【課題】スピンドル回転数の回転数の標準域（10000rpm〜60000rpm）と共に、高速域（例えば70000rpm〜100000rpm）においてもスピンドルの上下運動を抑制し、スピンドルのカジリ現象を防止することができるスピンドルアセンブリを提供する。
【解決手段】スピンドル（４８）を低速で回転させる際には、スピンドル（４８）の非回転時にスピンドル（４８）の軸心がベアリングシャフトの中心に対して偏心量Ｘμmで下方に偏心するように圧縮エアが供給され、スピンドル（４８）を所定の回転数を越える高速で回転させる際には、スピンドル（４８）の非回転時にスピンドル（４８）の中心がベアリングシャフトの中心に対して偏心量Ｘμmよりも大きい偏心量Ｙμmで下方に偏心するように、スピンドルアセンブリの複数のエア噴射領域から圧縮エアが噴出される。 （もっと読む）

【課題】ラジアル軸受面への供給圧力を高めることができ、排気性能を向上できる静圧気体軸受装置を提供する。
【解決手段】静圧気体軸受装置１０は、ラジアル軸受面１３Ａ、１３Ｂとスラスト軸受面１３Ｃとラジアル軸受用給気孔１４Ａ、１４Ｂとスラスト軸受用給気孔１４Ｃと中間排気孔１５Ｂとを有する軸受ブロック１１と、軸受隙間に加圧気体を供給する気体供給装置２３と、中間排気孔１５Ｂから気体を吸引する排気装置２４とを備える。 （もっと読む）

【課題】軸受溝の深さのばらつきのない流体軸受およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】主ガイド部材３３には流体を流体軸受面３４に供給するための孔に、両端が開口している筒状部材３２が挿入されている。流体噴出口３０から加圧流体が流体軸受面に流出する。流体噴出口３０を含む近傍領域は軸受溝３１が形成されている。主ガイド部材３３と筒状部材３２は異種材料が用いられる。主ガイド部材３３と筒状部材３２の表面は陽極酸化処理がなされて薄膜が形成された構造となっている。主ガイド部材３３と筒状部材３２とが異種材料であることから、陽極酸化処理を行った場合、表面に形成される薄膜の膜厚が異なって形成される。陽極酸化処理により膜成長が速い材料をガイド部材１１に選択し、ガイド部材１１より遅い材料を筒状部材３２に選択する。 （もっと読む）

【課題】高速回転時における安定性を確保できるとともにスピンドルの湾曲に対してスピンドルの損傷等をより低減することができる軸受装置を提供する。
【解決手段】所定の回転軸ＴＺ回りに回転する回転部材１１と、回転部材１１のスピンドル１２を収容して支持している軸受本体部２０と、を備え、軸受本体部２０の内壁における少なくとも一部の周回面には軸受油が充填されて流体軸受にてスピンドル１２を回転自在に支持する静圧ポケット２１が形成されて、静圧ポケット２１への軸受油の流路２２が設けられている軸受装置１であって、軸受本体部２０には外輪３１と内輪３３を有するベアリング３０が収容されており、外輪３１は軸受本体部２０の内壁に固定されている。そして、内輪３３とスピンドル１２との間には所定幅の間隙Ｄが設けられており、間隙Ｄには静圧ポケット２１から流出した軸受油が充填されている。 （もっと読む）

内部に軸穴（１０４）を有するハウジング（１０２）内に加圧可能な軸方向に延びるチャンバ（１１０）を有する気体軸受（１００）。そして、軸方向に延びるチャンバ（１１０）は、レーザ切削された複数の細孔（１１８）を経由して穴として規定される軸受表面（１０８）との流体の流通に供される。軸受表面（１０８）におけるレーザ切削された個々の細孔の端部（１２２）は、細孔の幅の最も狭い部分が軸受表面（１０８）よりも後方に配置されるようにすそ広がりに形成されている。この形状は、軸受すきまではなく細孔の中に圧力制限が発生せざるを得ないようにするので、軸受（１００）の負荷を支える機能が、軸が偏心を起こしている最中に確実に損われないようにすることが可能である。軸受表面は、軸に対して、軸方向および／または半径方向に向き合っていてもよい。軸方向のチャンバは、ハウジングの外側の円周部分が切れ目がなく、したがって他の目的にも使用可能であるように、軸方向に加圧可能であればよい。
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【課題】面精度の悪い接合面を有するハウジングを互いに組み付けても、使用給気圧力に対して自励振動発生圧力を十分高く保つことができる静圧気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】静圧気体軸受スピンドルは、回転軸１と、回転軸１を回転可能に支持するための軸受用気体が供給される軸受隙間５をはさんで、回転軸１の外周面を取り囲む固定部２０とを備えている。固定部２０はハウジング２およびシート４１，４２を含んでいる。ハウジング２は、複数の部材２１、２２、２３から構成されており、かつ複数の部材２１、２２、２３間の少なくとも１つの接合部にハウジング２より変形しやすい特性を有するシート４１，４２を介して複数の部材２１、２２、２３が結合されている。 （もっと読む）

