【課題】対象体に熱を伝達する熱伝達媒体及びこれを利用した熱伝達方法を提供する。
【解決手段】具体的に熱伝達媒体は、複数個のナノ粒子含有膜を含み、ナノ粒子が、膜に対して入射する光を吸収することで対象体に熱を伝達する。また、このような熱伝達媒体を利用した熱伝達方法は、複数個のナノ粒子を含むナノ粒子含有膜を形成する段階と、前記膜を光に露出させる段階と、及び前記ナノ粒子が入射された光を吸収することにより熱が生成され、この熱を対象体に伝達する段階とを含む。このとき、複数個のナノ粒子含有膜は、対象体に直接塗布してよく、中間層上に塗布してもよい。また、複数個のナノ粒子含有膜は、透明フィルム上に塗布し、これを対象体上に位置してマスクのように使用してもよい。 （もっと読む）

【課題】積層方向の耐荷重性能を確保しつつ、良好な昇温性能を確保する積層型ヒーターユニットを提供することを目的とする。
【解決手段】通電することで発熱する板状のヒーター部材２６と、ヒーター部材２６の一方の面に密着して設けられ、非導電性及びヒーター部材２６の０．３〜０．７倍の熱伝導率を有する第１中間部材３０と、第１中間部材３０の反ヒーター部材側の面に密着して設けられ、ウェハＷと接する接触面３６及び第１中間部材３０よりも高い熱伝導率を有する伝熱部材３２と、ヒーター部材２６の他方の面側に設けられたベース部材１２と、ベース部材１２とヒーター部材２６との間に密着して設けられ、非導電性及びベース部材１２よりも低い熱伝導率を有する第２中間部材１８と、をヒーターユニット１０が備えることで、積層方向の耐荷重性能が確保され、良好な昇温性能が確保される。 （もっと読む）

【課題】加熱基体１１と、この加熱基体１１に接合された支持部材１３とを有する加熱装置において、加熱基体１１と、支持部材１３との接合部近傍にクラックが発生することを効果的に防止する。
【解決手段】セラミックスよりなる加熱装置１０は、加熱面１１ａを有する板状の加熱基体１１と、この加熱基体１１の背面１１ｂ接合された中空筒状の支持部材１３とを備えている。加熱基体１１と支持部材１３との接合界面１４の外端１４Ｅ近傍で、この加熱基体１１の背面１１ｂと支持部材１３の外表面１３ｂとを滑らかに接続する凹曲面部１５が形成されている。凹曲面部１５は、支持部材１３の軸線を含む断面において、短軸方向が支持部材１３の軸線方向と平行である楕円の弧の曲線を有している。 （もっと読む）

【課題】優れた機械的強度および信頼性を有するとともに、低コスト化およびウォームアップ時間の短縮化を図ることができるヒータユニット、定着装置、および画像形成装置を提供すること。
【解決手段】本発明のヒータユニット１は、筒状をなすケーシング１１と、ケーシング１１内に収納され、通電により発熱するヒータ１２とを有し、ケーシング１１は、熱収縮性を有するチューブを熱収縮させてヒータ１２に密着させたものである。また、ケーシング１１は、フッ素系樹脂を主材料として構成されているのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 近年ＬＣＤ基板の生産性向上に伴って、加熱板の更なる大面積化が進み、加熱板の軽量化だけでなく均熱性の確保が問題となってきている。したがって、急速な昇降温が可能であり、かつ、急速な昇降温の条件下でも加熱基板の均熱性を確保できる基板加熱装置を提供する。
【解決手段】 加熱板と気流攪拌ファンとを具備する基板加熱装置であって、前記加熱板が発熱体と伝熱板と板状支持体とで構成され、かつ、前記板状支持体が隔壁に空孔を有する格子型構造物の上下に平板を取り付けた構造物からなることを特徴とする基板加熱装置。
基板加熱装置をこのような構成にすることにより、板状支持体の各格子間の空気の移動が可能となり、また、気流攪拌ファンにより気流を生じせしめることにより、従来よりも均熱性が改善される効果がある。 （もっと読む）

