【課題】ガイドとスライダの軸受間隙を容易に調整することができ、組立作業性を向上することができる空気軸受の組立方法及び空気軸受並びに備える直線駆動装置を提供する。
【解決手段】固定側のガイド２に対して可動側のスライダ１２を相対移動可能に浮上支持する空気軸受の組立方法において、ガイド２の両側に配置される一対の対向部材１３，１４のうち、一方の対向部材１３とガイド２の密着している対向面間に所定圧力の圧縮空気を供給し、他方の対向部材１４とガイド２の対向面を密着させた状態で、対向面間に設計上目標とする軸受間隙の２倍の間隙を形成する段階と、一対の対向部材１３，１４とガイド２の対向面間に所定圧力の圧縮空気を供給し、一対の対向部材１３，１４とガイド２の両側の対向面間に設計上目標とする軸受間隙を形成する段階と、を備える。 （もっと読む）

【課題】回転軸の振れ回り振動を効率的に減衰させることが可能で、かつ製造が容易な気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】気体軸受スピンドル１は、回転軸１０と、回転軸１０の外周面１１Ａの一部を取り囲む円筒状スリーブ貫通穴３３を有するスリーブ３０と、スリーブ３０を取り囲み、ゴム製のＯリング４１、４２を介してスリーブ３０を保持するハウジング２０とを備えている。スリーブ３０は、スリーブ貫通穴３３を有し、外周面の一部がスリーブ３０の外周面を成し、スリーブ貫通穴３３の内周面が回転軸１０の外周面に対向するように構成された非金属焼結体からなる軸受部３１と、スリーブ貫通穴３３の延びる方向における軸受部３１の両側の端部のそれぞれに嵌め込まれ、Ｏリング４１、４２を介してスリーブ３０をハウジング２０に対して保持する金属製の保持リング３２とを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】非接触にて、ガイドレールに沿ったステージの移動を可能とし、磨耗による定期的なボールの交換を不要にして、メンテナンスを容易にするレーザ装置を提供する。
【解決手段】レーザー発振装置と、被処理物を配置させるステージと、レーザー発振装置から出力されたレーザー光を、被処理物において線状となるように加工する光学系と、レーザー光のビームスポットが、被処理物の特定の位置を走査するように、レーザー光のビームスポットとステージとの相対的な位置を制御する位置制御手段と、を有し、位置制御手段は、スライダと、スライダを貫通して設けられたロッドと、を有し、記スライダは磁場を発生させる機能を有し、ロッドと非接触で移動することができる。 （もっと読む）

【課題】 本発明はモータのシャフトとスリーブとの間に羽根車収納室内の空気を導き、静圧軸受として常時高速回転が可能で、小型でも大風量で高圧の送風ができ、経済的で長寿命である送風機を得るにある。
【解決手段】 空気導入口と排出口が形成された羽根車収納室を有するケース体内に回転可能に取付けられた羽根車を、前記ケース体に固定されたシャフト、このシャフトに回転可能に取付けられ、前記羽根車が固定されたスリーブを備えるモータとからなる送風機において、前記モータのシャフト内に軸心方向に形成された密封の空気通路と、この空気通路と連通してシャフトの外周部へ空気を排出することができる多数個の排出通路と、前記空気通路内へ前記羽根車収納室内の空気を導く空気導入通路とからなる静圧軸受とで送風機を構成している。 （もっと読む）

