【課題】可動物体３２の傾きを防止して、ポケット２ａの圧力に対応する所定の絞り比に確実に設定可能な可変絞り形静圧軸受を提供する。
【解決手段】流体の流量を絞って静圧軸受ポケット２ａに流入させる可変絞り３を、流体供給室３ａと流体排出室３ｂの間を可動物体３２で仕切る。流体排出室３ｂの端面の中央部にポケット２ａに連通する流出口３１ｂを備え、その外周に流体貯留溝３１ｃと第１排出溝３１ｄと第２排出溝３１ｅを配置した構造とする。可動物体３２の端面３２ｅの第１排出溝３１ｄと第２排出溝３１ｅの間に対向する部位に窪み３２ａ_１、３２ａ_２、３２ａ_３を備える。流体供給室３ａと流体貯留溝３１ｃの間を連通する流路３２ｄと、流体供給室３ａと窪み３２ａ_１、３２ａ_２、３２ａ_３を連通し固定絞り３２ｂを持つ流路３２ｃを備える。 （もっと読む）

【課題】自励振動を起こすことなく、安価な静圧気体軸受及びこの静圧気体軸受を用いた直動案内装置を提供することにある。
【解決手段】静圧気体軸受１は、熱可塑性合成樹脂、又はこの熱可塑性合成樹脂にガラス繊維、ガラス粉末、炭素繊維もしくは無機充填材を３０〜５０質量％含有した補強充填材含有熱可塑性合成樹脂、又はアルミニウム又はアルミニウム合金から形成されている軸受基体２と、軸受基体２に接着剤により接着一体化されている熱可塑性合成樹脂から形成されている合成樹脂製の軸受体３とを具備している。 （もっと読む）

【課題】板ばねを用いた可変絞りの構成部材の加工精度が低くても、剛性のばらつきが小さく所望の剛性を容易に得られる可変絞り形静圧軸受を提供する。
【解決手段】流体供給室３２ａと、中央部に突起部３１ｂを備えた流体貯留室３１ａと、流体供給室３２ａと流体貯留室３１ａの間を仕切る板ばね３３により構成される可変絞り３により、静圧軸受のポケット２ａに供給される流体の流量を絞る。ポケット２ａから流体を排出する経路として、ポケット２ａとベース１０の間隔ｔ_１以外に、ポケット２ａの側面から流体を排出するための固定絞り２ｃを備える。 （もっと読む）

【課題】ジャーナル軸受としての性能を低下させることなくＪＯＰ機構を備えたジャーナル軸受。
【解決手段】回転軸Ｒの外周側に周方向に間隔をあけて複数が設置され、回転軸を外周側から支持する軸受パッド４と、互いに周方向に隣り合う軸受パッド４の間にそれぞれ設けられ、回転軸の外周面に対して潤滑油を供給する給油ノズル６，７とを備えるジャーナル軸受１において、複数の給油ノズルのうち回転軸Ｒの下方に位置する少なくとも一の給油ノズル６に、回転軸の停止時に回転軸の外周面に接触する接触面８が設けられ、給油ノズル６の内側に穿設された高圧油供給孔を介して潤滑油よりも圧力の大きい高圧油を接触面に供給する高圧油供給手段１１を備えるジャーナル軸受を提供する。 （もっと読む）

【課題】ガイドレールに対してスライダを着座させる際の姿勢制御を有効に行える案内装置を提供する。
【解決手段】第１の支持面１３ａの凹部１３ｄと第２の支持面１３ｂの凹部１３ｆとが、独立して流体の供給を中止可能な配管系即ち第１通路１３ｈ、第２通路１３ｉを介して、圧縮空気源Ａ，Ｂに接続されているので、例えばバルブＶ２を閉鎖して空気の供給を中断した場合、第２の支持面１３ｂと第２の案内面１２ｂとの隙間を維持しつつ、第１の支持面１３ａが第１の案内面１２ａに着座することができ、或いはバルブＶ３を閉鎖して空気の供給を中断した場合、第１の支持面１３ａと第１の案内面１２ａとの隙間を維持しつつ、第２の支持面１３ｂが第２の案内面１２ｂに着座することができ、これによりスライダ１３を静止した際に、これに連結されたテーブル等に載置されたワークを精度良く位置決めすることができ、加工精度や検査精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】静圧軸受に加わる外乱負荷に対し、軸受剛性の維持に必要な厚さの流体膜が形成されるようにし、安定した軸受剛性を得ることができる静圧流体軸受装置を提供する。
【解決手段】静圧ポケットと、静圧ポケットに加圧流体を供給する流体供給手段と、流体供給手段から静圧ポケットに至る流体流路１３と、流体流路１３の途中に設けられ、ダイアフラム４３と、弁座４５と、ダイアフラム４３と弁座４５に囲われ、加圧流体が充填される絞り空間部４４ｂを有し、ダイアフラム４３の変形により、ダイアフラム４３と弁座４５との間の絞りの開度Ｄと、絞り空間部４４ｂの体積が変動する可変絞り４０と、静圧ポケットの圧力検出手段と、ダイアフラム４３を変形させるダイアフラム変形手段５０と、検知された圧力に応じて、ダイアフラム変形を作動させることにより、絞りの開度Ｄと絞り空間部４４ｂの体積の変動を制御する制御手段を備えた。 （もっと読む）