【課題】耐圧性を低下させることなく昇温効率が確実に向上される、加熱装置、定着装置、及び、画像形成装置を提供する。
【解決手段】幅方向に間隙をあけて配設された複数の発熱抵抗体４１と、複数の発熱抵抗体４１に電圧を印加するために複数の発熱抵抗体４１の厚さ方向両面にそれぞれ配設された１対の導電性部材４２、４３と、複数の発熱抵抗体４１から発せられた熱を被加熱体に伝熱する伝熱部材４３と、を備える。１対の導電性部材４２、４３は、互いの沿面距離Ｄ２及び空間距離Ｄ１が発熱抵抗体４１の厚さｔ以上になるように形成される。 （もっと読む）

【課題】半導体製造プロセスにおいて被加熱物を均一に加熱することのできる加熱装置を提供する。
【解決手段】加熱装置１０は、加熱面を有するセラミックス基体１１と、このセラミックス基体１１の内部に埋設された発熱体１２とを備える。このセラミックス基体１１内部における加熱面１１ａと前記発熱体１２との間に、熱伝導性部材１４を有している。熱伝導性部材１４は、セラミックス基体よりも高い熱伝導率を有している。 （もっと読む）

本発明は、ヒータ(8)とウェハー(7)との間に配置されるウェハーのサセプタ(6)用に、艶消し透明石英の材料を有する半導体ウェハー用ヒータアセンブリに関し、ヒータ(8)から放出された放射エネルギーの特定の波長において、艶消し透明石英の材料が赤外領域からの熱放射に対して「熱透過性」であるようになっている。ヒータアセンブリは、ウェハー(7)が支持される上側石英プレート又はサセプタ(6)が、「光透過性」でないけれども、3.5μｍの波長よりも短い赤外線放射に対して90パーセントを超える「熱透過性」であり、且つ従来の透明石英材料よりも高い許容誤差および機械的強度を有する材料から形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 昇温速度が速くスループットを向上させることができ、ウエハを加熱処理する定常状態だけでなく、ウエハ処理の過渡的状態においても優れた均熱性を達成することができる加熱体を提供する。
【解決手段】 ウエハを加熱するための加熱体であって、ヒータ基板２と発熱体３を備えたヒータ１と、ヒータ基板２より熱伝導率の高い均熱板５とを具備し、均熱板５がヒータ１のウエハ載置面１ａの反対側に断熱層４を間に挟んで固定されている。ヒータ基板１の材質はセラミックスが好ましく、その中でも窒化アルミニウムが特に好ましい。また、均熱板５の熱容量はヒータ基板２よりも大きいことが好ましく、その材質としては銅又は銅合金が特に好ましい。 （もっと読む）

本発明は、特に自動車用の電気補助加熱装置において空気を加熱する、熱発生素子（１）であって、少なくとも１つのＰＴＣ加熱素子（５）と、前記ＰＴＣ加熱素子（５）と前記ＰＴＣ加熱素子（５）をはさんでその両側に配置された電気導体片（６；７，１０）とを囲む絶縁ハウジング（２、３）と、を具備する熱発生素子（１）に関する。このような熱発生素子（１）を作るために、導体片と少なくとも１つのＰＴＣ素子との間の良好な接触を確保することができ、熱発生素子は、ＰＴＣ素子を高絶縁の状態で収容するのに適しており、本発明では、密閉片（４、２１）を挿入した状態で互いに対向して配置され、少なくとも１つのＰＴＣ加熱素子（５）を密閉して囲む、ハウジングシェル要素（２）とシェルカウンタ要素（３）を有する、２つの部品からなるハウジング（２、３）を具現化することを提案する。本発明は、さらにフレーム内に収容された層構造を有し、少なくとも１つの熱発生装置（１）を含む自動車用電気補助加熱装置に関する。 （もっと読む）

