【課題】半導体製造装置からの排ガスを燃焼式除害装置、集塵装置、ガス洗浄装置に順次送り込んで処理する際に、ガス洗浄装置においてその内部に固形物が付着、堆積することを防止し、ガス洗浄装置の閉塞などの不都合が生じないようする。
【解決手段】半導体製造装置１からの排ガスを燃焼式除害装置３に導入し、ついで集塵装置４に送り、さらにガス洗浄装置に送り込んで処理する際、前記ガス洗浄装置を２段構成とし、第１段ガス洗浄装置６Ａで水を洗浄液としてガス洗浄し、ついで、第２段ガス洗浄装置６Ｂでアルカリ水溶液を洗浄液としてガス洗浄する。 （もっと読む）

【課題】所定ゾーンから排出された排気中の揮発性有機化合物を効率的に燃焼除去するとともに、揮発性有機化合物除去後の浄化空気をリサイクルすることが可能な排気リサイクルシステムを提供すること。
【解決手段】揮発性有機化合物を含む排気を排出する所定ゾーンと、前記所定ゾーンから排出された排気中の揮発性有機化合物を吸着する吸着装置２００と、前記吸着装置２００に吸着された揮発性有機化合物を、前記吸着装置２００から離脱させて燃焼装置の燃焼燃料とするとともに、前記吸着装置２００を通過して浄化された浄化空気を前記所定ゾーンへ再び導く浄化空気リサイクル装置と、を備えることを特徴とする排気リサイクルシステムを提供する。 （もっと読む）

【課題】排蒸気および排ガスを短時間に反応容器から排出して復水することが可能であり、かつ排蒸気および排ガスの時間当たりの排出量に対して比較的小さな冷却能力で処理することができる排ガスを含む排蒸気の処理装置および処理方法を提供する。
【解決手段】回分式反応缶から排出する排ガスを伴う排蒸気を冷却水との直接的な接触により復水させる混合復水器５１と、冷却水を貯溜し、混合復水器５１から排出する復水を含む冷却水が流入する冷却槽５２と、冷却槽５２の冷却水を混合復水器５１に供給する冷却水循環系５４と、冷却水循環系５４の途中に設けた熱交換器５５を介して冷却水を冷却するクーリングタワー５６を備える。 （もっと読む）

【課題】有機溶剤を使用する設備から廃ガスおよび廃液に含まれて排出される揮発性有機化合物（ＶＯＣ）を効率よく処理する。
【解決手段】有機溶剤を使用する設備１から排出される廃ガス５に含まれるＶＯＣを廃ガス処理装置３で燃焼処理するとともに、設備１から排出される廃液１１に含まれるＶＯＣを燃料として廃ガス処理装置３に供給して燃焼処理する、廃ガスおよび廃液に含まれるＶＯＣの燃焼処理方法であって、廃液１１に含まれるＶＯＣは、廃ガス処理装置３から燃焼処理によって生じる排気ガス１３を少なくとも一部を含む空気を廃液１１に吹き込み気化させることにより廃液１１から気体のＶＯＣとして分離し、かつこの分離したＶＯＣを気体のまま廃ガス処理装置３に供給して燃焼処理する。 （もっと読む）

【課題】処理量を低下させず、燃焼室の温度の過度の上昇を抑制でき、故障の少ない蓄熱式ガス処理炉を提供する。
【解決手段】導入流路６から蓄熱室４を介して燃焼室５に原ガスを供給し、燃焼室５から他の蓄熱室４を介して燃焼ガスを排気し、原ガスが供給される蓄熱室４と、燃焼ガスが流出する蓄熱室４とを切り換える蓄熱式ガス処理炉１に、導入流路６から原ガスの一部を燃焼室５に直接供給するバイパス流路１３を設け、バイパス流路１３を介して燃焼室５に供給される原ガスの流量と、蓄熱室４を介して燃焼室５に供給される原ガスの流量との和を一定に保ちながら、燃焼室５の温度が所定の設定温度になるように、バイパス流路１３を介して燃焼室５に供給される原ガスの流量をフィードバック制御する。 （もっと読む）

【課題】 脱水汚泥等の被乾燥物を乾燥させる乾燥設備に適用され、これから排出される油脂分を含む凝縮水を処理する凝縮水処理方法であって、凝縮水中に含まれる油脂分に依って配管の閉塞や排水ポンプの不具合を防止する。
【解決手段】 被乾燥物Ａを乾燥して乾燥物Ｂを排出すると共に、被乾燥物Ａから蒸発した水分を冷却して凝縮する事に依り油脂分Ｄを含む凝縮水Ｅを排出し、且つ非凝縮ガスＦを脱臭して排出する乾燥設備５０に於て、前記油脂分Ｄを含む凝縮水Ｅから油脂分Ｄを分離して、油脂分Ｄを除いた凝縮水Ｇを排水する。 （もっと読む）

