【課題】ロータリーオートマイザー及びこのロータリーオートマイザーの空気軸受け保護システムを提供する。
【解決手段】本発明によれば、構造を簡単化させて製作コストを節減し、空気軸受けを用いることによりメンテナンスコストを節減すると共に、高速回転が可能になり、圧縮空気の供給が中断されるなどの非常時に圧縮空気を一時的に供給することにより空気軸受けの破損を防ぐことのできるなど、システム全体としての安定性及び耐久性を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、「ピン＋ピストン」（ピン及びピストン）のシステムの固有共振が最小化される、垂直方向及び水平方向に有効なエアベアリングを提供することである。
【解決手段】 エアベアリングは、底部プレート、底部プレートに可動に配置されたインタフェース部、インタフェース部の内部に可動に配置されると共に、底部プレートに対して水平及び垂直方向に除振支持される荷重を支持するピストン、及びピストンを荷重と接続する結合要素を有する。結合要素は、好ましくはピンを有し、当該ピンは、ピストンと接続される、特にピストンに螺着される。 （もっと読む）

【課題】工具を取り付ける際の作業性を向上しつつ、外径を小さくすることのできる気体スピンドルおよびこれを用いたパターン修正装置を提供する。
【解決手段】エアスピンドル９０は、主軸２と、ハウジング６０〜６３と、チャックシリンダ部３０とを備えている。主軸２はスラスト板６を有しており、かつ中空部分６４において回転可能であり、かつその一端に工具１が固定される。ハウジング６０〜６３は外周面６１ａから中空部分６４へ通じる通路を有している。チャックシリンダ部３０は給気の有無によって工具１の固定状態を制御する。チャックシリンダ部３０は給気のための取付部４９ａをハウジング６３における後端面６３ａに有している。通路は、通路１２を有している。通路１２はハウジング６１の外周面６１ａから内径方向に向かって形成されている。ハウジング６１は通路に圧縮気体Ａ１を供給するチューブ取付部材１０を取り付けるための取付部１１をさらに有している。通路１２は一つの通路で構成されている。 （もっと読む）

【課題】静圧スライド装置において、スライダの動作を良好に保ちつつ圧縮流体の消費効率を向上することができるようにする。
【解決手段】スライド方向に沿って複数の絞り開口を有するスライドガイド２と、複数の絞り開口のそれぞれに対して圧縮流体を供給可能な圧縮流体供給源８と、スライドガイド２に沿って移動可能に設けられたスライダ３と、圧縮流体供給源８から圧縮流体を供給する絞り開口をスライダ３の移動位置に応じて複数の絞り開口から選択する流路切替部６とを備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】精密な押圧制御を行うと共に、微少な位置を高精度に検出することができるエアベアリングユニットを提供すること。
【解決手段】ロッド４に対して加圧エアを噴出することにより、シリンダブロック２に非接触状態でロッド４を支える。そして、真空吸着用治具６とシリンダブロック２の間に測定用エアを出力すると共に、真空吸着用治具６とシリンダブロック２の間に出力される測定用エアの流量を計測することにより、真空吸着用治具６とシリンダブロック２の間の距離を計測する。 （もっと読む）

【課題】絶縁性弾性部材による環状空間のシールおよび回転軸の振れ回り振動の減衰の機能を十分に確保しつつ、軸受スリーブにおける電荷の蓄積を抑制し、放電による損傷の発生を抑制可能な静圧気体軸受スピンドル提供する。
【解決手段】静圧気体軸受スピンドル１は、回転軸１０と、回転軸１０の外周面を取り囲むように配置された軸受スリーブ２０と、軸受スリーブ２０を取り囲み、軸受スリーブ２０を支持するハウジング３０と、軸受スリーブ２０とハウジング３０との間に配置されたニトリルゴムからなるＯリング４１とを備えている。軸受スリーブ２０とハウジング３０との間には、弾性を有し、導電体からなることにより軸受スリーブ２０とハウジング３０とを電気的に接続する板ばね６１が配置されている。そして、板ばね６１の弾性率は、Ｏリング４１の弾性率よりも小さい。 （もっと読む）

【課題】弾性支持部による環状空間のシールおよび回転軸の振れ回り振動の減衰の機能を十分に確保しつつ、軸受スリーブにおける電荷の蓄積を抑制し、放電による損傷の発生を抑制可能な静圧気体軸受スピンドル提供する。
【解決手段】静圧気体軸受スピンドル１は、回転軸１０と、回転軸１０の外周面１０Ａを取り囲むように配置された軸受スリーブ２０と、軸受スリーブ２０を取り囲み、軸受スリーブ２０を支持するハウジング３０と、軸受スリーブ２０とハウジング３０との間に配置された弾性支持部４０とを備えている。そして、弾性支持部４０は、Ｏリング４１と、Ｏリング４１の表面に塗布された導電性を有する導電性グリース７１とを含むことにより、導電性を有している。 （もっと読む）

