【課題】磁石による吸引力を利用する静圧案内装置において、軸受面積を広く確保することである。
【解決手段】静圧案内装置１０は、案内台１２と、移動台２０と、移動台２０に取り付けられた浮上量センサ３８と、制御部８０とを含む。移動台２０は、ヨーク３０と電磁石３２を含む磁気吸引部が埋めこまれる内側部と、内側部の側面と上面とを覆っている外殻部を有する。内側部は、ヨークと電磁石３２とを収納した後で、その周囲等の隙間空間が適当な強度を有する材料で充填され、外殻部と一体化され、移動面２２が一体として平坦化される。移動台２０の周囲には囲み溝２６が設けられ、ここに供給された加圧流体が案内台１２に向けて噴出する。 （もっと読む）

【課題】回転体とラジアル軸受パッドとの隙間調整を容易に行なうことができる静圧気体軸受を提供する。
【解決手段】この回転体を支持する静圧気体軸受は、回転体を半径方向に支持するラジアル軸受パッド３と、ラジアル軸受パッド３を移動させる直動案内１ｃと、直動案内１ｃに対してラジアル軸受パッド３を揺動可能に結合するボールスタッド４とを備える。直動案内１ｃがラジアル軸受パッド３を移動させる方向は、回転体の回転中心とボールスタッド４とを結ぶ方向に対して交差している。回転体の外周面２ｃとラジアル軸受パッド３との間の軸受隙間の変化量に対して、直動案内１ｃがラジアル軸受パッド３を移動させる移動調整量は大きいために、軸受隙間の微細な量の調整を精度よく行なうことができる。 （もっと読む）

【課題】 従来装置の固定絞りの径では、同一径に加工し、仕上げることが出来ず、滑り面Ａにある穴径との不一致や固定絞り長さＬの公差±０．１程度の変化により各ポケット圧Ｐ２が異なとなり超精密機械に使用されるテーブル等が傾いてしまうということがあり、これらを取除いた油静圧軸受に用いる固定絞り装置を提供する。
【解決手段】 油静圧軸受に用いる流体の流量を絞る固定絞り装置において、円筒状の固定絞り本体と、同固定絞り本体に設けた円筒状部を貫通する複数個の流体の流量絞り用細い貫通孔とを得て構成したことを特徴とする油静圧軸受に用いる固定絞り装置とした。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、「ピン＋ピストン」（ピン及びピストン）のシステムの固有共振が最小化される、垂直方向及び水平方向に有効なエアベアリングを提供することである。
【解決手段】 エアベアリングは、底部プレート、底部プレートに可動に配置されたインタフェース部、インタフェース部の内部に可動に配置されると共に、底部プレートに対して水平及び垂直方向に除振支持される荷重を支持するピストン、及びピストンを荷重と接続する結合要素を有する。結合要素は、好ましくはピンを有し、当該ピンは、ピストンと接続される、特にピストンに螺着される。 （もっと読む）

【課題】静圧スライド装置において、スライダの動作を良好に保ちつつ圧縮流体の消費効率を向上することができるようにする。
【解決手段】スライド方向に沿って複数の絞り開口を有するスライドガイド２と、複数の絞り開口のそれぞれに対して圧縮流体を供給可能な圧縮流体供給源８と、スライドガイド２に沿って移動可能に設けられたスライダ３と、圧縮流体供給源８から圧縮流体を供給する絞り開口をスライダ３の移動位置に応じて複数の絞り開口から選択する流路切替部６とを備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】 移動体及び固定体に対して直接接続される配管を無くし、軸受周辺の空間において配管引き回す必要がない静圧気体軸受を提供する。
【解決手段】 軸受が設置される定盤上に給気穴及び排気穴を設け、該給気穴、排気穴を通じて気体の給排気を行うことで、軸受に直接配管を接続する必要を無くす。 （もっと読む）

【課題】より簡単な構造を有し、作動操作やメンテナンスも簡単であると共に、各種検査による微調整にも対応できるエアフローティング機能を備えた車輌検査用エアフローティング装置を提供すること。
【解決手段】ベースプレートとこの上に配置されるエアフローティングテーブルとを含み、該フローティングテーブルが、その下部にテーブル支持手段を有しており、該テーブル支持手段が、該フローティングテーブルを上記ベースプレート上でフローティングさせるためのエアベアリング機能及び該テーブルを該ベースプレート上に固定させるための吸着機能を備えていることを特徴とする車輌検査用エアフローティング装置。 （もっと読む）

【課題】絶縁性弾性部材による環状空間のシールおよび回転軸の振れ回り振動の減衰の機能を十分に確保しつつ、軸受スリーブにおける電荷の蓄積を抑制し、放電による損傷の発生を抑制可能な静圧気体軸受スピンドル提供する。
【解決手段】静圧気体軸受スピンドル１は、回転軸１０と、回転軸１０の外周面を取り囲むように配置された軸受スリーブ２０と、軸受スリーブ２０を取り囲み、軸受スリーブ２０を支持するハウジング３０と、軸受スリーブ２０とハウジング３０との間に配置されたニトリルゴムからなるＯリング４１とを備えている。軸受スリーブ２０とハウジング３０との間には、弾性を有し、導電体からなることにより軸受スリーブ２０とハウジング３０とを電気的に接続する板ばね６１が配置されている。そして、板ばね６１の弾性率は、Ｏリング４１の弾性率よりも小さい。 （もっと読む）

