【課題】流体軸受けの流体軸受皿の底部や内外周方向にも潤滑油などの流体が確実に流れるようにして、流体軸受皿の底や内外周方向での流体の滞留をなくすとともに流体軸受皿の底に沈降する不純物を除去して清浄な流体とし、長期間にわたり流体軸受けとしての機能を確保して円滑な回転を可能とする平面ラップ／ポリッシュ盤を提供する。
【解決手段】流体軸受皿５の溝部内の下側軸受面５１に隣接する内周側底面部５２に内周側回収孔２７を、また、外周側底面部５３に外周側回収孔２８を設け、これら内周側回収孔２７と外周側回収孔２８との間をバイパス回路２９により内外で連通させて外周側への偏在をなくし、また、流体軸受皿５内に沈降する不純物を含む流体を回収するような平面ラップ／ポリッシュ盤とした。 （もっと読む）

【課題】所望の精度を保持し、かつスラスト負荷容量を高める。
【解決手段】エアスピンドル１では、ハウジング２にスラスト方向エア噴出手段及びラジアル方向エア噴出手段としてのステータ３が固定される。このステータ３の上面、下面、内径面には上エア噴出し面３ａ、下エア噴出し面３ｂ、内径エア噴出し面３ｃが形成されている。上エア噴出し面３ａの外周周りには、外周側負荷容量生成手段としての複数、例えば６個のパッド型エアベアリング１１〜１６が均等に配置されて構成される。このパッド型エアベアリング１１〜１６は、スラスト板上６と同一平面を受けるように構成される。 （もっと読む）

【課題】熱の発生や熱伝達を効果的に低減できる静圧気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】この静圧気体軸受スピンドルＡは、主軸１を回転自在に支持する静圧気体軸受３と、前記主軸１にモータロータ８を固定してなり主軸１を回転駆動するモータ６とを備える。主軸１の一端部を被回転体を取り付けるための被回転体設置部１ａとする。この被回転体設置部１ａの材料として、主軸１の被回転体設置部１ａを除く主軸本体部１ｂよりも熱伝導率の低いジルコニアセラミックスを用いる。 （もっと読む）

【課題】高精度の機械加工を行うため、静圧軸受等に供給する圧油に脈動を生じることなく圧送することができる精密加工機の油圧供給装置を提供する。
【解決手段】本願発明の油圧供給装置は、コンプレッサ（第一圧縮空気供給機）３０と、このコンプレッサ３０で得られた圧縮空気を増圧する増圧弁（ブースターシリンダ）３１と、増圧弁３１で得られた圧縮空気を第二圧縮空気として供給装置貯蔵するレシーバタンク（第二圧縮空気供給機）３２と、レシーバタンク３２で得られた圧縮空気を介して圧力を有する油圧に変換して圧力変動を吸収するアキュムレータ３３と、静圧軸受に使用された作動油を回収する圧油タンク３５と、を備えて構成し、油圧の脈動や変動を防止・減少させている。また、さらに湯の温度を安定にするための油温調節ユニットを備え、油温についても安定に供給している。 （もっと読む）

【課題】回転モータの停止時にハンチング現象が生じないロータリエンコーダ制御式エアスピンドルを提供する。
【解決手段】回転軸３に固定されたディスク１３にパッド１８、１９が当接するため、回転モータ９の停止時における回転軸３の回転方向での振動が防止され、ハンチング現象が生じない。パッド１８はディスク１３の外縁部１３ｂに小さいな力で当接し且つ外縁部１３ｂが回転軸３の軸方向で変形可能なため、ディスク１３とパッド１８との当接が回転軸の本来の回転に影響を与えることはない。 （もっと読む）

