【課題】 流体軸受に供給される流体の回収を促すことで、流体の使用量を低減させると共に、流体軸受より下方の油溜まりを廃止して、流体軸受周辺を小型・軽量化することのできる流体軸受及び流体軸受を用いた研削盤を提供する。
【解決手段】 流体軸受３２を、砥石軸１９を支承する軸受部材４８と、砥石軸１９と軸受部材４８との間に支承用油（第一流体）を供給する第一供給部４９と、支承用油を回収する回収部５０と、回収部５０を挟んで第一供給部４９とは反対側に所定圧力のエア（第二流体）を供給する第二供給部５１とを具備させ、研削盤の砥石台における砥石車Ｔが固定される砥石軸１９の支承に用いる。 （もっと読む）

【課題】
製造コストを抑えながらも、部品同士の競り合いを抑制できるシール装置を提供する。
【解決手段】
第１の部材２１Ａと第２の部材２１Ｃとが、フランジ部３０Ａの端面３０ＡＬ，３０ＡＲと対向する面を微小なスキマとする。即ち、本体２１の軸線寸法を変えることなく、差動排気シールのシール機構を向上させることができ、スキマの極小化も容易に図れる。 （もっと読む）

【課題】アンバランス及びジャイロモーメントの許容度が優れたスピンドル装置を提供する。
【解決手段】静電塗装機用エアスピンドル装置は、回転軸３と、回転軸３が挿通されたハウジング４と、ハウジング４を収容する装置ケース１と、を備えている。ハウジング４の内周面には多孔質部材５が取り付けられており、多孔質部材５の内周面から回転軸３の外周面に圧縮空気を吹き出すことにより、ラジアル軸受である気体軸受が形成される。また、回転軸３にはフランジ部６が形成されており、ハウジング４の後端側端面には、フランジ部６の平面６ａに対向するように磁石７が取り付けられている。そして、多孔質部材５からフランジ部６の平面６ａに圧縮空気を吹き出すとともに、磁石７によりフランジ部６を引きつけることにより、スラスト軸受である複合軸受が形成される。さらに、ハウジング４は、弾性体８を介して装置ケース１に支持されている。 （もっと読む）

【課題】ステージ駆動装置でありながらチャンバの変形に起因する悪影響を防止することのできるステージ駆動装置を提供する。
【解決手段】真空チャンバ１の外部に設けられたボールねじ駆動モータ１２と、ボールねじ駆動モータ１２の駆動力をボールねじ１１に伝達するトルク伝達軸１５と、トルク伝達軸１５の真空チャンバ貫通部をシールするシールユニット１６と、真空チャンバ１内に設けられたベース７と、を備えたステージ駆動装置において、シールユニット１６がベース７に対し固定され、真空チャンバ１とシールユニット１６との間がベローズ２８により弾性的に且つ気密に結合されてなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 主軸の軸受として非接触の軸受では、油静圧軸受による高速回転での発熱の問題、空気静圧軸受による低速回転での低い軸受剛性の問題を解消でき、耐久性が高く、加工精度が維持され、しかも、精密な加工に柔軟に対応できる工作機械の主軸装置を提供する。
【解決手段】 主軸ヘッドに対し、主軸７を回転自在に支持する軸受に、主軸をその径方向、または、軸方向に支承する静圧軸受１７を用い、たとえば、主軸７の低速回転のときは油静圧軸受に切り換えるための油供給用電磁弁１を設け、高速回転のときは空気静圧軸受に切り換えるための空気供給用電磁弁２を設けるとともに、加工に応じて油供給用電磁弁１と空気供給用電磁弁２とが切り換えられ、同じ管路９の中で油と空気とが使い分けられることを特徴とする工作機械の主軸装置６である。 （もっと読む）

【課題】 主軸の高速回転が可能で、高回転精度、高静剛性・動剛性を有し、高能率で高精度な加工が行える金型加工装置を提供する。
【解決手段】 工具１１を回転させるスピンドル装置１の主軸４を、静圧磁気複合軸受６〜９で支持し、次の手段を設ける。静圧磁気複合軸受６〜９の励磁電流を検出する電流検出手段１５〜１８と、その電流検出値から加工状態を把握する加工状態把握手段１９を設ける。外部指令応答オンオフ手段２０を設け、静圧磁気複合軸受６〜９は、外部の指令で静圧気体軸受部のみによる支持を可能とする。ハウジング５の温度を測定する手段７６と、温度測定対応出力手段７７とを設ける。 （もっと読む）