【課題】優秀なＰＴＣ特性と低い初期電気抵抗とを兼備し、局部過熱を生じない優れた発熱機能を有し、かつ優れた柔軟性及び良好な形態安定性を有し、かつ厚さの薄い新規な面状発熱体を提供すること。
【解決手段】
カーボンブラック或いはグラファイト、パラフィン、及び熱可塑性エラストマからなるＰＴＣ導電性組成物が合成繊維からなる長繊維織物に含浸乃至塗布及び焼成されて成る面状発熱シートに対して順次その両面に絶縁フィルムを、片面もしくは両面に均熱シートを被覆してなり、かつ下記▲１▼〜▲５▼の条件を満足するＰＴＣ面状発熱体；
▲１▼厚さが０．６ｍｍ〜１．５ｍｍの範囲内であること
▲２▼Ｄ_２０が２５０Ｗ／ｍ^２〜６００Ｗ／ｍ^２の範囲内であること
▲３▼Ｄ_２５／Ｄ_４５が２以下であること
▲４▼Ｄ_４５／Ｄ_８０が１０以上であること
▲５▼Ｄ_２５／Ｄ_８０が２０以上
ただし、Ｄ_２５、Ｄ_４５、Ｄ_８０は、それぞれ２５℃、４５℃、８０℃における電力密度を意味する。 （もっと読む）

【課題】 人体にやさしく、環境に優しく、小型で、発熱体パネルの部分温熱ができると共に、半永久的に使用可能な温熱板を提供する。
【課題手段】 本発明は、防錆処理を施した金属板を四角の均一の大きさに切断し、金属板に多数の通気孔、端子箱、および、ターミナルを形成し、金属板の四辺を曲げ加工して発熱体パネルを形成する金属板加工段階、発熱体パネルの表面をコーティングして遠赤外線放射層を形成するコーティング段階、発熱体パネル内に粉塵防止用不織布を敷き、多数のセラミックス発熱体を数個づつ直列連結するセラミックス発熱体配線段階、天然炭を粉碎して粒子形態とし、水と天然接着剤とを混合して緩い状態の炭練りを形成する炭練り形成段階、発熱体パネル内に多数のセラミックス発熱体が埋沒された均一厚さの天然炭層をモールド成形する天然炭層成形段階、および、発熱体パネル底面に下面仕上材を貼着する仕上材貼着段階、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で電極部の温度上昇を防止することが可能な加熱用窒化アルミニウム基板、加熱装置および加熱用窒化アルミニウム基板の製造方法を提供する。
【解決手段】加熱用窒化アルミニウム基板１００は、相対的に高い熱伝導率を有する高熱伝導部分１１０と、相対的に低い熱伝導率を有する低熱伝導部分１２０とを備える。高熱伝導部分１１０は、少なくとも発熱体の一部が形成されるべき平面領域に配置されている。低熱伝導部分１２０は、少なくとも電極の一部が形成されるべき平面領域に配置されている。セラミックヒーター１は、加熱用窒化アルミニウム基板１０と、高熱伝導部分１１に形成された発熱層２０と、低熱伝導部分１２に形成された電極層３０とを備える。酸化雰囲気中で窒化アルミニウム基板を部分的に酸化して、酸化アルミニウムを含む部分を窒化アルミニウム基板内に形成することによって低熱伝導部分１２０を形成する。 （もっと読む）

【課題】長尺の面状発熱体を形成するために、連結部に隣接する連結枝電極は同極として、短絡やマイグレーション等の心配をなくし、品質の安定した面状発熱体を提供することにある。
【解決手段】連結部に位置し枝電極３ｃ、３ｄの後部と次に印刷される前部の一部を重ねて連結して他の部分より幅の広い連結枝電極３ｅを配設するとともに、前記連結枝電極３ｅ上に高分子抵抗体４の継ぎ部４ａを配設してあるので、連結部に隣接する連結枝電極７、８同士の短絡による異常発熱やマイグレーション等の心配がなくなるとともに、連結枝電極３ｅ上に高分子抵抗体４の継ぎ部４ａを配設することにより、継ぎ部４ａでの高分子抵抗体４の発熱はなく所定温度より高くなり不安全になる心配がなくなる。 （もっと読む）