【課題】弾性支持部による環状空間のシールおよび回転軸の振れ回り振動の減衰の機能を十分に確保しつつ、軸受スリーブにおける電荷の蓄積を抑制し、放電による損傷の発生を抑制可能な静圧気体軸受スピンドル提供する。
【解決手段】静圧気体軸受スピンドル１は、回転軸１０と、回転軸１０の外周面１０Ａを取り囲むように配置された軸受スリーブ２０と、軸受スリーブ２０を取り囲み、軸受スリーブ２０を支持するハウジング３０と、軸受スリーブ２０とハウジング３０との間に配置された弾性支持部４０とを備えている。そして、弾性支持部４０は、Ｏリング４１と、Ｏリング４１の表面に塗布された導電性を有する導電性グリース７１とを含むことにより、導電性を有している。 （もっと読む）

【課題】固定体上を浮上して案内される可動体を有するスライダであって、固定体を複数のセラミック焼結体で構成した場合、各セラミック焼結体の間が平滑で、変形しにくい構造とすることによって、可動体を高精度の位置で案内移動させることができるスライダを提供する。
【解決手段】複数のセラミック焼結体が連結して案内面を形成した固定体と、該固定体の案内面に沿って移動する可動体とを備え、前記案内面における各セラミック焼結体間に亘る連結部上の凹部には、シロキサン結合による網目構造を有したガラス質材が補充されているスライダとする。 （もっと読む）

【課題】ピストンとシリンダとの間に気体を供給して気体軸受を形成するピストン装置において、ピストンとシリンダとの接触をより確実に回避するとともに、前記気体軸受を形成するための気体の消費量を抑制すること。
【解決手段】スターリングエンジン１は、シリンダ１１と、シリンダ１１の内部で往復運動するピストン１０とを備える。ピストン１０は、ピストン頂部１０Ｔとピストン側部１０Ｓとピストン底部１０Ｂｏとで囲まれるピストン内空間１０ＩＮを備える。前記空間１０ＩＮには、ポンプ２５及び蓄圧タンク２４を介して空気Ｇが供給され、この空気Ｇは、ピストン１０とシリンダ１１との間に流出して気体軸受を形成する。そして、ピストン１０とシリンダ１１との間に介在する空気Ｇの圧力は、ピストン１０とシリンダ１１とが接触したか非接触であるかによって変更される。 （もっと読む）

エアベアリングアセンブリは、その中を通る複数の空気供給・真空ラインを有する上部、下部、および上部と下部との間に配置され、それらを間隔の置かれた関係に維持する複数のスペーサを備え、空気供給・真空孔の密度が、基板のためのエアベアリングを提供するのに十分に高いが、下部に対して上部の実質的に均一な平面度を維持するように、（ｉ）十分な数のスペーサが用いられる、および（ｉｉ）スペーサが十分に近接するように近くに配置される、ことのうちの少なくとも１つが成立するように十分に低い。
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【課題】可動リング式静圧軸受の静圧軸芯を軸受軸芯に一致させる軸合わせ方法と、前記軸合わせ方法を用いた可動リング式静圧軸受を提供する。
【解決手段】外軸受筒１に内蔵された可動リング４に対する外ポケット11と、静圧軸３に対する内ポケット21とを設け、外ポケット11に流体を供給して発生するリング支持圧により可動リング４を支持し、可動リング４と内軸受筒２との隙間であるリング形成経路47を通じて内ポケット21に流体を供給して発生する静圧軸支持圧により静圧軸３を支持する可動リング式静圧軸受において、可動リング４を半径方向に位置調整することにより静圧軸芯を軸受軸芯に一致させる可動リング式静圧軸受の軸合わせ方法と、これを用いた可動リング式静圧軸受である。 （もっと読む）

【課題】大量生産が可能で安価な静圧気体軸受を提供する。
【解決手段】上面に自成絞り形状又はオリフィス形状の複数の空気吹出口２ａを、下面に複数の空気吹出口と連通する給気溝２ｂを有する樹脂製軸受部材２と、樹脂製軸受部材の下面に給気溝を覆うように接合され、給気溝と連通する給気口３ａを有する基体３とを備える静圧気体軸受。樹脂製軸受部材を射出成形し、基体の構造も簡単で樹脂製軸受部材の下面に接合する。基体３側に給気溝３ｅを設けてもよい。樹脂製軸受部材と基体を、ポリフェニレンスルフィド樹脂又はガラス繊維、炭素繊維もしくは無機質充填材の少なくともいずれか１つによって強化した補強材入りポリフェニレンスルフィド樹脂で形成することができ、基体は金属製としてもよい。樹脂製軸受部材と基体とは、超音波接合、高周波誘導加熱による接合又は接着剤を介しての接合により接合することができる。 （もっと読む）

