【課題】１００，０００ｒｐｍ以上の超高速回転下でも数十ｎｍオーダの回転精度を達成することが可能なエアタービンスピンドルを提供すること。
【解決手段】駆動系にエアタービン、軸受にエアベアリングを用いたスピンドルにおいて、タービンの排気流路とエアベアリングの排気流路をそれぞれ独立に設けるように構成し、又、スラスト板の周上に、当該スピンドルの駆動源となるエアタービンを構成し、且つ、回転軸に垂直な方向で、且つ、スラスト板外周接線方向から当該エアタービンへの給気を行い、スラスト板両面に形成した静圧空気軸受の更に外周に、大気開放のための通気部を配置し、その更に外周に、狭いすきまによる非接触ラビリンスシールを設け、タービンの排気流路と多孔質静圧の排気流路を独立に構成する。 （もっと読む）

【課題】 垂直軸上で直線駆動される可動部の重量負荷を補償するバランス構造の簡素化とコスト低減。
【解決手段】 枡形形状等の可動部５０は開口部を下方に向け、同開口部に固定部４０を挿入した状態で、固定部４０と可動部５０の間の隙間４３を利用した空気軸受で上下方向に移動可能に支持される。可動部５０の内部には加圧された空気を保持するエアバランス室４１が形成される。圧力調整された加圧空気は外部から固定部４０の内部の配管を経て吹き出し口から隙間４３に供給された後、エアバランス室４１へ流れ込む。この流れにより、エアバランス室４１の加圧空気はシールされる。加圧空気の排気は、排気穴４１ａから配管４２、６１、流量調整装置６０を経て外部に排気される。 （もっと読む）

【課題】
主軸の振動を抑えて高精度な加工を行えるスピンドル装置を提供する。
【解決手段】
主ハウジング１０１Ａにおいて供給通路１０１ａの吐出口を周溝１０１ｃにつなげており、副ハウジング１０１Ｂにおいて供給通路１０１ｂの吐出口を周溝１０１ｄにつなげているので、例え主ハウジング１０１Ａ、副ハウジング１０１Ｂ又は主軸１０２の断面が真円でない場合でも、周溝１０１ｃ、１０１ｄが供給通路１０１ａ、１０１ｂから供給される空気が全周にわたりほぼ均一な圧力の一時的な蓄積領域となって、回転に伴う静圧スキマと吐出口との位置関係によらず圧力の急激な変動を抑えることができ、それにより主軸１０２の外周面に付与される圧力変動を抑えて、その振れや振動を抑制できる。 （もっと読む）

【課題】
熱膨張の影響を回避して高精度な加工を行うのに適したスピンドル装置を提供する。
【解決手段】
主軸１０２のフランジ１０２ａに対しホルダＨＤの取り付け面１０２ｈ側に設けられた静圧軸受の軸線方向長Δ１は、フランジ１０２ａに対しモータ１０４側に設けられた静圧軸受の軸線方向長Δ２より短いので、フランジ１０２ａから取り付け面１０２ｈまでの距離を短くでき、それにより熱膨張の影響を極力抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】 軸受剛性及び負荷容量が大きく、自励振動の発生を抑制することのできる多孔質静圧気体軸受を提供すること。
【解決手段】 多孔質静圧気体軸受２０は、裏金２１と、裏金２１の一方の面２２に形成された円形の凹部２３と、裏金２１の円盤状面２４に形成された環状凹溝２５〜２８と、環状凹溝２５〜２８の夫々に連通している行き止り孔３０と、裏金２１の凹部２３に配されている多孔質金属焼結層３４とを具備しており、環状凹溝２５〜２７は、半密閉チャンバーとなっていると共に、最外側に位置する環状凹溝２８は、行き止り孔３０から多孔質金属焼結層３４の気孔への圧縮気体の供給源となっている。 （もっと読む）

