【課題】ホットウォールチャンバからの熱によってシール部材が加熱されても，高い真空度を保持したいチャンバ内への大気の侵入を防止し，そのチャンバ内の真空圧力を保持できるようにする。
【解決手段】ホットウォールチャンバであるプロセスチャンバ２００Ｂと，それより高い真空度を保持することが要求されるトランスファチャンバ３００との間のゲートバルブ装置は，トランスファチャンバの側壁と筐体の側壁との間は，そのトランスファチャンバとの基板搬出入口を第１シール部材３３０Ａとその外側の第２シール部材３３０Ｂにより囲んで２重シール構造とし，これらシール部材間の隙間を筐体の内部空間に連通する少なくとも１つの連通孔４０８を筐体の側壁に設け，トランスファチャンバとの基板搬出入口を，筐体内を昇降自在な弁体４１０によって開閉するようにした。 （もっと読む）

【課題】バルブに異物が付着することを防止し、バルブの損傷を防止すると共に、バルブを動作させるためのシャフトなどが往復運動を繰り返すことによって撓むことを最小限に抑えることのできる真空工程用バルブを提供する。
【解決手段】本発明の実施形態による真空工程用バルブは、インレットポート及びアウトレットポートを有する第１のバルブ本体と、インレットポートの閉状態及び開状態を行うように、前後に移動させるシールユニットと、ベローズにより囲まれ、シールユニットを前記閉状態の位置及び前記開状態の位置に移動させるシャフトと、シールユニットが前記開状態の位置にあるときベローズが腐食性ガスにさらされないように、ベローズを囲んで形成されるカバーと、カバーをガイドするカバーガイドユニットとを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は遮断機能を有する真空制御バルブの設計自由度を高める技術を提供する。
【解決手段】本発明は、真空容器と真空ポンプとの間に接続され、作動流体によって弁開度を操作して真空容器内の真空圧力を制御する真空制御バルブ３０を提供する。本真空制御バルブ３０は、リフト量の調節による弁開度の操作と遮断とを行う弁体３３とピストンとを有する動作部と、ピストンを収容するシリンダ３１と、リフト量が小さくなる方向に動作部を付勢する付勢部と、ピストンの外周面とシリンダ３１の内周面との間の隙間を、ピストンの動作に追従しつつ密閉するベロフラム３４と、ベロフラム３４によって密閉され、作動流体の作用圧力に応じてリフト量を大きくする方向に荷重を発生させる弁開度操作室と、作動流体の供給に応じて動作部に対してリフト量を小さくする方向に荷重を発生させる遮断荷重発生室と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 パッキン押えが降下してもパッキン押えの上面とヨークスリーブの下面の間に隙間を生じないようにする。
【解決手段】 弁箱の軸装部８に弁軸１２が上下動自在に軸装され、弁箱の軸装部８と弁軸２の間にパッキン１９が介装され、パッキン１９の上方にパッキン１９を押圧するパッキン押え２１が配設され、パッキン押え２１の上方に弁箱のヨーク部２５に挿入され弁軸１２にねじ込まれたヨークスリーブ２６が設けられ、ヨークスリーブ２６に嵌め込まれたハンドル２７を回転させて弁軸１２を上下動させることにより弁軸１２の下端に設けられた弁体１１で弁箱２内の弁座４を開閉する。弁軸１２の周囲のパッキン押え２１と弁箱のヨーク部２５の間に保護筒２９を設ける。保護筒２９の上端内周が当接するガイド凸部２５ａ弁箱のヨーク部２５の下面に設けるとともに、保護筒２９の下端内周が当接するガイド凸部２１ａをパッキン押え２１の上面に設ける。 （もっと読む）

【課題】パッキン押えが降下してもパッキン押えの上面とヨークスリーブの下面の間に隙間を生じないようにする。
【解決手段】弁箱の軸装部８に弁軸１２が上下動自在に軸装され、弁箱の軸装部８と弁軸１２の間にパッキン１９が介装され、パッキン１９の上方にパッキン押え輪２０を介してパッキン１９を押圧するパッキン押え２１が配設され、パッキン押え２１の上方に弁箱のヨーク部２５に挿入され弁軸１２にねじ込まれたヨークスリーブ２６が設けられ、ヨークスリーブ２６に嵌め込まれたハンドル２７を回転させて弁軸１２を上下動させることにより弁軸１２の下端に設けられた弁体１１で弁箱２内の弁座４を開閉する。弁軸１２の周囲のパッキン押え２１とヨークスリーブ２６の間にパッキン押え輪２０と一体に形成した保護筒２０ａを設ける。保護筒２０ａの上端外周が当接するガイド凹部２６ａをヨークスリーブ２６の下面に設ける。 （もっと読む）