【課題】隙間調整機構などの装置を設けることなく、ダイアフラムと弁座との隙間を所定の隙間に設定できるダイアフラム式可変絞り装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】第1開口部２１が形成された第1ハウジング１１と、第1開口部２１と対向するように第２開口部２２が形成された第２ハウジング１２と、第1開口部２１の周縁部に形成された第1挟持部３２と、第２開口部２２の周縁部に形成された第２挟持部３３と、第1開口部２１と第２開口部２２との間に設けられ、第1挟持部２１と第２挟持部２２により周縁が挟持されたダイアフラム１３と、第１開口部２１に連通する流体導入路４１と、第1開口部２１に設けられた弁座４５と、ダイアフラム１３との弁座４５との隙間４３に応じた流体を排出する流体供給通路と、を備え、第１ハウジング１１の第1挟持部３２と弁座４５は別体となっており、第1挟持部３２は弁座４５に取り付け又は取り外しが可能とした。 （もっと読む）

【課題】静圧軸受によりラジアル荷重を支持する構成の両吸込横軸ポンプにおいて、締切点付近を含む小流量領域で主軸に作用する動的スラスト荷重を効果的に抑制する方法を提供する。
【解決手段】両吸込横軸ポンプ１の主軸２のラジアル荷重は静圧軸受８，９で支持される。背静圧軸受８，９には羽根車３の吐出口２１から吐出された圧力水が供給される。主軸３に取り付けられた受圧ディスク４３の主軸３の駆動側の面には静圧軸受８を通過後の圧力水の静圧が作用する。受圧ディスク４３の主軸２の反駆動側の面には、羽根車３の吸込口２０Ａ側の静水圧が作用する。 （もっと読む）

【課題】回転モータの停止時にハンチング現象が生じないロータリエンコーダ制御式エアスピンドルを提供する。
【解決手段】回転軸３に固定されたディスク１３にパッド１８、１９が当接するため、回転モータ９の停止時における回転軸３の回転方向での振動が防止され、ハンチング現象が生じない。パッド１８はディスク１３の外縁部１３ｂに小さいな力で当接し且つ外縁部１３ｂが回転軸３の軸方向で変形可能なため、ディスク１３とパッド１８との当接が回転軸の本来の回転に影響を与えることはない。 （もっと読む）

【課題】高速変動する外乱負荷による移動体の精度低下の抑制が可能な流体保持装置（静圧軸受け、静圧案内）を提供する。
【解決手段】流体保持装置において、主軸３と静圧軸受け４，５の外乱力による相対変位を計測する変位センサ９、１０と、静圧ポケットのランド部を前後進させるランド送り手段７、８と、を備え、主軸３と静圧軸受け４，５の外乱力による相対変位に応じてランド部を前後進することで、外乱力による静圧軸受け４，５と主軸３の相対変位を抑制し、外乱力による流体保持装置の精度低下を抑制する。 （もっと読む）

【課題】高速変動する外乱負荷による移動体の精度低下の抑制が可能な流体保持装置（静圧軸受け、静圧案内）を提供する。
【解決手段】流体保持装置において、主軸３と静圧軸受け４、５の外乱力による相対変位を計測する変位センサ９、１０と、静圧ポケットのリセス体積を増減する体積増減手段７、８と、を備え、変位センサ９、１０により検出された変位を抑制するように、体積増減手段７、８によりリセス体積を増減することで、外乱力による流体保持装置の精度低下を抑制する。 （もっと読む）

