【課題】従来よりも微細な穴を形成する際に発生する微小な送り負荷を安定して測定することが可能なスピンドルモータを提供する。
【解決手段】筒状筐体１１０と、モータ１２０と、穿孔工具把持部１５０と、筒状筐体１１０内でモータ１２０の回転軸と一体になって回転可能で、かつ、モータ２１０の回転力を穿孔工具把持部１５０に伝達するための回転体であって、先端側軸受面及び基端側軸受面を有する鍔部１３４が外周部に形成された回転体１３０と、筒状筺体１１０に弾性部材２４０を介してかつ送り方向に沿って微動可能に固定され、鍔部１３４における先端側軸受面及び基端側軸受面を挟み込んで穿孔工具把持部１５０からの送り負荷を受ける空気静圧軸受２２０と、送り方向に沿った空気静圧軸受２２０の変位に基づいて送り負荷を測定する送り負荷測定装置１４０とを有するスピンドルモータ１００。 （もっと読む）

【課題】従来のバランス修正手段では修正できない大きなアンバランスを容易に修正することができる、静圧気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】この静圧気体軸受スピンドル１は、軸線Ｏ回りに回転する回転部２と、静圧気体ジャーナル軸受２１および静圧気体スラスト軸受２２ａ，２２ｂを介して回転部２を回転可能に支持する固定部１０と、回転部２に固定されたバランス修正用リング３１とを備える。バランス修正用リング３１は、複数のリング固定ねじ３２を用いて回転部２に固定されており、回転部２とともに軸線Ｏ回りの回転運動を行なう。バランス修正用リング３１は、リング固定ねじ３２の締め付け量を調整することにより径方向の固定位置を変更可能に設けられている。 （もっと読む）

軸受機能およびシール機能を有し、動力損失を低減することができる静圧アキシャルすべり軸受を使用する装置および方法を提供する。該装置の静圧アキシャルすべり軸受は、アキシャルすべり軸受表面によって形成され、流体膜によって分けられ、該装置が稼動している間に相対回転を可能に構成されている。該装置は、第１および第２の構成要素を有し、それらは第１および第２のアキシャルすべり軸受表面(28,30,36,38,40,42)を形成している。これらを組み合わせて、第１および第２のアキシャルすべり軸受表面は、静圧アキシャルすべり軸受に対して軸受表面およびシール表面として機能する。該装置は、第１および第２のアキシャルすべり軸受表面が、第１の運動方向において相対回転することを可能に構成されており、少なくとも第２のアキシャルすべり軸受表面は、第１の運動方向において振動波形を備える表面形状(44)を有する。
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【課題】回転スピンドルを回転規制を多数回実施しても回転スピンドルの回転バランスを損なうことがない回転工具を装着するスピンドルユニット機構を提供する。
【解決手段】スピンドルユニット２のラジアル軸受６およびスラスト軸受８に高圧流体を供給する高圧流体供給手段１０とを具備する回転工具を装着するスピンドルユニット機構であって、ラジアル軸受６は弾性変形が可能な材料によって形成され内周面に該高圧流体供給手段１０と連通する複数の流体噴出孔６２が開口された円筒状の軸受スリーブ６からなっており、円筒状の軸受スリーブ６を選択的に弾性変形することにより縮径して内周面を回転スピンドル４の外周面を押圧せしめるスリーブ縮径手段を備えている。 （もっと読む）

【課題】ラジアル軸受の内周面と回転スピンドルの外周面との隙間を、回転スピンドルの回転速度に対応して適正な隙間に形成することができる回転工具を装着するスピンドルユニット機構を提供する。
【解決手段】スピンドルハウジング３に配設され回転スピンドル４の外周面との間に、流体層を形成して流体支持するラジアル軸受６およびスラスト軸受８と、スピンドルユニット２のラジアル軸受およびスラスト軸受に高圧流体を供給する高圧流体供給手段１０とを具備するスピンドルユニット機構であって、ラジアル軸受は弾性変形が可能な材料によって形成され、内周面に高圧流体供給手段と、連通する複数の流体噴出孔が開口された円筒状の軸受スリーブからなり、円筒状の軸受スリーブを回転スピンドルの回転速度に対応して弾性変形することにより、縮径して該円筒状の軸受スリーブの内周面と該回転スピンドルの外周面との隙間を調整する隙間調整手段を備えている。 （もっと読む）

