【課題】使用時の快適性を損なうことなく、熱伝達性能の優れた高分子発熱体を提供することを目的とする。
【解決手段】ベース側電気絶縁性基材２とカバー側電気絶縁性基材５とで挟持された一対の電極３と、前記一対の電極間に配設されたＰＴＣ特性を有する高分子抵抗体４とを具備し、前記ベース側電気絶縁性基材２及び前記カバー側電気絶縁性基材５の少なくとも一方を高通気性素材で構成した。したがって、伝熱ロスを小さくすることが可能となり、省エネ性に優れ環境にも配慮した高分子発熱体を提供できる。 （もっと読む）

【課題】金属細線群が視認されにくく、金属細線群と電極との接触部の発熱を低コストで抑制する。
【解決手段】電熱窓ガラス１０は、長手方向に沿って形成された発熱部１４と、発熱部１４の上下に形成された第１電極１６及び第２電極１８とを備えている。発熱部１４には、金属細線４２の細線間隔が大きいメッシュ状パターン４３Ａからなる発熱区域４３が形成されており、第１電極１６及び第２電極１８には、金属細線４２の細線間隔が小さいメッシュ状パターン４４Ａからなる電極区域４４が形成されている。それぞれの区域が金属細線で覆われている面積のそれぞれの区域全体の面積に占める割合を電極区域４４はＡｅ％、発熱区域４３はＡｃ％とすると、
Ａｃ≦Ａｅ、５≦Ａｅ、かつ０＜Ａｃ≦２０を満たしている。 （もっと読む）

【課題】抵抗発熱体の特性に鑑みて、対象物の載置面における温度均一化を図りうるセラミックヒータを提供する。
【解決手段】セラミックヒータ１によれば、抵抗発熱体４の電流経路の緯線方向についての折り返し箇所が角張っているので、当該折り返し箇所が丸みを帯びている場合と比較して、抵抗発熱体４の面積の増加が図られる。さらに、電流経路の折り返し箇所が、抵抗発熱体４の中央部分４０からみて第１方位および第２方位とは異なる方位、特に中間方位に配置されるように当該電流経路が形成されている。 （もっと読む）

【課題】シート特性に悪影響を極力及ぼすことなく、表皮材として使用可能な布材に加熱線を作業性良く取付けることにある。
【解決手段】表材１２の一面側にパッド材１４が積層された布材１０において、通電により発熱可能な加熱線２０と、加熱線２０に電力を供給可能な通電手段１８とを有し、複数の加熱線２０が並列状に取付けられた布部材４０を、表材１２とパッド材１４の間に介装するとともに、複数の加熱線２０を、通電手段１８によって電気的に並列につなげた。 （もっと読む）

【課題】加熱効率に優れるとともに、製造コストが比較的低く、さらに大型に作製しても不都合がない加熱装置。
【解決手段】加熱装置Ｄ１は、上下一対の基板半体からなるアルミニウム合金製基板１を備えてなる。すなわち、基板１は、一対の基板半体の一方としての上部基板２と、基板半体の他方としての下部基板３とからなる。加熱装置Ｄ１はさらに、基板１を加熱することで、上部基板２に載置された被処理物を加熱するための加熱管（ヒーター）５０と、基板１を冷却することで、上記被処理物を冷却するための冷却管（冷却用ガス流通管）６０とを備えている。ヒーター５０を嵌め込むための溝２ａ，３ａとヒーター５０との間隙およびガス流通管６０を嵌め込むための溝２ｂ，３ｂとガス流通管６０との間隙は、熱伝導性部材としてのシリコーンゴム製シート５をこれらの間隙に配設することで塞がれている。 （もっと読む）

【課題】 ウエハの大口径化及び配線の微細化に伴って要望される高い均熱性及び信頼性を有するウエハ保持体を提供する。
【解決手段】 ウエハを載置して加熱する加熱体１１と、この加熱体１１をチャンバー内で支持する支持部材１５とからなる半導体製造装置用ウエハ保持体であって、加熱体１１は、そのウエハ載置面を複数の領域に分割して得られる各領域毎に、加熱体１１内に埋設されている発熱体１２ａ、１２ｂと、発熱体１２ａ、１２ｂに接続されている電極部１３ａ、１３ｂと、発熱体部１３ａ、１３ｂが埋設されている領域の温度を測定する温度測定素子部１４ａ、１４ｂとを有しており、支持部材１５は、電極部１３ａ、１３ｂと温度測定素子１４ａ、１４ｂとを全て内包し、且つウエハ載置面上に載置されるウエハを着脱するためのリフトピンを内包していない。 （もっと読む）

本発明は、ａ）透明基材、およびｂ）前記透明基材の少なくとも一面に備えられたボロノイダイアグラム（Ｖｏｒｏｎｏｉ ｄｉａｇｒａｍ）をなす図形の境界線形態の導電性発熱パターンとして、２以上の境界線が互いに接する点である境界線の交点部が曲線（ｃｕｒｖｅ）形態を有する導電性発熱パターンを含む発熱体およびその製造方法を提供する。
（もっと読む）