【課題】従来別途必要であったシール気体供給源およびシール機構を省略することにより、構成を簡素化するとともに、被回転物を保持する保持部におけるラジアル剛性の低下を回避可能な静圧気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】静圧気体軸受スピンドル１は、円筒状の形状を有する軸部１２と、軸部１２の一方の端部に接続され、被回転物を保持するためのテーブル１１とを含む回転軸１０と、軸部１２の外周面を、回転軸１０を支持するための軸受用気体が供給される隙間である軸受隙間５１を隔てて取り囲む固定部４０とを備えている。そして、軸受用気体は、テーブル１１と固定部４０との間に形成された隙間であるシール隙間９３から排出される。 （もっと読む）

【課題】非接触支持される板状ワークの平面度の低下を抑制することのできる非接触支持装置を提供する。
【解決手段】非接触支持装置１０は、加圧エア供給用のエア供給通路２１を有するベース１１と、ベース１１上に設置され、エア供給通路２１を介して加圧エアが供給されることにより表面であるエア噴出面から加圧エアを噴出する多孔質体１２とを備える。ベース１２上には、エア噴出面が長尺状となるように多孔質体１２が設置されており、エア噴出面には、その長手方向と当該長手方向に直交する方向とのいずれにも交差するエア抜き溝３３が形成されている。エア抜き溝３３は、直線状の溝であり、非接触支持装置１０の長手方向に等間隔をおいて複数形成されている。 （もっと読む）

【課題】製造効率を高めつつ加圧気体の排出ルートを確保することのできる非接触支持装置を提供する。
【解決手段】非接触支持装置１０は、加圧エア供給用のエア供給通路２４を有するベース１１と、ベース１１上に設置され、エア供給通路２４を介して加圧エアが供給されることにより表面であるエア噴出面から加圧エアを噴出する多孔質体１２とを備える。多孔質体１２はベース１１上に複数離間して配置されており、その一部がベース１１の上面から上方へ突出するように設置されている。ベース１１の上面には、各多孔質体１２が設置される凹部２１がそれぞれ形成され、当該各凹部２１の深さが多孔質体１２の高さよりも小さくなるように設定されている。 （もっと読む）

【課題】可動リング式静圧軸受の静圧軸芯を軸受軸芯に一致させる軸合わせ方法と、前記軸合わせ方法を用いた可動リング式静圧軸受を提供する。
【解決手段】外軸受筒１に内蔵された可動リング４に対する外ポケット11と、静圧軸３に対する内ポケット21とを設け、外ポケット11に流体を供給して発生するリング支持圧により可動リング４を支持し、可動リング４と内軸受筒２との隙間であるリング形成経路47を通じて内ポケット21に流体を供給して発生する静圧軸支持圧により静圧軸３を支持する可動リング式静圧軸受において、可動リング４を半径方向に位置調整することにより静圧軸芯を軸受軸芯に一致させる可動リング式静圧軸受の軸合わせ方法と、これを用いた可動リング式静圧軸受である。 （もっと読む）

【課題】比較的高い剛性と優れた高速安定性とを得ることができる浮動ブッシュの特長を利用でき、しかも、より高い１次共振速度とすることができて、安定限界速度を更に向上させることができると共に簡単な構造とし得る静圧気体軸受機構並びにこれを用いた軸回転装置及びスピンドルモータを提供すること。
【解決手段】静圧気体軸受機構２は、中空体１１と、中空体１１に対して隙間１３をもって当該中空体１１の内部１４に配されている浮動ブッシュ１５と、中空体１１及び浮動ブッシュ１５に対して隙間１６をもって中空体１１の内部１４に配されていると共に中空体１１に対して回転自在であるスピンドル１７と、中空体１１の外部１８から中空体１１の内部１４への高圧空気の給気のための給気通路１９と、中空体１１の内部１４から中空体１１の外部１８への高圧空気の排気のための排気通路２０とを具備している。 （もっと読む）

【課題】大量生産が可能で安価な静圧気体軸受を提供する。
【解決手段】貫通孔２ａが軸方向に伸びる筒状に形成され、貫通孔２ａの内面に複数の空気吹出口２ｂを、外面に複数の空気吹出口２ｂと連通する給気溝２ｃを有する樹脂製軸受部材２と、給気溝２ｃを覆うように樹脂製軸受部材２に接合され、外面に給気溝２ｃと連通する給気口３ｂを有する基体３とを備える静圧気体軸受。樹脂製軸受部材２を射出成形によって形成し、基体３の構造も簡単で、樹脂製軸受部材２を覆うように接合するだけで、静圧気体軸受１を組み立てることができる。基体３側に給気溝３ｄを設けてもよい。樹脂製軸受部材２及び基体３を円筒状とした場合には、樹脂製軸受部材２を、基体３の内径よりも大きい外径を有するようにして、樹脂製軸受部材２の外径を一時的に縮径するか、基体３の内径を一時的に拡径し、基体３の内側に挿設することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】大量生産が可能で安価な静圧気体軸受を提供する。
【解決手段】上面に自成絞り形状又はオリフィス形状の複数の空気吹出口２ａを、下面に複数の空気吹出口と連通する給気溝２ｂを有する樹脂製軸受部材２と、樹脂製軸受部材の下面に給気溝を覆うように接合され、給気溝と連通する給気口３ａを有する基体３とを備える静圧気体軸受。樹脂製軸受部材を射出成形し、基体の構造も簡単で樹脂製軸受部材の下面に接合する。基体３側に給気溝３ｅを設けてもよい。樹脂製軸受部材と基体を、ポリフェニレンスルフィド樹脂又はガラス繊維、炭素繊維もしくは無機質充填材の少なくともいずれか１つによって強化した補強材入りポリフェニレンスルフィド樹脂で形成することができ、基体は金属製としてもよい。樹脂製軸受部材と基体とは、超音波接合、高周波誘導加熱による接合又は接着剤を介しての接合により接合することができる。 （もっと読む）