【課題】装置コストの増大を抑制しながらシール性能を高めた差動排気シール機構を有する静圧気体軸受スピンドルの提供。
【解決手段】静圧気体軸受スピンドルは、回転軸１と、軸受スリーブと、シールカバー１０と、吸引ポンプ２９、３０とを備える。軸受スリーブは、回転軸１の外周面の一部を取り囲み、回転軸１の外周面と間隙を介して対向するとともに間隙に気体を供給することでジャーナル軸受を構成する。シールカバー１０と回転軸１の外周面とが対向する領域では、シールカバー１０の表面と回転軸１の外周面との少なくともいずれか一方に、回転軸１の外周面を周回する環状溝１７が複数形成される。吸引ポンプ２９、３０は、環状溝１７に管路としての配管３１、３２を介して接続される。管路は、複数の環状溝１７と吸引ポンプ２９、３０とを接続するように途中で分岐点４０を有している。 （もっと読む）

【課題】回転軸の回転精度を良好に保つことが可能な気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】気体軸受スピンドルは、回転軸１と、スリーブ３、４と、ハウジング２とを備える。スリーブ３は、回転軸１の側面の少なくとも一部と隙間を介して対向するように配置される。ハウジング２は、開口部を有し、当該開口部の内部にスリーブ３、４および回転軸１を保持する。回転軸１では、ハウジング２の開口部側の端部に形成された開口に連通する空洞部としての空洞１ｂが形成される。回転軸１の側面に、回転軸１の側面を周回する円周溝１ａが形成されている。回転軸１では、円周溝１ａと空洞１ｂとを繋ぐ連通孔１ｃが形成されている。スリーブ３、４およびハウジング２には、円周溝１ａに液体や気体などの冷却媒体を供給する供給路２ｂが形成されている。 （もっと読む）

【課題】ピストン駆動機構の静圧気体軸受において、径方向の衝撃に対する軸受摺動面の損傷を防止することである。
【解決手段】ピストン駆動機構１０はピストンロッド１２と、シリンダの機能を有するハウジングを有し、ハウジング２０の前後側のエンドプレート２４，２６はピストンロッド１２の前後端を軸方向移動自在に支持し、そこに静圧気体軸受１００が設けられる。静圧気体軸受１００のところにおいて、銅系材料で構成される潤滑用メタル筒材１８，１９がピストンロッド１２に一体化されて設けられる。潤滑用メタル筒材１８，１９をピストンロッド１２ではなくて、ハウジングの静圧気体軸受部に設けることもできる。 （もっと読む）

【課題】 エア供給量を増やすことなく、スピンドルの高速回転が可能なスピンドルアセンブリを提供することである。
【解決手段】 スピンドルアセンブリであって、エア供給路を有するスピンドルハウジングと、中心に形成されたスピンドル挿入穴と、前記エア供給路からの圧縮エアを該スピンドル挿入穴に供給する複数の分岐路とを有し、前記スピンドルハウジング中に圧入されたベアリングシャフトと、該ベアリングシャフトのスピンドル挿入穴中に挿入されたスピンドルと、該スピンドルと前記ベアリングシャフトのスピンドル挿入穴を画成する内壁との間に形成されたラジアルエアベアリングと、前記エア供給路及び前記分岐路を介して前記ラジアルエアベアリングに圧縮エアを供給する圧縮エア供給源とを具備し、前記スピンドルの非回転時に該スピンドルの中心が前記スピンドル挿入穴の中心に対して下方側へ３〜１０μｍ偏心し、前記スピンドルと前記内壁最下端との間の隙間が５〜３０μｍであることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ピストンとシリンダとが接触するおそれを低減すること。
【解決手段】スターリングエンジン１００の高温側シリンダ３０Ｈは、スリーブ３０ＨＲと、シリンダブロック３０ＨＢとで構成される。スリーブ３０ＨＲは、内部を高温側ピストン２０Ｈが往復運動する。そして、スリーブ３０ＨＲは、スターリングエンジン１００の作動流体を加熱するヒータ１０５に接続され、ヒータ１０５の熱が伝えられるように構成される。シリンダブロック３０ＨＢは、スリーブ３０ＨＲの外側に配置される。そして、スリーブ３０ＨＲとシリンダブロック３０ＨＢとの間には、所定の間隔が設けられて空気層が形成される。 （もっと読む）