【課題】 コストの大幅な増加を抑えながら、高精度な浮上領域で本来意図した効果を確実に得る。
【解決手段】 相対的に浮上量を一定とする精度が高い浮上吸引混合部５と、精度が低い浮上テーブル３との間に、両者の中間の精度を有する多孔質浮上部４を設けた。このため、浮上吸引混合部５での浮上とその両側での浮上との間の精度ギャップを低減させることができる。これにより、高精度浮上が低精度浮上から受ける影響も低減する。そして、多孔質浮上部４を設けることは浮上吸引混合部５を広げるよりもコスト増加は低く抑えられる。 （もっと読む）

【課題】軸方向の推力を得るロッドを静圧気体軸受構造を用いて支持してなるエアベアリングシリンダであって、静圧気体軸受構造を構成する軸受部材と軸受装着部との間のシールを確保しつつ、軸受部材の着脱を容易な構造とする。
【解決手段】マニホールドシリンダ１０は軸方向の推力を得るロッド１１を非接触で支持する静圧気体軸受構造を用いて構成されており、その静圧気体軸受構造を構成する軸受部材２６に一対のＯリング２７ａ，２７ｂが周方向に環状に装着される。Ｏリング２７ａ，２７ｂは、軸受部材２６の軸方向において該軸受部材２６に加圧エアを供給するための供給通路２０を挟んだ各位置にそれぞれ配置されると共に、軸受部材２６とロッド挿入孔１５の大径孔部１５ａの内周面との間に介在されその相互間で押圧変形されることで、軸受部材２６が該大径孔部１５ａの内周面に対して弾性保持される。 （もっと読む）

【課題】気体軸受で支持するステージが隙間を介して配置された複数の定盤間を移動する際に、気体の漏れが生じてステージの支持が不安定となってしまう。
【解決手段】複数のステージが定盤上で移動するステージ装置であって、前記定盤は、隙間を介して隣接して配置された複数の定盤を有し、各ステージは、前記定盤と対向する面に複数の気体軸受部３０〜３２を有し、前記複数の気体軸受部は、前記定盤が隣接する方向を長手方向とし、かつ前記長手方向に離間して配置されている気体軸受部３０Ａ、３０Ｂを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 回転軸本体の慣性モーメントを小さくして、加減速時間の短縮化を図ると同時に、ワーク固定部のワーク着脱時の耐磨耗性を向上して、その摩耗や変形を確実に防止すること。
【解決手段】 回転軸本体３は、着脱可能な別体部品から構成してある筒状のワーク固定部２０を有している。ワーク固定部２０には、塗料拡散用のカップ１１を固定するためのネジ部２１と合せテーパー部２２とが形成してある。ワーク固定部２０には、カップ１１を固定する際の回り止めとして、Ｄカット部２３やピン穴２４が形成してある。ワーク固定部２０には、回転軸本体３に装着するためのネジ部２５が設けてある。回転軸本体３は、ワーク固定部２０のみが鉄系金属（鉄、ステンレス等）から形成してあり、それ以外の部分が非鉄系金属（軽合金のアルミニウム等）から形成してある。 （もっと読む）

【課題】主軸へ伝達する熱量を少なくし、主軸の温度上昇を抑え、主軸の軸方向の伸びが少ない静圧空気軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】主軸２を非接触で支持する静圧空気ジャーナル軸受３、４と静圧空気スラスト軸受５、６、および主軸２を直接駆動するモータ９を備えた静圧空気軸受スピンドルにおいて、スリーブ１０の負荷側の端部は、一部が静圧空気ジャーナル軸受３の反負荷側の端部と隣接して連結されると共に，スリーブ１０とハウジング１との間に排気通路１３と連通する空気通路１４を形成するよう、外径側を略リング状に切り欠いた段付部１０ａを設けてあり，スリーブのハウジングとの対向面側には、空気通路と連通し、軸方向に貫通した凹溝１０ｂを少なくとも1つ設けてある。 （もっと読む）

