【課題】ピストンの運動方向が重力の作用方向に交差する場合に、ピストンが運動を開始した後、速やかにピストンをシリンダから浮き上がらせること。
【解決手段】このピストン機関は、シリンダ２２内を往復運動し、かつ、その運動方向が鉛直方向に対して直交するとともに、ピストン本体２１１の内部に蓄圧室２１２が形成されるピストン２１を備える。蓄圧室２１２とシリンダ２２内とは、流体導入部２１４によって連通されており、シリンダ２２内の作動流体が蓄圧室２１２に導入される。そして、ピストン２１の側周部２１１ａ₁、２１１ａ₂には、蓄圧室２１２に取り込まれた前記気体を、ピストン２１の側面とシリンダ２２との間に噴出する複数の給気孔２１６、２１７が設けられている。この給気孔２１６、２１７は、鉛直方向上側ＵＳよりも鉛直方向下側ＬＳの方が多く配置される。 （もっと読む）

外部から供給される加圧気体が定盤（１６）にそれぞれ設けられた細孔（６６ａ，６６ｂ）から上下方向にそれぞれ噴出され、これらの加圧気体が、ステージ（ＲＳＴ）の第１、第３凹部（５６ａ，５６ｃ）でそれぞれ受けられる。そして、第１凹部で受けられた加圧気体は、第１通気路（５８ａ，１６１，５８ｂ）を介してステージ底面の第１凹部とは異なる位置に導かれるとともに、軸受部（５７）から定盤に向けて噴出され、この加圧気体の静圧によりステージが定盤の上方で浮上支持される。このとき、第３凹部に作用する下向きの圧力と、第１凹部に作用する上向きの圧力とのバランスにより、ステージを定盤の上方に所定のクリアランスを維持した状態で支持することができる。従って、小型軽量のステージに配管を接続することなく、定盤上で高精度な非接触駆動を行うことができる。
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【課題】 垂直軸上で直線駆動される可動部の重量負荷を補償するバランス構造の簡素化とコスト低減。
【解決手段】 枡形形状等の可動部５０は開口部を下方に向け、同開口部に固定部４０を挿入した状態で、固定部４０と可動部５０の間の隙間４３を利用した空気軸受で上下方向に移動可能に支持される。可動部５０の内部には加圧された空気を保持するエアバランス室４１が形成される。圧力調整された加圧空気は外部から固定部４０の内部の配管を経て吹き出し口から隙間４３に供給された後、エアバランス室４１へ流れ込む。この流れにより、エアバランス室４１の加圧空気はシールされる。加圧空気の排気は、排気穴４１ａから配管４２、６１、流量調整装置６０を経て外部に排気される。 （もっと読む）

【課題】
熱膨張の影響を回避して高精度な加工を行うのに適したスピンドル装置を提供する。
【解決手段】
主軸１０２のフランジ１０２ａに対しホルダＨＤの取り付け面１０２ｈ側に設けられた静圧軸受の軸線方向長Δ１は、フランジ１０２ａに対しモータ１０４側に設けられた静圧軸受の軸線方向長Δ２より短いので、フランジ１０２ａから取り付け面１０２ｈまでの距離を短くでき、それにより熱膨張の影響を極力抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】 軸受剛性及び負荷容量が大きく、自励振動の発生を抑制することのできる多孔質静圧気体軸受を提供すること。
【解決手段】 多孔質静圧気体軸受２０は、裏金２１と、裏金２１の一方の面２２に形成された円形の凹部２３と、裏金２１の円盤状面２４に形成された環状凹溝２５〜２８と、環状凹溝２５〜２８の夫々に連通している行き止り孔３０と、裏金２１の凹部２３に配されている多孔質金属焼結層３４とを具備しており、環状凹溝２５〜２７は、半密閉チャンバーとなっていると共に、最外側に位置する環状凹溝２８は、行き止り孔３０から多孔質金属焼結層３４の気孔への圧縮気体の供給源となっている。 （もっと読む）

