【課題】配管構造をコンパクトにすることができる流体機器及び流体制御用モジュールユニットを提供すること。
【解決手段】共通流路３２から複数の流路が分岐する流路構造に使用される流体機器１において、第１ポート１３及び第２ポート１４が側面に開設され、前記第１ポート１３と前記第２ポート１４とを連通させる連通流路１５上に、制御部３を配置したハウジング１２を有し、一の流体機器１Ａの第２ポートが開設された側面と、他の流体機器１Ｂの第１ポートが開設された側面とを当接させて流体制御弁１同士を連結する。 （もっと読む）

【課題】シール部材の装着に好適なシール接続部の連結構造を提供すること。
【解決手段】第１接続部１７Ａと第２接続部１７Ｂとの間にシール部材１０を配置し、連結部材３によって接続部分を連結するシール接続部の連結構造９において、第１及び第２接続部１７Ａ，１７Ｂは、嵌合凹溝７３Ａ，７３Ｂが端面外周に設けられ、嵌合凹溝７３Ａ，７３Ｂの端面側内壁に、嵌合凹溝７３Ａ，７３Ｂの開口部に向かって端面側に傾斜する接続部側テーパ７４Ａ，７４Ｂを有し、連結部材３は、固定部材４５によって固定される第１連結ブロック４１と第２連結ブロック４２とを有し、第１及び第２連結ブロック４１，４２に嵌合凹溝７３Ａ，７３Ｂに嵌合する嵌合凸部４９Ａ，４９Ａ，５０Ａ，５０Ｂが設けられ、嵌合凸部４９Ａ，４９Ｂ，５０Ａ，５０Ｂに接続部側テーパ７４Ａ，７４Ｂに対応する連結側テーパ５１Ａ，５１Ｂ，５２Ａ，５２Ｂを有する。 （もっと読む）

【課題】流量調整ねじをロックナットによりロックした場合に、流量調整ねじの雄ねじ部と、流量調整ねじが締結されるカバーの雌ねじ部との間のバックラッシにより、流量調整ねじがずれて、最初に調整した弁開度とずれることのないような流量制御弁を提供する。
【解決手段】調整ねじ部材５４の回転により調整弁体２６の開度を調整し、調整用雄ねじ部５３ａの弁体側に対向する弁体側歯面が調整用雌ねじ部４５ｂの歯面に接触した状態のもとでロックナット５６により弁体側歯面を調整用雌ねじ部４５ｂの歯面に押圧して調整ねじ部材５４を締結する。 （もっと読む）

【課題】同数の電磁弁を備え、マニホールドベースの幅方向に一つ又は二つの電磁弁を備える電磁弁マニホールドに比してマニホールドベースの長さ方向へ小型化することができる電磁弁マニホールドを提供する。
【解決手段】電磁弁マニホールド１０は、マニホールドベース１２の幅方向に並設される二つの電磁弁取付部２２を備えるとともに、各電磁弁取付部２２においてマニホールドベース１２の幅方向に背向する側面には電磁弁取付面２２ａが設けられている。一つの電磁弁取付部２２で背向する一対の電磁弁取付面２２ａに開口する給気口２２ｃには、両給気口２２ｃ同士で共通化された一つの給気通路２４が連通するとともに、一つの電磁弁取付部２２で背向する一対の電磁弁取付面２２ａに開口する排気口２２ｄには、両排気口２２ｄ同士で共通化された排気通路２５が連通している。 （もっと読む）