【課題】 オーガスクリュー軸の下部を非接触状態で確実に支持することで、騒音防止を図る。
【解決手段】 粉流体を貯留する逆円錐形状のホッパ１０と、当該ホッパ１０の下端頂部に連通された円筒状のファネルチューブ２０と、このファネルチューブ２０内の中心軸上に配設されたオーガスクリュー軸３０を備えている粉流体充填装置に、稼働中のオーガスクリュー軸３０の振れをなくすための軸受部６０を設ける。この軸受部６０は、カップ状の構造で内部に気体を噴出することにより、非接触の空気軸受を形成する。気体は、軸受部６０を支持する支持枠７０の内部を通って給排気する構成になっている。この空気軸受により、オーガスクリュー軸３０は軸支持されるため、ファネルチューブ２０に接触することがなく騒音が防止される。 （もっと読む）

【課題】 軸部材を静圧により正確に支持することができる静圧軸受装置を提供する。
【解決手段】 片持ち支持された軸部材としての主軸筒２３の外周には、静圧ポケット２９を有する環状のサポート部材２８を主軸筒２３の軸線方向と直交する方向へ移動可能に対向配置する。サポート部材２８を所要の移動位置で固定するための挟持機構３５を設ける。この挟持機構３５は、主軸筒２３とサポート部材２８との芯合わせが行われた状態で、サポート部材２８を固定する。 （もっと読む）

【課題】絞りを有する軸受部材を保持する保持部材の材料にセラミック等の低熱膨張率を有する材料を用いた場合に、両者を圧入および接着によって堅固に固定し、高剛性かつ高精度な静圧気体軸受を実現する。
【解決手段】ローター１０に対するラジアル軸受すきま６、スラスト軸受すきま７に気体を噴出する絞りを有する軸受部材１は、保持部材２に対して接着剤１３を介した圧入によって固定される。軸受部材１と保持部材２の嵌合部をテーパー状にすることで、最適な締め圧で固定することが可能となり、また、嵌合面を直接接触させるための凸部１１や、接着剤１３を収容するための凹部１２を設けることで、均一な接着層を用いた接着と高剛性の接触結合による堅固な一体構造を実現できる。 （もっと読む）

【課題】 安価な製造コストで、かつ簡単に芯高調整が行える工作機械を提供することを目的とする。
【解決手段】 ベース３と、ベース３に支持されるテーブル５と、テーブル５を推進するリニアモータ７とを備え、ベース３が、その上部両側に、外側に向かって突出しかつ推進方向に沿って水平に延びる突起部１５と、突起部１５の下方に平行間隔を空けて配置された案内面２１とを備え、テーブル５が、両突起部１５の上面を覆う上面部２７と、上面部２７の両側部に配置され突起部１５の外側端部を覆う側面部２９と、側面部２９の下端から内側に向かって突出し、側溝２３内に嵌合する嵌合部３１とを備え、突起部１５の上面と上面部２７の下面との間に、突起部１５の下面と嵌合部３１の上面との間に、および嵌合部３１の下面と案内面２１の上面との間に設けられた静圧パッド３７，３７，３９と、各静圧パッドに油を供給する油圧ポンプ４３とを備える工作機械を提供する。 （もっと読む）

【課題】 長尺であっても、気体膜を形成する空気をその滞留を避けるように適宜に外部に逃がし得て当該空気の発熱を抑えることができ、軸受面側及び可動体側の熱膨張を回避できて軸受面に対する可動体のより高速な移動、特に回転を可能にする多孔質静圧気体軸受及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】 多孔質静圧気体ラジアル軸受１は、裏金２と、裏金２の内面３に環状隙間５を挟んで並置された多孔質金属焼結層６ａ及び６ｂと、多孔質金属焼結層６ａ及び６ｂの夫々に高圧気体を供給する供給手段１２と、多孔質金属焼結層６ａ及び６ｂの端面１３及び１３ａ並びに１４及び１４ｂに一体に接合された封止材１５ａ、１５ａｂ及び１５ｂと、封止材１５ａｂに設けられている径方向の貫通孔１６と、貫通孔１６を裏金２の外部に連通させる貫通孔１７とを具備している。 （もっと読む）