【課題】 取り外し、取り付け、洗浄が容易な静圧水軸受直動スライドウエイの提供。
【解決手段】 一対のセラミック製レール２１ａ，２１ｂをセラミック製レールベース２３上面に平行離間して設け、これらのレール２１ａ，２１ｂ間に電磁石２４を前記レールベース２３上面に向けて設けたガイドウエイ２と、セラミック製ハニカム構造のキャリッジベース３１の底面に二対のセラミック製パッド３３ａ〜３３ｄを前記レール２１ａ，２１ｂの上方に位置するよう設けるとともに、その底面中央位置にモータコイル３４を設けるとともに、そのモーターコイル３４とガイドウエイ２に設けた一方のレール２１ａ間にキャリッジベース３１の底面より下方に伸び長手方向側面下部であってレール２１ａ，２１ｂの長手方向内側面に対向する位置に一対のセラミック製パッド３３ｅ，３３ｆを離間して設けたセラミック製キーパー３２を設けたスライドウエイ３とから構成される。 （もっと読む）

【課題】従来の静圧スライダでは、可動体の駆動中心と可動体を連結している支持体を含めた可動部の重心位置とが異なるため、位置決めの際に大きな振動を発生させやすく、高精度に位置決めすることができないという課題があった。また、可動体の傾きにより、固定体とのかじりが発生する課題があった。
【解決手段】略平行に配置された一対の固定体１と、各固定体１に囲繞して配置され、固定体１に沿って移動する一対の第１可動体２と、該一対の第１可動体２を連結する支持体３と、を備え、前記支持体３の少なくとも一端に、固定体１に対する第１可動体２の傾斜角度を検出する検出手段１２と、該検出手段１２により検出された傾斜角度に対応して第１可動体２の傾斜角度を調整する調整手段１１を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 取り外し、取り付け、洗浄が容易なスライドウエイの提供。
【解決手段】 一対のセラミック製長尺状直方体レール２１ａ，２１ｂをセラミック製長尺状直方体レールベース２３上面に平行離間して設け、これらの長尺状直方体レール間に電磁石２４を前記長尺状直方体レールベース上面に設けたガイドウエイ（２）と、セラミック製ハニカム構造の長尺状直方体キャリッジベース３１の底面に二対のセラミック製パッド３３ａ，３３ｂ，３３ｃ，３３ｄを前記長尺状直方体レール上方に位置するよう設けるとともに、その底面中央位置にモータコイル３４をその底面が前記電磁石の上面に平行となるよう設けるとともに、その長尺状直方体キャリッジベースの一方の長手方向側面には内側下部に一対のセラミック製パッド３３ｅ，３３ｆを離間して前記長尺状直方体レール側面に対向する位置に設けたキーパー３２を設けたスライドウエイ（３）とから構成される静圧水軸受直動スライドウエイシステム。 （もっと読む）

【課題】ウエハやマスクの位置決め精度に与える悪影響を除く。
【解決手段】リソグラフィ投影装置において使用するための支持アセンブリは可動部材を含み、可動部材とハウジングとの間で実質的に振動力が伝達されないように可動部材はハウジング内でジャーナル軸受で支えられている。このアセンブリはガスが充填された圧力室を含み、この圧力室のガスは、可動部材およびこれが支えるあらゆるその他の対象物の重量による力を少なくとも部分的に打ち消すように可動部材に作用する。圧力室にはガスが供給され、アセンブリ全体は、可動部材が実質的に静止しているときには実質的にガスが圧力室を経て流れないように構成され、配置されている。 （もっと読む）

【課題】変動負荷が作用するロッドを、ダスト発生による清浄度の低下、軸受摩耗の進行を抑制しながら支持するようにした耐モーメント対策静圧気体軸受機構を提供する。
【解決手段】ロッド２をその軸線方向の２個所において支持する第１及び第２の静圧気体軸受３１，３２を備える。上記第１の静圧気体軸受３１は固定支持され、第２の静圧気体軸受３２は、可動支持機構３４を介して支持される。上記可動支持機構は、上記ロッド２に作用する負荷に応じて、二つの静圧気体軸受に支持されるロッドの表面の一部がそれらの静圧気体軸受と接触するのを抑止する方向に、第１の静圧気体軸受３１に対して第２の静圧気体軸受３２の軸心を相対的に変位させるアクチュエータ３５を備える。 （もっと読む）

