【課題】ブースタの不意な座屈圧壊を防止することを目的としている。
【解決手段】真空脱ガス装置の真空排気系に配置される管構造のブースタ１に対する補強構造であって、ブースタ１内の磨耗が相対的に多いと推定されるブースタ部分である補強対象位置Ｘの外周面に対し、ブースタ１の軸方向に沿って間隔を開けて配置されると共にそれぞれブースタの周方向に延在する複数の補強部材１０を配置し、その複数の補強部材１０は、上記補強対象位置Ｘが座屈するまで薄肉に磨耗しても、その補強対象位置Ｘの形状を保持可能な強度構造を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】吸着パッドなどの機能部品に対する真空源の構成や配管の取り回しを簡素化することのできる真空源ユニットを提供する。
【解決手段】空気を噴出させる噴気部８が先端部に形成されるとともに後端部に供給ポート１１が形成されたノズル体４と、噴気部８の外周側に所定の隙間を空けた状態でノズル体４と一体化され、その噴気部８の外周側から先端側に至る箇所にディフューザ部が形成されたスリーブ体５と、負圧が生じる部分からスリーブ体５の外周面に延びてその外周面に開口するようにスリーブ体５に形成された第一連通孔１８と、スリーブ体５を気密状態に挿入する取付孔２１が貫通して形成された本体部３と、その本体部３の外表面部に形成された複数の接続用ポート２２と、それらの接続用ポート２２と取付孔２１に挿入されているスリーブ体５における第一連通孔１８とを繋ぐ第二連通孔２２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 エゼクタでの吸引量を正確に把握することができる真空ポンプ装置を提供する。
【解決手段】 エゼクタ１とタンク２と循環ポンプ３を循環路７でそれぞれ接続する。エゼクタ１の吸引室５に排水管６を接続する。タンク２の内部に複数の電極棒１０，１１，１２を取り付ける。タンク２の左側上部に循環流体補給管４を接続する。循環流体補給管４に流量計８を取り付ける。
電極棒１０，１１，１２でタンク２内の水位から循環水量を演算し、循環流体補給管４から供給される補給水の水量を流量計８で演算して、前者の水量から後者の水量を差し引くことによって、エゼクタ１での吸引水量を正確に把握することができる。 （もっと読む）

【課題】回路や制御の簡略化やコストの低減化及び作業性の向上を図る。
【解決手段】本発明の真空発生器２４，２６は、空気圧源からの圧縮空気を入力ポート４１，４２から受給ポート４５，４６を通して空気圧アクチュエータ装置２９に供給している間は空気圧アクチュエータ装置２９からの排気を受給ポート４５，４６から排出ポート７８を通して外部に排出させる流れを遮断する一方、空気圧アクチュエータ装置２９からの排気を受給ポート４５，４６から排出ポート７８を通して外部に排出している間は前記空気圧源からの圧縮空気を入力ポート４１，４２から受給ポート４５，４６を通して空気圧アクチュエータ装置２９に供給する流れを遮断する切換手段８７を備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】圧縮空気の有効利用を図り、エネルギーの無駄を抑制する。
【解決手段】真空発生システム１は、コンプレッサ１０と、コンプレッサ１０から供給される圧縮空気により動作し、この動作に伴い圧縮空気を排出する空気圧シリンダ装置１２と、空気圧シリンダ装置１２から排出され流入ポート１７Ａを介して流入した圧縮空気を排出ポート１７Ｂから排出することにより真空ポート１７Ｃに真空を発生させるエジェクタ１７と、排出ポート１７Ｂから排出された圧縮空気を増圧する増圧器２４と、増圧器２４により増圧され流入ポート３６Ａを介して流入した圧縮空気を排出ポート３６Ｂから排出することにより真空ポート３６Ｃに真空を発生させるエジェクタ３６と、真空ポート１７Ｃにおいて発生した真空および真空ポート３６Ｃにおいて発生した真空により吸着力を生成する吸着パッド５３を備えている。 （もっと読む）