【課題】シール隙間への加工液の浸入を抑制することができる、静圧気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】この静圧気体軸受スピンドルは、貫通孔２８の形成された回転軸１を備える。また、静圧気体軸受を介して回転軸１を回転可能に支持するハウジング２を備える。また、貫通孔２８の内部を減圧して、貫通孔２８の一方の端部が開口するワークチャック面３０にワークを吸着固定する、吸着機構を備える。カバー８には、貫通孔２８の内部の圧力を変化させるための気体が流通する、通気口２６が形成されている。回転軸１とハウジング７との間には、通気口２６と静圧気体軸受とを隔てるシール隙間が形成されている。また、通気口２６とシール隙間とが連通する通路に設けられており、貫通孔２８の内部を通気口２６側へ流れる液体のシール隙間への浸入を抑制する、液流抑制部をさらに備える。 （もっと読む）

【課題】移動部材と支持体との間が所定のクリアランスに保たれたスライド式半浮上案内装置を提供する。
【解決手段】スライド式半浮上案内装置は、移動部材１を案内する案内部２１が支持体２の移動方向に延在して形成され、移動部材１と案内部２１の上面２１ａとの間にノズルを介して潤滑油が供給されて、移動部材１が案内部２１に対して半浮上した状態で支持される。また、案内部２１には、下方に面した裏案内面２１ｂが摺動方向に延在して形成され、移動部材１に固定された裏板１２の対向面１２ａには、潤滑油供給装置から潤滑油がノズル６１を介して夫々供給される静圧ポケット１５が摺動方向に少なくとも３個並設され、少なくとも３個の静圧ポケット１５のうち、摺動方向の両端部に位置する静圧ポケット１５に発生する支持力が、他の静圧ポケット１５に発生する支持力よりも小さいことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】流体軸受け面の圧力分布を任意に調整し、浮上時の変形を抑制することを可能としたスライダーを実現する。
【解決手段】底面よりステージに向かって流体を噴出させて形成される流体軸受けを介して前記ステージ上を浮上して移動するスライダーにおいて、前記底面に形成された複数個の流体抜け穴と、前記流体抜け穴から流出する流体量を個別に調整する流体調整手段と、
を備える。 （もっと読む）

【課題】使用中の発熱による悪影響を抑制することが可能なスピンドル装置を提供する。
【解決手段】スピンドル装置は、主軸１と、軸受スリーブ３、４と、冷却スリーブ１５と、ハウジング２とを備える。軸受スリーブ３、４は主軸１の側面の一部に対向するように配置され、主軸１の側面の一部との間の間隙に気体を供給するための給気孔３ｂ、３ｃ、４ｃが形成されている。冷却スリーブ１５は、主軸１の側面において軸受スリーブ３、４と対向する領域以外の領域の少なくとも一部に対向するように配置される。ハウジング２は開口部を有し、当該開口部の内部に軸受スリーブ３、４、冷却スリーブ１５および主軸１を保持する。多孔質材料からなる冷却スリーブ１５には主軸１の側面に向けて冷却用気体を供給する冷却用気体供給孔として、内周側表面に複数の孔が形成される。主軸１において冷却スリーブ１５と対向する側面には、冷却溝部１ｂが形成されている。 （もっと読む）