【課題】パイプやホース等の管路を加熱すると同時に測温できるようにした測温機能付きスパイラル管状ヒータを提供する。
【解決手段】それぞれ耐熱樹脂製とされた第１テープ素材(11)と第２テープ素材(12)の間に細長いヒータ手段(14)を介装して積層一体化したシート状のテープ本体(17)をスパイラル状の巻回形態に成形することにより、軸方向に伸縮自在で径方向に拡縮自在とされた可撓性を有するスパイラル管状ヒータにおいて、前記テープ本体(17)は、第１テープ素材(11)と第２テープ素材(12)の何れか一方の上に、熱電対(15)から成る測温手段(16)を介装した状態で耐熱樹脂製とされた第３テープ素材(13)を積層一体化することにより構成されている。 （もっと読む）

【課題】均一加熱性及び耐久性に優れ、電気的短絡も発生しない加熱装置を提供する。
【解決手段】加熱装置１０は、密着状態に積層された複数の電気絶縁性基材１１，１２と、電気絶縁性基材１１，１２同士を接合するため電気絶縁性基材１１の凹溝１５内に充填された状態で融着された抵抗発熱材１３と、を備え、抵抗発熱材１３はケイ素若しくはケイ素化合物を含んでいる。抵抗発熱材１３は、電気絶縁性基材１１，１２同士の接触領域１４における一方の電気絶縁性基材１１に形成された凹溝１５内に隙間無く充填された状態で融着されている。電気絶縁性基材１１，１２は、窒化アルミニウムを主成分とするセラミックスで形成されている。また、電気絶縁性基材１１，１２同士の接触領域１４の外周１４ａの一方の電気絶縁性基材１１の全周に渡って形成された開先部１１ａ内にも抵抗発熱材１３ａが充填された状態で融着されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、マイグレーションパターンにより抵抗発熱体の耐久性をより向上させることを目的とする。
【解決手段】長手方向に延び、第１主面および第１主面と対向する第２主面を備える長板状のセラミック基体と、第１主面上に配置され長手方向先端側に配置された発熱部及び長手方向に延びるように第１主面上に配置され、発熱部に電流を供給する一対の発熱リード部を有する抵抗発熱体と、第２主面上に配置され、長手方向先端側に配置された導体部及び導体部と発熱リード部の一方とを接続する導体リード部、を有するマイグレーションパターンと、を備えるセラミックヒータは、第１主面と第２主面との対向方向に見たときに導体部の面積は発熱部の面積より大きい。 （もっと読む）

【課題】自己接着性を有して接着剤を不要にでき、発熱体２等の段差を吸収できるヒータ部材を提供する。
【解決手段】高耐熱性且つ熱硬化性を有する樹脂材料１１と高耐熱性を有するエラストマ１０とを含む樹脂組成物を有機溶剤に溶解させたワニスから、可撓性を有する未反応固形状態で膜形状に形成された未反応熱硬化性フィルム１と、電源に接続されることで電流経路が発熱する平面状抵抗体５からなる発熱体２とを備え、発熱体２は、未反応熱硬化性フィルム１を完全硬化させる温度以下に加熱した時に発生する接着性により、未反応熱硬化性フィルム１に結合される。 （もっと読む）

【課題】 発熱抵抗体の発熱部の通電耐久性を向上させることができるセラミックヒータ、グロープラグ及び内燃機関を提供すること。
【解決手段】 セラミックヒータ１０１は、絶縁性セラミックからなる直棒状の絶縁基体１０３と、これに埋設され、通電による発熱する発熱抵抗体１０５とを有する。発熱部抵抗体１０５の発熱部１０５ｈは、軸線ＡＸを含む仮想基準平面ＨＨに沿って先端側に凸となるＵ字状に曲げ返された形態を有する。そして、絶縁基体１０３の絶縁体先端部１０３ｓは、仮想基準平面ＨＨに直交する方向ＨＡの寸法が、絶縁体胴部１０３ｃの直径Ｄよりも小さい扁平形状を有する。 （もっと読む）

