【課題】ベローズ式仕切部材１４の変位に伴うポンプ室１６内の容積変化により吸入された薬液を吐出する薬液供給ポンプ１０を用いるものにあって、薬液の吐出や吸入に際して薬液の状態の変動が生じること。
【解決手段】吐出側バルブ３２の開弁に伴うベローズ式仕切部材１４の変動量を、変位量センサ５８によって検出する。この変動量は、吐出側バルブ３２の開弁に伴う薬液の急激な流動と相関を示すパラメータである。したがって、この変動量を低減すべく、吐出側バルブ３２の開弁前におけるポンプ室１６内の圧力を操作する。 （もっと読む）

【課題】薬液を高精度で吐出することができ、ピストンとシリンダとの間からの非圧縮性媒体の漏出を監視することができる薬液供給装置を提供する。
【解決手段】ポンプ１１はポンプ室１７と駆動室１８とを仕切る可撓性チューブ１６を有し、駆動室１８にはシリンダ１２のシリンダ孔３３内を往復動するピストン３４によって非圧縮性媒体３８が供給される。ピストン３４とシリンダ１２との間にはベローズカバー６４が設けられており、ベローズカバー６４によりピストン３４の摺動面に連なるシール室６３が形成されている。シール室６３内に封入されたシール用の非圧縮性媒体３８ａの圧力を検出するためにシリンダ１２にはシール室圧力センサ７１が取り付けられており、シール室６３の圧力を検出することによってシール材６９の劣化度が判断される。 （もっと読む）

液体を計量するポンプを示す。そのポンプは、フレキシブルなチューブから構成される。フレキシブルなチューブ内にリリーフ弁を伴い、チューブは容器に連結される。ハウジングは、フレキシブルなチューブを受け入れる開口を定める。その開口の近くに、圧縮表面がある。往復部材は、シールエレメントとポンプエレメントを含む。ドライブがシールエレメントを動かし、フレキシブルなチューブを圧縮表面にはさみつぶす。圧縮表面はリリーフ弁の上流であるため、シールエレメントとリリーフ弁との間に液体を捕らえる。ドライブは、また、ポンプエレメントを動かし、フレキシブルなチューブを圧縮表面につぶす。それにより、捕らえた液体を所定量だけリリーフ弁から排出する。
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【課題】処理液貯留槽において実際に処理液がなくなり、この処理液貯留槽から処理液を引き抜くためのラインに処理液が流れなくなった場合において、当該処理液貯留槽が空状態であることを自動的に判定することができ、このことにより、処理液貯留槽から引き抜かれた処理液を被処理体に供給するような処理において安全性や生産性の向上を図ることができる処理システムおよび処理方法を提供する。
【解決手段】処理液貯留槽２０から処理液を引き抜くためのライン２２（２３）には往復動ポンプ３０が介設されている。往復動ポンプ３０が処理液貯留槽２０から処理液を引き抜く際に、この往復動ポンプ３０の往復部材３４が往復動作を行う際の所定距離における移動時間を計測する。この移動時間が予め設定された設定時間よりも小さい場合には処理液貯留槽２０が空状態であると判定する。 （もっと読む）

アクチュエータは、固体から液体へと相変化するにつれて可逆的に膨張する作動媒体（３）を収容するキャビティ（２）と、前記キャビティの近傍に位置し、作動媒体の膨張及び収縮によって変形するダイヤフラム（４）と、前記キャビティ内に設けられ、前記作動媒体を液体へと相変化させるために前記作動媒体を加熱する半導体素子（６）とを備える。 （もっと読む）

【課題】ポンプ室の容積を小さくすることができ、かつ、微小吐出と微小な吐出量の制御が可能なマイクロポンプ及びそれを備えた徐放装置を提供する。
【解決手段】マイクロポンプ１００は、ポンプ室１と、外部からポンプ室１に液体を吸入するための吸入口２と、吸入口２において液体の流れを調節するための吸入側逆止弁３０と、ポンプ室１の内部からポンプ室１の外部に液体を吐出する吐出口４と、吐出口４において液体の流れを調節するための吐出側逆止弁５０と、ポンプ室１の容積を変化させるための振動板６とを備え、吸入側逆止弁３０は、その一部が振動板６に接触するようにポンプ室１に組み込まれている。 （もっと読む）