【課題】大量生産が可能で安価な静圧気体軸受を提供する。
【解決手段】貫通孔２ａが軸方向に伸びる筒状に形成され、貫通孔２ａの内面に複数の空気吹出口２ｂを、外面に複数の空気吹出口２ｂと連通する給気溝２ｃを有する樹脂製軸受部材２と、給気溝２ｃを覆うように樹脂製軸受部材２に接合され、外面に給気溝２ｃと連通する給気口３ｂを有する基体３とを備える静圧気体軸受。樹脂製軸受部材２を射出成形によって形成し、基体３の構造も簡単で、樹脂製軸受部材２を覆うように接合するだけで、静圧気体軸受１を組み立てることができる。基体３側に給気溝３ｄを設けてもよい。樹脂製軸受部材２及び基体３を円筒状とした場合には、樹脂製軸受部材２を、基体３の内径よりも大きい外径を有するようにして、樹脂製軸受部材２の外径を一時的に縮径するか、基体３の内径を一時的に拡径し、基体３の内側に挿設することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 流体のエネルギーによって回転させられるスピンドルの流出ポートを簡単に製造することができ、しかもスピンドルの回転性能を簡単に変更、調整することができるスピンドル装置を提供する。
【解決手段】 その中央内部に形成されて軸方向に伸びる流体流路２１と、流体流路２１に連通した流入ポート６と、流体流路２１に連通した流出ポート７とを有するスピンドル２と、流体流路２１に連通しスピンドル２を支持するスラスト静圧軸受４およびジャーナル静圧軸受５とを具備するスピンドル装置の、流出ポート７を、流体流路２１からスピンドル２の外周に連通する穿孔内に、曲がり形状の通路２６を有するプラグ部品２５を挿入して形成し、スピンドル２の流出ポート７を簡単に製造する。 （もっと読む）

【課題】高強度で、大量生産が可能で安価な静圧気体軸受を提供する。
【解決手段】自成絞り形状又はオリフィス形状の複数の空気吹出口２ａと、給気口２ｂとを有する樹脂製基体２と、複数の空気吹出口２ａ及び給気口２ｂと連通し、樹脂製基体２の内部に一体成形された金属製給気管３とを備える静圧気体軸受１。樹脂製基体２の内部に金属製給気管３をインサート成形した後、空気吹出口２ａ及び給気口２ｂをドリルによって穿設することで簡単に静圧気体軸受１を製造することができる。金属製給気管３を樹脂製基体２の空気吹出面と略々平行に延設することで平面静圧気体軸受を提供することができる。樹脂製基体２は、ポリフェニレンスルフィド樹脂、又は、ガラス繊維、炭素繊維もしくは無機質充填材の少なくともいずれか１つによって強化した補強材入りポリフェニレンスルフィド樹脂を用いることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】負荷電流値や荷重センサによらない加工手段の負荷検出を可能として加工手段の送り動作を確実かつ安定して行うことができる加工装置を提供する。
【解決手段】加工ユニット３０の送り動作で変化するエアベアリングスピンドルのスラスト方向あるいはラジアル方向のギャップ量を、該ギャップに生じるエア圧力の変化で認識し、加工ユニット３０の送り動作を安全に制御する。 （もっと読む）

【課題】軸が頑丈で保守の乏しく簡単な形式に軸ケーシングに支承されているターボ機械を提供すること。
【解決手段】ターボ機械の、軸３を軸方向と半径方向に支承する軸受８は静液圧ガス混合された軸受８として形成され、軸３は静液圧ガス混合された軸受８によって、軸受作用が軸３の回転速度と無関係に或いは少なくとも大幅に無関係であって、それによりターボ機械１の始動中にも軸３の十分な支持と回転数と無関係に大きな剛性と圧力衝撃負荷に対する僅かな抵抗力不足が保証されるように支承されていて、圧縮ガス導管１０における接続部９の圧力が通気接続部１４の領域内の圧力より少なくとも５バールより大きい。 （もっと読む）

【課題】回転軸の撓みを減少させることができて大形のガラス基板等の板状物を搬送することができ、しかも、回転軸を回転させるための駆動力の増大を生じさせない板状物の搬送装置の回転軸支持用の静圧気体軸受を提供すること。
【解決手段】静圧気体軸受１は、回転軸６の円筒状外周面５に対して隙間９をもって対面する半割円筒状受面１０を有した半割円柱状の軸受本体１１と、半割円筒状受面１０に形成された複数の気体噴出口４１を有していると共に回転軸６の円筒状外周面５と半割円筒状受面１０との隙間９に複数の気体噴出口４１から気体を供給する気体供給手段１３と、相互に滑動自在に接している凸球面１４及び凹球面１５を有しており、凸球面１４及び凹球面１５の相互の滑動により軸受本体１１を揺動自在に支持する軸受支持体１６とを具備している。 （もっと読む）