【課題】連結部に発熱部を形成する構成として、連結部の温度低下を極力少なくさせ、使用感の向上を図った長尺の面状発熱体を提供することにある。
【解決手段】連結部は高分子抵抗体４の重ね代による抵抗値の低下分を補うように、前記連結部を挟む枝電極間３ｃ、３ｄ距離を大きくしてあるので、簡単な構成で連結部もとぎれなく発熱部を形成することができるとともに、連結部に位置する発熱部は、高分子抵抗体４の重ね代による抵抗値の低下分を補うようにしてあり、所定温度より高くなり不安全になる心配がなくなる。したがって、連結部に発熱部を形成することができるので、面状発熱体１を連結して長尺にしても、連結部の温度低下を極力少なくさせ、使用感の向上を図ることができるようになる。 （もっと読む）

【課題】定着用のフィルムとの摺動性を向上させて良好な定着性を有するヒータを実現する。
【解決手段】耐熱・絶縁性材料で形成した長尺平板状の絶縁基板１１上の長手方向に平行して発熱抵抗体１２，１３を形成する。直列接続された状態の熱抵抗体１２，１３に電極１４，１５から電力を供給する。発熱抵抗体１２，１３上に絶縁ガラス製のオーバーコート層１９１，１９２を形成する。電極１４，１５およびオーバーコート層１９１，１９２以外にオーバーコート層１９１，１９２の表面粗さと異なる粗さのオーバーコート層２０を形成する。これによりヒータを構成する。ヒータの摺動面に加圧ローラによりフィルムを摺動させたとき、ガラス表面の粗さを変えているため、適度なフィルム摺動性が得られスリップやトルクアップ等を防止できる。 （もっと読む）

【課題】基材およびこの基材を加熱する熱源を備えるヒーター用部材において、素早い加熱応答性を保持し、温度の均一性を向上させ、かつ耐久性を向上させる。
【解決手段】ヒーター用部材１、１Ａは、熱伝導率が５．０Ｗ／ｍ・Ｋ以上の基材３、基材３を加熱する熱源２、および基材３の少なくとも一部を被覆する、熱伝導率０．５Ｗ／ｍ・Ｋ以下のアモルファス炭素膜４、５を備えている。 （もっと読む）

【課題】長尺の面状発熱体の様々の長さに対応しやすいようにするとともに、連結部の無発熱部の範囲をできるだけ小さくすることができるようにすることにある。
【解決手段】連結部を挟むように第１主電極３ａ、３ｂから交互に対向する第１主電極３ａ、３ｂに向かって一対の第２主電極３ｅ、３ｆを配設し、さらに前記第２主電極３ｅ、３ｆから交互に対向する第２主電極３ｅ、３ｆに向かって櫛形形状の第２枝電極３ｇ、３ｈを配設してあるので、第２枝電極３ｇ、３ｈ間の高分子抵抗体４はすべて発熱部として機能し、第２枝電極３ｇ、３ｈ間の重ね代を調整することで、長尺の面状発熱体の様々の長さに対応しやすくすることができるようになる。 （もっと読む）

【課題】 載置台と背面プレートを備えるヒータユニットについて、均熱性を維持向上させながら、昇温速度及び降温速度の高速化を図ると共に、そのヒータユニットを搭載することで、高いスループットを達成し得る半導体やフラットディスプレイパネルの製造検査装置を提供する。
【解決手段】 ヒータユニット１０の載置台１１と背面プレート１２の間に高熱伝導シート１４を挿入することにより、熱移動を載置台１１の処理面１１ａと平行方向に広げ、優れた均熱性を確保する。また、載置台１１の厚みを薄くしてヒータユニット１０の熱容量を低減し、冷却ブロック３をヒータユニット１０の背面プレート１２に当接又は分離させて、昇温速度及び降温速度の高速化を図る。 （もっと読む）

【課題】可撓性部材が接触しつつ移動するガラスコート層を有する加熱体について熱効率の向上と摺動性の確保を両立できるようにする。
【解決手段】被加熱材Ｐを可撓性部材２を介して加熱する加熱装置１０７に用いられる加熱体であって、基板と、前記基板の基板面上に形成された発熱体と、前記基板７面上に形成され前記可撓性部材が接触しつつ移動するガラスコート層８の熱伝導率が２Ｗ／ｍ・Ｋ以上であり、前記ガラスコート層の表面粗さが十点平均粗さＲｚで０．７μｍ以上１．４μｍ以下である。 （もっと読む）