【課題】例えばスリットコート式の塗布工程などにおいて、塗布時における振動が十分に少なく、平滑な薄膜塗布が可能な定量送液ポンプおよびそれを用いた薬液塗布装置を提供する。
【解決手段】パルスモータから減速機を介して回転が伝達されるボールねじ機構に連結されたピストンロッドの移動により容積が増減するシリンジ室３１と、内部がポンプ室を構成するチューブ５１の外周側の非圧縮性流体収容室５８と、を連通する配管４１に、流量調整弁４２および逆止弁４３を並列に設け、ポンプの吐出工程時には逆止弁４３を閉止して流量調整弁４２のみ通過させることで、非圧縮性流体に絞り負荷を与えて移送液の圧力変動を抑制すると共に、ポンプの吸入工程時には逆止弁４３を開放して流れをバイパスすることで、非圧縮性流体の急激な流量変化を抑えるようにした。 （もっと読む）

【課題】薬液を高精度で吐出することができる薬液供給装置を提供する。
【解決手段】薬液供給装置１０ａは薬液タンク２５内の薬液を塗布ノズル２７から吐出させるために使用される。薬液供給装置１０ａは、ポンプケース１１とシリンダ１２とが一体となった合体部材１３を有し、ポンプ部材である可撓性チューブ１５はポンプケース１１に設けられており、その内側はポンプ室１６であり外側は駆動室１７である。シリンダ１２には駆動室３３を形成するピストン３１が組み付けられ、両方の駆動室１７，３３には非圧縮性媒体３５が封入されており、モータ４９によりピストン３１を往復動すると、ポンプ室１６は膨張収縮する。ピストン３１とシリンダ１２との間の隙間はベローズカバー６１により覆われ、ピストン３１とシリンダ１２との間から漏れた非圧縮性媒体３５はシール室６６ａ，６６ｂ内に入り込み外部には漏出しない。 （もっと読む）

【課題】 シリンダ容量が大きな場合でも、動作上の問題を有することなく、十分な量の燃料を供給する手段を提供する。
【解決手段】 カム（２ａ）により動作するピストン（１ａ）とベローズ（４ａ）とを組み合わせたポンプユニットと、カム（２ｂ）により動作するピストン（１ｂ）とベローズ（４ｂ）とを組み合わせたポンプユニットとを有し、ベローズ（４ａ、４ｂ）の伸縮によってチャンバ（５ａ、５ｂ）内に入る燃料の量は、上流で、エンジンの制御コンピュータに制御される一つの流量制御電磁弁（８）によって決定され、各ポンプユニットは、基が共通で途中で分岐する供給路（６ａ、６ｂ）を介して燃料が供給されると共に、共通の排出路（１０）を介して高圧状態の燃料が排出される。 （もっと読む）

【課題】均一で正確な吐出量、吐出圧力で、レジスト液などの薬液の塗布を行うことが可能な定量送液ポンプ、およびそれを用いた薬液塗布装置を提供する。
【解決手段】シリンジ本体内を軸方向に往復動するピストン部材と、ピストン部材によって区画され、ピストン部材の移動に連動して、容積が相互に逆方向に増減する２つのシリンジ室と、２つのシリンジ室にそれぞれ連結され、非圧縮性流体の作用によって作動する２つのポンプとを備え、ピストン部材を駆動装置により往復動させることで、２つのシリンジ室の容積を相互に逆方向に増減させて、２つのポンプの吸入工程と吐出工程とを相互に逆に行うように構成した。 （もっと読む）