【課題】 流体のエネルギーによって回転させられるスピンドルの流出ポートを簡単に製造することができ、しかもスピンドルの回転性能を簡単に変更、調整することができるスピンドル装置を提供する。
【解決手段】 その中央内部に形成されて軸方向に伸びる流体流路２１と、流体流路２１に連通した流入ポート６と、流体流路２１に連通した流出ポート７とを有するスピンドル２と、流体流路２１に連通しスピンドル２を支持するスラスト静圧軸受４およびジャーナル静圧軸受５とを具備するスピンドル装置の、流出ポート７を、流体流路２１からスピンドル２の外周に連通する穿孔内に、曲がり形状の通路２６を有するプラグ部品２５を挿入して形成し、スピンドル２の流出ポート７を簡単に製造する。 （もっと読む）

【課題】高強度で、大量生産が可能で安価な静圧気体軸受を提供する。
【解決手段】自成絞り形状又はオリフィス形状の複数の空気吹出口２ａと、給気口２ｂとを有する樹脂製基体２と、複数の空気吹出口２ａ及び給気口２ｂと連通し、樹脂製基体２の内部に一体成形された金属製給気管３とを備える静圧気体軸受１。樹脂製基体２の内部に金属製給気管３をインサート成形した後、空気吹出口２ａ及び給気口２ｂをドリルによって穿設することで簡単に静圧気体軸受１を製造することができる。金属製給気管３を樹脂製基体２の空気吹出面と略々平行に延設することで平面静圧気体軸受を提供することができる。樹脂製基体２は、ポリフェニレンスルフィド樹脂、又は、ガラス繊維、炭素繊維もしくは無機質充填材の少なくともいずれか１つによって強化した補強材入りポリフェニレンスルフィド樹脂を用いることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】静圧気体軸受のラジアル軸受性能やスラスト軸受性能を低下させることなく軸受剛性や負荷容量の増大を図ることのできる静圧気体軸受装置を提供する。
【解決手段】第１の静圧気体軸受３のスラスト軸受面寄りの回転軸１の外周面に第３の排気用環状溝１７を設けるとともに、第２の静圧気体軸受５のスラスト軸受面寄りの回転軸１の外周面に第４の排気用環状溝１８を設けた。 （もっと読む）

【課題】負荷電流値や荷重センサによらない加工手段の負荷検出を可能として加工手段の送り動作を確実かつ安定して行うことができる加工装置を提供する。
【解決手段】加工ユニット３０の送り動作で変化するエアベアリングスピンドルのスラスト方向あるいはラジアル方向のギャップ量を、該ギャップに生じるエア圧力の変化で認識し、加工ユニット３０の送り動作を安全に制御する。 （もっと読む）

【課題】工具交換のために主軸を簡単に取り外すことができる空気静圧軸受スピンドル装置を提供する。
【解決手段】主軸ヘッド１１の軸孔１１ａに主軸１２を挿入する。主軸１２の外周面１２ａに保持溝１２ｂを形成し、前記主軸ヘッド１１に形成した案内溝１８ａから保持板１９を挿入し、保持板１９の先端部を前記保持溝１２ｂに係合する。前記主軸ヘッド１１及び保持板１９に空気静圧軸受１４，１５及び空気静圧軸受２０，２１を設ける。前記保持板１９をシリンダ２４のピストンロッド２５により保持位置と退避位置との間で切り換え可能にする。シリンダ２４を作動して保持板１９を退避位置に移動することにより前記主軸１２を主軸ヘッド１１の軸孔１１ａから抜き取ることができ、工具１３が挿着された主軸１２の交換を容易に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】軸が頑丈で保守の乏しく簡単な形式に軸ケーシングに支承されているターボ機械を提供すること。
【解決手段】ターボ機械の、軸３を軸方向と半径方向に支承する軸受８は静液圧ガス混合された軸受８として形成され、軸３は静液圧ガス混合された軸受８によって、軸受作用が軸３の回転速度と無関係に或いは少なくとも大幅に無関係であって、それによりターボ機械１の始動中にも軸３の十分な支持と回転数と無関係に大きな剛性と圧力衝撃負荷に対する僅かな抵抗力不足が保証されるように支承されていて、圧縮ガス導管１０における接続部９の圧力が通気接続部１４の領域内の圧力より少なくとも５バールより大きい。 （もっと読む）