【課題】パッキン押えが降下してもパッキン押えの上面とヨークスリーブの下面の間に隙間を生じないようにする。
【解決手段】弁箱の軸装部８に弁軸１２が上下動自在に軸装され、弁箱の軸装部８と弁軸１２の間にパッキン１９が介装され、パッキン１９の上方にパッキン１９を押圧するパッキン押え２１が配設され、パッキン押え２１の上方に弁箱のヨーク部２５に挿入され弁軸１２にねじ込まれたヨークスリーブ２６が設けられ、ヨークスリーブ２６に嵌め込まれたハンドル２７を回転させて弁軸１２を上下動させることにより弁軸１２の下端に設けられた弁体１１で弁箱２内の弁座４を開閉する。弁軸１２の周囲のパッキン押え２１とヨークスリーブ２６の間にパッキン押え２１と一体に形成した保護筒２１ａを設ける。保護筒２１ａの上端内周が当接するガイド凸部２６ｂをヨークスリーブ２６の下面に設ける。 （もっと読む）

【課題】半導体処理チャンバからの排気ガスの固化を防止することにより、メンテナンスの手間と費用を低減することが可能なスロットルバルブを提供する。
【解決手段】内部に空間を有するバルブ本体部２０と、バルブ本体部の側壁に形成され、外部の真空チャンバ１１１と連結される連結部と、バルブ本体部内部の空間であって連結部の下端部より上方にある上方空間と、バルブ本体部内部の空間であって連結部の下端部より下方にあり、真空ポンプと連結される下方空間の間の開口度を昇降により調節するプランジャー５１と、バルブ本体部の上壁２２の上部に配置される固定台３０，４０と、固定台及びバルブ本体部の内部に設けられ、プランジャーを昇降させるプランジャー昇降機構６０と、バルブ本体部の上壁の外側及び固定台の側壁部に設けられるヒーター９０，９２を備え、ヒーターはバルブ本体内部の上壁とプランジャーとの間の空間を加熱する。 （もっと読む）

【課題】バルブボディの外壁面に半導体ヒータを密着させることで、接触面積を大きくする真空用開閉弁を提供する。
【解決手段】第１流路７と第２流路８とを連通する弁孔を有するバルブボディ４と、弁孔の外周に形成された弁座と当接又は離間する弁体と、弁体を駆動する駆動手段３と、バルブボディ４の外壁面に設けられたヒータ４０と、ヒータ４０をバルブボディ４の外壁面に押圧する取付板４２と、ヒータ４０と取付板４２の間に断熱材４１を有する真空用開閉弁１において、ヒータ４０は、薄板状で、柔軟性のある半導体ヒータとする。 （もっと読む）

【課題】サニタリー仕様の輸送配管に好適なベローズバルブとして、ベローズの収縮状態において液溜まりを生じず、スチーム滅菌における液溜まりに起因した滅菌不良や、送液稼働中の液溜まりの残留液による品質低下や衛生不良を確実に防止でき、ベローズによる圧損が少なく、合成樹脂製のベローズでも優れた耐久性が得られるものを提供する。
【解決手段】垂直方向に沿う弁作動軸２の昇降によって開閉する弁部を有し、弁ケース１における弁作動軸２の軸通部１１が弁開閉に伴って上下に伸縮するベローズ３によって封止されている。ベローズ３は、合成樹脂製で略円錐状をなし、小径端３ａ側で弁作動軸２の外周に嵌着し、大径端３ｂ側で弁ケース１側に嵌着し、収縮状態における環状凹凸部３０の縦断面がくの字形の反復屈曲によるジグザグ状に形成され、上方に臨む各環状外周面３０ａが外側へ下り勾配の傾斜面をなす。 （もっと読む）