【課題】上下方向に多列のノズルが設けられる噴流発生装置であっても、適切に合成噴流を発生することができる噴流発生装置、ノズル体及び電子機器を提供すること。
【解決手段】第１の流路群２ａは、第１のチャンバ５ａし、当該第１の流路群２ａのノズル体２前面２ｅにおける開口は、例えばその前面２ｅの上側半分であって右側半分に配置される。第２の流路群２ｂは、第２のチャンバ５ｂに連通し、当該第２の流路群２ｂの前面２ｅにおける開口は、例えばその前面２ｅの上側半分であって左側半分に配置される。第３の流路群２ｃは、第３のチャンバ５ｃに連通し、当該第３の流路群２ｃの前面２ｅにおける開口は、例えばその前面２ｅの下側半分であって左側半分に配置される。第４の流路群２ｄは、第４のチャンバ５ｄに連通し、当該第４の流路群２ｄの前面２ｅにおける開口が、例えばその前面２ｅの下側半分であって右側半分に配置される。 （もっと読む）

一体的なポンプである内蔵型ポンプが、開示されている。このポンプは、リザーバと、ポンピングメカニズムと、少なくとも1つの出口とを有している。前記ポンピングメカニズムは、リザーバの制御された圧縮のために、リザーバ中の必要とされる量の流体を少なくとも1つの出口へと吐出する。
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【課題】蠕動ポンプの圧力変動を低減する。
【解決手段】蠕動ポンプであって、弾性的に変形可能なホースを備え、そのホースは媒体注入口と媒体排出口を有し、加圧要素はホースに沿って移動および加圧面に抗して押圧しながら、ホース部分を局所的に圧縮して閉塞し、媒体は媒体注入口を経て引き込まれ、媒体排出口を経て排出される。加圧面は、上記媒体注入口につながるインフィード部分を備え、この部分の加圧要素からの距離が、加圧要素が存在するときに、ホースが実質的に全く無変形で開いている第１の値から、ホースが加圧要素によって局所的に圧縮されて閉じられる第２の値まで減少し、実質的に一定である距離を有する中間部分を備え、また、アウトフィード部分を備え、このアウトフィード部分の加圧要素からの距離が第２の値から第１の値まで増加する。アウトフィード部分、インフィード部分の長さは、加圧要素の間の距離の１倍と２倍との間にある。 （もっと読む）

【課題】微少流量の流体を脈動なく連続的かつ定量的に安定して移送することができるマイクロポンプ装置を提供する。
【解決手段】マイクロポンプ装置１は、内部に流体が流通される複数の弾性チューブ１０と、弾性チューブ１０を押圧して該弾性チューブ１０の内部に複数の密閉空間を形成する凸部２６と、凸部２６を弾性チューブ１０に対して移動させて流体を移送するダイレクトドライブモータ１６と、吐出側の流体の流量を検出する流量センサ３６と、吐出側の流体の圧力を検出する圧力センサ３８と、流量センサ３６の出力信号と圧力センサ３８の出力信号とに基づいて、ダイレクトドライブモータ１６による凸部２６の移動速度を調整するコントローラ４４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】医療分野で薬物を投与する際に、薬物が必要な患部に必要な量だけを投与し、その効果を発揮させることを課題とした。市販されている圧電ポンプはｍｌ単位の流量となっているが、本発明ではマイクロｌの微小流量の制御が可能と考えられ、この事から医療分野への導入が課題である。
【解決手段】
本発明においてＰＺＴ薄膜が合成されているため、大きな電圧を印加することができないので低電圧での駆動を可能にすること、また制御電圧および周波数を可変し流量を得ること、さらにヒータ部であるホウ素拡散領域と圧電素子の同期を取り駆動させることである。それには低電圧駆動パルスジェネレータを用いる事で、電圧および周波数ともに制御できる。パルスジェネレータにより動力部である圧電素子と弁となるヒータ部とシリコンを駆動させる。これらの動作はダイオードでパルスジェネレータからの信号を整流することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】高精度に計量された一定微量の液体材料を供給できる、コンパクトな液体材料供給装置を提供する。
【解決手段】上板１１が下板１２に接近するように撓んで変形すると、凹部１２ａの容積が減少し、上板１１の変形量に応じた量だけ、吐出路１２ｃから潤滑油が吐出して、軸受１に供給されることとなる。一方、上板１１が下板１２から離隔するように撓んで変形すると、凹部１２ａの容積が増大するので、上板１１の変形量に応じた量だけ、供給路１２ｂから潤滑油を吸引することとなる。 （もっと読む）