【課題】より汎用性の高い非接触支持装置を提供する。
【解決手段】浮上パッド１１１，１１２、吸引パッド１１３が組みつけられるベースＢＳには、加圧室１３０Ｒと減圧室１４０Ｒとが形成されている。加圧室１３０Ｒは、第１の孔１２１を介して浮上パッド１１１，１１２、吸引パッド１１３と連通可能となっている。また、加圧室１３０Ｒと減圧室１４０Ｒとは第２の孔１３１を介して連通可能となっている。吸引パッド１１３は、管１５１によって加圧室１３０Ｒと遮断される態様にて減圧室１４０Ｒと連通される。また、管１５１の装入されない第２の孔１３１は、遮蔽部材１５０にて塞がれる。ここで、加圧室１３０Ｒには加圧エアが供給される一方、減圧室１４０Ｒは真空引きされる。 （もっと読む）

【課題】主軸へ伝達する熱量を少なくし、主軸の温度上昇を抑え、主軸の軸方向の伸びが少ない静圧空気軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】主軸２を非接触で支持する静圧空気ジャーナル軸受３、４と静圧空気スラスト軸受５、６、および主軸２を直接駆動するモータ９を備えた静圧空気軸受スピンドルにおいて、スリーブ１０の負荷側の端部は、一部が静圧空気ジャーナル軸受３の反負荷側の端部と隣接して連結されると共に，スリーブ１０とハウジング１との間に排気通路１３と連通する空気通路１４を形成するよう、外径側を略リング状に切り欠いた段付部１０ａを設けてあり，スリーブのハウジングとの対向面側には、空気通路と連通し、軸方向に貫通した凹溝１０ｂを少なくとも1つ設けてある。 （もっと読む）

【課題】オリフィス絞り方式の静圧気体軸受において高剛性、それに、高減衰性を並立できる軸受パッド構造を提供する。
【解決手段】噴出口が物理的に非等価な位置に配置された軸受パット２０は、第一噴出口１が軸受パッド２０の中心に配置され、これに通ずる第一の通気溝３が直線状に形成されている。第二噴出口２Ａと第三噴出口２Ｂが両周縁の２カ所に配置され、これに通ずる第二及び第三通気溝４Ａ，４Ｂが「コ」の字状に形成されている。第二噴出口２Ａと第三噴出口２Ｂは物理的に等価な位置にあり、第一噴出口１に対して、第二の噴出口２Ａと第三の噴出口２Ｂが、物理的に非等価な位置にある。 （もっと読む）

【課題】 オーガスクリュー軸の下部を非接触状態で確実に支持することで、騒音防止を図る。
【解決手段】 粉流体を貯留する逆円錐形状のホッパ１０と、当該ホッパ１０の下端頂部に連通された円筒状のファネルチューブ２０と、このファネルチューブ２０内の中心軸上に配設されたオーガスクリュー軸３０を備えている粉流体充填装置に、稼働中のオーガスクリュー軸３０の振れをなくすための軸受部６０を設ける。この軸受部６０は、カップ状の構造で内部に気体を噴出することにより、非接触の空気軸受を形成する。気体は、軸受部６０を支持する支持枠７０の内部を通って給排気する構成になっている。この空気軸受により、オーガスクリュー軸３０は軸支持されるため、ファネルチューブ２０に接触することがなく騒音が防止される。 （もっと読む）

【課題】シール部の隙間の変化を抑えることができるスピンドルシール装置を提供する。
【解決手段】軸受１１と、当該軸受１１を介してハウジングに相対的に回転可能に支持された回転軸１３とを備えたスピンドル装置に静圧の気体軸受１５を配し、前記気体軸受から吹出される圧縮空気３０の圧力及び流れによって、スピンドル装置１０の内部と大気側との間を密封可能にしてなるスピンドルシール装置１であって、前記気体軸受１５の外周側に軸１３と同一若しくは近似の熱膨張係数を有する金属製のリング部材３１を嵌装してなる。 （もっと読む）