【課題】 冷却水の混濁を防止することのできる真空ポンプ装置を得ること。
【解決手段】 ジャケット部２に制御弁７を介して蒸気供給管３を接続する。ジャケット部２の下端に、スチームトラップ４と開閉弁９を介して真空ポンプ装置６を接続する。真空ポンプ装置６を、液体エゼクタ１３と冷却水タンク１４と循環ポンプ１５で構成する。循環ポンプ１５の入口側にストレーナ部材１８を、出口側に流量計２２をそれぞれ取り付ける。冷却水タンク１４に温度センサ２０を取り付ける。
流量計２２の検出流量値を基に、ストレーナ部材１８の詰まり状態を検出して、間接的に冷却水タンク１４内の冷却水の混濁度合いを検出し、ストレーナ部材１８をブローすることによって冷却水の混濁を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】簡単な設備構成により、正圧及び負圧のいずれの圧力も付与することが可能な圧力制御装置を提供すること。
【解決手段】排気通路領域２３は、給気通路領域２１と排気ポート１４とを繋ぐ分岐通路領域２４を備えている。分岐通路領域２４は、給気通路領域２１から分岐させて形成されており、さらに負圧発生用領域２５を備えている。負圧発生用領域２５にはノズル３１が形成されているとともに吸引空間３４が形成されている。吸引空間３４には排気用電磁弁１７側に分岐させて吸引通路領域３６が形成されている。給気通路領域２１から負圧発生用領域２５に分流された作動エアがノズル３１を通過することで吸引空間３４内が減圧され、吸引通路領域３６側に負圧が付与されることとなる。そして、排気用電磁弁１７が開制御されている場合には出力ポート１５に負圧が付与されることとなる。 （もっと読む）

【課題】
エジェクタを排気用途に利用するにあたり、従来のエジェクタでは排気経路の大きな断面積変化や屈折により、排気対象物が経路に詰まりやすいという問題があった。また高温環境下や振動のある使用環境では駆動流体ノズル等のパーツの同軸度のズレなどが起こり、安定的に性能を発揮するのは難しかった。
【解決手段】
吸入経路の外周から吸入経路内に環状に駆動流を噴出させて吸入経路管内に負圧を発生させれば、排気経路の断面積変化を小さくかつ直線的にでき、排気対象物の詰まりを抑える事ができる。また上記エジェクタを構成するにあたり、外周に溝１２ｃを設けた吸入経路管１２の排気口１２ｂの端面を、吸入経路管１２の外側に配置したノズル１１ｂの傾斜面に接することで駆動流噴出口１３を形成するにより、駆動流の圧力損失を抑えつつノズルの位置関係を拘束し、高温環境下や振動のある使用環境下でも安定して性能が発揮できるようになった。 （もっと読む）

【課題】タンク内の圧力を真空圧に精度良く制御しつつ配管条件による真空圧の変動を抑えることができる液圧制御装置を提供する。
【解決手段】液圧制御装置１０は、圧縮流体供給源１１から供給された圧縮流体の圧力を制御する電空レギュレータ３０と、電空レギュレータ３０で圧力が制御された圧縮流体が供給されるとともにタンク５０内を減圧して真空圧にするエジェクタ４０とを備える。さらに、液圧制御装置１０は、真空圧を検出する圧力トランスジューサ６０と、圧力トランスジューサ６０からの電気信号に基づき電空レギュレータ３０を制御するため、電空レギュレータ３０に内蔵されたコントローラ３４と、エジェクタ４０の出力ポート４０ｃに設けられた第１絞り４１とを備える。 （もっと読む）

【課題】騒音レベルの低減と真空性能の維持とを達成しつつ、真空発生装置を小型化する。
【解決手段】本体ブロック１１の収容孔１２にはエジェクターエレメント１４が組み込まれ、エジェクターエレメント１４はノズル５２とディフューザ５１とを有し、ディフューザ５１には空気を案内するディフューザ流路が設けられている。ディフューザ５１に対しては給気制御用電磁弁３１によって供給孔１３を介して圧縮空気が供給される。ディフューザ５１の先端には流出端面６４の径方向外方に軸方向に延びるとともに円周方向相互間で迂回流路を形成する複数の支持突起６６が設けられている。支持突起６６の内側にはマフラ７１が装着され、マフラ７１とディフューザ５１の流出口６５との間には分離空間７３が設けられている。 （もっと読む）

