【解決手段】ガス軸受スピンドルのためのガス軸受アセンブリ（１）である。ガス軸受アセンブリ（１）は、ハウジング部（１１）と、ハウジング部（１１）内に設けられ、ハウジング部（１１）に対して弾性的に取り付けられた内側ラジアル軸受部（１０）と、を備える。内側ラジアル軸受部１０は、軸受面を有する内殻軸受部（１２）と、内殻軸受部（１２）とハウジング部（１１）との間に設けられた中間スリーブ部（１４）と、を含む。内側軸受殻部（１２）と中間スリーブ部（１４）との間に液体冷却チャネル（７）が設けられている。 （もっと読む）

【課題】面精度の悪い接合面を有するハウジングを互いに組み付けても、使用給気圧力に対して自励振動発生圧力を十分高く保つことができる静圧気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】静圧気体軸受スピンドルは、回転軸１と、回転軸１を回転可能に支持するための軸受用気体が供給される軸受隙間５をはさんで、回転軸１の外周面を取り囲む固定部２０とを備えている。固定部２０はハウジング２およびシート４１，４２を含んでいる。ハウジング２は、複数の部材２１、２２、２３から構成されており、かつ複数の部材２１、２２、２３間の少なくとも１つの接合部にハウジング２より変形しやすい特性を有するシート４１，４２を介して複数の部材２１、２２、２３が結合されている。 （もっと読む）

【課題】支持板の表面から噴出する気体によるワークの支持力を柔軟に調節することのできる非接触支持装置を提供する。
【解決手段】非接触支持装置は、エアを供給するエア通路と、エア通路から供給されるエアを透過させて表面から噴出させるフィルム５０と、フィルム５０の表面から噴出される気体を透過させて表面から噴出させる多孔質板６０とを備える。フィルム５０及び多孔質板６０は、リベット７１によって本体３０に固定されている。フィルム５０は内部に多数の空孔を有する多孔質フィルムであり、フィルム５０の通気抵抗は多孔質板６０の通気抵抗よりも大きく設定されている。 （もっと読む）

【課題】円筒形部品（１２）を支持するのに適した装置（１８）及び方法を提供する。
【解決手段】本装置（１８）は、半球状凹面形状を備えた上面（４０）を有する受台（２８）と、受台（２８）の上面（４０）上に支持されたキャリッジ（３０）とを含む。キャリッジ（３０）は、下部表面（５０）と、円筒形部品（１２）と接触しかつ該円筒形部品（１２）を回転可能に支持するための要素を備えた対向配置された上部表面とを有する。キャリッジ（３０）の下部表面（５０）は、受台（２８）の上面（４０）と係合しかつ該受台（２８）の上面（４０）の半球状凹面形状と相補的な半球状凸面形状を有する。本装置（１８）はさらに、受台（２８）の上面（４０）に位置しかつ該上面（４０）内に凹設された潤滑剤リザーバ（４６）と、潤滑剤リザーバ（４６）に潤滑剤を送給するための機構（４８、５４）とを含む。キャリッジ（３０）の下部表面（５０）及び受台（２８）の上面（４０）は、潤滑剤リザーバ（４６）の周りにエンクロージャを形成する。 （もっと読む）

【課題】ベアリング剛性を高める方を優先するかエア消費流量を優先させるかに応じて、エア供給様式が変更されるエアスピンドルを提供する。
【解決手段】スピンドルハウジング（４８）には少なくとも２個のエア供給路（６５）が配設されており、ベアリングシャフト（５０）に配設される複数個のベアリング領域（５８）の幾つかはエア供給路（６５）の一方に接続され、複数個のベアリング領域（５８）の他の幾つかはエア供給路（６５）の他方に接続されている。エア供給路（６５）の各々は夫々別個の連通制御弁手段（５５）を介して圧縮エア供給源（５６）に接続されている （もっと読む）

【課題】 高精度の動圧発生楔部を簡易に形成できる流体軸受装置の軸受部材の製法等を提供する。
【解決手段】 基材１０Ａの内周面１０ａに溝を複数形成して静圧発生溝部１１を周方向に複数形成すると共に、静圧発生溝部で囲まれた動圧発生部１２に楔状の軸受隙間１６を形成するために、静圧発生溝部に対応する基材の外周面１０ｂに溝を複数形成して軸受隙間形成用溝部１４を形成する。そして、静圧発生溝部と軸受隙間形成用溝部との間の最薄肉部分１５ａが塑性変形する圧力を基材の内周面に加えて軸受隙間を形成する。これにより、動圧発生部の変位量を測定管理しながら基材内周面への加圧力を調整管理して楔状の軸受隙間を形成することができるため、従来の内径研削加工による場合と比較して高精度の楔状の軸受隙間を簡易に形成でき、製造効率を大幅に向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】外部の真空発生機と接続することなく、排出される軸受用気体を回収する機構を備えた静圧気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】静圧気体軸受スピンドルは、内部に形成された排気通路７を有し、かつ排気通路７が開口した外周面を有する円筒形状の回転軸１と、回転軸１を支持するための軸受用気体が供給される軸受隙間５をはさんで、回転軸１の外周面を取り囲む固定部２と、回転軸１の外周面のうち排気通路７の開口した部分を覆うように回転軸１に取り付けられた排気リング６とを備えている。排気リング６と回転軸１の外周面との間には排気通路７に通じる排気回収路２０が形成されている。排気回収路２０は、軸受隙間５の開口部２２と向かい合う位置に開口部２１を有している。 （もっと読む）