【課題】チューブ、継手等を用いることなく電磁弁を流体機器ブロックに接続することができる電磁弁サブベース及び該電磁弁ブロックを提供する。
【解決手段】電磁弁サブベース３０が備えるサブベース本体３１の側面にはＡ側出力口及びＢ側出力口が開口するとともに、両出力口が開口する側面と別の側面には電磁弁を取付可能とする電磁弁取付部３９が一体に設けられている。電磁弁取付部３９の電磁弁取付面３９ａには流体通路３３に連通する供給通路４０が開口するとともに、出力口に連通するＡ側出力通路４２ａ及びＢ側出力通路４２ｂと、Ａ側排出通路４４ａ及びＢ側排出通路４４ｂが開口している。サブベース本体３１において、流体通路３３が貫通する二つの側面には、流体機器ブロックを接続するブロック接続部３２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】二つの弁を有し、その一方の弁が開閉操作可能の時に他方の弁を開閉操作不能に保持することができ、コンパクトで配管ラインへの設置や取り外しが容易にできるマニホールド弁を提供する。
【解決手段】主流路と分岐流路と主流路弁と分岐弁とが一体化されたマニホールド弁であって、主流路弁と分岐弁は、各々、弁体と、該弁体と連結された弁軸と、該弁軸と連結された操作レバーとを有して、該操作レバーを弁軸の軸方向に揺動することにより流路の開閉を行う手動弁であり、主流路弁と分岐弁は各々、操作レバーの揺動を弁体の直線動に変換して、弁体を弁座に対して圧接離間させて流路の開閉を行い、主流路弁と分岐弁の一方の弁が開状態で他方の弁が閉状態のときに、一方の弁の操作レバーが他方の弁の操作レバーの揺動を不能にするインターロック機構を備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

コネクタ（２２）で連結され得る二つの部品の一方あるいは両方が、組立に先立って部品と共にコネクタを保持するコネクタ保持機構（２００）と共に提供される。一つの実施形態では、実装孔（１０２）を有する部品は、組立に先立ってコネクタを実装孔から脱落することなく部品がもう一つの部品に組立されるように、実装孔の中のコネクタを維持する保持装置（２０２，２０４）あるいはホルダを含む。コネクタ保持機構の例は、横方向のボア（２０８）から実装孔の中に部分的に延びている球である。
（もっと読む）

【課題】部品を共通化してコストダウンを図ることができる流体機器のマニホールド構造体を提供すること。
【解決手段】流体機器２が取り付けられるボディブロック４を横方向に複数連結してマニホールド３を構成する流体機器のマニホールド構造体１において、ボディブロック４は、流体機器２の取付方向に対して直交する方向に形成された貫通流路２１と、貫通流路２１の開口部外側に設けられたシール溝３４，２２と、貫通流路２１の外側に複数設けられ、ボディブロック４を連結する連結部材４１が配置される貫通孔３３と、流体機器２が取り付けられる取付面４ａから貫通流路２１に接続するように形成された分岐流路２５と、を有し、取付面４ａを挟んで対向する第１側面４ｂと第２側面４ｃに、貫通流路２１の開口部と、シール溝３４，２２と、貫通孔３３の開口部とが対称的に設けられている。 （もっと読む）

【課題】シール性を確保するとともに、設計自由度の高い流体機器モジュール、及び流体機器モジュール接続構造を提供する。
【解決手段】上面に第１流体制御弁１６を取り付ける機器取付面を備え、第１側面に流路孔１１ｂを備え、ブロック接続突起１１ａが形成されたブロック１１と、上面に第２流体制御弁１７を取り付ける機器取付面を備え、第１側面に流路孔１１ｂを備え、ブロック接続突起１１ａが形成されたブロック１１と、上側押圧面１３ａを備える上側接続部材１３と、下側押圧面１４ｂを備える下側接続部材１４と、を備え、ブロック接続突起１１ａ、又は上側押圧面１３ａ及び前記下側押圧面１４ｂの少なくともどちらか一方にテーパ面が形成され、締結手段によって上側接続部材１３と下側接続部材１４とが近接方向に移動されることで、流路孔１１ｂ同士が連通するよう隣り合うブロック１１が接合されることを特徴とする流体機器モジュール。 （もっと読む）

【課題】複数の流体機器類を集積させて一体化し、フットプリントの低減等に有効な流体機器ユニット構造を提供すること。
【解決手段】流路を介して接続される複数の流体機器類をベース部材１０に並列に集積して一体化する流体機器ユニット構造において、純水開閉弁５を設置する複数の設置面１１を設けたベース部材１０が、該ベース部材１０を貫通し純水開閉弁５と純水分岐路４を介して並列に接続される純水循環供給ライン２を備えている。 （もっと読む）