【課題】（１）スライダ−ステージ間の圧力分布を制御することができるスライダ、（２）スライダの浮上量や姿勢を制御することができるスライダ、（３）気体軸受けの剛性を制御することができるスライダを実現する。
【解決手段】ステージ側の面に設けられた複数の気体噴出穴から気体を噴出し、前記ステージ上で浮上するスライダにおいて、前記気体噴出穴の面積を、設けられた位置によって変化させたことを特徴とするスライダ。 （もっと読む）

【課題】回転体をコンパクト化し、回転体の軽量化、慣性の低下などを可能とする、回転装置を提供する。
【解決手段】この回転装置は、中空円筒形状の突き出し部を含む回転ガントリ２を備える。また、圧縮気体の静圧によって回転ガントリ２を軸方向に支持する、複数のアキシアルパッド６を備える。また、突き出し部において、圧縮気体の静圧によって回転ガントリ２を半径方向に支持する、複数のラジアルパッド３を備える。 （もっと読む）

【課題】可動部が固定部に対して空気軸受で支持された軸受装置において、軸受装置全体の空間体積の増加を抑えることができ、かつ、既存の駆動機構を備えていない軸受装置に後付けによる設置が容易な駆動機構を有する軸受装置を提供すること。
【解決手段】長尺状の固定部２と、固定部２に沿って案内される可動部３とを備える。可動部３は、可動部３を固定部２に対して浮上させた状態で案内可能な空気軸受によって支持される。可動部３は、可動部３を駆動するモータユニット４を備え、モータユニット４は、モータと、モータの駆動力によって回転するとともに固定部２に接する車輪８とを有して構成される。従って、モータユニット４を備えることにより軸受装置１全体の空間体積の増加を抑えることができ、モータユニット４が可動部３に取り付けられているので、既存の軸受装置に対して後付で容易に取り付けることもできる。 （もっと読む）

【課題】コーティングロールが撓んだり、コーティングロールに重力方向以外の外力が加わったりしても、コーティングロールの回転軸心が変動することがなく、高い回転精度を実現する。
【解決手段】
ロール１４の回転軸２２を回転自在に支持する油圧式静圧軸受２６と、油圧式静圧軸受２６を支持すると共に、ロール１４の重力方向の撓みにのみ追従するように油圧式静圧軸受２６の傾動を許容するすべり軸受２７と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】ハウジングとパッド部材との間の剥離および接着剤の給気溝への入り込みを防止し、安定した軸受性能を得る静圧軸受パッドを提供する。
【解決手段】この静圧軸受パッドは、静圧軸受を形成する軸受面を含み内部に給気孔３が形成されているパッド部材１と、接着剤によってパッド部材１と接着されているハウジング２とを備える。パッド部材１に圧縮気体を供給するための給気溝４は、ハウジング２のパッド部材１に接着している面において、給気孔３の配置に対応するように形成されている。接着剤を介在させてハウジング２とパッド部材１とが接着している接着部１１、１２と、給気溝４との間には、接着剤逃げ溝７、８が形成されている。接着剤逃げ溝７、８は、ハウジング２のパッド部材１に接着している面において、給気溝４に沿って形成されている。 （もっと読む）

【課題】 回転軸から軸受に伝達させた振動を高温部から離れたところへ取り出し、減衰させる。
【解決手段】 回転軸９の外側に隙間が形成されるように嵌合させた浮動軸受１０と、浮動軸受１０の外側に隙間が形成されるように嵌合させた固定軸受１１を配置する。回転軸９と浮動軸受１０との間の第一の流体潤滑膜１２に加圧流体を供給する孔１５ａを有する振動伝達ロッド１５の内端側を上記浮動軸受１０に固定する。振動伝達ロッド１５の外端側を、固定軸受１１に設けた挿入用孔１６内を通して固定軸受１１の外へ取り出し、減衰素材１４で支持する。 （もっと読む）