【課題】蒸気エゼクターの作動においてエネルギーの使用が余りにも多過ぎ、蒸気の無駄使いに有る事に気が付きました。
【解決手段】真空を私達に伝えてくれたのは蒸気の持つ速度エネルギーであり、冷たい水はどうしても真空を造る時に派生して来るもので、私達は此の真空発生の時点で出て来る水が、最少になる様に変える事に依って、真空発生を最も効率のよいものにする為の方法は、真空発生の原動力を造り出す高速蒸気流を造る為にどうしても其の速度エネルギーが必要であるが、同時に発生する水は、全く不要の長物である事に気付き、従来の方式を改め発生した水は別ルートで廃棄処理して、高速蒸気流１００％利用の真空発生装置の気液分離方式を採用した、蒸気エゼクターの再出発の目的で造られた特許請求の発明で有ります。 （もっと読む）

【課題】真空発生器を動作させるのに用いた圧縮空気の有効利用を図る。
【解決手段】真空発生システム１において、コンプレッサ１１から吐出される圧縮空気により動作する真空発生器１３の後段に真空発生器２８を設け、真空発生器１３と真空発生器２８との間にタンク２２を設ける。真空発生器１３から排出された圧縮空気はタンク２２に蓄積される。真空発生器２８は、タンク２２に蓄積された圧縮空気を用いて動作する。また、経路２４により、コンプレッサ１１とタンク２２とを真空発生器１３を介さずに接続する。これにより、コンプレッサ１１からタンク２２へ圧縮空気を直接的に供給することもでき、真空発生器１３が停止している期間でも、真空発生器２８を動作させることができる。 （もっと読む）

【課題】 電気モータを使用することのない真空ポンプ装置を提供すること。
【解決手段】 圧縮空気タンク１に空気エゼクタ２，４の吸込室１７，１８と接続する。吸込室１７，１８に吸引流体管５を接続する。空気エゼクタ２，４の間に三方切換弁２６を介在する。空気エゼクタ２，４のディフューザ１９，２０に出口管１１を接続する。出口管１１の端部を排気タンク９と接続する。排気タンク９に、圧縮空気排除管１０と液体排除管１２をそれぞれ接続する。
圧縮空気タンク１から空気エゼクタ２，４へ供給される圧縮空気によって真空を発生させることで、電動モータ等の電気駆動源を不要とすることができる。 （もっと読む）

【課題】 蒸気エゼクタに空気が吸引されることがなく、伝熱不良を発生することのないエゼクタ装置を提供する。
【解決手段】 蒸気供給管８を蒸気エゼクタ１の吸込室２と接続する。蒸気エゼクタ１の吸込室２は再蒸発タンク１３と接続する。再蒸発タンク１３の上部に空気溜部７を形成して、水エゼクタ３の吸込室１６と接続する。水エゼクタ３と再蒸発タンク１３の間には、気体排出手段１０を介在する。
再蒸発タンク１３の底部に溜まった復水が、液体圧送部材１７によって水エゼクタ３へ供給され、水エゼクタ３の吸込室１６に吸引力を発生して、再蒸発タンク１３の空気溜部７に溜まっていた空気を、気体排出手段１０を介して吸引する。 （もっと読む）

