【課題】流体膜上に支持される対象物が回転可能であり、球体形状に限定されないことを意図した支持アレンジメントを提供する。さらに、そのような対象物を支持するための方法を提供する。
【解決手段】本発明は、ディスク１を移動可能に支持または搭載する装置に関する。ディスク１が保持装置２内の流体膜７上で移動可能に支持され、対象物１がその静止位置から片寄った場合に流体膜７に関連して保持装置２内に配置された支持ディスク１および凹部５の構成によって、対象物１に戻り力が生じ得るように、保持装置２に流体供給部３を設ける。本発明はまた、対象物１を支持するための方法に関する。 （もっと読む）

【課題】事前に張力、またはロードをかけたガスベアリングを小さな寸法で実現する。
【解決手段】ガスベアリングを備えたリソグラフィ装置において、ガスベアリングは、第１ベアリング表面を画定する第１ベアリング部分と、第２ベアリング表面を画定する第２ベアリング部分とを有する。第１ベアリング表面と第２ベアリング表面の間にはギャップがある。ガス供給デバイスがギャップにガスを供給する。第１ベアリング部分は少なくとも部分的に強磁性であり、第２ベアリング部分は、ガスベアリングに事前に張力をかける第１ベアリング部分と相互作用する少なくとも１つの永久磁石を有する。 （もっと読む）

気体または空気軸受（２）のための軸受面（１１，１３）を製作する方法が説明される。方法は、少なくとも一つの軸受面領域を有するばらの軸受部分（３０，４４）を取得することと、少なくとも一つのガスポケット（３４，４０）を画成すべく、軸受面領域にコーティング（３２，４２）を設けることとを含む。少なくとも一つのガスポケット（３４，４０）は、コーティング（３２，４２）の厚さと実質的に等しい深さを有する。一例において、コーティング（３２，４２）の部分を除去してガスポケット（３４，４０）を形成するため、レーザー除去が用いられる。コーティング（３２，４２）は陽極酸化処理されたコーティングであってもよく、ばらの軸受部分（３０）はアルミニウムから形成されてもよい。この方法を用いて形成された空気軸受部品も説明される。
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【課題】適切な負荷容量および軸受剛性を確保し、円滑かつ高精度な相対運動を可能とする静圧軸受装置を低コストに提供する。
【解決手段】軸部材２の外周面２ａとの間にラジアル軸受隙間４を形成する軸受部材３に、加圧流体の流体圧で軸部材２の側に弾性変形可能な部分を有する電鋳部５を設けた。かかる構成によれば、流体圧を調整することにより、ラジアル軸受隙間４の幅を最適な負荷容量および軸受剛性を確保し得る隙間幅とすることができる。 （もっと読む）

【課題】長いストーク、高荷重に耐えられ精度保証期間が半永久的に確保できる非接触式シリンダ装置を提供。
【解決手段】ベース１１の略中央部には貫通孔１５ａを設けたシリンダロッド１５の一端部が該ベース１１に装着されたラジアルエア軸受１６により支持されている。シリンダロッド１５の他端部はシリンダチューブ２０に嵌挿される大径部１７の外周面にラジアルエア軸受１８が装着され、該ラジアルエア軸受１８はシリンダチューブ２０の内周面に係合する。シリンダロッド１５の貫通孔１５ａにはワイヤ２３が挿通され、一端部が大径部１７、他端部が該シリンダロッド１５の他端部に係合する継手部材２８に係着され、該継手部材２８が上下移動テーブル４３に固着されている。 （もっと読む）

本発明は、気体軸受が硬質層でコーティングされている真空ポンプ、及び、真空ポンプのそのような気体軸受の製造方法に関するものである。
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【課題】被加工物の検出感度を向上することのできる空気軸受スピンドルおよび空気軸受スピンドルの制御方法を提供する。
【解決手段】空気軸受スピンドル１は、中空部分６および１１を有するハウジング９と、中空部分６および１１に回転可能に配置される主軸５と、主軸５に固定され、軸方向の法線を有する主面を有するスラスト板７と、スラスト板７の軸方向の変位に関する情報を検知するセンサ４とを備えている。スラスト板７はハウジング９に対してスラスト空気軸受２１ａおよび２１ｂによって支持されており、かつ主軸５はハウジング９に対してラジアル空気軸受２２によって支持されている。スラスト空気軸受２１ａおよび２１ｂに導入する気体Ａ１の圧力と、ラジアル空気軸受２２に導入する気体Ａ２の圧力とを独立して制御可能であるようにハウジング９が構成されている。 （もっと読む）

