【課題】 取り外し、取り付け、洗浄が容易なスライドウエイの提供。
【解決手段】 断面正方形または長方形状のセラミック製杆状ガイドウエイ２の下方面を断面Ｖ字型の支持台４上に制振パッド５を介して載せ、この杆状ガイドウエイの上面の逆Ｖ字型平面上に、下面断面が略Ｖ字型であって、この略Ｖ字型底面を構成する一辺に一対のセラミック製静圧パッド７ａ，７ｂが設けられるとともに、この略Ｖ字型底面を構成する他辺にセラミック製静圧パッド７ｃが設けられ、これらセラミック製静圧パッドに水供給ポット８１が設けられたスライドウエイ３を滑走自在に載せた構造の水静圧直動スライドウエイシステム１。 （もっと読む）

【課題】剛性、精度の高く、例えばナノオーダの位置決めも可能な静圧継手を提供。
【解決手段】移動テーブル１００側に第一又は第二部材４，５，６の一方、送り装置２に他方を設け、第一部材の両面に第一及び第二の受け面１１，１２を設け、第二部材に微少隙間をもって第一、二の受面にそれぞれ対向する第三、四の受け面１３，１４を設け、第一、第三の受け面間で絞り２０による静圧軸受を構成し、第二の受け面に遠近する開口面を有する静圧素子３０を第四の受け面側に設け制御可能な静圧軸受１５とし、第二、四の受け面間距離ｈを測定する測定器の出力信号と設定器の設定信号とを比較し、設定信号より出力信号が大きいときは第二の受け面に開口面３３が近づき、設定信号より出力信号が小さいときは開口面が離れるように制御し、第二、四の受け面の距離を制御する静圧継手１とする。 （もっと読む）

【課題】 軽合金からなるスラスト軸受部と鉄系合金からなるジャーナル軸受部とを有する回転軸を備え、かつ当該回転軸において、製造コストを低減しつつ、外径を大きくすることなく十分な内径を確保可能とした静圧気体軸受スピンドル装置を提供する。
【解決手段】 静圧気体軸受スピンドル装置１は、回転軸１０と、回転軸１０を取り囲むハウジング２０とを備えている。回転軸１０は、円柱状のジャーナル軸受部１１と、ジャーナル軸受部１１の端面に接合された円盤状のスラスト板部１２とを含んでいる。ジャーナル軸受部１１は、鉄系合金からなり、スラスト板部１２は、軽合金からなっている。ジャーナル軸受部１１と、スラスト板部１２とは、摩擦圧接により一体に接合されている。 （もっと読む）

【課題】ペイロードを支持する空気軸受けを開示する。
【解決手段】空気軸受け１００は、揚力部分１１２と予荷重部分１１４に分割された活性表面１１０を有する軸受け本体１０２を有する。複数の気体分配流路が軸受け本体に形成され、第１流路１５０は圧縮気体を受け取り、第２流路１３０は活性表面１１０の予荷重部分に真空を供給し、第３流路１４０は活性表面１１０の揚力部分に正圧気体を供給する。軸受け本体１０２は、第１流路１５０に結合された入口、第２流路１３０と結合された真空開口、および排出部を有する空気を動力とする一体の真空発生装置を有する。圧縮気体は、一体真空発生装置との並列、直列、または直列並列構成で活性表面１１０の揚力部分１１２に供給される。ある実施形態では、空気軸受け１００は再構成可能である。 （もっと読む）

【課題】 加工液などの軸受すき間およびシールすき間への侵入を抑制するとともに、排気手段への加工液などの吸入をも抑制した静圧気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】 静圧気体軸受スピンドル１は、両端面に開口を有する貫通路１２が形成された中空の回転軸１０と、回転軸１０の側面１０Ｃおよび一方の端面１０Ａを取り囲むハウジング２０とを備えている。ハウジング２０には、回転軸１０の一方の端面１０Ａが露出する排気室１３が形成されている。ハウジング２０には、一端において排気室１３に排気室側開口を有し、他端においてハウジング２０の外壁に外壁側開口を有する排気路１４が形成されている。排気路１４は、排気室１３の内部を減圧するための排気手段に連結されている。 （もっと読む）