【課題】静圧軸受にて支持されたスピンドルにベルトを介して回転動力を伝達する回転動力伝達装置において、作業性が良く、より高精度にベルト張力を測定することができる回転動力伝達装置を提供する。
【解決手段】静圧軸受は、スピンドルＳに対向しているハウジングの対向面に形成された、円周方向に並べられた複数の静圧ポケットＰＲ１〜ＰＲ４にて構成され、各静圧ポケットは、回転軸ＴＺを挟んで互いに対向する位置に配置されており、スピンドルは、ベルト２２の張力にてベルト引張り方向に引張られている。回転軸に対してベルト引張り方向に位置している静圧ポケットである増負荷静圧ポケットＰＲ２と、増負荷静圧ポケットに対向する位置の静圧ポケットである対向静圧ポケットＰＲ４と、に加えられている負荷を測定可能な負荷測定手段Ｓ１、Ｓ２を備え、負荷測定手段にて測定した負荷に基づいて、ベルトの張力を算出する張力検出手段５０を備えている。 （もっと読む）

【課題】スピンドルとハウジングとの軸受隙間の大きさを可変として、高い剛性を必要とする場合にスピンドルの剛性をより高くするとともに、必要とするエネルギーの増加量をより抑制することができる流体軸受装置を提供する。
【解決手段】スピンドルＳは、回転軸ＴＺ方向の一方に向かって径が小さくなるテーパ面ＭＰを有するテーパ部ＳＴと、回転軸方向の一方の方向に向かう流体の力を受ける軸方向力受動面ＭＪを有する軸方向力受動部ＳＪとを有し、テーパ面に対向しているテーパ対向面Ｍ１にはテーパ部ポケットＰ１〜Ｐ４が周方向に分割されて形成されており、軸方向力受動面に対向している軸方向対向面Ｍ２に軸方向ポケットＰＢが形成されている。スピンドルが回転軸に交差する方向の力である負荷Ｆを受けると、軸方向力受動面の受ける力を大きくしてスピンドルをハウジングに対して相対的に回転軸方向の一方の方向に移動させる剛性増加手段を備えている。 （もっと読む）

【課題】 ロボットや多自由度ステージ等に用いられる球面軸受に要求される、広い揺動角度と高い軸受剛性とを有し、回転揺動方向の平滑な動作と微小な角度の位置決めとを可能にし、且つ、長期間にわたって高精度を維持できる高い耐久性の全てを満足する球面軸受を提供する。
【解決手段】 軸部と球体部とを有する回転揺動体と、この回転揺動体の球体部に外嵌する凹面部を有する軸受体とから構成される球面軸受において、前記軸受体の凹面部を半球若しくはそれより浅い球面状に形成し、且つ、前記回転揺動体の球体部と前記軸受体の半球状の凹面部との少なくとも一方を磁石として、この磁石の吸引力によって前記揺動回転体と前記軸受体とを一体に保持すると共に、前記回転揺動体の球体部と前記軸受体の半球状の凹面部との少なくとも一方に静圧ポケットを刻設して、該静圧ポケットに圧油を供給して静圧軸受とすることを特徴とする球面軸受によって達成される。 （もっと読む）

【課題】剛性自動補償静圧平面軸受装置とその方法の提供。
【解決手段】本剛性自動補償静圧平面軸受装置は、スロットル、第１チャンバ及び第２チャンバを包含し、スロットルは載置台に設置され、且つスロットルの一端よりフレキシブルで変形可能な支持手段が延伸され、第１チャンバは該支持手段のスロットルと反対の一端に形成され、且つスロットルを貫通する給液管路と連通し、第２チャンバは支持手段と載置台の間に形成され、並びに第２チャンバは支持手段上の連通孔を介して第１チャンバと連通する。負荷が変化する時、第１チャンバの圧力がそれにより変化し、並びに連通孔を介して第２チャンバに伝導され、第２チャンバの圧力変化により支持手段が微量変形し、これにより第１チャンバの容積が変化してその平均圧力が変化することで軸受の剛性自動補償が行われる。 （もっと読む）