【課題】
プロセス室に外部から異物が侵入することを抑制できる位置決め装置の停止方法及び位置決め装置を提供する。
【解決手段】
メンテナンス時などにおいては、まず、プロセス室Ｐの排気を停止し、不図示の導入口からプロセス室Ｐ内に窒素ガスなどの不活性ガスを導入して、１０００Ｐａ（所定の内圧）程度まで圧力を増大させる。その後、バルブＶ０を閉止する。プロセス室Ｐが所定の内圧に達する前は、第１の差動排気シールの差圧室１５１を排気することで、外部の異物がプロセス室Ｐ内に侵入することを抑制できる。但し、プロセス室Ｐが所定の内圧に達した後は、第１の差動排気シール１５１の差圧室１５１の排気を中断しても、外部の異物がプロセス室Ｐ内に侵入する恐れは低く、それによりメンテナンス終了後においてプロセス室Ｐ内で行われる加工を適切なものとできる。 （もっと読む）

【課題】
製造コストを抑えながらも、部品同士の競り合いを抑制できるシール装置を提供する。
【解決手段】
本体２１、回転軸３、ベアリングブロック２２及びベアリング２２ａ、２２ａの寸法誤差が積み重なり、本体２１と回転軸３との間に軸ズレが生じた場合には、その軸ズレに応じて静圧軸受の調心作用により回転軸３に対してシールユニット２７が半径方向、軸線方向、或いは軸線が傾く方向のいずれか１つ以上の方向へ付勢されることとなる。かかる場合、Ｏ−リング３０，３０，３１のいずれか１つ以上が弾性変形することで、本体２１に対する上記いずれか１つ以上の方向へのシールユニット２７の変位を許容できることから、結果的に回転軸３とシールユニット２７との競り合いが抑制される。 （もっと読む）

【課題】コンパクトな構成ながら軸線ズレを抑制できる静圧回転軸及びそれを用いた支持装置を提供する。
【解決手段】軸線ズレが生じると、第１の絞り部の圧力伝達媒体の流れ方向下流側にある大径円筒状の静圧面ＬＳＰと支持面ＬＨＰとのスキマΔＬ’は、第２の絞り部の下流側にある小径円筒状の静圧面ＳＳＰと小径円筒状の支持面ＳＨＰとのスキマΔＳ’より広く、小径円筒状の静圧面ＳＳＰが圧力伝達媒体より受ける単位面積当たりの力ＦＳは、大径円筒状の静圧面ＬＳＰが圧力伝達媒体より受ける単位面積当たりの力ＦＬより大きくなるため、ズレ量に応じて増大するその力の差分（ＦＳ−ＦＬ）により、大径円筒状の静圧面ＬＳＰと大径円筒状の支持面ＬＨＰとのスキマと、小径円筒状の静圧面ＳＳＰと小径円筒状の支持面ＳＨＰとのスキマが等しくなる方向に、前記静圧回転軸ＳＲＳを移動させる。 （もっと読む）

【課題】コンパクトな構成ながら静圧回転軸の軸線傾きを抑制できる支持装置及びそれを有する加工機を提供する。
【解決手段】第１の静圧面ＳＰ１が受ける力Ｆ１は、第２の静圧面ＳＰ２が受ける力Ｆ２は、Ｆ１＞Ｆ２となることより、その差に重心までの距離を乗じた値が、静圧回転軸ＳＲＳに時計回りの方向にモーメントとして傾き補正を行うための復元力となる。軸線の傾きが大きくなれば、スキマの差と圧力伝達媒体の圧力差も大きくなり、復元力は増大する。図３で図示していない、下部円板部ＬＣの左半部でも同様に生じており（但し下部円板部ＬＣの下面が第１静圧面で、その上面が第２静圧面）、従って復元力としてのモーメントは２倍となるため、高い復元力により軸線の傾きを自律補正可能な構成である。 （もっと読む）

【課題】 高精度な直線移動が実現できる軸受構造及び該軸受構造を用いた直線駆動装置を得る。
【解決手段】 直線移動する可動部２側の軸受面の長さは固定部１側の軸受面より移動ストローク分以上長く成形されている。これにより、固定部１側の軸受面が可動部２側の軸受面に常に対向する。固定部１には空気供給源と接続され、固定部の軸受面には空気を噴射する空気吐出口が複数配設されて空気軸受を構成する。可動部２は固定部１が挿入する側のみ開口している。固定側にコイル、可動側に磁石を配設してリニアモータを形成し直線駆動装置とする。圧縮空気や電力を供給するケーブル９等は固定部１に接続され、可動部２には接続されないから、ケーブル等から外力が加わらず、高精度の運動が得られる。また、開口部が１箇所で剛性の強い可動部が得られ、圧縮空気の大きな力に耐えうる。 （もっと読む）

【課題】 高い精度で工具若しくは工作物の受ける加工応力を検出できるとともに、検出点の位置などの設計上の自由度が高く、種々の装置に容易に設けることができる検出手段を有する加工装置を提供する。
【解決手段】 本発明の加工装置１００は、工具Ｔ若しくは工作物が固定されたスピンドル軸１０１と、スピンドル軸を回転自在にかつ軸線方向に流体を介して軸支する軸受構造１０４を備えた支持体１０３と、工具若しくは工作物の受ける加工応力を検出する検出手段とを有し、検出手段は、スピンドル軸に対して少なくともその軸線方向に固定された状態で接続された検出電極１０６と、検出電極に対し軸線方向に対向配置され支持体に対して少なくとも軸線方向に固定された状態で接続された固定電極１０５Ａ，１０５Ｂと、検出電極と固定電極との間の静電容量を直接若しくは間接的に検出する検出回路とを有する。 （もっと読む）