【課題】 弁箱の移動時における重量の軽減化と重心位置の低下及び弁箱から外方への張り出し量の減少化を促進して、流路切換弁の設置工事の作業性を改善する。
【解決手段】 既設流体管１に、内面に弁座１８を形成してある流路切換弁Ａの弁箱３を管軸芯Ｘ方向に摺動可能に装着し、この弁箱３の弁体挿入口部４に作業弁１４を介して取付けた切断装置Ｂにより流体管１の一部を切断したのち、作業弁１４に取付けた弁挿入機Ｇに保持されている弁体６を、弁箱３の内周面と流体管１の外周面との間に形成されている管外回動領域部分Ｓ１内に流体管１と非接触状態で挿入し、かつ、弁姿勢維持手段Ｃによって弁体６を挿入姿勢に維持するとともに、弁蓋５を弁箱３の弁体挿入口部４に固定連結し、作業弁１４を撤去する。その後、流体管１の切断端面１ａの一方が弁体回動領域Ｓ外に位置するまで、弁箱３を移動手段Ｄによって摺動操作したのち、弁箱３を既設流体管１に固定する。 （もっと読む）

【課題】バルブハウジングの製造コスト、特に材料コストを下げる。
【解決手段】押出し成形棒材の１つのセクションから作られ、これに、ほぼ共通の１つの平面の中に配置されたインレットポートおよびアウトレットポート２７、２８、２９、３０が作り込まれ、これに対して横向きにほぼ同じ平面の中を走る、少なくとも１つのバルブエレメント２１、２６のための１つの受け穴２０が作り込まれたバルブハウジング１１において、棒材が、ほぼ直方体形の基本体から突出するリブ１５、１６、１７、１８を付けていて、その中でインレットポートおよびアウトレットポート２７、２８、２９、３０が始まる形の形材であることを見込む。 （もっと読む）

【課題】洗浄性又はパージ性に優れたバルブや流体供給系を提供すること。
【解決手段】（１）相対立する面に２種の弁要素部Ａ及び弁要素部Ｂを有し、（２）上記弁要素部Ａは３つの弁孔を有し、上記弁要素部Ｂは２つの弁孔を有し、上記弁要素部Ａの３つのうち１つの弁孔は、上記弁要素部Ｂの２つのうち１つの弁孔と直接通じて、２種の弁要素部が存在する相対立面に直交する方向に直線状の流路ａを形成しており、（３）上記弁要素部Ａの上記弁要素部Ｂと通じない２つの弁孔は、それぞれバルブボディ外部への流路ｂ及び流路ｃを形成しており、上記弁要素部Ｂの上記弁要素部Ａと通じない１つの弁孔は、バルブボディ外部への流路ｄを形成していることを特徴とするバルブボディ。 （もっと読む）

【課題】 供給流体中の気泡を確実に除去し、かつ供給流体が流路の中に滞留しない構造の提供
【解決手段】 供給用バルブ２０と、排出用バルブ３０と、洗浄用バルブ４０と、パージ用バルブ５０とを有する複合流体制御ユニット１０において、各バルブの弁座が形成された流路ブロック１１を有し、流路ブロック１１の、下端に出力ポート１５が、上端にエア抜きポート１６が設けられ、流路ブロック１１内に設けられる第１流路１２が供給用バルブ２０の供給用バルブ弁室２４を貫通し、供給用バルブ２０の正面に排出用バルブ３０が設けられ、第２流路１３が、供給用バルブ弁室２４と、排出用バルブ弁室３４を連通し、洗浄用バルブ４０の正面にパージ用バルブ５０が設けられ、洗浄用バルブ弁室４４と、パージ用バルブ弁室５４を連通する第３流路１４が、第１流路１２と交差して設けられる。 （もっと読む）

【課題】流路に対する空圧制御機器の接続作業を容易に行うことができるとともに、設置スペースをコンパクトにすることができる空圧制御機器ユニットを提供する。
【解決手段】空圧制御機器ユニット１１は、ベース体２１に複数の空圧制御機器３０，４０，５０，６０が接続されてなるものである。ベース体２１は長尺状をなし、該ベース体２１の内部には前記ベース体２１の長さ方向へ延びる圧力空気の流路２２が形成されているとともに、前記ベース体２１の長さ方向に交差する方向へ延び、前記流路２２に連通する分岐流路２３が複数形成されている。空圧制御機器３０，４０，５０，６０は、前記分岐流路２３に連通した状態でベース体２１に接続されている。そして、空圧制御機器ユニット１１においては、分岐流路２３を介して全ての空圧制御機器３０，４０，５０，６０が流路２２に連通している。 （もっと読む）