ガイドレール（２）の上で静圧式に支承可能なガイドキャリッジ（１）を備える静圧プロファイルレールガイドにおいて、ガイドキャリッジ（１）は背部（９）と、ガイドレール（２）が間に配置された、背部（９）に連続する２つの脚部（１０）とを有しており、背部（９）はガイドレール（２）と反対を向いているほうの側にたとえば機械部品（１７）などを取り付けるための取付面（８）を有しており、取付面（８）はガイドレール（２）の長手方向で見て凹面状に湾曲している。
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【課題】ラジアル軸受と回転軸の隙間（軸受隙間）に加圧空気を導入してなるエアーベアリング機構において、ロータシャフト２の高速回転（毎分１６〜３５万回転）時の膨張の影響を軽減し、かつ低速回転（毎分３〜１０万回転）時のエアーベアリング剛性の低下を防止する。
【解決手段】ラジアル軸受３１，４１を円弧状に分割して弾性体をその分割した周方向にできた隙間に挟み込み、ラジアル軸受の外側に配した圧電素子５１，５２，５３，５４に電圧を印加して、前記軸受隙間寸法を電気的に制御する。 （もっと読む）

本発明は、液圧管路用の流れ調整弁（１１）であって、液圧媒体用の流出開口（１８ａ）と、液圧媒体用の流入開口（１８）と、液圧媒体の一定の容積流を圧力とは無関係に準備するための差圧調整器（１７）と、該差圧調整器（１７）の調整特性を調節するための調節部材（１５ａ）とが設けられている形式のものに関する。このような流れ調整弁において本発明の構成では、調節部材（１５ａ）が、液圧管路の外側に接近可能に設けられた、調節部材（１５ａ）を調節するための操作区分（２７）を有している。
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【課題】回転部の回転精度と対象物固定手段の性能とのいずれも低下させることなく回転部の軸方向の長さを短縮できる、静圧気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】この静圧気体軸受スピンドル１は、スラスト板４に設けた回転側通気路３２と固定部に設けた固定側通気路３０とを介して、通気口２９から対象物固定手段の間で、対象物固定手段において気体圧力を変化させるための気体を流通させる。一方の端部がスラスト板４のモータ側表面へ連結する回転側通気路３２をスラスト板４に設けるので、従来のような通気用スリーブを設ける必要がない。したがって、静圧気体ジャーナル軸受の軸方向長さを短縮することなく、従来の静圧気体軸受スピンドルに対し、回転部２の軸方向の長さを短縮することができる。 （もっと読む）

【課題】ベース部材に凹部が存在している場合でも、不測の挙動を示すことを抑制する。
【解決手段】第一部材の第一面１０Ａに形成された溝部１４の内側に設けられた第一流体吹出部１１と、溝部１４とは異なる第一面１０Ａ内の領域に設けられた第二流体吹出部２１Ａ、２１Ｂとを有する。 （もっと読む）

【課題】被加工物に対して圧力が加えられて加工が行われる加工装置において、信頼性が高く経済性に優れた機構によって加工時の圧力を計測できるようにする。
【解決手段】加工装置に搭載されるスピンドルユニット３０において、スラストベアリング３０５によって支持されるベアリングプレート３０９の第一のプレート面３０９ａまたは第二のプレート面３０９ｂとの間の間隔に対応した出力を行う間隔対応出力手段３１２、３１３を備え、第一のプレート面３０９ａまたは第二のプレート面３０９ｂとの間の間隔の変化を検知して回転軸に加わる荷重の変化を検出する。 （もっと読む）

【課題】スライダ装置の内部振動を抑制し、振動の少ない安定したスライダ装置を提供する。
【解決手段】第１の部材１０と、第１の部材１０を介して対向する部分を有し第１の部材に対して相対移動可能に配置された第２の部材２０と、第２の部材２０の第１の部材を介して対向する部分にそれぞれ設けられ第１の部材１０との間に空気による静圧を作用させて第１の部材１０を非接触で支持する空気静圧軸受３０Ａ〜３０Ｄとを備える。空気静圧軸受３０Ａは、第２の部材２０に固定的に配置される固定部３２Ａと、固定部３２Ａに対して第１の部材１０に向かう方向に進退自在に設けられ第１の部材１０に対して空気による静圧を供給する空気静圧部３３Ａを備える。さらに、空気静圧部３０Ａは、固定部３２Ａと空気静圧部３３Ａとの間にバネ部材３４Ａと、振動を減衰させる振動減衰部材３５Ａとを備える。 （もっと読む）