診断撮像装置において、固定ガントリ(22)及び回転ガントリ(24)が複数の空気軸受要素(40)によって接合されている。下部空気軸受要素は回転ガントリ(24)の重量を受け、固有振動周波数で空気ハンマリング現象を誘発する。空気ハンマリングを打ち消すために、制動アセンブリ(44)が少なくとも１つの下部軸受要素に取り付けられている。制動アセンブリ(44)は制動質量体(46)及びエラストマコネクタを含み、それらはハンマリング周波数近辺の周波数に調整されることで、振動エネルギーを吸収し、空気ハンマリング振動を制動する。
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流体クッション上の静止又は移動する実質的に平坦な対象物を物理的接触なしに支えるための装置。対象物は流体クッションギャップ上で浮動し、装置はこのギャップを全域か局所で調整することを目的とする。装置は非接触で対象物を支える第一土台を含み、この土台が一個以上の区域からなる実質的に平坦な活性表面を有し、各区域が複数基本セルの内の少なくとも一つを含み、各基本セルが圧力調整流量絞り弁により基本セルの位置する区域に関する高圧マニフォールドと流体的に連結した複数圧力出口の内の少なくとも一つを有し、高圧マニフォールドが主供給パイプラインにより加圧流体供給と主排気パイプラインを有する基本セルが位置する区域に関する低圧マニフォールドと流体的に連結した複数流体排気チャネルの少なくとも一つと流体的に連結するものからなる装置で、流量絞り弁が流体的伸縮バネ挙動を特徴的に示し、少なくとも一個の圧力調整弁を区域の二個のマニフォールドの内の少なくとも一つの圧力レベルを制御するため、少なくとも一区域の二個の主パイプラインの内の少なくとも一つの間に配置することからなる装置。 （もっと読む）

被支持体と該被支持体を支持する支持体の対向し合う面にそれぞれ形成されるスベリ面間に形成される流体圧ポケットに供給される流体をシールするための流体シール機構にあって、前記支持体のスベリ面には流体をシールするための弾性リングを嵌入させるリング溝が形成され、かつ、前記弾性リングの外側に前記弾性リングが前記リング溝から飛び出すのを阻止するための規制リングを外嵌させた状態にて、前記規制リングが前記弾性リングと共に前記リング溝内に嵌入され、前記流体圧ポケット内に供給された流体が所要圧に達した時には、前記規制リングは前記弾性リングと共に前記被支持体のスベリ面に圧接状態で接触することにより、前記弾性リングの飛び出しが阻止されるように構成する。 （もっと読む）

そのロールネック上に設けられたロールネックスリーブ（３）が、ロールチョック（２）内に設けられた軸受ブッシュ（５）により取囲まれている、ロールネック（４）用の油膜軸受（１）であって、この場合、軸受ブッシュ（５）が実質的に共通の軸方向ライン内に設けられており、内側に設けられている少なくとも二つの流体静力学的凹部（９，９’）を備え、この流体静力学的凹部が、逆止弁（１８）を介して、及び軸受ブッシュ（５）内で延びている孔（６，６‘）を介して加圧手段を供給可能であり、そしてこの場合、孔（６，６‘）内の絞り弁（１５，１５’）が、軸受ブッシュ（５）内におけるロールネック（４）あるいはロールネックスリーブ（３）が間違った状況にあった場合でも、最適な流体静力学的軸受を保証する油膜軸受（１）は、軸受の流体静力学的機能が費用のかからない方法で確実に果たされており、絞り弁（１５，１５’）の検査を簡単に行うことができるように検討されていなければならない。その目的で、少なくとも二つの孔（６，６‘）が、接続ブロック（１２）と接続していること、絞り弁（１５，１５’）が接続ブロック（１２）内に収容されていること、そして接続ブロック（１２）に逆止弁（１８）が所属していることを提案する。 （もっと読む）

【課題】 排気の良好を図りながら、同じ外径寸法でも軸受性能を従来より向上させることができ、また軸受性能を下げずに外径の小型化が図れるものとする。
【解決手段】 ハウジング１の内径面に軸受スリーブ２が嵌合し、軸受スリーブ２内を貫通した主軸３が、ジャーナル軸受４およびスラスト軸受５により回転自在に支持される。各軸受４，５は、絞り孔８，１０から軸受隙間ｄ１，ｄ２に気体を供給する静圧気体軸受である。これら軸受隙間ｄ１，ｄ２から排気する排気路２１を主軸３内に設ける。主軸３のフランジ面の立上り部には盗み部１６を設け、排気路２１はこの盗み部１６に開口させる。 （もっと読む）