【課題】チューブの耐久性を向上させたチューブポンプを提供する。
【解決手段】略Ｕ字形状のポンプフレームと、上記ポンプフレーム内において上記ポンプフレームの内壁に沿って略Ｕ字形状に配設された可撓性のチューブと、上記ポンプフレーム内において上記チューブに隣接して回転自在に配置されたポンプホイールと、上記ポンプホイールの外周側に配置されるとともに第１の外径を有する第１のローラーと、上記ポンプホイールの外周側の上記第１のローラーが配置された位置とは異なる位置に配置されるとともに上記第１の外径よりも小径な第２の外径を有する第２のローラーとを有し、上記ポンプホイールが回転すると、上記第１のローラーにより上記ポンプフレーム内に配設された上記チューブを押し潰して上記チューブ内の液体を移送するととともに、上記第２のローラーにより上記ポンプフレーム内における上記チューブの移動を抑止するようにした。 （もっと読む）

【課題】吐出量および吐出圧の向上を図るとともに、背圧が加わった場合にもポンプ作用が安定して維持され、また、自己吸引が十分かつ効率的に行われるようにする。
【解決手段】吸入側予備室１１Ａと吐出側予備室１１Ｂとをポンプ室２１に隣接して形成し、ポンプ室２１と吸入側予備室１１Ａ、ポンプ室２１と吐出側予備室１１Ｂをそれぞれ吸入流路１７ａ、吐出流路１７ｂで連通させ、これら流路に、吸入側逆止弁１８ａおよび吐出側逆止弁１８ｂを設ける。ポンプ室２１の壁部の一部をダイヤフラム５１と圧電素子５２からなるポンプアクチュエータ５０で構成し、ダイヤフラム５１の振動でポンプ作用を得る。各予備室１１Ａ，１１Ｂの壁部の一部をダイヤフラム６１、圧電素子６２および可撓性の円板６３からなるサブアクチュエータ６０で構成し、サブアクチュエータ６０の円板６３をポンプアクチュエータ５０のダイヤフラム５１と同期させて駆動する。 （もっと読む）

ポンプ装置のチャンバ内の基準圧力を実質的に維持するためのシステムおよび方法が開示される。本発明の実施形態は、ポンプ装置のチャンバ内で生じ得る圧力変動を補償または考慮するために、モータを制御するよう機能してもよい。より具体的には、分注モータは、分注チャンバ内で感知された圧力に基づく分注前に、分注チャンバ内の基準圧力を実質的に維持するよう制御されてもよい。一実施形態では、分注が開始される前に、制御ループを利用して、分注チャンバ内の圧力が所望の圧力以上であるか否かを繰り返し判断し、その場合、ポンプ手段の運動は、流体の分注が開始されるまで、分注チャンバ内の所望の圧力を実質的に維持するよう調整されるようにしてもよい。
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【課題】フィンガー全てを開放する第１の状態と、一つのフィンガーが常にチューブを閉
塞する第２の状態とを有し、安定した流量を確保できる流体輸送装置を提供する。
【解決手段】弾性を有するチューブ５０と、チューブ５０を円弧状に装着するチューブ枠
１２と、チューブ５０の内側に配置される第１カム２０と第２カム３０と、チューブ５０
と第１カム２０及び第２カム３０との間にあって、回転中心Ｐから放射状に配置されるフ
ィンガー４０〜４６と、を備え、第１カム２０及び第２カム３０とが、フィンガー４０〜
４６の全てを開放する第１の状態と、第１カム２０または第２カム３０とが、フィンガー
４０〜４６の少なくとも一つを常にチューブ５０を閉塞する第２の状態とを有し、第１カ
ム２０及び第２カム３０が、フィンガー４０〜４６を順次押し圧し、フィンガー４０〜４
６が、チューブ５０を順次閉塞、開放を繰り返し、流体を連続流動する。 （もっと読む）