【課題】ポンプからホースへ吐出され、該ホース内に残存した液体を、ポンプを経由させることなく抜き取ることができるポンプ装置を提供する。
【解決手段】ポンプ２とノズル１１との連通を行う吐出管８及び連結ホース１０に、第１開閉弁９を介装する。また吐出管８とエジェクタ２０の供給口２０ｂとの連通を供給管１３によって行い、供給管１３に第２開閉弁１４を介装する。また連結ホース１０とエジェクタ２０の吸引口２０ｄとの連通を吸引管１５によって行い、吸引管１５に第３開閉弁１６を介装する。第１開閉弁９を閉じ、第２開閉弁１４及び第３開閉弁１６を開いて、ポンプ２から供給口２０ｂへ液体を供給して、エジェクタ２０にて液体を加速させて、加速された液体の周囲に負圧を発生させる。該負圧によって連結ホース１０及び噴霧ホース４ａ内の液体が、吸引管１５を介してエジェクタ２０に吸引される構成とした。 （もっと読む）

【課題】 電気モータを使用することのない真空ポンプ装置を提供すること。
【解決手段】 圧縮空気タンク１に空気エゼクタ２，４の吸込室１７，１８と接続する。吸込室１７，１８に吸引流体管５を接続する。空気エゼクタ２，４の間に三方切換弁２６を介在する。空気エゼクタ２，４のディフューザ１９，２０に出口管１１を接続する。出口管１１の端部を排気タンク９と接続する。排気タンク９に、圧縮空気排除管１０と液体排除管１２をそれぞれ接続する。
圧縮空気タンク１から空気エゼクタ２，４へ供給される圧縮空気によって真空を発生させることで、電動モータ等の電気駆動源を不要とすることができる。 （もっと読む）

【課題】 蒸気エゼクタに空気が吸引されることがなく、伝熱不良を発生することのないエゼクタ装置を提供する。
【解決手段】 蒸気供給管８を蒸気エゼクタ１の吸込室２と接続する。蒸気エゼクタ１の吸込室２は再蒸発タンク１３と接続する。再蒸発タンク１３の上部に空気溜部７を形成して、水エゼクタ３の吸込室１６と接続する。水エゼクタ３と再蒸発タンク１３の間には、気体排出手段１０を介在する。
再蒸発タンク１３の底部に溜まった復水が、液体圧送部材１７によって水エゼクタ３へ供給され、水エゼクタ３の吸込室１６に吸引力を発生して、再蒸発タンク１３の空気溜部７に溜まっていた空気を、気体排出手段１０を介して吸引する。 （もっと読む）

【課題】フィルタを交換する際の作業効率を向上させることができる真空ユニットを提供すること。
【解決手段】ユニット本体を複数連結させる。そして、ユニット本体毎に設けられ、フィルタ１４が収容されているフィルタ室の開口部２０ｃが設けられているフィルタケース１５の側面全体を覆うフィルタカバー２７を備える。そして、フィルタカバー２７は、フィルタ室の開口部２０ｃを閉塞する全ての配管ポート部材２６と係合するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】液体用の単式エゼクタについて低コストで高い吸引性能を得ることができ、しかもコンパクト化も容易に実現できる技術の開発。
【解決手段】入口側流路２の絞り部２１を内蔵するノズル部３と、このノズル部３の周囲に形成された減圧室４と、前記減圧室４を介して前記ノズル部３から液体が流入する出口側流路５と、前記減圧室４に連通させて設けられた吸引流路６とを具備し、前記吸引流路６に該吸引流路６に開口された吸引口６１と前記減圧室４との間にてディフューザ６２を介在した構成のエゼクタ１を提供する。 （もっと読む）

【課題】超高真空範囲にまで及ぶ真空を発生させることができる簡単に構成されるポンプを提供する。
【解決手段】ウォータジェット型のポンプ（２）が、超高真空を発生させるためのシステム（１）の一部である。このポンプ（２）は、イオン流体（Ｆ）によって高速にて通流される少なくとも１つのポンプ室（１１）を含む。ポンプ室（１１）は流体（Ｆ）のためにノズル開口（３ａ）を備えたノズル（３）で終端している第１の入口通路（３）と、流体出口通路（５）とを有する。ポンプ室（１１）の第２の第２の入口通路（４）が、真空にすべき高真空室（１０）に接続されている。この高真空室（１０）から第２の入口通路（４）を介して通流する流体噴流によりガスが吸い込まれ、流体噴流と一緒にガスがポンプ室（１１）から排出される。 （もっと読む）