【課題】回転軸の撓みを減少させることができて大形のガラス基板等の板状物を搬送することができ、しかも、回転軸を回転させるための駆動力の増大を生じさせない板状物の搬送装置の回転軸支持用の静圧気体軸受を提供すること。
【解決手段】静圧気体軸受１は、回転軸６の円筒状外周面５に対して隙間９をもって対面する半割円筒状受面１０を有した半割円柱状の軸受本体１１と、半割円筒状受面１０に形成された複数の気体噴出口４１を有していると共に回転軸６の円筒状外周面５と半割円筒状受面１０との隙間９に複数の気体噴出口４１から気体を供給する気体供給手段１３と、相互に滑動自在に接している凸球面１４及び凹球面１５を有しており、凸球面１４及び凹球面１５の相互の滑動により軸受本体１１を揺動自在に支持する軸受支持体１６とを具備している。 （もっと読む）

【課題】フランジ部を有する回転軸を非接触で支持することのできる回転軸付き軸受装置を提供することにある。
【解決手段】フランジ部１ａを有する回転軸１と、回転軸１の径方向荷重を支持するラジアル静圧気体軸受２，３と、フランジ部１ａを介して回転軸１の軸方向荷重を支持するスラスト静圧気体軸受４，５と、ラジアル静圧気体軸受２，３及びスラスト静圧気体軸受４，５を収容する軸受ハウジング６とを備えてなる回転軸付き軸受装置において、スラスト静圧気体軸受４，５に加圧気体を供給する給気ポケット４ａ，５ａをスラスト静圧気体軸受４，５の外周面に設けた。 （もっと読む）

【課題】静圧気体軸受の軸受性能や機械的強度を大きく低下させることなく静圧気体軸受の軸方向長さを大きくすることのできる静圧気体軸受装置を提供する。
【解決手段】回転軸１の外周面と対向するラジアル軸受面２ａを有するラジアル静圧気体軸受２の外周面に複数の給気用環状溝６，７を設けた。 （もっと読む）

【課題】振動、騒音等の発生を防止し、高速かつ高精度の回転を維持可能なエアスピンドル用駆動装置を提供する。
【解決手段】空気軸受６Ａ〜６Ｃにより本体２に浮動状態に支承される回転軸３、第１の板状部材４及び第２の板状部材５と、本体の外表面から中空部まで貫通する第１の空気供給路２ｇと、本体の外表面から各空気軸受の各々に貫通する第２の空気供給路２ａ〜２ｃと、各々の空気軸受６から本体の外表面に貫通する第１の空気排出路２ｄ〜２ｆと、回転軸の外周面上の溝部３ａと、溝部の底部から回転軸の一端まで貫通する第３の空気供給路３ｂ、３ｃと、第１の板状部材に、第３の空気供給路と連通する第２の空気排出路４ａ、４ｂとを備え、空気が第１の空気供給路、溝部、第３の空気供給路、第２の空気排出路の順に通過後、外部に噴出し、第１の板状部材等が回転するエアスピンドル用駆動装置１。 （もっと読む）

【課題】少ない流量の気流でも高速回転で回転駆動可能なスピンドル装置を提供する。
【解決手段】スピンドル装置は、ハウジング１と、気体軸受により回転自在に支持された回転軸２と、回転軸２に同心に取り付けられたタービン羽根車７と、気流を噴出する複数のタービン用気流噴出口８と、を備えている。ハウジング１にはその周方向に連続する環状空間１１が設けられており、エアタービン用給気路１０を通った気流が導入口１３から環状空間１１内に導入され、環状空間１１内を周方向に移動し、導出口１４から導出されてタービン用気流噴出口８へと至るようになっている。そして、タービン羽根車７の周囲に形成された複数の羽根７ａにタービン用気流噴出口８から気流が吹き付けられることにより、回転軸２が回転駆動される。複数の導出口１４が周方向に等配に配されており、導入口１３は隣接する２つの導出口１４，１４の間の周方向中間位置に配されている。 （もっと読む）

【課題】事前に張力、またはロードをかけたガスベアリングを小さな寸法で実現する。
【解決手段】ガスベアリングを備えたリソグラフィ装置において、ガスベアリングは、第１ベアリング表面を画定する第１ベアリング部分と、第２ベアリング表面を画定する第２ベアリング部分とを有する。第１ベアリング表面と第２ベアリング表面の間にはギャップがある。ガス供給デバイスがギャップにガスを供給する。第１ベアリング部分は少なくとも部分的に強磁性であり、第２ベアリング部分は、ガスベアリングに事前に張力をかける第１ベアリング部分と相互作用する少なくとも１つの永久磁石を有する。 （もっと読む）

