【課題】可動体を浮上させる圧縮空気をガイドレールから噴出させることで、可動体をチューブレス構造とした静圧気体軸受直線案内装置の提供。
【解決手段】基台に固定されるガイドレール２、ガイドレール２の延出方向に沿って往復移動可能な可動体４(垂直方向受板４２、水平方向受板４４)、圧縮空気を噴出して可動体４をガイドレール２に対して浮上させて非接触に支持する静圧気体軸受部(多孔質部材)６、磁気吸引力により可動体４をガイドレール２に引き寄せる吸引部８(磁気吸引部材８ａ、永久磁石８ｂ)を備え、静圧気体軸受部６からの圧縮空気による可動体４のガイドレール２に対する浮上力と、可動体４をガイドレール２へ引き寄せる吸引部８からの磁気吸引力とを調整してバランスを図り、可動体４をガイドレール２に対して浮上させつつ、往復移動させるべく、静圧気体軸受部６をガイドレール２に配し、可動体４へ向けて圧縮空気を噴出させる。 （もっと読む）

【課題】非接触式のシール機構を用いることにより、リークを起こすことなく真空槽外の動力源が生成する回転動力を真空槽内に導入する技術を提供する。
【解決手段】
真空槽２１の開口２２に筒状部材１１を設け、筒状部材１１と開口２２に挿通した動力伝達軸１２の一端を真空槽２１内に挿入し、他端を真空槽２１の外部に配置された動力源１６に取り付ける。筒状部材１１内周面の噴出装置１７からベアリングガスを噴出し、筒状部材１１と動力伝達軸１２とを非接触にする。真空槽２１内を大気圧より低い圧力にすると、動力伝達軸１２に真空槽２１内に引き込む力がかかり、第二の板状部材３２が球状部材３３を介して第一の板状部材３１に押しつけられ、動力伝達軸１２は一定の向きに維持される。動力源１６を動作させて動力伝達軸１２を回転移動させると、動力伝達軸１２は一定の向きに維持されたまま筒状部材１１と接触せずに回転移動する。 （もっと読む）

【課題】自動補償静圧ジャーナル軸受の提供。
【解決手段】この自動補償静圧ジャーナル軸受は、軸を取り付ける座体を有し、座体に軸を取り付ける孔が穿たれて円周面が形成され、軸と円周面の間に液圧液体を流通させる間隙があり、座体に少なくとも二つの注油孔が設けられ、円周面上に相互に対向するように設けられた少なくとも二つの第１チェンバ一がそれぞれ一つの注油孔に連通し、且つ各第１チェンバ一に隣接するようにそれぞれ第２チェンバ一が設けられ、座体に少なくとも二つのチャンネルが設けられ、各チャンネルの第２端はそれぞれ第１端と対向する第２チェンバ一に２連通する。これにより、軸受力が偏る時、その偏り方向とその対向の間隙を変更して、液圧液体に各通路をとおり、対向する第１チェンバ一と第２チェンバ一間で流量自動補償作用を発生させる。 （もっと読む）

【課題】高い回転精度を有し、低コストで製造することのできる静圧気体軸受を提供する。
【解決手段】矢印方向に回転する回転体を気体膜を介して回転支持する多孔質体２は、回転体の回転方向に交互に配設された複数の有効通気部３と線状の非有効通気部４とを有する。複数の有効通気部３は、それぞれ非有効通気部４によって分離され、通気流量を個別に制御される。線状の非通気有効部４を、回転方向に垂直な軸に対して回転方向に傾斜させることで、通気流量の回転方向の分布を低減し、均一な気体膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】装置の低廉化、エア消費量の削減を図り得ると共に、部品点数を削減し得、組み立て工数を減少し得、しかも、ラジアル方向の磁気による吸着力が不均一となってラジアル方向の負荷容量が低下する虞をなくし得るロール装置を提供すること。
【解決手段】ロール装置１は、中空のロール体２と、ロール体２の中空部に隙間３をもって挿通されている軸体４と、ラジアル方向に関してロール体２を静圧気体によって支持すべくロール体２と軸体４との間に介在されている静圧気体軸受手段７及び８と、スラスト方向に関してロール体２を磁力によって支持する磁性軸受手段９及び１０とを具備している。 （もっと読む）

【課題】装置の低廉化、エア消費量の削減を図り得るカムフォロアを提供すること。
【解決手段】カムフォロア１は、中空の転動体２と、転動体２の中空部に隙間３をもって挿通されている軸体４と、ラジアル方向に関して転動体２を静圧気体によって支持すべく転動体２と軸体４との間に介在されている静圧気体軸受手段７と、スラスト方向に関して転動体２を磁力によって支持する磁性軸受手段９及び１０とを具備している。 （もっと読む）