【課題】流体軸受けにおける作動流体の利用効率を向上させる。
【解決手段】第一部材および第一部材の表面に沿って移動する第二部材の間隙３０１に気体を供給する圧送部３４０と、間隙３０１から気体を圧送部３４０に帰還させる帰還部３９４とを備える。上記帰還部３９４は、圧送部３４０から間隙３０１に供給された気体が、間隙３０１から外部に向かって流れる過程で、間隙３０１から気体を帰還させてもよい。上記圧送部３４０および上記帰還部３９４は、第二部材に搭載されて、第二部材と共に移動してもよい。上記圧送部３４０は、加圧された気体を収容したタンクを含んでもよい。上記帰還部３９４は、第二部材に搭載されて第二部材と共に移動しつつ、第一部材および第二部材の間から漏れ出す気体を吸引して回収する回収部を更に有してもよい。 （もっと読む）

【課題】高速変動する外乱負荷による移動体の精度低下の抑制が可能な流体保持装置（静圧軸受け、静圧案内）を提供する。
【解決手段】流体保持装置において、主軸３と静圧軸受け４、５の外乱力による相対変位を計測する変位センサ９、１０と、静圧ポケットのリセス体積を増減する体積増減手段７、８と、を備え、変位センサ９、１０により検出された変位を抑制するように、体積増減手段７、８によりリセス体積を増減することで、外乱力による流体保持装置の精度低下を抑制する。 （もっと読む）

【課題】高速変動する外乱負荷による移動体の精度低下の抑制が可能な流体保持装置（静圧軸受け、静圧案内）を提供する。
【解決手段】流体保持装置において、主軸３と静圧軸受け４，５の外乱力による相対変位を計測する変位センサ９、１０と、静圧ポケットのランド部を前後進させるランド送り手段７、８と、を備え、主軸３と静圧軸受け４，５の外乱力による相対変位に応じてランド部を前後進することで、外乱力による静圧軸受け４，５と主軸３の相対変位を抑制し、外乱力による流体保持装置の精度低下を抑制する。 （もっと読む）

【課題】高速変動する外乱負荷による移動体の精度低下の抑制が可能な流体保持装置（静圧軸受け、静圧案内）を提供する。
【解決手段】流体保持装置において、主軸３と軸受け４，５の外乱力による相対変位を計測する変位センサ９、１０と、静圧ポケットのランド部の圧油を供給・吸引するランド圧油供給吸引手段７、８と、を備え、外乱力による軸受け４，５と主軸３の相対変位を抑制するようにランド部へ圧油を供給またはランド部の圧油を吸引することで、外乱力による流体保持装置の精度低下を抑制する。 （もっと読む）

【課題】自動調心機能を持つ、組立て部品化した静圧気体軸受を提供する。
【解決手段】静圧気体軸受１を軸の外周面に対向配置される内筒筐体２と、ハウジングＨの内周面に対向配置される外筒筐体３とから成し、内筒筐体又は外筒筐体の互いに対向する面にラジアル軸受面３ａ及びスラスト軸受面３ｂを設け、軸受面を静圧気体軸受の内部に設ける。ラジアル軸受隙間に対して裏側の面にＯリング４を設け、スラスト軸受隙間に対して裏側の面であって、Ｏリングが備えられた筐体にバネ５を設け、Ｏリングとバネに軸とハウジングとの不均一な隙間量を吸収させるとともに、外筒筐体を軸とハウジングとの角度変化に追従して連続的に首を振るように動かす。 （もっと読む）

【課題】大重量の回転体をそのスラスト荷重を相殺し又は低減した状態で垂直軸の回りに安定してかつ高精度に回転可能に軸支する回転体軸支構造を提供する。
【解決手段】垂直起立状態のポール１０２により、中心回転部１１２を備え、この中心回転部１１２にポール１０２に沿って垂直配置される外側回転物を連結した回転体を垂直配置で軸支する回転体浮上軸支構造であって、ポール１０２の開口端側から内方下方に至る位置に設けた不凍液１３３を収納した浮力室１３１と、不凍液１３３内に臨ませたフロート１３５と、このフロート１３５下部の浮力室１３１の下端を貫いてポール１０２内を下方に延長した垂直軸とを具備し、フロート１３５に作用する浮力により回転体のスラスト荷重を分担させて浮上状態で回転可能に軸支する浮上軸受部１２１と、ラジアル荷重を分担する上部側のラジアル軸受部１２２と、ラジアル荷重を分担する下部側のラジアル軸受部とを有する。 （もっと読む）

