【課題】 熱源体の経路や熱源体の端子の配置の自由度が高く、その結果、温度分布を十分に最適化することができるとともに端子の取り合い位置を自由に設計できるサーモプレートを提供する。
【解決手段】 伝熱体としてのプレート２と、線状または管状に形成され、プレート２の板面に形成された溝部２ａ〜２ｅ内に、溝部２ａ〜２ｅの底部に沿って組み込まれた、それぞれ発熱または冷却可能な複数の熱源体４ａ〜４ｅとを備え、複数の熱源体４ａ〜４ｅのうちの少なくとも一組は、互いに交差するよう配設され、当該交差する熱源体４ａ〜４ｄと熱源体４ｅとがそれぞれ組み込まれる各溝部２ａ〜２ｄと溝部２ｅとは、互いに異なる深さに形成されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、所定形状の板状部材における外周面に沿って巻回されるように配置された薄膜状の発熱抵抗素子を備える面状発熱体を提供することを目的とする。
【解決手段】面状発熱体１は、絶縁性の板状部材２１と、板状部材２１の外周面に巻回されるように配置される薄膜状の発熱抵抗素子２０と、記板状部材２１の第１の面２１０Ａに配置される絶縁性の第１のカバー部材３と、板状部材２１の第２の面２１０Ｂに配置される絶縁性の第２のカバー部材４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】蒸留装置とヒータとをより一体化することにより熱伝導効率を高め、大型化とメンテナンス性の良い蒸留装置用ヒータを提供する。
【解決手段】蒸留装置の蒸留槽１０の底部に一体化され、円筒型ヒータエレメント１２を装着するための角型の溝を有するケーシング１１と、蒸留槽内の液体を加熱し、蒸留するための円筒型ヒータエレメント１２と、円筒型ヒータエレメント１２をケーシング１１に圧着して装着する圧着板１３とを有する。 （もっと読む）

【課題】 被処理物保持面の加工が安価で部品コストの低減を図ることができ、且つ被処理物保持面における均熱均熱性に優れ、必要に応じて急速昇温及び急速冷却が可能な半導体製造装置用の保持体を提供する。
【解決手段】 抵抗発熱体７を有する板状でＡｌＮ等からなるセラミックスヒータ５の上に、被処理物９を保持するＡｌ等からなる金属製保持部１０を備えている。金属製保持部１０内には、冷却媒体が中央付近から放射状に移動し、外周縁に排気されるように流路１２が形成されている。この保持体１０は、コータデベロッパでのフォトリソグラフィー用樹脂の加熱硬化又は半導体絶縁膜の加熱焼成に用いられる。 （もっと読む）

【課題】ＰＴＣ発熱体の絶縁支持構造の最適化で、局所的な過熱を防止する。
【解決手段】電気的フラッシュオーバーに対する安全に関して改良された熱発生要素は、非伝導性の絶縁層８によって２つの電気的なストリップ導体４を外側で囲むことにより、対象となっているこの発明で創作されている。更に、複数の熱発生要素５６で空気を加熱するための加熱装置を改善しており、加熱装置は、少なくとも１つのＰＴＣ素子６と、ＰＴＣ素子６の対峙する側表面上に置かれた電気的なストリップ導体４と、平行な層になって配置される複数の熱放射要素５６とを備えており、熱放射要素は、熱発生要素５６の対峙する側にあって所定位置に保持される。熱放射要素５６が間に絶縁層８を置いて熱発生要素５６の対峙する側に位置するという事実のために、熱放射要素には電圧がなく高い確実性で電気的なフラッシュオーバーから保護される。 （もっと読む）

【課題】 窒化アルミニウム焼結体の粒界強度の低下を極力防ぐことにより、パーティクルの発生の少ないサセプタを提供する。
【解決手段】 本発明の窒化アルミニウム焼結体は、含有するカドミウムとリンの量を一定値以下に制御する。すなわち、窒化アルミニウムを主成分とする窒化アルミニウム焼結体において、窒化アルミニウム焼結体中のカドミウムの含有量が１５０ｐｐｍ以下であり、かつリンの含有量が１００ｐｐｍ以下であることを特徴とする。前記窒化アルミニウム焼結体に、抵抗発熱体が形成されていることが好ましく、半導体加熱用部品として使用されることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】本発明は、高温で連続使用が可能で、極めて均一な発熱領域を有し、発熱層および絶縁層が強固に一体化されたフレキシブルな面状発熱体及びその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る面状発熱体は、発熱層、電極、および絶縁層を積層してなる。発熱層では、ポリイミドからなるマトリックス樹脂中にカーボンナノ材料及びフィラメント状金属微粒子からなる導電性物質が実質的に均一に分散されて存在している。電極は、発熱層に電力を供給するためのものである。絶縁層は、発熱層および電極を被覆する。 （もっと読む）

【課題】表皮電流加熱装置をユニット化することにより、施行現場での施行管理、品質管理が容易で敷設作業性の良い表皮電流加熱装置を提供すること。
【解決手段】導電管内に絶縁電線またはケーブルを通し、前記絶縁電線またはケーブルに電流を流すことによって、前記電流とは逆向きの電流を前記導電管の内表面付近に発生させ、これによって前記導電管を発熱させる表皮電流加熱装置であって、発熱量を増加させようとする発熱区間内において、前記導電管が、一対の離間した鋼管と、前記鋼管同士を接続する接続鋼管とから構成され、前記鋼管の外表面と前記接続鋼管の内表面端部とを電気的に接続するとともに、前記電気的に接続された前記鋼管の外表面と前記接続鋼管の内表面端部以外の、前記鋼管の外表面と前記接続鋼管の内表面とが接触しないよう絶縁手段を設け、これにより前記発熱区間以外の箇所よりも前記発熱区間内の発熱量が増加するように構成する。 （もっと読む）

