、チャック４０に吸着された薄板状部品に気流を当てるノズル７０と、を備える。真空チャック４０は、薄板状部品の表面に分散して当てられる３本以上の細径パイプ４１からなり、細径パイプ４１内を選択的に真空及び正圧とに切り替えることができる。チャック４０の進退方向は、重力方向に対して８０°〜１０°傾斜している。 （もっと読む）

【課題】合紙をスムーズに除去しつつ、ガラス基板を取り出す基板取出装置の提案
【解決手段】基板取出装置１００は、基板１１２と合紙１１４が交互に積層された積層体１２０が、水平に対して斜めに傾いた状態で載置される載置部１０１を有している。載置部１０１の下側には合紙受け１０２が設けられている。また、基板取出装置１００は、載置部１０１に載置された積層体１２０の最上層の合紙１１４ａを、積層体１２０の最上層の基板１１２ａから剥離し、積層体１２０の傾きに沿って合紙受け１０２に移す合紙剥離機１０３と、載置部１０１に載置された積層体１２０の最上層の基板１１２ａを取り出す基板取出機１０４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】積層された基材を吸着パッドで一枚ずつ引き上げる際、基材と共に積層されているシート材が、表面粘着力や静電気等の影響によって基材に付着し、分離できずに一緒に持ち上がることがある。
【解決手段】基材１０に付着したシート材１１を分離して搬送する基材搬送方法であって、基材１０を引き上げる工程と、引き上げた基材１０に付着して当該基材１０の周縁部に形成された切り欠け部から飛び出したシート材１１に対して、所定の角度でエアーを吹き付ける工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】複数のガラス基板が重ねられてなるガラス基板集合体を立て掛けられた状態とし、前記ガラス基板集合体の最表部に位置するガラス基板からを順に個別に吸着して取り出すガラス基板取り出し方法において、ガラス基板同士が付着した場合においても、一枚ずつガラス基板を取り出す。
【解決手段】複数の吸引具４を備えたガラス基板保持装置１をロボットを用いて操作し、ガラス基板１１の下方よりガラス基板を引き剥がした後、ガラス基板を取り出す。 （もっと読む）

【課題】ベルヌーイチャックで基板を吸引保持するときのハンド部の位置精度を緩やかなものとしながら、吸引保持した基板の位置決めを基板自身で自動的に行なって、非接触状態での基板の移載を高速度で能率よく行なえる移載装置を提供する。
【解決手段】パラレルメカニズムのハンド部に、基板を非接触状態で吸引保持するベルヌーイチャックと、基板を位置決めする複数個のガイド体とを設ける。基板を吸引する際には、吸引開始位置におけるベルヌーイチャックをハンド部で位置保持して、ガイド体が基板の外郭線の外に位置する状態にして基板を吸引保持する。吸引保持された基板を、ノズル穴から吹き出される空気流で一方向へ旋回させ、旋回変位する基板の辺部をガイド体で受け止めて位置決めする。以上により、基板を吸引保持するときのハンド部の位置精度を緩やかにできる。さらに、吸引保持した基板の位置決めを基板自身で自動的に行なえる。 （もっと読む）

【課題】合紙とガラス基板等の板状体を交互に積層してなる積層体を開梱する場合において、真空吸着できないような合紙を用いた場合にも、ガラス基板に傷を発生させることなく、合紙除去可能な合紙除去装置、ならびに、この合紙除去装置を用いて合紙を取り除いてガラス基板を取り出す、積層体の開梱装置及び開梱方法を提供する。
【解決手段】合紙を吸引する吸引式空気輸送機構を有し、前記吸引式空気輸送機構が、空気入口および空気出口と合紙搬出口とを備え、かつ、前記合紙を空気入口より吸引する吸引室を備える合紙除去装置と、前記合紙除去装置により合紙を除去された前記積層体から前記基板を取り出す基板除去装置とを有する開梱装置で、合紙を除去する工程と基板を除去する工程とを、積層体から合紙および基板がなくなるまで交互に繰り返す。 （もっと読む）

【課題】多数の偏光板を平積みにした偏光板を確実に１枚ずつ分離して供給するに当って、円滑かつ迅速な分離供給を可能にする。
【解決手段】吸着ドラム１１によって、偏光板スタック部１０から偏光板６を取り出すために、吸着ドラム１１を回転させると共に、偏光板スタック部１０を前進方向に移動させる。吸着ドラム１１の外周面に吸着孔が開口しており、偏光板スタック部１０の最上段の偏光板６の表面を吸着させて取り出すが、この吸着ドラム１１に偏光板６が２枚密着していることが重送検出手段１５で検出されると、偏光板スタック部１０を前後方向に移動させて、リトライを所定回数行った上で、吸着ドラム１１が１８０度回転したときに、剥離用ローラ２１により外周側の偏光板６を回収し内周側の偏光板６を偏光板搬出部１７により送り出す。 （もっと読む）

【課題】シート状の被吸着物の複数枚が積層されたスタックからシート状の被吸着物を取り出す際に、確実に２枚目のシート状の被吸着物から１枚目のシート状の被吸着物を分離でき、シート状の被吸着物にしわ等の永久歪みを生じさせることのない被吸着物の吸着装置および取出装置を提供すること。
【解決手段】本発明は、シート状の被吸着物を吸着する吸着装置であって、シート状の被吸着物を吸着する吸着面が、少なくとも１対の凹凸を有する曲面を含む吸着装置、および、その装置を備えた取出装置である。 （もっと読む）

【課題】ウェハの２枚取りが防止できるウェハ取得装置を提供したい。
【解決手段】ウェハ取得装置１００は、複数のウェハ１０を重ねて載せる置き台２０と、置き台２０に重ねて載せた複数のウェハ１０のうち１枚目のウェハ１１を保持する吸着パッド３２（保持機構３０）と、保持機構３０が１枚目のウェハ１１を保持してから、１枚目のウェハから２枚目以下のウェハを離隔させる離隔用エアノズル５２と昇降機構８０（離隔機構５０）と、離隔機構５０が１枚目のウェハ１１から２枚目以下のウェハを離隔させる場合に、１枚目のウェハ１１の表面にエアを噴き付けて１枚目のウェハ１１の中央を下方に湾曲させる撓み用エアノズル４２（湾曲機構４０）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】可撓性板状体に、大きな押圧力を加えることなく、積み重なった可撓性板状体を１枚ずつ分離し、取得するための可撓性板状体の分離取得装置および方法を提供する。
【解決手段】 積層された可撓性板状体を１枚ずつ分離して取得する分離取得装置は、直線上にリードフレーム吸着パッド２と層間紙吸着パッド３を有しており、リードフレーム吸着パッド２あるいは層間紙吸着パッド３が可撓性板状体を吸着し、その状態ですべての吸着パッド２、３を持ち上げることにより、可撓性板状体の、吸着状態の吸着パッドが配された直線上以外の部分が自重により下に撓むようにする。 （もっと読む）

【課題】 樹脂シート、特に太陽電池モジュール用の樹脂シートを確実に分離して搬送することができる、簡易な構造で、生産効率が高い樹脂シートの搬送装置を提供すること。
【解決手段】 本発明の樹脂シート搬送システムは、樹脂シートの積重物から、樹脂シートを分離して搬送する樹脂シート搬送システムであって、該積重物を載置する載置部と、該載置部に載置された積重物の最上部に位置する第１の樹脂シートと、その下に位置する第２の樹脂シートとを分離する分離手段を備える移送装置と、該積重物の側部外方から、該第１の樹脂シートと、該第２の樹脂シートとの間に送風する送風装置とを備える。 （もっと読む）