【課題】搬送部品の汚染を防止し、加工作業や組立作業を容易にし、製造コストの低減化を図る。
【解決手段】駆動用エアによりシリンダ１１の内部を移動体１２が往復動するエアスライド装置１０であって、シリンダ１１と移動体１２の間に所定の隙間を確保するようにベアリング部２８が周方向に沿って複数形成されており、各ベアリング部２８にエアベアリング用エアを供給することにより移動体１２がシリンダ１１の内面に非接触状態でシリンダ１１の内部を往復動するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】高い荷重能力およびダンピングを有するガス軸受を提供する。
【解決手段】追従性ハイブリッドガスジャーナル軸受（１０）のダンパーブリッジ（３６）は、ダンパーブリッジ（３６）の各々の側にダンパー空洞（４２）を形成するための、軸受パッド（１２）および外側リム（３４）の軸方向長さ（４０）より短い軸方向長さ（３８）を有する。一体式ワイヤメッシュダンパー（６２）がダンパーブリッジ（３６）の各々の側のダンパー空洞（４２）内に位置する。一体式復心ばね（４６、４８）が、軸受パッド（１２）に半径方向および回転の追従性を与えるように、内側リム（３２）と外側リム（３４）の間に配置される。このオイルフリー軸受設計は、ロータ形状の変化に対する追従性を保持しながら、今日追従性エーロフォイル軸受設計に固有の低いダンピングおよび低い荷重能力特性に対処する。 （もっと読む）

【課題】支持する被支持体の質量の変化に応じて静圧を制御することにより、被支持体の質量に関わらず安定に支持する静圧軸受パッドを提供する。
【解決手段】静圧軸受パッド１１０において、第１の給気溝５１および第２の給気溝５２とは互いに独立しており、互いに不連続となっている。軸受面２１に供給するための加圧気体は、第１の給気溝５１については加圧気体供給部としての第１の給気管４１から、そして第２の給気溝５２については加圧気体供給部としての第２の給気管４２から、互いに独立に供給される。 （もっと読む）

互いに相対的に回転する第１の表面および第２の表面のそれぞれの開口が整列されるとき、入口から出口に少なくとも周期的に流体流れをもたらす、具体的には回転タイミング弁であってよい回転供給継手であって、気体軸受が第１の表面と第２の表面の間に軸受力をもたらすように構成される、回転供給継手が提供される。 （もっと読む）

【課題】鉄道車両用台車の振子装置に空気静圧案内機構を設けることにより、スムーズな振子動作を実現できる振子装置を備えた鉄道車両用台車を提供する。
【解決手段】振子はり２１をＲガイド２７で支持し、変位計付き振子制御シリンダ３０を動作させて車体を傾斜させ、Ｒガイド２７やコロ機構の代わりに、台車Ａから圧縮空気を供給して振子はり２１を浮上させる。振子はり２１の支承部が圧縮空気により非接触状態となり、また、圧縮空気が振子装置Ｂの荷重を一部負担するので、振子はり２１の回転抵抗を小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】比較的大きな力及び／又はトルクに、好ましくはＸはりの外部寸法を変更する必要なく対処可能なベアリングを有する、リソグラフィ装置用の位置決めデバイスを提供する。
【解決手段】オブジェクトサポートを位置決めするオブジェクトサポート位置決めデバイス１は、第１、第２、および第３のスライダのうち少なくとも１つのスライダ内に流体ベアリングが設けられ、流体ベアリングは、少なくとも１つのスライダの摺動方向に垂直である第１の方向に反力を作用させるための複数のベアリング面を含む。 （もっと読む）

【課題】基板検査装置及び基板検査方法において、基板のライン検査の精度を向上させる。
【解決手段】フラットパネルディスプレイ用の基板（１０）が載置されるステージ部（２）と、このステージ部（２）上の基板（１０）をライン状に検査する検査部と、この検査部により検査される基板（１０）のライン状検査領域Ｒの長手方向に亘って基板（１０）の高さ位置を計測する計測部３と、この計測部３により計測された高さ位置に基づいて基板（１０）の高さ位置を制御する制御部と、を備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】揺動自在とされた本体がその自重によって不用意に傾倒してワークを傷つけるおそれを大幅に低減すること。
【解決手段】支持体３０の球体部３５は本体２０の球面軸受け部２８ａに収容され、これにより本体２０は揺動自在となって支持体３０に支持されている。本体２０内には球体部３５と当接するＯリング２９と、そのＯリング２９によってシールされる閉空間Ｋ１とが設けられている。そして、その閉空間Ｋ１に加圧ポート４１及び内圧調節用通路４２を通じて加圧エアが供給されるようにした。支持体３０が固定された状態であれば、加圧エアの供給によって閉空間Ｋ１の圧力を高めるとその内圧の高まりによって本体２０が支持体３０に対して押し上げられる。これにより、Ａ部分での摩擦抵抗が高まって本体２０の自重による傾倒が抑制される。 （もっと読む）