【課題】乾燥排ガスを既存の設備内に導入することにより燃焼脱臭を行うことが可能で、且つ該乾燥排ガスを既存設備の導入部位に対して容易に導入することができる汚泥の処理方法及び処理システムを提供する。
【解決手段】汚泥ピット１１に貯留された汚泥を乾燥機１３に供給し、該乾燥機１３で乾燥処理した後、乾燥汚泥の少なくとも一部を循環流動層炉１のライザ２に投入し、該ライザに導入される燃焼空気により乾燥汚泥を流動媒体と混合撹拌しながら燃焼処理し、流動媒体が同伴された燃焼排ガスをライザ上部から排出し、該燃焼排ガスからサイクロン３により分離した流動媒体を前記ライザ２に還流させるようにした汚泥の処理方法において、乾燥機１３から排出される乾燥排ガスを汚泥ピット１１に導入し、該汚泥ピット１１内の乾燥排ガスを含む臭気ガスを、燃焼空気としてライザ２内に導入して燃焼脱臭する。 （もっと読む）

【課題】ドレンが有する揮発性有機化合物（ＶＯＣ）の化学エネルギーを廃棄することなく有効に回収することができる揮発性有機化合物処理システム及び揮発性有機化合物の処理方法を提供する。
【解決手段】処理対象ガスに含まれるＶＯＣを吸着剤１０に吸着させ、吸着剤１０に吸着されたＶＯＣを加圧環境下で水蒸気を用いて脱着して上記水蒸気に混入させる吸着・脱着装置１と、ＶＯＣが混入した水蒸気を燃焼させるガスタービン２とを有する揮発性有機化合物処理システムＡであって、ＶＯＣが混入した水蒸気が液化したドレンを回収するドレン排出系４と、ドレン排出系４により回収したドレンをミスト化して吸着剤１０に噴霧するエゼクタ５とを有するという構成を採用する。 （もっと読む）

【課題】温暖化効果ガスを含む排ガスを、効率的に熱処理する。
【解決手段】排ガスを、排ガス導入部１２から加熱処理部１４へと導入する。排ガスは、加熱処理部１４の円筒管２０にて、その基端部から末端部へ向けて一方向に通過する過程において、電磁誘導加熱手段２２により加熱される円筒管２０からの輻射熱を主に受けて、熱分解処理される。この際、整流手段２４により排ガスが旋回流となって円筒管２０を通過することから、排ガスの加熱時間が十分に確保される。その結果として、排ガス導入部１２から導入される排ガス量が急激に増加するような場合であっても、必要な分解能力が確保される。更に、排ガスが加熱処理されて生成される粉体及びガスは、水処理部１６において冷却され、かつ、加水分解され、更に、最終処理部１８においてガス中に残存するミストが除去される。 （もっと読む）

【課題】 半導体製造工程から排出される排ガスに含まれる有害成分を、火炎により熱分解して浄化する浄化装置において、一般的に熱分解が困難な有害成分として知られているＣＦ_４であっても、低濃度になるまで熱分解することが可能で、しかもサーマルノックス（ＮＯ、ＮＯ_２）の発生、さらにＣＯ_２の発生を抑制できる排ガスの浄化装置を提供する。
【解決手段】 有害成分を熱分解する燃焼室、燃料ガスと空気を含むガスを燃焼室へ噴出するノズル、その外周側に排ガスと燃料ガスを含むガスを燃焼室へ噴出するノズル、及びさらにその外周側に酸素を含むガスを燃焼室へ噴出するノズルを備え、該３種類のノズルのガス噴出口における断面積が、前記の順で１：１．５〜１５：０．２〜２である浄化装置とする。 （もっと読む）

【課題】電磁波でエネルギーを供給してプラズマを発生させ、プラズマに気体または液体状態の水素または炭化水素燃料を供給して高温のプラズマ火炎を発生させ、これを用いてフッ化ガスを除去するフッ化ガス除去装置および除去方法を提供する。
【解決手段】電磁波を発振するマグネトロン１０と、マグネトロン１０に反射される反射波を吸収する循環器３０と、電磁波の強さを入射波と反射波でモニタリングする方向性結合器４０と、インピーダンスを整合させるスタブチューナー５０と、スタブチューナーから伝送される電磁波が入力される導波管６０と、導波管を通して入力される電磁波及び外部から注入される渦流ガスによってプラズマを生成する放電管７０と、放電管に渦流ガスを供給する渦流ガス供給部８０と、放電管内にプラズマ発生のための初期電子を供給する点火部９０と、放電管内のプラズマに燃料及び廃ガスを供給する燃料・廃ガス供給部１００とを含む。 （もっと読む）