【課題】シール部の隙間の変化を抑えることができるスピンドルシール装置を提供する。
【解決手段】軸受１１と、当該軸受１１を介してハウジングに相対的に回転可能に支持された回転軸１３とを備えたスピンドル装置に静圧の気体軸受１５を配し、前記気体軸受から吹出される圧縮空気３０の圧力及び流れによって、スピンドル装置１０の内部と大気側との間を密封可能にしてなるスピンドルシール装置１であって、前記気体軸受１５の外周側に軸１３と同一若しくは近似の熱膨張係数を有する金属製のリング部材３１を嵌装してなる。 （もっと読む）

【課題】 多孔質金属焼結層への切削加工又は研削加工の施工後のエポキシ樹脂又はフェノール樹脂からなる封止材による封止作業工程を必要とすることなく、多孔質金属焼結層の端面の確実な封止を長期にわたって維持することができる多孔質静圧気体軸受及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】 多孔質静圧気体ラジアル軸受１Ａは、裏金２と、裏金２の内面３に内面３に形成された接合層４を介して一体に接合された多孔質金属焼結層５と、多孔質金属焼結層５に高圧気体を供給すべく、裏金２の内面３に形成されている環状溝６及び７を有した供給手段９と、裏金２の軸方向の各端部の内面に接合層４を介して接合されていると共に多孔質金属焼結層５の軸方向の環状の端面１０及び１１の夫々に一体に接合された純銅からなる封止材１２とを具備している。 （もっと読む）

気体軸受装置は、２つの対向する実質的に平行な軸受面（２、４）および両軸受面（２、４）の間の軸受ギャップ（５）に気体を供給する少なくとも１つの気体ダクト（６）を有する。空洞（１０、１４、１５、１８、１９）が設けられ、その容積は０．００１ｃｍ^３乃至０．２ｃｍ^３であり、オリフィス（７、１１、１６、１７、２０、２１）を通じて前記軸受ギャップに接続される。２つの軸受面（２、４）は、凹部（１３）を有することができ、その凹部中では、２つの軸受面間の距離は、凹部の周辺の軸受ギャップ（５）部分においての両軸受面間の距離よりも大きい。
（もっと読む）

気体軸受装置は、２つの対向する実質的に平行な軸受面（２、３）および両軸受面（２、３）の間の軸受ギャップ（５）に、オリフィス（７）を通じて気体を供給する少なくとも１つの気体ダクト（６）を有する。両軸受面（２、３）のうち少なくとも一つの軸受面は、０．３ｍｍ^２〜３ｍｍ^２にわたる少なくとも１つの空洞（８、９）を設けられる。その空洞（８、９）の容積は、０．３ｍｍ^３乃至４ｍｍ^３であってよい。気体ダクト（６）は、空洞（８）の壁の中のオリフィス（７）を通じて、空洞へ気体を供給する。
（もっと読む）

【課題】ステージが大型化しても温度変化に対する軸受性能の低下を抑え且つ低コストな静圧空気軸受直線案内装置を提供することを課題としている。
【解決手段】基台１から突設するガイド部材２の両側面に所定間隙を置いて対向する一対の対向部４，５をステージ３下部に設けて一対の水平方向空気軸受６を形成する。その各水平方向空気軸受６の位置よりも幅方向外側にそれぞれ上下方向を支持する上下方向空気軸受７を配置する。その各上下用空気軸受７の近傍にそれぞれ、非接触状態でステージ３を基台１に向けて吸引する吸引力発生手段９を設ける。 （もっと読む）