【課題】弁体の構造や形状を適正化し、弁体の開閉精度を向上させた調整弁装置を提供する。
【解決手段】弁体３１０は、弁体頭部３１０ａと弁体身部３１０ｂとが弁軸３１０ｃにより連結された構造を有する。弁箱３０５は、弁体３１０と動力伝達部材３２０ａとを摺動可能に内蔵する。第１のベローズ３２０ｂは、動力伝達部材３２０ａ及び弁箱３０５に固着されることにより、動力伝達部材３２０ａに対して弁体と反対側の位置に第１の空間Ｕｓを形成する。第２のベローズ３２０ｃは、動力伝達部材３２０ａ及び弁箱３０５に固着されることにより、動力伝達部材３２０ａに対して弁体側の位置に第２の空間Ｌｓを形成する。第１の配管３２０ｄから第１の空間Ｕｓに供給されたエアーと第２の配管３２０ｅから第２の空間Ｌｓに供給されたエアーとの比率に応じて動力伝達部材３２０ａから弁体頭部３１０ａに動力を伝達し、搬送路２００ａを開閉する。 （もっと読む）

【課題】パッキン押えが降下してもパッキン押えの上面とヨークスリーブの下面の間に隙間を生じることのない開閉弁を提供する。
【解決手段】弁箱の軸装部８に弁軸１２が上下動自在に軸装され、弁箱の軸装部８と弁軸１２の間にパッキン１９が介装され、パッキン１９の上方にパッキン１９を押圧するパッキン押え２１が配設され、パッキン押え２１の上方に弁箱のヨーク部２５に挿入され弁軸１２にねじ込まれたヨークスリーブ２６が設けられ、ヨークスリーブ２６に嵌め込まれたハンドル２７を回転させて弁軸１２を上下動させることにより弁軸１２の下端に設けられた弁体１１で弁箱２内の弁座４を開閉するグローブ弁１において、弁軸１２の周囲のパッキン押え２１とヨークスリーブ２６の間に伸縮自在で下端がパッキン押え２１の上面に当接し上端がヨークスリーブ２６の下面に当接する保護ベローズ２９を収縮状態で配置する。 （もっと読む）

【課題】弁体の温度調整が可能であり、撹拌装置に好適なバルブを提供する。
【解決手段】バルブ１は、内径側に流体通路が形成され、且つ、弁座面４ａが形成された弁座４と、前記弁座面４ａに当接することによって前記流体通路を閉止し、前記弁座面４ａから離間することによって前記流体通路を開放するための弁体９とを備えており、前記弁体９に、温度調整用の流体が循環するための内部空洞１９が形成されており、この内部空洞１９に連通する流体供給管１１と流体排出管１２とが前記弁体９に接続されている。 （もっと読む）

【課題】水漏れの発生を防止するとともに円滑な摺動可能性を保持する止水シャフトを提供する。
【解決手段】貯水槽２の上部に形成されたガイド６を貫通して摺動可能に構成され、シャフトの先端に取り付けられた止水栓４で貯水槽２の底部の排水口３を開閉させる止水シャフト５において、貯水槽２の上部に形成されたガイド６の周囲に密着して固定される押え部１８と、嵌め込まれたシャフトの周囲に密着して結合される嵌合部１６と、押え部１８と嵌合部１６との間に屈伸自在な伸縮部１７とを有する接続部材１２を設け、その接続部材１２で貯水槽２と結合した。 （もっと読む）

【課題】製造コストの低減を図るとともに、小型でメンテナンス性の向上を図ることができる流量調整弁を提供する。
【解決手段】液体流体が流れる流路４１，４２および弁座４３Ａが形成された下部筐体４と、弁座４３Ａとともに流路を流れる液体流体の流量を調整する弁体７と、弁体７を、弁座４３Ａに対して接近離間させる往復駆動部５Ａと、往復駆動部５Ａが収納される上部筐体２と、が設けられていることを特徴とする流量調整弁１である。 （もっと読む）

【課題】製品組立後でもストローク調整部材の原点位置を簡単且つ正確に調整できる真空弁を提供すること。
【解決手段】真空弁１は、第１ピストン２６と第２ピストン２７を個別に移動させることにより弁体７のストロークを変更し、流量を段階的に制御する。真空弁１は、第２ピストン２７を上蓋２２に当接させた状態で第２ピストン２７に突き当たるまでストローク調整部材３８を調整ネジ部１１ｄに締め付けてストローク調整部材３８を止めネジ３９で固定することにより、ストローク調整部材の原点位置を調整する。 （もっと読む）