【課題】 主軸回転時に偏心や傾きが生じた場合でも、高精度な位置検出が可能な静圧気体軸受スピンドルを提供する。また、パルス円板の芯合わせ作業を容易にする。
【解決手段】 この静圧気体軸受スピンドルＡは、主軸１を回転自在に支持する静圧気体軸受３と、主軸１の一端に固定された回転テーブル５と、主軸１を回転駆動するモータ６と、主軸１の回転位置を検出するロータリーエンコーダ７とを備える。ロータリーエンコーダ７は、静圧気体軸受３に対して回転テーブル５と軸方向の同じ側に配置する。ロータリーエンコーダ７を構成するパルス円板９は、回転テーブル５に対して半径方向に調節可能に固定する。 （もっと読む）

【課題】 主軸の高速回転が可能で、高回転精度、高静剛性・動剛性を有し、高能率で高精度な加工が行える金型加工装置を提供する。
【解決手段】 工具１１を回転させるスピンドル装置１の主軸４を、静圧磁気複合軸受６〜９で支持し、次の手段を設ける。静圧磁気複合軸受６〜９の励磁電流を検出する電流検出手段１５〜１８と、その電流検出値から加工状態を把握する加工状態把握手段１９を設ける。外部指令応答オンオフ手段２０を設け、静圧磁気複合軸受６〜９は、外部の指令で静圧気体軸受部のみによる支持を可能とする。ハウジング５の温度を測定する手段７６と、温度測定対応出力手段７７とを設ける。 （もっと読む）

【課題】 ダイヤルゲージ（２）等で水平方向の平滑度を計測する際、又はハイトゲージ等で水平方向のけがきをする際の摩擦および振動で計測精度の低下、作業性の非効率をまねく。そこで、計測動作から生じる定盤との摩擦と振動を抑えることにより、計測過程における精度と、位置決め、搬送の能率につき向上を図る。また、支持したい計測器が重いとき、定盤等との摩擦を抑えることにより、取り扱いなどの作業能率向上と、維持管理の簡便を図る。
【解決手段】静圧気体軸受機構を有する計測器支持台（１０）により計測器等を静圧により浮上支持する既存の発明を改良し、計測動作等から生じる摩擦を抑制し、振動を抑え、計測機構への負荷を低減し、作業者への重量面での負担を軽くした。 （もっと読む）

【解決手段】 油膜軸受の流体静力学的な設備の液圧供給導管のための接続ブロック１であって、この接続ブロックが、強固に、軸受チョック１１に配設されており、且つ、少なくとも１つの液圧チューブを保持しており、この液圧チューブが、この軸受チョック１１内において可動に配設された軸受ブッシュと結合されている様式の上記接続ブロックは、流体静力学的な設備の作動信頼性が向上されているように改良されるべきである。この目的で、接続ブロック１が、穿孔２を有していること、この穿孔２が、軸受部３、３′を備え付けられており、これら軸受部内に、接続管体４が軸線方向に可動に軸受されていること、この接続ブロック１が、この中心の穿孔２に対して半径方向に設けられた、第２の穿孔７を有しており、この穿孔の開いている端部が、接続チューブのための継ぎ手９を備えていること、この半径方向の穿孔７が、この接続管体４を囲繞する環状通路８内において終端していること、この接続管体４が、この環状通路８の領域において、少なくとも１つの半径方向に整向された開口部１０を有していること、この接続管体４の一方の端部が閉鎖されていること、および、この接続管体の自由な端部に、軸受ブッシュへと案内された接続チューブのための継ぎ手５が設けられていること、が提案される。
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【課題】 高剛性を得るための最適な気体膜厚さに設定することができるスライドテーブル装置を提供する。
【解決手段】 複数の給気部７が設定されたスライドテーブル１の下面１ａの一部に吸気部９を設定したため、スライドテーブル１に下向きの力が作用し、高剛性を得るための最適な気体膜Ｍの厚さに設定することができる。給気部７がスライドテーブル１の周縁部寄りに位置しているため、給気部７間のスパンが大きくなり、軸受剛性がより向上する。吸気部９がスライドテーブル１の中央に位置しているため、吸気部９による下向きの力をスライドテーブル１の全体に作用させることができる。大気開放溝１０が形成されているため、給気部７と吸気部９の機能を独立して発揮させることができる。 （もっと読む）