【課題】高純度ガス供給のための、精製能力が高く、長寿命の組み込みガス精製器を有し、かつ、ガスがガス精製器を通して取り出されていない間は、組み込み精製器をガスから隔離できる高純度ガス供給システムの流体流動弁アセンブリ、流体処理容器アセンブリおよび流体供給システムを提供する。
【解決手段】外部口２５と、少なくとも第一の口１９、第二の口２１、及び第三の口２３を有する入口端部とを有する弁本体９、弁本体内に配置され、第一の口と第二の口の間の流体流動を制御するのに適合した第一弁１１、及び弁本体内に配置され、第三の口と外部口の間の流体流動を制御するのに適合した第二弁１３を含む流体流動弁アセンブリ。 （もっと読む）

【課題】出力ポートを装備した電磁弁と装備しない電磁弁とを共通のマニホールドベース上に混在させて搭載したマニホールド形電磁弁集合体を得る。
【解決手段】供給用及び排出用の分岐通孔の数及び配置を同じにした複数の弁搭載部５を有するマニホールドベース１の上記弁搭載部５に、外部配管接続用の出力ポートＡＰ１，ＢＰ１を装備している第１電磁弁２は直接搭載し、出力ポートを装備していない第２電磁弁３は、この第２電磁弁３のための出力ポートＡＰ２，ＢＰ２を間接装備し、上記弁搭載部５に対する取付構造を上記第１電磁弁２と同じにされた中間ブロック４を介して間接的に搭載する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で、所定量の流動物を流した後に、流路を切り換え、別の流動物を所定量流すことができる回転式切換バルブを提供すること、および、包装体の所定長さ毎に異なる内容物を充填した包装体を工業的に製造する充填包装体製造装置および方法を提供すること。
【解決手段】回転体形の空間が形成され、該空間に開口し、流動物を導入する２以上の導入流路１０４とを有する筐体１０２と、前記空間に嵌入され、前記回転体の軸廻りに回転することにより導入流路と連通して前記流動物が流入する受配流路１３２を有する中子１３０とを備える回転式切換バルブ１００。筐体１０２は、流量調整用のリング１２０と筐体本体１１０とで構成されるとよい。また、帯状フィルムの側縁部を重ね合わせて接合し筒状フィルムを成形する縦接合装置と、筒状フィルムに上記の回転式切換バルブを介して内容物を充填する充填装置とを備える充填包装体製造装置。 （もっと読む）

【課題】既存のコンポーネント部品を用いて簡単にフットスペースを狭小化できるガス供給集積ユニットを提供すること。
【解決手段】 複数のコンポーネント部品（一次側フィルタ１，手動弁２，レギュレータ３，圧力計４，入力弁５，マスフローコントローラ６，出力弁７，二次側フィルタ８，逆止弁９，パージ弁１０）を搭載するガスユニット１２を複数備えるガス供給集積ユニット１１において、ガスユニット１２ａ〜１２ｉを、ガスユニット１２の高さ方向に配置をずらして保持する構造体１３ａ，１３ｂ，１３ｃを設ける。 （もっと読む）

【課題】液溜りなく高純度化でき、しかも流体機器どうしをより近接させて接続でき、その接続に要する管路長さの短縮化が図り、配管系統のコンパクト化や圧力損失の軽減を図る。
【解決手段】一対の流体機器１，２どうしを環状ガスケットＧを用いて円管状流体通路４，４をシール状態で連通接続するに、第１及び第２流体給排口部１Ｂ，２Ａに環状突起１１，２１を形成し、ガスケットＧには、環状突起１１，２１のそれぞれに嵌合すべく流体経路Ｗの外径側部分に形成された一対の環状溝５１，５１を有するフッ素樹脂製でＨ型断面形状を持つものに構成し、各流体機器１，２どうしを引寄せて、第１及び第２流体給排口部１Ｂ，２Ａの環状突起１１，２１とガスケットＧの環状溝５１とがそれぞれ嵌め合わされて嵌合シール部３が形成される接合状態を維持する維持手段Ｉを装備する。 （もっと読む）