【課題】長時間使用されてもマイグレーション防止導体の細線化や断線を抑制し、マイグレーション防止導体の効果を維持して信頼性を高めたセラミックヒータ、及びこれを有するセンサ素子、さらにはガスセンサを提供する。
【解決手段】 第１セラミック基板１６０と、第１セラミック基板に積層され、発熱部１８１及び発熱部１８１から延びる一対の発熱リード部１８２、１８３を備えるヒータ１８０と、ヒータ１８０を挟んで第１セラミック基板に積層される第２セラミック基板１７０と、第２セラミック基板１７０のうちヒータ１８０の反対側に積層され、一対の発熱リード部１８２、１８３の正電位側１８２より低電位に保たれるマイグレーション防止導体１９０とを有し、マイグレーション防止導体１９０はＰｄを２０質量％以上含んでいるセラミックヒータ１５０である。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、熱効率、信頼性及び保守性に優れた面状発熱体を提供する。
【解決手段】発熱体１と、コーティング層３を介して該発熱体１を挟み込む加熱板２とを有する面状発熱体１０において、前記コーティング層３は、前記加熱板の厚み方向のうち前記発熱体に対向する該加熱板のそれぞれの面に、窒化珪素又はアルミナを含むセラミックス材料で形成され、かつ、該コーティング層３に、線状又は箔状の該発熱体１を収容するための溝部４が形成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】フラッシュ光照射時における保持プレートの変色を防止することができる熱処理装置を提供する。
【解決手段】ホットプレート７１の上面に石英のサセプタ７２が載置され、そのサセプタ７２の上面に半導体ウェハーＷが載置される。ホットプレート７１およびサセプタ７２の直径は半導体ウェハーＷの直径よりも大きい。半導体ウェハーＷよりも外側のサセプタ７２の周縁部には遮光リング７５が載置される。遮光リング７５は、ホットプレート７１の上面のうち半導体ウェハーＷによって覆われる領域よりも外側の円環状領域を覆う。これにより、ホットプレート７１の上面のほぼ全面が半導体ウェハーＷおよび遮光リング７５によってフラッシュランプＦＬのフラッシュ光から遮光される。その結果、フラッシュ光が照射されたときに、ホットプレート７１の酸化による変色が防止される。 （もっと読む）

【課題】加熱対象者の体が接触している部位のみを加温し、効率的な暖房を行えるヒータ装置を提供する。
【解決手段】通電時に発熱する発熱手段３０と、少なくとも一方の電極を発熱手段３０に離間して対向配置するとともに、加熱対象者からの荷重により発熱手段３０に接触自在な正極２０Ａ及び負極２０Ｂと、少なくとも一方の電極及び発熱手段３０を離間させるスペーサ４０とを備え、加熱対象者からの荷重に応じた少なくとも一方の電極と発熱手段３０との接触領域Ｒの変化に基づいて、発熱手段３０における発熱状態が変更されるヒータ装置Ｘ。 （もっと読む）

【課題】筒状シャフトの内部空間からガスがリークするのを防止する。
【解決手段】シャフト付きヒータ１０は、ウエハを支持可能で抵抗発熱体２２が埋設された窒化アルミニウム製のセラミック基板２０と、該セラミック基板２０の背面に接合された筒状シャフト３０とを備えている。筒状シャフト３０は、少なくともセラミック基板側の端部がアルミニウム−シリコン合金製であり、該端部がセラミック基板２０の背面に接合されている。このため、筒状シャフト３０自身の気密化や筒状シャフト３０とセラミック基板２０との接合部位の気密化を図ったり、筒状シャフト３０のうちセラミック基板側の端部の熱膨張係数をセラミック基板２０の熱膨張係数に近付けたりすることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、面熱源に関する。
【解決手段】本発明の面熱源は、加熱素子と、前記加熱素子と電気的に接続された少なくとも二つの電極と、を含む。前記加熱素子が少なくとも一枚のカーボンナノチューブフィルムを含み、該単一のカーボンナノチューブフィルムが複数のカーボンナノチューブを含み、該複数のカーボンナノチューブが同じ方向に沿って配列されている。前記単一のカーボンナノチューブフィルムが、複数のカーボンナノチューブセグメントを含み、各々の前記カーボンナノチューブセグメントが、分子間力で接続され、同じ方向に沿って配列され、前記カーボンナノチューブセグメントが、長さが同じであり、平行に配列されている複数のカーボンナノチューブを含む。 （もっと読む）

【課題】本発明は、面熱源に関する。
【解決手段】本発明の面熱源は、加熱素子と、前記加熱素子と電気的に接続された少なくとも二つの電極と、を含む。前記加熱素子が少なくとも一本のカーボンナノチューブフィルムを含み、該単一のカーボンナノチューブフィルムが複数のカーボンナノチューブを含み、該複数のカーボンナノチューブが等方的に配列されているか、所定の方向に沿って配列されているか、または、異なる複数の方向に沿って配列されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、面熱源に関する。
【解決手段】本発明の面熱源は、加熱素子と、前記加熱素子と電気的に接続された少なくとも二つの電極と、を含む。前記加熱素子が少なくとも一本のカーボンナノチューブフィルムを含み、該単一のカーボンナノチューブフィルムが複数のカーボンナノチューブを含み、該複数のカーボンナノチューブが該複数のカーボンナノチューブが相互に絡み合っている。前記加熱素子において、カーボンナノチューブが均一に分布され、該加熱素子が等方性を有する。 （もっと読む）