【課題】スライダ中心とコイル中心とが不一致であっても、空気軸受とガイドレールの間の軸受隙間を均一に修正し、高速性、高い剛性を得られるようにしたエアーテーブル装置を提供する。
【解決手段】スライダーの走行方向の一側面に吸引力発生手段３４を配置し、吸引力発生手段３４に吸引力を発生させることにより、スライダー２０の滑動面と各空気軸受２６ａ，２６ｂ，２７ａ，２７ｂ，２８ａ，２８ｂとの間の軸受間隔の不均一を修正する。 （もっと読む）

【課題】ガイドレールに対してスライダを着座させる際の姿勢制御を有効に行える案内装置を提供する。
【解決手段】第１の支持面１３ａの凹部１３ｄと第２の支持面１３ｂの凹部１３ｆとが、独立して流体の供給を中止可能な配管系即ち第１通路１３ｈ、第２通路１３ｉを介して、圧縮空気源Ａ，Ｂに接続されているので、例えばバルブＶ２を閉鎖して空気の供給を中断した場合、第２の支持面１３ｂと第２の案内面１２ｂとの隙間を維持しつつ、第１の支持面１３ａが第１の案内面１２ａに着座することができ、或いはバルブＶ３を閉鎖して空気の供給を中断した場合、第１の支持面１３ａと第１の案内面１２ａとの隙間を維持しつつ、第２の支持面１３ｂが第２の案内面１２ｂに着座することができ、これによりスライダ１３を静止した際に、これに連結されたテーブル等に載置されたワークを精度良く位置決めすることができ、加工精度や検査精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】 焼付きを生じ得る程度の被軸受部材と静圧気体軸受との接触を未然に防止することのできる静圧気体軸受装置及びこれに用いられる限界荷重検知装置を提供すること。
【解決手段】 静圧気体軸受装置１は、回転軸２の被軸受面３と協働して軸受隙間４を形成する軸受面５から被軸受面３に向かって噴出する高圧気体に基づく軸受隙間４における気体圧力により回転軸２を支える導電性の多孔質静圧気体軸受７と、回転軸２及び多孔質静圧気体軸受７に電気的に接続されると共に、軸受隙間４における回転軸２と多孔質静圧気体軸受７との電気的接触に基づいて回転軸２から多孔質静圧気体軸受７に加えられる負荷荷重が限界に至った旨を検知する限界荷重検知装置８と、回転軸２を回転駆動させる駆動手段９と、限界荷重検知装置８による検知に基づいて駆動手段９による回転軸２の回転駆動を制御する駆動制御手段１０とを具備している。 （もっと読む）

【課題】モータビルトインのスピンドル装置において、ロータとステータの芯合わせを正確かつ簡単に行う。
【解決手段】スピンドル装置１であって、前方側に工具Ａを取り付け可能な回転軸１０と、回転軸１０を中心軸Ｐ上に収容し、当該回転軸１０を軸受１２を介して回転自在に支持する本体ハウジング１３と、回転軸１０の後方側に設けられ、回転軸１０を回転駆動するモータ部１１と、本体ハウジング１３の後方部に固定され、モータ部１１を収容するモータハウジング１４と、を有している。モータ部１１は、回転軸１０の後方部に当該回転軸１０と同軸上に固定されたモータ軸４０と、当該モータ軸４０の外周面に固定された環状のロータ４１と、当該ロータ４１に対向しモータハウジング１４の内周面に固定された環状のステータ４２を有し、モータハウジング１４の内周面のステータ４２が固定されていない位置又はモータハウジング１４の外周面には、ステータ４２の内周面４２ａと同心の環状の位置合わせ面Ｅが形成されている。 （もっと読む）

【課題】モータビルトインのスピンドル装置において、補助軸受のモータ軸に対する芯合わせを簡単に行う。
【解決手段】スピンドル装置１であって、前方側に回転具を取り付け可能な回転軸１０と、回転軸１０を中心軸上に収容し、当該回転軸１０を軸エア受１２を介して回転自在に支持する本体ハウジング１３と、回転軸１０の後方部に当該回転軸１０と同軸上に固定されたモータ軸４０を回転させて回転軸１０を回転駆動するモータ部１１と、モータ部１１を収容するモータハウジング１４と、モータ軸４０を回転自在に支持する補助エア軸受１５と、補助エア軸受１５を収容する軸受ハウジング１６とを有している。補助エア軸受１５は、軸受ハウジング１６の内周面に固定され、軸受ハウジング１６の内周面には、補助エア軸受１５の内周面と同心の環状の位置合わせ面Ｇが形成されている。 （もっと読む）