【課題】より高い回転精度、回転摩擦の低減、回転速度の向上を図り得るロール装置を提供することにある。
【解決手段】ロール装置１は、中空のロール体２と、ロール体２の中空部に隙間３をもって挿通されている軸体４と、ロール体２の両端部５及び６に夫々配されていると共にロール体２と軸体４との間に夫々介在されている一対の静圧気体軸受７及び８とを具備しており、静圧気体軸受７は、ラジアル軸受面３２並びにスラスト軸受面３５及び４０を有しており、静圧気体軸受８は、ラジアル軸受面９２を有している。 （もっと読む）

【課題】 焼付きを生じ得る程度の被軸受部材と静圧気体軸受との接触を未然に防止することのできる静圧気体軸受装置及びこれに用いられる限界荷重検知装置を提供すること。
【解決手段】 静圧気体軸受装置１は、回転軸２の被軸受面３と協働して軸受隙間４を形成する軸受面５から被軸受面３に向かって噴出する高圧気体に基づく軸受隙間４における気体圧力により回転軸２を支える導電性の多孔質静圧気体軸受７と、回転軸２及び多孔質静圧気体軸受７に電気的に接続されると共に、軸受隙間４における回転軸２と多孔質静圧気体軸受７との電気的接触に基づいて回転軸２から多孔質静圧気体軸受７に加えられる負荷荷重が限界に至った旨を検知する限界荷重検知装置８と、回転軸２を回転駆動させる駆動手段９と、限界荷重検知装置８による検知に基づいて駆動手段９による回転軸２の回転駆動を制御する駆動制御手段１０とを具備している。 （もっと読む）

【課題】モータビルトインのスピンドル装置において、ロータとステータの芯合わせを正確かつ簡単に行う。
【解決手段】スピンドル装置１であって、前方側に工具Ａを取り付け可能な回転軸１０と、回転軸１０を中心軸Ｐ上に収容し、当該回転軸１０を軸受１２を介して回転自在に支持する本体ハウジング１３と、回転軸１０の後方側に設けられ、回転軸１０を回転駆動するモータ部１１と、本体ハウジング１３の後方部に固定され、モータ部１１を収容するモータハウジング１４と、を有している。モータ部１１は、回転軸１０の後方部に当該回転軸１０と同軸上に固定されたモータ軸４０と、当該モータ軸４０の外周面に固定された環状のロータ４１と、当該ロータ４１に対向しモータハウジング１４の内周面に固定された環状のステータ４２を有し、モータハウジング１４の内周面のステータ４２が固定されていない位置又はモータハウジング１４の外周面には、ステータ４２の内周面４２ａと同心の環状の位置合わせ面Ｅが形成されている。 （もっと読む）

【課題】モータビルトインのスピンドル装置において、補助軸受のモータ軸に対する芯合わせを簡単に行う。
【解決手段】スピンドル装置１であって、前方側に回転具を取り付け可能な回転軸１０と、回転軸１０を中心軸上に収容し、当該回転軸１０を軸エア受１２を介して回転自在に支持する本体ハウジング１３と、回転軸１０の後方部に当該回転軸１０と同軸上に固定されたモータ軸４０を回転させて回転軸１０を回転駆動するモータ部１１と、モータ部１１を収容するモータハウジング１４と、モータ軸４０を回転自在に支持する補助エア軸受１５と、補助エア軸受１５を収容する軸受ハウジング１６とを有している。補助エア軸受１５は、軸受ハウジング１６の内周面に固定され、軸受ハウジング１６の内周面には、補助エア軸受１５の内周面と同心の環状の位置合わせ面Ｇが形成されている。 （もっと読む）

【課題】回転が阻止され且つ高い回転剛性を有するスライド軸を備える油静圧スライド装置を提供する。
【解決手段】油静圧スライド装置が、往復駆動源３と、往復駆動源３によって往復駆動される、多角形横断面を有するスライド軸４と、油圧によってスライド軸４を摺動可能に支持する油静圧軸受５とを具備する。油静圧軸受５はスライド軸４が嵌挿される軸受穴５４を備え、油静圧軸受５の軸受穴５４の複数の内側面５５の各々が、スライド軸４の縦軸線Ａ_Zに対して垂直な方向に並べられて形成された少なくとも二つの静圧ポケット９１を備えており、静圧ポケット９１の各々に油圧を供給するためのオリフィス９２が設けられている。 （もっと読む）