【課題】 高精度な直線移動が実現できる軸受構造及び該軸受構造を用いた直線駆動装置を得る。
【解決手段】 直線移動する可動部２側の軸受面の長さは固定部１側の軸受面より移動ストローク分以上長く成形されている。これにより、固定部１側の軸受面が可動部２側の軸受面に常に対向する。固定部１には空気供給源と接続され、固定部の軸受面には空気を噴射する空気吐出口が複数配設されて空気軸受を構成する。可動部２は固定部１が挿入する側のみ開口している。固定側にコイル、可動側に磁石を配設してリニアモータを形成し直線駆動装置とする。圧縮空気や電力を供給するケーブル９等は固定部１に接続され、可動部２には接続されないから、ケーブル等から外力が加わらず、高精度の運動が得られる。また、開口部が１箇所で剛性の強い可動部が得られ、圧縮空気の大きな力に耐えうる。 （もっと読む）

【課題】 高い精度で工具若しくは工作物の受ける加工応力を検出できるとともに、検出点の位置などの設計上の自由度が高く、種々の装置に容易に設けることができる検出手段を有する加工装置を提供する。
【解決手段】 本発明の加工装置１００は、工具Ｔ若しくは工作物が固定されたスピンドル軸１０１と、スピンドル軸を回転自在にかつ軸線方向に流体を介して軸支する軸受構造１０４を備えた支持体１０３と、工具若しくは工作物の受ける加工応力を検出する検出手段とを有し、検出手段は、スピンドル軸に対して少なくともその軸線方向に固定された状態で接続された検出電極１０６と、検出電極に対し軸線方向に対向配置され支持体に対して少なくとも軸線方向に固定された状態で接続された固定電極１０５Ａ，１０５Ｂと、検出電極と固定電極との間の静電容量を直接若しくは間接的に検出する検出回路とを有する。 （もっと読む）

【課題】 ダイヤルゲージ（２）等で水平方向の平滑度を計測する際、又はハイトゲージ等で水平方向のけがきをする際の摩擦および振動で計測精度の低下、作業性の非効率をまねく。そこで、計測動作から生じる定盤との摩擦と振動を抑えることにより、計測過程における精度と能率のにつき向上を図る。
また、支持したい計測器が重いとき、定盤等との摩擦を抑えることにより、取り扱いなどの作業能率向上と、維持管理の簡便を図る。
【解決手段】 静圧気体軸受機構を有する計測器支持台（１０）により計測器等を静圧により浮上支持し、計測動作から生じる摩擦を抑制し、振動を抑え、計測機構への負荷を低減し、作業者への重量面での負担を軽くした。 （もっと読む）

【課題】
コンパクトで検査精度の高いマスク検査装置を提供すること。
【解決手段】
本発明の一態様にかかる、マスク検査装置は、鉛直方向に被検査対象のマスク６を保持し、ＣＣＤカメラ３ａを鉛直方向に移動させてマスク６を検査するマスク検査装置であって、定盤２の上に立てられた角柱１と、角柱１の少なくとも２側面の基準面９、１０に対向するヘッド用直角ステージ１２と、ヘッド用直角ステージ１２を一定の高さに保つバランスウェイト４と、ヘッド用直角ステージ１２の各々の基準面側に設けられ、基準面側に気体を噴出する噴出部と気体を吸引する吸引部とを有するエアパッド１１と、ヘッド用直角ステージ１２を鉛直方向に移動させる鉛直方向駆動機構８とを備え、鉛直方向駆動機構のラック３５が角柱２に設けられているものである。 （もっと読む）

被支持体と該被支持体を支持する支持体の対向し合う面にそれぞれ形成されるスベリ面間に形成される流体圧ポケットに供給される流体をシールするための流体シール機構にあって、前記支持体のスベリ面には流体をシールするための弾性リングを嵌入させるリング溝が形成され、かつ、前記弾性リングの外側に前記弾性リングが前記リング溝から飛び出すのを阻止するための規制リングを外嵌させた状態にて、前記規制リングが前記弾性リングと共に前記リング溝内に嵌入され、前記流体圧ポケット内に供給された流体が所要圧に達した時には、前記規制リングは前記弾性リングと共に前記被支持体のスベリ面に圧接状態で接触することにより、前記弾性リングの飛び出しが阻止されるように構成する。 （もっと読む）