【課題】大きな伝熱面積が得られ、かつ、製作が容易であり、高い熱交換効率を持つ自己熱交換型熱交換器を用いた輻射ヒーターを提供する。
【解決手段】高温流体１と低温流体２を隔てるための隔壁型の伝熱体ＢＦを有する熱交換器において、伝熱体ＢＦが蛇腹型形状で、両流体１、２が伝熱体ＢＦの蛇腹部分の空隙部を稜線方向又は谷線方向に沿って向流するように構成し、かつ、伝熱体ＢＦの蛇腹部分の稜線と交わる一端部又は両端部に、一方の流体を伝熱体ＢＦの反対側の蛇腹部分の空隙部に回り込ませるための流体回り込み空間部Ｆを設け、空間部Ｆに燃焼バーナーを設置し、反対側に回り込んだ流体を加熱して熱交換すべき他方の流体とすると共に、空間部Ｆと外部とを隔てる壁の一部を熱輻射板で構成したので、高い熱交換効率を持つ自己熱交換型熱交換器を用いた輻射ヒーターとすることができる。 （もっと読む）

【課題】脱着時における水蒸気の凝縮を抑制しながらも高い処理能力を得る。
【解決手段】処理対象ガスに含まれる揮発性有機化合物を吸着剤に吸着させ、加圧状態で、吸着剤に吸着された揮発性有機化合物を水蒸気を用いて吸着剤から脱着して水蒸気に混入させ、揮発性有機化合物が混入した水蒸気を燃焼器で燃焼させる揮発性有機化合物の処理方法において、吸着及び脱着を行う容器１１内を少なくとも一部が吸着剤で形成された分離部材（１２，１３，１４）によって内側室Ａと外側室Ｂとに分割し、吸着及び脱着を行う容器を保温し、吸着の際には、処理対象ガスを内側室Ａに供給して分離部材（１２，１３，１４）を通って外側室Ｂへ抜けさせ、脱着の際には、水蒸気を外側室Ｂに供給して分離部材（１２，１３，１４）を通って内側室Ａへ抜けさせる。 （もっと読む）

【課題】灰溶融炉の排ガスを並設されるごみ焼却炉に供給し、焼却炉排ガスとして排ガス処理設備に導いて処理するようにして合理化を図る灰溶融炉の排ガス処理システムを提供する。
【解決手段】ごみ焼却炉１と並設される灰溶融炉８からの排ガスを冷却・除塵する排ガス処理設備３を経て浄化処理された後、煙突７から大気中に放出する排ガス処理システムであって、灰溶融炉８からの排ガスを高温通風手段２０によりごみ焼却炉１に供給して再燃焼させ、ごみ焼却炉１から排ガス処理設備３に送って冷却・除塵、および乾式または湿式での有害ガス処理して後、誘引通風機５で煙突７に送入し大気中に放出させる。 （もっと読む）

【課題】比較的高濃度の揮発性有機化合物（ＶＯＣ）と空気との混合ガス（ＶＯＣガス）を効率よく処理する。
【解決手段】ＶＯＣガスを供給する給気手段１１と、該給気手段１１から供給されたＶＯＣガスを圧縮する圧縮機２１と、該圧縮機２１にて圧縮されたＶＯＣガスに燃料を補給して燃焼させる燃焼器２３と、燃焼器２３にて生成した燃焼ガスにより駆動され前記圧縮機２１に接続されたタービン２４とを備えるＶＯＣ処理装置１０において、給気手段１１におけるＶＯＣガス中のＶＯＣの濃度、燃焼器２３における前記燃焼ガスの温度および給気手段１１におけるＶＯＣガスの圧力から選ばれる一または複数の情報に基づいて、ＶＯＣガスに代えて空気またはＶＯＣガスと空気とを圧縮機２１に供給するように制御される切替弁１２を設ける。 （もっと読む）

【課題】排水詰まりを防止することができ、ＣＶＤ成膜装置のメンテナンスが簡便である排ガス処理装置を提供する。
【解決手段】本発明にかかる排ガス処理装置１０は、ＣＶＤ成膜装置４の排ガスを除外するものであって、排ガスを加熱分解する反応炉１１と、加熱分解によって生成された酸化化合物を水に溶解させて収容する水槽部１３と、加熱分解によって生じた水分解性ガスを水洗除去するスクラバー１２と、を備え、酸化化合物を含む水を攪拌する攪拌手段１５，１６を有する。 （もっと読む）