【課題】流体膜上に支持される対象物が回転可能であり、球体形状に限定されないことを意図した支持アレンジメントを提供する。さらに、そのような対象物を支持するための方法を提供する。
【解決手段】本発明は、ディスク１を移動可能に支持または搭載する装置に関する。ディスク１が保持装置２内の流体膜７上で移動可能に支持され、対象物１がその静止位置から片寄った場合に流体膜７に関連して保持装置２内に配置された支持ディスク１および凹部５の構成によって、対象物１に戻り力が生じ得るように、保持装置２に流体供給部３を設ける。本発明はまた、対象物１を支持するための方法に関する。 （もっと読む）

気体または空気軸受（２）のための軸受面（１１，１３）を製作する方法が説明される。方法は、少なくとも一つの軸受面領域を有するばらの軸受部分（３０，４４）を取得することと、少なくとも一つのガスポケット（３４，４０）を画成すべく、軸受面領域にコーティング（３２，４２）を設けることとを含む。少なくとも一つのガスポケット（３４，４０）は、コーティング（３２，４２）の厚さと実質的に等しい深さを有する。一例において、コーティング（３２，４２）の部分を除去してガスポケット（３４，４０）を形成するため、レーザー除去が用いられる。コーティング（３２，４２）は陽極酸化処理されたコーティングであってもよく、ばらの軸受部分（３０）はアルミニウムから形成されてもよい。この方法を用いて形成された空気軸受部品も説明される。
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【課題】適切な負荷容量および軸受剛性を確保し、円滑かつ高精度な相対運動を可能とする静圧軸受装置を低コストに提供する。
【解決手段】軸部材２の外周面２ａとの間にラジアル軸受隙間４を形成する軸受部材３に、加圧流体の流体圧で軸部材２の側に弾性変形可能な部分を有する電鋳部５を設けた。かかる構成によれば、流体圧を調整することにより、ラジアル軸受隙間４の幅を最適な負荷容量および軸受剛性を確保し得る隙間幅とすることができる。 （もっと読む）

【課題】剛性や負荷容量を大きく且つニューマチックハンマの不安定振動を発生しにくくすることができ、剛性と安定性との両立を可能とする。
【解決手段】多孔質部材１の軸受面中央部の座ぐり５と貫通孔６とを設けて、そこにねじ部材７を挿通し、当該ねじ部材７のねじ部を本体２のねじ孔８に螺合し締め付けて多孔質部材１を本体２に取り付けると共に、本体２と多孔質部材１との間には円環状の給気キャビティ３を設けて、給気孔４から給気キャビティ３に給気された気体が多孔質部材１の軸受面から噴出するように構成した静圧軸受パッドにおいて、多孔質部材１の軸受面外径ｄ_０と座ぐり径ｄ_１との比ｄ_１／ｄ_０を０．２以上０．６以下とすることで、動剛性と減衰係数を高くすると共に負荷容量を大きくする。 （もっと読む）

【課題】長いストーク、高荷重に耐えられ精度保証期間が半永久的に確保できる非接触式シリンダ装置を提供。
【解決手段】ベース１１の略中央部には貫通孔１５ａを設けたシリンダロッド１５の一端部が該ベース１１に装着されたラジアルエア軸受１６により支持されている。シリンダロッド１５の他端部はシリンダチューブ２０に嵌挿される大径部１７の外周面にラジアルエア軸受１８が装着され、該ラジアルエア軸受１８はシリンダチューブ２０の内周面に係合する。シリンダロッド１５の貫通孔１５ａにはワイヤ２３が挿通され、一端部が大径部１７、他端部が該シリンダロッド１５の他端部に係合する継手部材２８に係着され、該継手部材２８が上下移動テーブル４３に固着されている。 （もっと読む）

【課題】この種の静圧軸受において、高い支持精度を確保しつつも軸受剛性および負荷容量の向上を低コストに図る。
【解決手段】軸部材３の外周面３ａとの間にラジアル軸受隙間４を形成する軸受部材２のラジアル軸受面７を、非電解めっき加工でマスター１４の外周面１４ａに析出して得られた第一の金属めっき層８の析出開始側の面（内周面）で形成した。 （もっと読む）