【課題】隙間調整機構などの装置を設けることなく、ダイアフラムと弁座との隙間を所定の隙間に設定できるダイアフラム式可変絞り装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】第1開口部２１が形成された第1ハウジング１１と、第1開口部２１と対向するように第２開口部２２が形成された第２ハウジング１２と、第1開口部２１の周縁部に形成された第1挟持部３２と、第２開口部２２の周縁部に形成された第２挟持部３３と、第1開口部２１と第２開口部２２との間に設けられ、第1挟持部２１と第２挟持部２２により周縁が挟持されたダイアフラム１３と、第１開口部２１に連通する流体導入路４１と、第1開口部２１に設けられた弁座４５と、ダイアフラム１３との弁座４５との隙間４３に応じた流体を排出する流体供給通路と、を備え、第１ハウジング１１の第1挟持部３２と弁座４５は別体となっており、第1挟持部３２は弁座４５に取り付け又は取り外しが可能とした。 （もっと読む）

【課題】 スピンドルの駆動モータやスピンドル軸受部等から発生した熱を効率よく冷却し、外部の真空環境に対しアウトガス等の発生を抑えて真空環境を所望の清浄度に保つと共に、シール部材の劣化を防止し得る冷却構造を備えた静圧気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】 静圧気体軸受スピンドルは、回転軸２と、回転軸２を支持しこの軸心回りに回転自在に支持する静圧気体軸受３と、モータ４とを備える。ハウジング本体１Ａ，１Ｂの表面と、同ハウジング本体の表面に重ねられる閉塞部材３２，３４との間に冷却液が循環する流路３３，３５を設け、両者の重なり面に介在して流路３３，３５を密封するシール部材４２ａ，４２ｂ、５０ａ，５０ｂを流路３３，３５に対して内外に並ぶ２重構造に設ける。２つのシール部材４２ａ，４２ｂ、５０ａ，５０ｂを互いに材質の異なるものとする。 （もっと読む）

【課題】スラスト給気孔から供給する加圧空気で形成されるスラスト空気軸受のスラスト力を高めて、回転軸の自重をスラスト空気軸受のみで支持することができ、かつスラスト空気軸受及びラジアル空気軸受に供給する加圧空気の圧力を独立に制御してそれぞれの剛性を独立に制御することができる縦型バランス計測装置を提供する。
【解決手段】羽根車１ａがシール円板１ｂより大きい外径の円形端面１ｅをシール円板側に有しており、縦型バランス計測装置が、回転軸１をその軸心を鉛直に保持して支持する軸受マウント１０を備える。軸受マウント１０は、羽根車の円形端面１ｅの下面に加圧空気を供給するスラスト給気孔１２と、ラジアル支持用の円筒部１ｃに加圧空気を供給するラジアル給気孔１４と、スラスト給気孔１２とラジアル給気孔１４の間に位置しその間から加圧空気を排気するスラスト側排気孔１６とを有する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、而も安価で、又絞り特性の設定が容易な絞り弁を提供する。
【解決手段】流路途中に設けられる絞り弁１であって、該絞り弁はコマ収納部５が形成された弁本体２と、前記コマ収納部に収納される複数の絞りコマ８，９を有し、該コマが該コマの軸心上に穿設された毛細管路１４を有する。 （もっと読む）

【課題】静圧軸受によりラジアル荷重を支持する構成の両吸込横軸ポンプにおいて、締切点付近を含む小流量領域で主軸に作用する動的スラスト荷重を効果的に抑制する方法を提供する。
【解決手段】両吸込横軸ポンプ１の主軸２のラジアル荷重は静圧軸受８，９で支持される。背静圧軸受８，９には羽根車３の吐出口２１から吐出された圧力水が供給される。主軸３に取り付けられた受圧ディスク４３の主軸３の駆動側の面には静圧軸受８を通過後の圧力水の静圧が作用する。受圧ディスク４３の主軸２の反駆動側の面には、羽根車３の吸込口２０Ａ側の静水圧が作用する。 （もっと読む）

【課題】外乱が作用して、スラスト空気軸受の釣り合い位置から回転軸が上下動した場合でも、回転軸の自励振動を抑制して短時間に釣り合い位置に戻すことができる縦型バランス計測装置を提供する。
【解決手段】シール円板１ｂの下面に向けてスラスト支持用の加圧空気を供給するスラスト給気孔１１ａを有する軸受マウント１０と、スラスト給気孔１１ａに加圧空気を供給する加圧空気源１２と、スラスト給気孔１１ａと加圧空気源１２との間に設けられた空気たまり１４とを備える。 （もっと読む）

【課題】各種装置に搭載されるスピンドルアセンブリ内に水が侵入するのを防止する。
【解決手段】スピンドルハウジング２１に、エア供給口２３０とエアベアリング連通路２３１との間にウェータエアセパレータ２５を配設し、更に、ウォータエアセパレータ２５からエア排出路２４に連通しウォータエアセパレータ２５内で分離された水を排出する水排出路２５０を備え、エア供給口２３０から供給された高圧エアに含有される水分がウォータエアセパレータ２５内で分離され、分離された水分が水排出路２５０から押し出されエア排出路２４を介して外部へ排出されるように構成することにより、エアベアリング側へ水分が進入するのを防ぐ。 （もっと読む）