【課題】 スライドテーブルとガイドレールとの間のクリアランスを狭めたエアスライドおよびその組立方法を提供する。
【解決手段】 上板部２１と下板部２２ａ，２２ｂと側板部２３ａ，２３ｂからなるスライドテーブル１１を、ガイド部２５を有するガイドレール１２に対して一定のクリアランスで取り付けたエアスライド１０は、上板部２１と下板部２２ａと側板部２３ａを連結して略コの字型とし、側板部２３ａを下にしてその凹みにガイド部２５を挿入し、次いで上板部２１に下板部２２ｂと側板部２３ｂを微少可動に仮固定し、続いて側板部２３ｂに圧電アクチュエータ５１を備えた間隙調整用治具５０を取り付け、圧電アクチュエータ５１を３〜１０μｍ伸張させて下板部２２ｂと側板部２３ｂを上板部２１に対して強固に固定し、その後、圧電アクチュエータ５１の駆動を解除して間隙調整用治具５０を取り外して、組み立てる。 （もっと読む）

【課題】 運転が終了した後においても静圧気体軸受への加工液などの異物の侵入を防止可能な静圧気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】 静圧気体軸受スピンドル１は、静圧気体ジャーナル軸受３１および静圧気体スラスト軸受３２と静圧気体軸受スピンドル１の外部とを連通する連通路７０と、静圧気体ジャーナル軸受３１および静圧気体スラスト軸受３２への異物の流入を防止するために連通路７０にシール用気体を供給するためのシール用気体供給部５０と、連通路７０とシール用気体供給部５０とを繋ぐシール用気体流路５１とを含んでいる。連通路７０には、シール用気体流路５１との連結部である第１の連結部と連通路７０における静圧気体軸受スピンドル１の外部への開口である連通路開口との間に液溜め部が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 加工性およびガスシール性を向上させた気体軸受構造と、該構造を備えたスターリング機関およびスターリング冷却庫とを提供する。
【解決手段】 気体軸受構造は、シリンダ内で往復運動するピストン１４を支持する気体軸受構造であって、ピストン１４の外周面１４１にピストン１４の周方向に沿って断続的に形成された溝部の底面１４３Ａからピストン１４の内部空間１４７に達する噴出孔１４４を通じて内部空間１４７からシリンダの内周面に向かってガスを噴出する「ガス噴出機構」を備え、ピストン１４の周方向において、溝部の底面１４３Ａがピストン１４の外周面１４１に達するように該溝部が形成されている。 （もっと読む）

【課題】移動体を空気静圧軸受を介して固定体に支持してなる空気静圧軸受装置に関し、移動体に生じる振動を容易，確実に減衰する。
【解決手段】移動体３１を空気静圧軸受５３を介して固定体３３に支持してなる空気静圧軸受装置５１において、前記移動体３１と固定体３３との相対速度の増大に伴い前記移動体３１に対する抵抗力を増大させる抵抗手段５５を有する。また、移動体３１を空気静圧軸受５３を介して固定体に支持してなる空気静圧軸受装置５１において、前記移動体３１に、前記移動体３１から突出するフィン部５９を形成して前記抵抗手段５５を構成する。 （もっと読む）

【課題】摺動抵抗が小さく且つ耐久性の高い開閉弁を提供すること。
【解決手段】高圧の作動流体が流れる高圧作動流体流路２と当該作動流体が導入される作動流体動作室３とを連通又は遮断させる筒状の弁体５と、この弁体５の周壁部５ｂとの間に微小隙間ｇを形成し且つ当該弁体５を軸線方向に案内する筒状のガイド部６ａとを備え、弁体５の内方に高圧作動流体流路２よりも相対的に低圧となる蓄圧室１０を設け且つ弁体５に蓄圧室１０と作動流体動作室３との連通路１３を設け、周壁部５ｂをガイド部６ａの外周面側に配置した場合、前記高圧の作動流体を微小隙間ｇへと供給する高圧作動流体供給通路９を周壁部５ｂに設け且つ微小隙間ｇの高圧の作動流体を蓄圧室１０へと流入させる圧抜き通路１１をガイド部６ａに設け、周壁部５ｂをガイド部６ａの内周面側に配置した場合、高圧作動流体供給通路９をガイド部６ａに設け且つ圧抜き通路１１を周壁部５ｂに設けること。 （もっと読む）