【課題】従来の静圧軸受よりも構造が簡略化でき、高い静剛性を広い荷重範囲で実現できる静圧軸受および圧力制御ユニットの提供。
【解決手段】軸受面１Ａを有する軸受本体１と、軸受本体１の軸受面１Ａに圧力油を吐出する吐出流路３と、軸受本体１の内部に形成され、吐出流路３に圧力油を供給する圧力油供給室２と、圧力油供給室２内部に収容され、吐出流路３に供給される圧力油の流量を制御する弾性ヒンジ機構１０と、圧力油供給室２に圧力油を供給する給油流路４と、を備え、弾性ヒンジ機構１０は、絞り板１１と、絞り板１１を案内する保持板１２およびリンク板１３と、絞り板１１を付勢して所定の位置に保持する弾性ヒンジ１４と、を備える静圧軸受および圧力制御ユニット。 （もっと読む）

【課題】スピンドルとハウジングとの軸受隙間の大きさを可変として、高い剛性を必要とする場合にスピンドルの剛性をより高くするとともに、必要とするエネルギーの増加量をより抑制することができる流体軸受装置を提供する。
【解決手段】スピンドルＳは、回転軸ＴＺ方向の一方に向かって径が小さくなるテーパ面ＭＰを有するテーパ部ＳＴと、回転軸方向の一方の方向に向かう流体の力を受ける軸方向力受動面ＭＪを有する軸方向力受動部ＳＪとを有し、テーパ面に対向しているテーパ対向面Ｍ１にはテーパ部ポケットＰ１〜Ｐ４が周方向に分割されて形成されており、軸方向力受動面に対向している軸方向対向面Ｍ２に軸方向ポケットＰＢが形成されている。スピンドルが回転軸に交差する方向の力である負荷Ｆを受けると、軸方向力受動面の受ける力を大きくしてスピンドルをハウジングに対して相対的に回転軸方向の一方の方向に移動させる剛性増加手段を備えている。 （もっと読む）

【課題】圧縮気体を供給した際に生じる保持リングのずれを抑制することが可能な気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】気体軸受スピンドル１は、回転軸１０と、スリーブ３０と、ハウジング２０とを備えている。スリーブ３０は、非金属焼結体からなる軸受部３１と、Ｏリング４１，４２を介してハウジング２０に対してスリーブ３０を保持する金属製の保持リング３２とを含んでいる。そして、保持リング３２と軸受部３１とは、軸受部３１の外周面と保持リング３２の内周面との境界面である第１嵌合面８１と、スリーブ貫通穴３３からの距離が第１嵌合面８１よりも大きく、第１嵌合面８１から見てスリーブ貫通穴３３の延びる方向におけるスリーブ貫通穴３３の中央側に形成された軸受部３１の外周面と保持リング３２の内周面との境界面である第２嵌合面８２とにおいて接触している。 （もっと読む）

【課題】
転写ピンを懸吊支持するための内孔部分で、転写ピンをエアフローティングすることにより、転写ピンに掛かる摺動抵抗や付勢力をなくし、転写時のランドにかかる荷重を転写ピンの自重のみにすると共に転写ピンのセンタリングによる位置精度の向上を図ること。

【解決手段】
第１に、転写ピンと被転写物を相対的に接近させる昇降手段を備え、転写ピンの先端を被転写物の転写部位に当接させてフラックスを転写する装置とする。
第２に、転写ピンは外周を拡大させた拡径部を備える。
第３に、転写ピンを上下に遊貫させる内孔が形成され、内孔に転写ピンの拡径部を係合させて転写ピンを懸吊支持する支持部材を備える。
第４に、内孔に開口する通気路と、通気路に気体を供給する手段とを備える。
第５に、遊貫させた転写ピンと内孔の隙間に気体を供給して転写ピンに浮上力を生じさせてフラックスを転写する。 （もっと読む）