【課題】 回転精度が高いことに加えて、モータ等で発生した熱が主軸を経由してモータと反対側の回転テーブルへ伝わりにくく、かつ主軸の熱膨張を抑えることができ、さらに、不導体材料を使用しながら静電容量タイプの非接触計での測定を可能にした静圧気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】 静圧気体軸受スピンドルは、主軸２と、この主軸２を回転自在に支持する静圧気体軸受３と、主軸２の一端がモータ軸と２ｃなり主軸２を回転駆動するモータ４と、主軸２の他端に固定された回転テーブル５とを備える。主軸２における静圧気体軸受３により回転自在に支持される部分である主軸被支持部２ａ、および主軸２における主軸被支持部２ａよりも回転テーブル５側の部分である主軸テーブル側部２ｂをセラミックス材で形成し、主軸被支持部２ａにおけるラジアル軸受部３ｂに導電性のメッキを施す。 （もっと読む）

【課題】エア軸受構造１５を備えた形状検出装置１のランニングコスト及び消費エネルギーを低減すること。
【解決手段】荷重作用領域ＦＡに位置する複数の噴出孔２５は、固定軸９の厚み方向ＴＤに対して対応関係にあるロータ１１の長手方向の中心１１ｃ側に傾斜し、対応関係にあるロータ１１の長手方向の中心１１ｃよりも左方側に位置する複数の第１傾斜噴出孔２５Ａと、対応関係にあるロータ１１の長手方向の中心１１ｃよりも右方側に位置する複数の第２傾斜噴出孔２５Ｂとからなり、荷重作用領域ＦＡから外れた領域に位置する複数の噴出孔２５Ｃは、固定軸９の厚み方向ＴＤに平行になっている。 （もっと読む）

【課題】装置の低廉化、エア消費量の削減を図り得るロール装置を提供すること。
【解決手段】ロール装置１は、中空のロール体２と、ロール体２の中空部に隙間３をもって挿通されている軸体４と、ラジアル方向に関してロール体２を静圧気体によって支持すべくロール体２の両端部５及び６に夫々配されていると共にロール体２と軸体４との間に夫々介在されている一対の静圧気体軸受７及び８と、スラスト方向に関してロール体２を磁力によって支持する磁性軸受９とを具備している。 （もっと読む）

【課題】回転摩擦を低減させると共に回転速度を向上させることができ、しかも、使用期間の長期化を図り得ると共にランニングコストをも低減させ得るカムフォロアを提供すること。
【解決手段】カムフォロア１は、中空の転動体２と、転動体２の中空部に隙間３をもって挿通されていると共に一端部２１が転動体２から突出している軸体４と、ラジアル方向に関して転動体２を静圧気体によって支持すべく転動体２と軸体４との間に介在されている静圧気体軸受７と、スラスト方向に関して転動体２を磁力によって支持する磁性軸受９とを具備している。 （もっと読む）

【課題】温度変化を少なくしたい場所への、熱量変動部からの熱の出入りを少なくする。
【解決手段】熱量制御器１９が、第１温度計１６が測定した第２流体の温度と第２温度計１７が測定した第２流体の温度との差と、流量計１８が測定した第２流体の流量とに基づいて第２流体の熱量を算出する。第２流体の熱量が所定値を越えたとき、熱量制御器１９が、第１恒温水循環装置１３とラジアル流路１０ａ，１０ｂとの間で第１流体の流量を調節する制御弁１４ａ，１４ｂを制御して第１流体の流量の増加調整を行う。また、第１恒温水循環装置１３を制御して第１流体の温度の低下調整を行う。この結果、第２流体の熱量の値が所定値以下になる。 （もっと読む）

【課題】潤滑液体の漏洩を防止しやすい構造で、始動トルクを低減するためのリフトポンプを備えたパッド型スラスト軸受、該パッド型スラスト軸受を用いた液中モータ、縦型液中モータポンプを提供すること。
【解決手段】軸受パッド４表面に潤滑液を加圧供給するリフトポンプ１２を備えたパッド型スラスト軸受であって、リフトポンプ１２の羽根車１２ａをスラスト軸受の軸受ハウジング１０内に設けた。また、リフトポンプ１２は、モータハウジング２２の一部が軸受ハウジング１０に挿入された状態で結合されている。 （もっと読む）

【課題】減衰特性の高い静圧式の気体軸受を提供する。
【解決手段】気体軸受部は、空気供給口から供給される圧縮空空気を、オリフィスから固定軸受筒と浮動ブッシュとの間の隙間部分に通すことによって、固定軸受筒と浮動ブッシュとの間のスラスト面とラジアル面との間に形成される第一の軸受部と、空気供給口から供給される圧縮空空気を、ジョイント部を通って浮動ブッシュの管路を経由してオリフィスから浮動ブッシュと回転軸との間の隙間部分に通すことによって、浮動ブッシュと回転軸との間のスラスト面とラジアル面との間に形成される第二の軸受部とで構成され、フルイドダンパ機構は、磁性流体の粘性または隙間を変えることによって、第一の軸受部の減衰係数およびばね剛性を調整し、回転軸の外乱に対する整定時間を制御する。 （もっと読む）