【課題】ディスクベローズによってバルブ室内の冷媒が缶の内部に流入することを遮断することができる低騷音型電子式膨張バルブを提供する。
【解決手段】ケース本体の外周縁突出部１８の下側に内径側に向かって形成された四角突起溝１５に挿入された円形シーリング１４を取り囲みながら缶１３の下端部終端が内側に折り曲げられた缶折曲部１２が形成され、内部で発生する騷音及び振動を減少させるために上部面に輪形突起１３１が形成された缶１３とから構成されたケース部１０と；前記缶１３とケース本体１１の内部を密閉するためにバルブ本体５０の内径側に形成されたバルブ本体の案内面５４にディスクベローズ支持リング４１と一緒に接合形成され、前記ディスクベローズ支持リング４１の外周縁終端がバルブ本体５０の上部に固定されるように備わったディスクベローズ４０と；前記ケース本体１１に結合されるポジショナー本体部３０と；が結合される。 （もっと読む）

【課題】部品の腐食を防止できる真空弁を提供すること。
【解決手段】第１開口部６と第２開口部７との間に弁座１０が設けられた弁本体４と、前記弁座１０に当接又は離間する弁体１４と、前記弁本体４内へ突き出すロッド部材２９に前記弁体１４が取り付けられて前記弁体１４に駆動力を付与する駆動部２と、前記ロッド部材２９を覆うように前記弁本体４内に配置され、弁座側端面に前記弁体１４が取り付けられたベローズ１２とを備える真空弁１において、前記弁本体４と前記駆動部２との間に設けられ、パージガスを供給するパージガス供給部３７と、前記弁本体４と前記駆動部２との間に設けられ、前記パージガスを排気するパージガス排出部３８と、を有し、前記パージガス供給部３７を前記ベローズ１２の内部空間へ連通させる連通路３９を前記ロッド部材２９に設けている。 （もっと読む）

【課題】 排気ポンプ及びゲートバルブの駆動部を設置するためのスペースを低減し、装置全体の小型化を図ること。
【解決手段】 排気ポンプ及びゲートバルブの駆動部を設置するためのスペースを低減し、装置全体の小型化を図る。真空チャンバ５と、真空チャンバ５の排気口１０に連通された排気ポンプ６と、排気口１０に対して近接離間する方向に移動されて排気口１０を開閉する弁体１１を有するゲートバルブ７と、を備える。真空チャンバ５には、排気口１０から弁体１１の移動方向に対して傾斜された方向に延ばされた接続部８が設けられ、接続部８に排気ポンプ６が接続されている。また、ゲートバルブ７は、真空チャンバ５内に設けられた弁体１１と、弁体１１の移動方向に延ばされて弁体１１を駆動するロッド１３を有する駆動部１２と、を備え、駆動部１２が接続部８の外側に設けられている。 （もっと読む）

外管及び内管の内部を流れるガスが前記外管の外部に漏洩するのを防止する二重配管装置を提供する。本実施例に係る二重配管装置（１０）は、外管（１１）と、この外管（１１）に内挿された内管（１２）とから構成された二重配管装置の内部を流れるガスＡの流量を調整する二重配管装置であって、内管（１２）の内部を流れるガス（Ａ）の流量を調整する流量調整弁（１３）と、この流量調整弁（１３）を支持し、外管（１１）及び内管（１２）を貫通する弁棒（１４）とを有すると共に、外管（１１）と内管（１２）との間に、ガスＡが外管（１１）の外に漏洩するのを防止する流体漏洩防止手段としてベローズ（１５）を含む流体漏洩防止手段（１６）を有する。ベローズ（１５）の一端を外管（１１）の内壁（１１ａ）に取り付けると共に、他端を弁棒（１４）に形成されたフランジ（１４ａ）に取り付けることで、内管（１２）の内部を流れるガス（Ａ）が外管（１１）の外部に漏洩するのを防止する。

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【課題】
本発明は、異物を巻き上げることなく、排気時間を短縮することが可能な排気バルブの提供を目的とするものである。
【解決手段】
異物を巻き上げずに排気すること、排気時間を短縮することの相反する２つの要求を解決するために、バルブの開き始めは異物を巻き上げないよう大きな排気抵抗を有し、バルブの動作ストロークとともに排気抵抗が連続的に減少し、バルブ全開時には排気ポンプを有効に活用できるように、小さな排気抵抗をもったスロー排気バルブを実現する。 （もっと読む）