【解決手段】ガス軸受スピンドルのためのガス軸受アセンブリ（１）である。ガス軸受アセンブリ（１）は、ハウジング部（１１）と、ハウジング部（１１）内に設けられ、ハウジング部（１１）に対して弾性的に取り付けられた内側ラジアル軸受部（１０）と、を備える。内側ラジアル軸受部１０は、軸受面を有する内殻軸受部（１２）と、内殻軸受部（１２）とハウジング部（１１）との間に設けられた中間スリーブ部（１４）と、を含む。内側軸受殻部（１２）と中間スリーブ部（１４）との間に液体冷却チャネル（７）が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 高精度の動圧発生楔部を簡易に形成できる流体軸受装置の軸受部材の製法等を提供する。
【解決手段】 基材１０Ａの内周面１０ａに溝を複数形成して静圧発生溝部１１を周方向に複数形成すると共に、静圧発生溝部で囲まれた動圧発生部１２に楔状の軸受隙間１６を形成するために、静圧発生溝部に対応する基材の外周面１０ｂに溝を複数形成して軸受隙間形成用溝部１４を形成する。そして、静圧発生溝部と軸受隙間形成用溝部との間の最薄肉部分１５ａが塑性変形する圧力を基材の内周面に加えて軸受隙間を形成する。これにより、動圧発生部の変位量を測定管理しながら基材内周面への加圧力を調整管理して楔状の軸受隙間を形成することができるため、従来の内径研削加工による場合と比較して高精度の楔状の軸受隙間を簡易に形成でき、製造効率を大幅に向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】非接触型のエアーシリンダにおいて、ピストンがシリンダに接触せずに摺動できるエアーシリンダを提供する。
【解決手段】ピストン１４の外周部に複数に吹き出し孔３２を設け、この吹き出し孔３２から、加圧室に送り込まれた加圧空気を吹き出し、シリンダ１２の内周面とピストン１４の外周面とを非接触状態にする。 （もっと読む）

【課題】搬送部品の汚染を防止し、加工作業や組立作業を容易にし、製造コストの低減化を図る。
【解決手段】駆動用エアによりシリンダ１１の内部を移動体１２が往復動するエアスライド装置１０であって、シリンダ１１と移動体１２の間に所定の隙間を確保するようにベアリング部２８が周方向に沿って複数形成されており、各ベアリング部２８にエアベアリング用エアを供給することにより移動体１２がシリンダ１１の内面に非接触状態でシリンダ１１の内部を往復動するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】高い荷重能力およびダンピングを有するガス軸受を提供する。
【解決手段】追従性ハイブリッドガスジャーナル軸受（１０）のダンパーブリッジ（３６）は、ダンパーブリッジ（３６）の各々の側にダンパー空洞（４２）を形成するための、軸受パッド（１２）および外側リム（３４）の軸方向長さ（４０）より短い軸方向長さ（３８）を有する。一体式ワイヤメッシュダンパー（６２）がダンパーブリッジ（３６）の各々の側のダンパー空洞（４２）内に位置する。一体式復心ばね（４６、４８）が、軸受パッド（１２）に半径方向および回転の追従性を与えるように、内側リム（３２）と外側リム（３４）の間に配置される。このオイルフリー軸受設計は、ロータ形状の変化に対する追従性を保持しながら、今日追従性エーロフォイル軸受設計に固有の低いダンピングおよび低い荷重能力特性に対処する。 （もっと読む）

【課題】支持する被支持体の質量の変化に応じて静圧を制御することにより、被支持体の質量に関わらず安定に支持する静圧軸受パッドを提供する。
【解決手段】静圧軸受パッド１１０において、第１の給気溝５１および第２の給気溝５２とは互いに独立しており、互いに不連続となっている。軸受面２１に供給するための加圧気体は、第１の給気溝５１については加圧気体供給部としての第１の給気管４１から、そして第２の給気溝５２については加圧気体供給部としての第２の給気管４２から、互いに独立に供給される。 （もっと読む）

【課題】基板検査装置及び基板検査方法において、基板のライン検査の精度を向上させる。
【解決手段】フラットパネルディスプレイ用の基板（１０）が載置されるステージ部（２）と、このステージ部（２）上の基板（１０）をライン状に検査する検査部と、この検査部により検査される基板（１０）のライン状検査領域Ｒの長手方向に亘って基板（１０）の高さ位置を計測する計測部３と、この計測部３により計測された高さ位置に基づいて基板（１０）の高さ位置を制御する制御部と、を備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】 補足的な重りを必要としない高度に予圧された静圧気体装置であって、単純な設計によって、特に電子ビームリソグラフィー用に予圧が設けられ、電子ビーム上にいかなる負の影響も与えない、静圧気体軸受装置をもたらすことである。
【解決手段】 提案した、特に真空環境内において基部構造体上の装置を動かすための静圧気体軸受装置は、荷重負担区域と吸引領域を有する軸受本体を備えて構成される少なくとも一つの静圧軸受要素を有している。少なくとも一つの電極を有する静電予圧ユニットは少なくとも一つの静圧気体軸受要素と関連付けられ、且つ、静圧軸受要素の軸受本体の垂直面方向に力要素が生じるように電圧が加えられ得る、静圧気体軸受装置によって解決される。 （もっと読む）