【課題】 高精度浮上部においてワークの高精度な浮上を安定して維持すること。
【解決手段】 もともと浮上精度が高い浮上吸引混合部５にレーザ変位計を設けて実際の浮上量を検出し、それに基づいてガラス基板Ｇの浮上量をフィードバック制御する。これにより、ガラス基板Ｇは規定の浮上量に自動制御されることになり、浮上精度をより高精度とすることができる。これにより、周囲の環境、ワークの形状、大きさ、重量等が変化した場合でもそれに対応でき、高精度な浮上を安定して維持できる。 （もっと読む）

【課題】 負荷能力が大きく、回転軸の先端部の伸びの少ない高精度の静圧軸受スピンドルを提供すること。
【解決手段】 一対のスラスト軸受５，６は、ハウジング鍔部８より後方側（反負荷側）であって、一対のラジアル軸受３，４より後方側（反負荷側）に配置してある。さらに、スラスト軸受５，６は、回転軸１に形成した回転軸鍔部１ｂの両サイドで軸方向の荷重を支持する構造となっている。さらに、好適には、ハウジング２の材質の熱膨張係数は、回転軸１の材質の熱膨張係数より、大きく設定してある。 （もっと読む）

【課題】 高精度浮上部における浮上に変化があった場合でも、それに対応することのできる非接触支持装置を提供する。
【解決手段】 浮上吸引混合部５に浮上量を非接触で検出するレーザ変位計を含む検出用ブロック３６を設けて、実際の浮上量を把握するようにした。これを利用すれば、作業精度の向上や、より高精度な浮上の実現に寄与できる。その結果、周囲の環境、ワークＧの形状、大きさ、重量等が変化した場合でも、その変化に対応することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い固定絞りユニット及び静圧案内装置を提供する。
【解決手段】固定絞りユニットは、頭部ブロック（１１）と、本体ブロック（１２）とを備えている。ここで、頭部ブロック（１１）は、頭部ブロック平面（１１Ｂ）と、頭部ブロック平面（１１Ｂ）に開口している頭部ブロック貫通孔（１１Ｊ）とを有している。本体ブロック（１２）は、本体ブロック平面（１２Ｃ）と、本体ブロック平面（１２Ｃ）に開口している溝（１２Ｇ）と、溝（１２Ｇ）の底部に開口している本体ブロック貫通孔（１２Ｊ）とを有している。そして、頭部ブロック（１１）と、本体ブロック（１２）とは、頭部ブロック平面（１１Ｂ）と本体ブロック平面（１２Ｃ）とを対向させて接合し、溝（１２Ｇ）と頭部ブロック平面（１１Ｂ）とによって絞り流路が形成される。 静圧案内装置は、固定絞りユニットを具備する。 （もっと読む）

【課題】 直動軸受の性能低下や動作不安定、動作不能等を防止する防塵構造。
【解決手段】 直動軸のガイド面１１（または１２）に対向するスライダ２０の有効軸受面２１の適所に軸受用流体噴出口２２、２３が設けられ、スライダ２０を浮揚させる流体軸受が構成される。異物パージ用流体噴出口２４、２５がスライダ２０の前後端下部に設けられ、各ガイド面１１、１２の露出している部分に噴流が吹き付けられ、異物が軸受面間の間隙に入り込むことが回避される。その結果、直動軸受の性能低下や動作不安定、動作不能等が防止される。異物パージ用流体の噴出方向の調整、流体の種類の切替を行っても良い。異物パージ用流体噴出口２４、２５の近傍に吸引口を設け、異物を吸い込んで回収するようにしても良い。 （もっと読む）