本発明は、高含水率供給原材料を乾燥または脱水して乾燥製品または低含水率製品にするためのシステム、装置および方法を開示する。本装置システムは、ガスタービン発電装置（好ましくは熱源）、乾燥器およびプロセス装置を含んでなり、前記ガスタービンと前記乾燥器との間の連結手段は前記ガスタービン排ガスのほぼ全部を前記乾燥器に誘導すると共に前記乾燥器内への空気の侵入を実質的に排除し、前記プロセス装置は前記乾燥器からの乾燥材料を細粒、ペレット、フレークまたは最終製品に所望されるその他の形状に成形する。本発明によるシステム、装置および方法はまた、高含水率供給原材料の上記処理と結びついたもしくは上記処理とは独立した、製造設備からのＶＯＣを含むＨＡＰエミッションの放出防止を実現する。
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本発明は、回流発生ガス燃焼炉に係り、より詳しくは、燃焼炉の前段の焼却炉で廃棄物の焼却（直火、高温、熱分解など）によって発生した排出ガスを一定な温度で加熱されるコイル状の円型の燃焼管に通過させることによって、排出ガスが完全燃焼される回流発生ガス燃焼炉に関する。本発明は、コイル状の燃焼管を通過する排出ガスが燃焼管の内部及び外部で回流を形成しながら燃焼されることによって、燃焼炉の内部での滞留時間が延長されると同時に、コイル状の燃焼管を通じて流入される排出ガスが高熱の燃焼管の内部及び外部面との直接接触を通じても燃焼されることによって、燃焼の効率性が極大化される回流発生ガス燃焼炉を提供する。
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【課題】 簡単な構成でもってＮＦ_３などのフロンを含む大量のプロセスガスを燃焼分解処理することのできる難燃性物質分解バーナを提供する。
【解決手段】 燃焼筒体２の一方端に、その中心軸線Ｌの同心円状に複数個の燃焼バーナ５０と、複数個のプロセス排ガス導入ポート６０を配置する。燃焼バーナ５０は、それぞれの噴出火炎ｆが燃焼筒体２の中心軸線Ｌ上のほぼ同じ点で収束するように、軸線Ｌ１を傾斜させて取り付ける。プロセス排ガス導入ポート６０は、その軸線Ｌ２の延長線が前記噴出火炎ｆの収束点近傍またはそれよりも下流側で噴出火炎と交わるように軸線Ｌ２を傾斜させて取り付ける。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ガス処理効率を向上させることはもちろんエネルギー効率も向上させて二酸化炭素の排出を減らすことができる排気ガス処理方法及びガススクラバーを提供する。
本発明はまた、バーニングチャンバー内部の腐蝕を防止することができるガススクラバーを提供する。
本発明はまた、バーニングチャンバー内部に流入される処理ガスと燃料が效率的に混合することができるガススクラバーを提供する。
本発明はまた、バーニングチャンバーの廃熱を再使用して熱效率を向上させることができるガススクラバーを提供する。
本発明はさらに、一つのガススクラバーが作動を中止した場合にもガス処理を続けることができるガススクラバーを提供する。
【解決手段】本発明は電気エネルギーと化石エネルギーを混合使用するバーニング方式によるガス処理方法及びこれを実行するためのガススクラバーに関する。本発明による方法はバーニング段階を含んで、この段階は電気ヒーターを用いてバーニングチャンバー内の温度を所定温度以上に加熱する段階と；バーニングチャンバー内の温度が所定温度以上に感知されれば、燃焼ガスと点火燃料を注入して点火フレームを生成する段階と；点火フレームが感知されれば処理されるガスと共に主燃料を注入してメインフレームを生成してガスを燃焼する段階と；で構成されることを特徴とする。
また、これを実行するためのガススクラバーのバーニングチャンバーは、処理ガス燃焼室を形成する内部ケーシングと；燃焼室に処理ガスを流入する少なくとも一つ以上のガス流入口と；燃焼室に空気を流入する空気流入口；及び内部ケーシングの周りに設置されて電源供給線を介して電力源につながる電気ヒーターと；を含む。燃焼室には、内部温度が所定の温度以上に上がれば点火燃料をチャンバー内に注入する点火燃料ポート、点火燃料注入による火花を感知する点火センサ及び点火センサに点火フレームが感知されれば多量の燃料を投入する主燃料ポートが具備される。
このように構成される本発明のガス処理方法及びガススクラバーは電気エネルギーと化石エネルギーを共に用いてエネルギー効率とガス処理効率を同時に向上させて、二酸化炭素の排出量も減らすことができる利点がある。 （もっと読む）