【課題】高い応答性を有する可変自成絞りにより、広い周波数領域にわたり高剛性化を実現した静圧気体軸受を提供する。
【解決手段】軸受面の一部に、可撓性を持つ可撓部材７による可撓性軸受面１を有し、前記可撓部材に、自成絞りを形成する給気孔３を設け、可変自成絞りとして作用させる。軸受隙間Ｃｒ内の気体の圧力変化を、ダイレクトに可撓性軸受面１に伝えることができ、また、可動物体を持たないために、高い応答性を有する可変自成絞りを実現できる。これにより、広い周波数領域にわたり高剛性化を実現した静圧気体軸受を提供できる。 （もっと読む）

【課題】スピンドル回転数の回転数の標準域（10000rpm〜60000rpm）と共に、高速域（例えば70000rpm〜100000rpm）においてもスピンドルの上下運動を抑制し、スピンドルのカジリ現象を防止することができるスピンドルアセンブリを提供する。
【解決手段】スピンドル（４８）を低速で回転させる際には、スピンドル（４８）の非回転時にスピンドル（４８）の軸心がベアリングシャフトの中心に対して偏心量Ｘμmで下方に偏心するように圧縮エアが供給され、スピンドル（４８）を所定の回転数を越える高速で回転させる際には、スピンドル（４８）の非回転時にスピンドル（４８）の中心がベアリングシャフトの中心に対して偏心量Ｘμmよりも大きい偏心量Ｙμmで下方に偏心するように、スピンドルアセンブリの複数のエア噴射領域から圧縮エアが噴出される。 （もっと読む）

【課題】周囲の磁性体の影響を受けない可動部の平衡位置を保つ機構を備えた直線駆動装置を提供すること。
【解決手段】チャンバー１３とチャンバー１４のそれぞれにエアタンク１５，１６を取り付ける。エアタンク１５はチャンバー１３と連通管１７により連通しており、エアタンク１６はチャンバー１４と連通管１８により連通している。エアタンク１５には圧力調整装置１９、エアタンク１６には圧力調整装置２０が接続されており、エアタンク内の圧力を調整できるようになっている。エアタンク１５，１６とチャンバー１３，１４とは連通管１７，１８によって連通していることから、チャンバー１３内の圧力とチャンバー１４内の圧力とをそれぞれ圧力調整装置１９，２０によって調整できる。チャンバー１３，１４には軸受面７から排気エアが流入することによって、カウンタスライド３を平衡位置に保持できる。 （もっと読む）

【課題】ラジアル軸受面への供給圧力を高めることができ、排気性能を向上できる静圧気体軸受装置を提供する。
【解決手段】静圧気体軸受装置１０は、ラジアル軸受面１３Ａ、１３Ｂとスラスト軸受面１３Ｃとラジアル軸受用給気孔１４Ａ、１４Ｂとスラスト軸受用給気孔１４Ｃと中間排気孔１５Ｂとを有する軸受ブロック１１と、軸受隙間に加圧気体を供給する気体供給装置２３と、中間排気孔１５Ｂから気体を吸引する排気装置２４とを備える。 （もっと読む）

【課題】回転軸と軸受が接触しても軸受の摩耗を最小限に抑えることができる静圧気体軸受装置を提供する。
【解決手段】静圧気体軸受装置１０は、回転軸２の外周面と対向するラジアル軸受面１３Ａ、１３Ｂを有する軸受ブロック１１と、回転軸２と軸受ブロック１１との間の軸受隙間に加圧気体と液体潤滑剤のミストとを混合した潤滑混合気を供給する潤滑流体供給装置２３とを備える。 （もっと読む）