【課題】ダスト発生による清浄度低下抑制と、駆動速度向上が両立する真空用直線搬送装置を提供する。
【解決手段】一端側が真空プロセス室１内に挿入される搬送ロッド２を２つの静圧気体軸受３１，３２により支持し、該搬送ロッド２をマグネットカップリング式の駆動機構５で駆動し、該搬送ロッド２及び該搬送ロッド２の他端側に連結された上記駆動機構５の内部移動体５２を排気手段１３を備えたロッド収納筒部２０内に移動可能に収納し、該排気手段１３により低下する該ロッド収容筒部２０内の圧力を上記真空プロセス室１の圧力よりも低くした真空用直線搬送装置。 （もっと読む）

【課題】大きな温度変化が生じてもバイメタル現象が起こることを低減し、安定した真直度精度を保つことが可能な静圧気体軸受直線案内装置を提供する。
【解決手段】基台１上を案内方向に移動可能な可動体としてのテーブル３と、テーブル３を気体によって支持・案内する空気軸受部６、７、８と、空気軸受部６、７、８に対して吸引力を与える吸引力付与部１０と、を備え、基台１はセラミックスまたは石からなり、吸引力付与部１０は吸引レール部１０ａを備え、吸引レール部１０ａの熱膨張係数は、基台１の熱膨張係数とほぼ同じである。 （もっと読む）

【課題】自励振動が発生しにくい多孔質気体軸受を提供する。
【解決手段】ハウジング１内に回転軸３が挿通されており、この回転軸３は、ハウジング１の内周面に設けられた多孔質気体軸受４によって回転自在に支持されている。
多孔質気体軸受４を構成する多孔質グラファイト製の軸受部材５は、多孔質グラファイトの空孔を小さくする２つの処理が施されていて、軸受面の表面層９のみが芯部よりも空孔率が低くなっている。この２つの処理とは、多孔質グラファイトを形成するグラファイト粒子にガラス状カーボンを被覆して空孔率を低下させる処理と、空孔内に封孔材を配して空孔率をさらに低下させる処理である。 （もっと読む）

【課題】
コンパクトでありながら、チャンバ内の雰囲気を維持することができる直線案内を提供する。
【解決手段】
チャンバ１外の大気圧が１０⁵Ｐａであり、チャンバ１内の圧力が１０^-5Ｐａであるとすると、凹部２ｂ内の圧力が１００Ｐａ以下であれば、チャンバ１内の圧力と、凹部２ｂ内の圧力との差によるスライダ４の変形量は無視することができるので、凹部２ｂ内の圧力を更に低くするための高性能ポンプ等は不要である。 （もっと読む）

【課題】
コーティングなどに頼ることなく、移動時の気体放出量を低減できるガイド装置を提供する。
【解決手段】
プロセス室Ｐ内の圧力を１０^-4Ｐａ以下としており、さらに３段排気の差動排気シール１５０，１６０を用いているので、差動排気シールからのリークを抑え、プロセス室Ｐ内の圧力上昇を抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】 主軸に設けられた重量物の重量アンバラスを相殺するバランス力を主軸に作用させることにより、主軸を水平状態を保持して高精度に回転可能に気体軸受で支承する主軸装置を提供する。
【解決手段】 主軸に工作物等を取り付けることにより主軸に設けられた重量物に重量アンバラスが生じると、主軸が傾斜し回転精度が低下するが、本発明では、バランス力付与装置がかかる重量アンバラスを相殺するバランス力を主軸に作用させるので、主軸は、水平状態を保持して極めて高い回転精度で、かつスラスト方向に変位することなく気体軸受によって回転可能に支承され、電気モータにより回転駆動される。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で容易に板状被研削物を均一な厚さに研削する。
【解決手段】研削砥石２７がチャックテーブル１０の回転中心Ｘ上に載るようにチャックテーブル１０の回転中心Ｘと研削ホイール２５の回転中心Ｙとをオフセットして配置する。第１のエアーベアリング１３に１対のチャック側圧力ポートを設け、第２のエアーベアリング２６に１対の砥石側圧力ポートを設ける。第１のエアーベアリング１３のハウジング１２は、ウェーハ９の研削砥石２７に対する当たり面の傾斜角を調整可能に構成する。１対のチャック側圧力ポートと１対の砥石側圧力ポートとで検出した圧力差Ｐ_AC、Ｐ_BWに基づいて、第１のエアーベアリング１３のハウジング１２を傾斜させる。 （もっと読む）