本発明は、気体軸受が硬質層でコーティングされている真空ポンプ、及び、真空ポンプのそのような気体軸受の製造方法に関するものである。
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【課題】被加工物の検出感度を向上することのできる空気軸受スピンドルおよび空気軸受スピンドルの制御方法を提供する。
【解決手段】空気軸受スピンドル１は、中空部分６および１１を有するハウジング９と、中空部分６および１１に回転可能に配置される主軸５と、主軸５に固定され、軸方向の法線を有する主面を有するスラスト板７と、スラスト板７の軸方向の変位に関する情報を検知するセンサ４とを備えている。スラスト板７はハウジング９に対してスラスト空気軸受２１ａおよび２１ｂによって支持されており、かつ主軸５はハウジング９に対してラジアル空気軸受２２によって支持されている。スラスト空気軸受２１ａおよび２１ｂに導入する気体Ａ１の圧力と、ラジアル空気軸受２２に導入する気体Ａ２の圧力とを独立して制御可能であるようにハウジング９が構成されている。 （もっと読む）

【課題】ラジアル軸受と回転軸の隙間（軸受隙間）に加圧空気を導入してなるエアーベアリング機構において、ロータシャフト２の高速回転（毎分１６〜３５万回転）時の膨張の影響を軽減し、かつ低速回転（毎分３〜１０万回転）時のエアーベアリング剛性の低下を防止する。
【解決手段】ラジアル軸受３１，４１を円弧状に分割して弾性体をその分割した周方向にできた隙間に挟み込み、ラジアル軸受の外側に配した圧電素子５１，５２，５３，５４に電圧を印加して、前記軸受隙間寸法を電気的に制御する。 （もっと読む）

【課題】回転部の回転精度と対象物固定手段の性能とのいずれも低下させることなく回転部の軸方向の長さを短縮できる、静圧気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】この静圧気体軸受スピンドル１は、スラスト板４に設けた回転側通気路３２と固定部に設けた固定側通気路３０とを介して、通気口２９から対象物固定手段の間で、対象物固定手段において気体圧力を変化させるための気体を流通させる。一方の端部がスラスト板４のモータ側表面へ連結する回転側通気路３２をスラスト板４に設けるので、従来のような通気用スリーブを設ける必要がない。したがって、静圧気体ジャーナル軸受の軸方向長さを短縮することなく、従来の静圧気体軸受スピンドルに対し、回転部２の軸方向の長さを短縮することができる。 （もっと読む）

【課題】ベース部材に凹部が存在している場合でも、不測の挙動を示すことを抑制する。
【解決手段】第一部材の第一面１０Ａに形成された溝部１４の内側に設けられた第一流体吹出部１１と、溝部１４とは異なる第一面１０Ａ内の領域に設けられた第二流体吹出部２１Ａ、２１Ｂとを有する。 （もっと読む）

【課題】被加工物に対して圧力が加えられて加工が行われる加工装置において、信頼性が高く経済性に優れた機構によって加工時の圧力を計測できるようにする。
【解決手段】加工装置に搭載されるスピンドルユニット３０において、スラストベアリング３０５によって支持されるベアリングプレート３０９の第一のプレート面３０９ａまたは第二のプレート面３０９ｂとの間の間隔に対応した出力を行う間隔対応出力手段３１２、３１３を備え、第一のプレート面３０９ａまたは第二のプレート面３０９ｂとの間の間隔の変化を検知して回転軸に加わる荷重の変化を検出する。 （もっと読む）

【課題】スライダ装置の内部振動を抑制し、振動の少ない安定したスライダ装置を提供する。
【解決手段】第１の部材１０と、第１の部材１０を介して対向する部分を有し第１の部材に対して相対移動可能に配置された第２の部材２０と、第２の部材２０の第１の部材を介して対向する部分にそれぞれ設けられ第１の部材１０との間に空気による静圧を作用させて第１の部材１０を非接触で支持する空気静圧軸受３０Ａ〜３０Ｄとを備える。空気静圧軸受３０Ａは、第２の部材２０に固定的に配置される固定部３２Ａと、固定部３２Ａに対して第１の部材１０に向かう方向に進退自在に設けられ第１の部材１０に対して空気による静圧を供給する空気静圧部３３Ａを備える。さらに、空気静圧部３０Ａは、固定部３２Ａと空気静圧部３３Ａとの間にバネ部材３４Ａと、振動を減衰させる振動減衰部材３５Ａとを備える。 （もっと読む）

【課題】単独で、被保持物を平面内で移動可能に吊下保持することのできる移動保持機構（エアベアリング）を提供すること。
【解決手段】被保持物２を平面内で移動可能に保持する移動保持機構において、該移動保持機構は、シャフト４の先端に球面軸受５を有し、球面軸受５はハウジング６に設けられ、ハウジング６内に、永久磁石７と消磁コイル８、または電磁石を設け、ハウジング６の下面にはエアを吹き出すエア吹き出し孔１１が設けられ、被保持物２をハウジング６下面に吊下した状態で移動可能に保持することを特徴とする移動保持機構である。 （もっと読む）