【課題】静止安定性を有する位置決め装置。
【解決手段】スライド装置１００は、ガイドレール１０６と、前記ガイドレール１０６に沿って移動するスライダ１０８と、前記スライダ１０８を前記ガイドレール１０６に対して空圧により浮かせて支持する浮遊支持状態と、前記スライダ１０８を前記ガイドレール１０６に対して空圧により圧接させて支持する圧接支持状態とに切り替え可能なエアベアリング１１０と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】エネルギーの利用効率を高めることができると共に、搬送部品の汚染を防止し、外側移動体の取り付け位置の調整作業を簡素化する。
【解決手段】本発明は、シリンダ１１の内部に給排される駆動用エアにより往復動する内側移動体１４と、内側移動体１４との間で作用する磁石３２，３７ａ，３７ｂの吸引力により内側移動体１４と共に往復動する外側移動体１６と、外側移動体１６の両端部においてシリンダ１１の外周面に覆設される蛇腹１８と、シリンダ１１の外周面と外側移動体１６との間の隙間１５に浮上用エアを供給する浮上用エア供給設備１９と、浮上用エア供給設備１９によって隙間１５に供給された浮上用エアをシリンダ１１の外周面と蛇腹１８との間のエア流路１７を介してタンク２０に戻す浮上用エア回収設備２１とを備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】装置寸法を拡大することなく、Ｚテーブルが搭載されたベースプレートの定盤の基準平面からの浮上量が圧縮空気の圧力変動やベースプレートに作用する外力等の外乱の影響により変化することを防止する。
【解決手段】三次元位置決め装置１０では、複数個のコイルスプリング１５０が、静圧パッド１３０を通して供給される圧縮空気によりガイドプレート７８に生じる浮上力よりも、小さい反浮上力Ｆによりガイドプレート７８を定盤１２の基準平面１４側へ付勢する。これにより、反浮上力Ｆがガイドプレート７８に作用しない場合と比較して、定盤１２の基準平面１４からのガイドプレート７８の浮上量Ｒを反浮上力Ｆの大きさに応じて減少させると共に、ガイドプレート７８と基準平面１４との間に形成された空気層（空気軸受）をＺ軸方向に沿って圧縮し、この空気軸受のＺ軸方向に沿った剛性を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】より高い回転精度、回転摩擦の低減、回転速度の向上を図り得るロール装置を提供することにある。
【解決手段】ロール装置１は、中空のロール体２と、ロール体２の中空部に隙間３をもって挿通されている軸体４と、ロール体２の両端部５及び６に夫々配されていると共にロール体２と軸体４との間に夫々介在されている一対の静圧気体軸受７及び８とを具備しており、静圧気体軸受７は、ラジアル軸受面３２並びにスラスト軸受面３５及び４０を有しており、静圧気体軸受８は、ラジアル軸受面９２を有している。 （もっと読む）

【課題】流体を殆ど消費せず、優れた体積効率を呈し、比較的コンパクトで、ロータを所定位置に保持する界面での摩耗がなく長寿命で、高速での作動に適したターボマシンを提供する。
【解決手段】ロータが半径方向所定位置にあることを確保する半径方向位置決め手段（４０、４２；２４０、２４２；３４０、３４２）と、高速時にロータ（１０Ｒ、１１０Ｒ）の軸線方向バランスをとるための、少なくとも１つのブレード形ホイールに配置された非接触軸線方向バランシング装置（３８）とを有する、ロータ（１０Ｒ、１１０Ｒ）およびステータ（１０Ｓ）が設けられたターボマシン（１０、２１０、３１０）。ターボマシンは、半径方向位置決め手段（４０、４２；１４０、１４２）とは別のスラストベアリング（３６、１３６）を有し、スラストベアリングは、低速時にロータを軸線方向にバランスさせ、高速時には非接触でロータを軸線方向にバランスさせる。 （もっと読む）

【課題】被支持体の急速な動きに対しても、被支持体の位置または姿勢を修正可能な静圧軸受装置および静圧軸受装置による被支持体の支持方法の提供。
【解決手段】静圧軸受装置の制御装置は、位置センサ５ａ〜５ｃによる検出結果に基づき、スライドテーブル２の基台１に対する変位速度が所定値Ｇよりも大きい場合には、容積変更装置４のピエゾアクチュエータを作動させて、ポケット部２７ａ、２７ｅの容積を増減させポケット部２７ａ、２７ｅ内の圧力を変更することにより、スライドテーブル２の基台１に対する位置または姿勢を修正する。また、スライドテーブル２の基台１に対する変位速度が所定値Ｇ以下の場合には、油圧装置によってポケット部２７ａ〜２７ｆ内に供給する油圧の圧力または量のうちの少なくともいずれかを変化させて、スライドテーブル２の基台１に対する位置または姿勢を修正する。 （もっと読む）