【課題】コストを大幅に増大させることなく、チャンバ内の雰囲気を維持することができる直線案内を提供する。
【解決手段】気体の圧力分布を変更することで、左方の静圧パッド３ａと、右方の静圧パッド３ａにより生じるスライダ４の浮上力ＦＬ、ＦＲが異なる（ＦＬ＜ＦＲ）ようになり、スライダ４とテーブル４の重心Ｇから左方の静圧パッド３ａの中心までの距離ＬＬと、重心Ｇから右方の静圧パッド３ａの中心までの距離ＬＲとをそれぞれ掛け合わせたモーメントの関係は、ＦＬ×ＬＬ＜ＦＲ×ＬＲが成立するので、このモーメント差を利用して、スライダ４を水平に位置させることができ、固定ベース２に対する隙間の最小限の管理ができる。従って、スライダ４との間を介して凹部２ｂ内からあふれ出た気体を捕捉し、チャンバ１内の高真空雰囲気を維持することができる。 （もっと読む）

【課題】 軽合金からなるスラスト軸受部と鉄系合金からなるジャーナル軸受部とを有する回転軸を備え、かつ当該回転軸において、製造コストを低減しつつ、外径を大きくすることなく十分な内径を確保可能とした静圧気体軸受スピンドル装置を提供する。
【解決手段】 静圧気体軸受スピンドル装置１は、回転軸１０と、回転軸１０を取り囲むハウジング２０とを備えている。回転軸１０は、円柱状のジャーナル軸受部１１と、ジャーナル軸受部１１の端面に接合された円盤状のスラスト板部１２とを含んでいる。ジャーナル軸受部１１は、鉄系合金からなり、スラスト板部１２は、軽合金からなっている。ジャーナル軸受部１１と、スラスト板部１２とは、摩擦圧接により一体に接合されている。 （もっと読む）

【課題】軸方向の推力を生じさせるロッドを静圧軸受構造を用いて支持してなるエアベアリングシリンダであって、静圧軸受構造を構成する軸受部材と軸受装着部との間のシール性を確保しつつ、軸受部材の着脱を容易とする。
【解決手段】マニホールドシリンダ１０は軸方向の推力を生じさせるロッド１１を非接触で支持する静圧軸受構造を用いて構成されており、その静圧軸受構造を構成する軸受部材３１に一対のＯリング３６，３７が周方向に環状に装着される。この場合、軸受部材３１の両端部には環状にそれぞれテーパ面３１ｂ，３１ｃが形成されており、それらテーパ面３１ｂ，３１ｃとロッド収容孔２１の大径孔部２１ａの内周面との間において押圧変形させた状態でＯリング３６，３７が配設されている。 （もっと読む）

【課題】
コンパクトな構成を有しながらも、剛性を高めることができる位置決め装置を提供する。
【解決手段】
左下パッドＬＬＰと左上パッドＬＵＰ、及び右下パッドＲＬＰと右上パッドＲＵＰが、テーブル１３Ｃの移動方向に交差する方向に並べて配置されているので、テーブル１３Ｃの移動方向に交差する方向における傾き剛性を高めることができる。又、駆動装置ＤＲが、第１のスライダ部１３Ａと第２のスライダ部１３Ｂとの間に配置されているので、外部に駆動装置を設ける必要がなく、構成のコンパクト化を図れる。 （もっと読む）