【課題】回転軸の振れ回り振動を効率的に減衰させることが可能で、かつ製造が容易な気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】気体軸受スピンドル１は、回転軸１０と、回転軸１０の外周面１１Ａの一部を取り囲む円筒状スリーブ貫通穴３３を有するスリーブ３０と、スリーブ３０を取り囲み、ゴム製のＯリング４１、４２を介してスリーブ３０を保持するハウジング２０とを備えている。スリーブ３０は、スリーブ貫通穴３３を有し、外周面の一部がスリーブ３０の外周面を成し、スリーブ貫通穴３３の内周面が回転軸１０の外周面に対向するように構成された非金属焼結体からなる軸受部３１と、スリーブ貫通穴３３の延びる方向における軸受部３１の両側の端部のそれぞれに嵌め込まれ、Ｏリング４１、４２を介してスリーブ３０をハウジング２０に対して保持する金属製の保持リング３２とを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】 本発明はモータのシャフトとスリーブとの間に羽根車収納室内の空気を導き、静圧軸受として常時高速回転が可能で、小型でも大風量で高圧の送風ができ、経済的で長寿命である送風機を得るにある。
【解決手段】 空気導入口と排出口が形成された羽根車収納室を有するケース体内に回転可能に取付けられた羽根車を、前記ケース体に固定されたシャフト、このシャフトに回転可能に取付けられ、前記羽根車が固定されたスリーブを備えるモータとからなる送風機において、前記モータのシャフト内に軸心方向に形成された密封の空気通路と、この空気通路と連通してシャフトの外周部へ空気を排出することができる多数個の排出通路と、前記空気通路内へ前記羽根車収納室内の空気を導く空気導入通路とからなる静圧軸受とで送風機を構成している。 （もっと読む）

【課題】 取り外し、取り付け、洗浄が容易な静圧水軸受直動スライドウエイの提供。
【解決手段】 一対のセラミック製レール２１ａ，２１ｂをセラミック製レールベース２３上面に平行離間して設け、これらのレール２１ａ，２１ｂ間に電磁石２４を前記レールベース２３上面に向けて設けたガイドウエイ２と、セラミック製ハニカム構造のキャリッジベース３１の底面に二対のセラミック製パッド３３ａ〜３３ｄを前記レール２１ａ，２１ｂの上方に位置するよう設けるとともに、その底面中央位置にモータコイル３４を設けるとともに、そのモーターコイル３４とガイドウエイ２に設けた一方のレール２１ａ間にキャリッジベース３１の底面より下方に伸び長手方向側面下部であってレール２１ａ，２１ｂの長手方向内側面に対向する位置に一対のセラミック製パッド３３ｅ，３３ｆを離間して設けたセラミック製キーパー３２を設けたスライドウエイ３とから構成される。 （もっと読む）

【課題】吸引力付与手段に異物が侵入・付着することを防止することが可能な直線案内軸受装置を提供する。
【解決手段】基台１上を案内方向に移動可能な可動体としてのテーブル３と、テーブル３を気体によって支持・案内する空気軸受部４と、テーブル３を基台１に対して吸引する吸引力付与部５と、を備え、吸引力付与部５に異物侵入防止用のカバー６を設けた。 （もっと読む）

【課題】
大気環境等で使用した場合や、異常事態が生じた場合でも、動作が阻害されることが抑制される直線案内を提供する。
【解決手段】
ガイドレール３の上面に異物が落下したような場合、ケース１５ａの下面に侵入しようとする異物を排気溝１５ｃで回収し、排気配管１５ｅを介して外部へと排出することができる。又、万が一排気溝１５ｃで異物が回収されなかった場合でも、供給溝１５ｂから吐出された空気によりエアカーテンを形成し、それ以上内部へと異物が侵入することを抑制できる。加えて、供給溝１５ｂから供給された気体の殆どは、排気溝１５ｃを介して吸引されるので、異物を外部に排出するのに都合が良く、更に供給溝１５ｂから供給された気体は、ケース１５ａから外部へと漏れ出ることが抑制され、例えば特殊ガスの環境下で用いられるような場合にも、かかる環境の破壊を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】 圧力溜りに起因する振動の発生がなく、軸部材の回転を高精度に維持することのできる静圧スラスト軸受装置を提供する。
【解決手段】 中心部に圧力溜りとなる凹部１ｃが形成された軸部材１の対向面（１ｘ）と、軸受部材２側の対向面（２ｘ）との間に、給気孔２ａから圧縮性流体を供給することにより、この軸部材１を非接触に支承する静圧スラスト軸受装置において、軸部材１に、前記凹部１ｃから外周面１ｙに向かって連通する複数の貫通穴１ｄを設ける。以上の構成により、本発明の静圧スラスト軸受装置は、圧力溜りの高圧に起因する自励振動の発生が防止され、軸部材１の回転を高精度に維持することが可能になる。 （もっと読む）