【課題】ピストン駆動機構の静圧気体軸受において、径方向の衝撃に対する軸受摺動面の損傷を防止することである。
【解決手段】ピストン駆動機構はピストンロッド１２と、シリンダの機能を有するハウジングを有し、ハウジング２０の前後エンドプレートはピストンロッド１２の前後端を軸方向移動自在に支持し、そこに静圧気体軸受１００が設けられる。静圧気体軸受１００のところにおいて、ピストンロッド１２の表面と、例えば後エンドプレート２６の内壁にはそれぞれ潤滑層が塗布される。すなわち静圧気体軸受１００が作動するとき、ピストンロッド１２と、後エンドプレート２６との間の隙間部分は、後エンドプレート２６側の潤滑層１０２，１０４、ピストンロッド１２側の潤滑層１０６、及び浮上のための気体層５９によって構成される。これらの潤滑層は衝撃等のバッファとして働く。 （もっと読む）

【課題】 流体軸受の負荷容量を簡単な構成により増加させ、軸受損失を減少する。
【解決手段】片側の一部に切り欠き部を設けることにより、回転時に非対称負荷を与える非対称シャフトを軸支するラジアル流体軸受において、前記非対称負荷を与える切り欠き部を前記流体軸受の軸受面内にも設け、切り欠きを設けない負荷側の軸受面より切り欠きを設ける反負荷側の軸受面を狭く形成する。その際、前記切り欠きが、流体軸受の側方から該流体軸受の軸受面内に延長して形成し、或いは前記切り欠きは、流体軸受の中間部に形成する。この非対称流体軸受は、精密制御定常震源に用いる。 （もっと読む）

【課題】 移動体及び固定体に対して直接接続される配管を無くし、軸受周辺の空間において配管引き回す必要がない静圧気体軸受を提供する。
【解決手段】 軸受が設置される定盤上に給気穴及び排気穴を設け、該給気穴、排気穴を通じて気体の給排気を行うことで、軸受に直接配管を接続する必要を無くす。 （もっと読む）

一方の部品はスピンドルシャフトからなり、他方の部品は軸受面を有し且つ気体を軸受ギャップへ導くことができる材料からなる相対的に回転する２つの部品を有する気体軸受に対して、上記軸受面にガスを導く孔を形成する方法であって、（ａ）上記軸受面に向けて照射される高エネルギビームにより、経験から計算された最終的な数の孔よりも少ない所定数の第１の孔を上記軸受面に形成して上記軸受面の上記第１の孔を通る一次的な空気の流れを形成し、（ｂ）上記予備的な空気の流れを計測し、（ｃ）上記計測された空気の流れに基づいて、所望の必要な空気の流れを得るために形成すべき追加の第２の孔の必要な正確な数を計算し、（ｄ）上記計算された数の追加の第２の孔を上記軸受面に形成することを特徴とする。
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【課題】ピストンの運動方向が重力の作用方向に交差する場合に、ピストンが運動を開始した後、速やかにピストンをシリンダから浮き上がらせること。
【解決手段】このピストン機関は、シリンダ２２内を往復運動し、かつ、その運動方向が鉛直方向に対して直交するとともに、ピストン本体２１１の内部に蓄圧室２１２が形成されるピストン２１を備える。蓄圧室２１２とシリンダ２２内とは、流体導入部２１４によって連通されており、シリンダ２２内の作動流体が蓄圧室２１２に導入される。そして、ピストン２１の側周部２１１ａ₁、２１１ａ₂には、蓄圧室２１２に取り込まれた前記気体を、ピストン２１の側面とシリンダ２２との間に噴出する複数の給気孔２１６、２１７が設けられている。この給気孔２１６、２１７は、鉛直方向上側ＵＳよりも鉛直方向下側ＬＳの方が多く配置される。 （もっと読む）