【課題】輻射ヒータを有する定着装置における立ち上がり時の熱ロスを低減し、立ち上がり時間の高速化・省電力化を実現する。
【解決手段】ガラス管２８に封入される不活性ガスをクリプトン又はキセノンを主成分としたものとし、タングステンフィラメント２９を細線化してその色温度を２５００Ｋ以上とする。 （もっと読む）

【課題】 被加熱流体の種類や性質に関係なく、加熱源の光エネルギを効率よく熱エネルギに変換すると共に、間接的に被加熱流体に伝熱して流体の加熱効率の向上を図れるようにすること。
【解決手段】 ハロゲンランプ２３と、このハロゲンランプ２３を包囲すると共に、一端に被加熱流体である洗浄液の流入口２４を有し、他端に洗浄液の流出口２５を有する流路管２６と、を具備する流体加熱装置において、流路管２６を互いに近接又は接触する複数の直状管２６ａにて形成すると共に、直状管２６ａの表面における少なくともハロゲンランプ２３と対向する面に輻射光吸収塗料である黒色塗料２７を塗布する。 （もっと読む）

【課題】摺動性を阻害させることなく良好な定着性が得られるとともに、装置の耐久性を向上させたセラミックヒータを実現する。
【解決手段】窒化アルミニウム等高熱伝導特性を有する長尺平板状の絶縁基板１１の一面に、銀・パラジウム等の通電により発熱が得られる発熱抵抗体１２１，１２２と電力を供給させるための銀、銀白金等の単位面積当たりの抵抗値が低く通電しても大きな発熱現象が起こりにくい給電用の電極部１４，１５を形成する。発熱抵抗体１２１，１２２上には、これらを覆うガラス等で、電気的、機械的、化学的な保護を行うオーバーコート層１８を形成する。発熱抵抗体１２１，１２２が形成された絶縁基板１１の反対面にはポリイミド、ポリイソイミド、ポリアミドイミド等イミド系樹脂にフィラーを含有させ、このフィラーの含有量を絶縁基板１１から表面に向かって漸次低くなり、その表面を摺動面とした樹脂皮膜層２１を形成する。 （もっと読む）

【課題】電気ヒータを用いた冷媒加熱器の使用時における漏電において、感電を防止することが出来る冷媒加熱器を提供する。
【解決手段】ヒータ部２と冷媒通過部３を備え、前記冷媒通過部３は冷媒配管と絶縁性材料で構成され、前記冷媒配管の周囲を前記絶縁性材料で覆い、前記冷媒通過部３を前記ヒータ部２の周囲に螺旋状に配設し、前記冷媒通過部３および前記ヒータ部２の間に液体および／または金属を充填させた冷媒加熱器１０を使用することで、前記ヒータ部２の基礎絶縁が絶縁破壊を起こした時でも、前記冷媒通過部３が絶縁性材料を含んでいるため、前記冷媒配管に電気が伝わることなく、感電を防止できる。 （もっと読む）

本発明は、 断熱ヒータジャケットに関し、特に、シリコンラバーとヒータコントローラと熱ワイヤ構造とによって構成される断熱ヒータジャケットに関する。 本発明の断熱ヒータジャケットは、ポリメチルビニル酸化シリカ溶液を配合して成形したシリコンラバーを用いることにより、耐久性を改善させることができ、さらに、第１の熱ワイヤと第２の熱ワイヤを用いて二重化されたヒーティングパッドを有し、マイクロプロセッサと温度センサが、二重化された熱ワイヤの誤動作状態を監視し、誤動作発生の際に代替動作するように制御することにより、精密な温度制御はもとより、２４時間常時誤動作無しに信頼性のある性能を発揮することができるという効果がある。
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【課題】本発明は、熱的衝撃による基板破損を防止することができ、基板の熱伝導率が低く抵抗発熱体の発熱量を効果的に定着処理に用いることができ、さらに非通紙部昇温を制御できる面状ヒータを提供することを目的とする。
【解決手段】面状ヒータは、絶縁基板、発熱体、電極、および耐熱絶縁層を備える。絶縁基板は、ポリイミド樹脂から成る。発熱体は、導電性物質が混合分散されたポリイミド樹脂から形成されており、絶縁基板上に設けられる。電極は、発熱体に電力を供給するためのものである。耐熱絶縁層は、絶縁基板と発熱体とを覆うように形成される。 （もっと読む）

【課題】 設置コスト及び消費電力をかけずに省スペースで被加熱物を均一に加熱可能な加熱装置及び方法を提供する。
【解決手段】 被加熱物を加熱するブロック部材（１）と、ブロック部材（１）を加熱する加熱手段（３）とを有する加熱装置において、ブロック部材（１）と加熱手段（３）との間に、加熱手段（３）から発生する熱をブロック部材（１）に拡散する熱拡散層（２）を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 より簡単な構造からなり、組立て作業も簡単な赤外線均熱加熱装置を提供する。
【解決手段】 赤外線ランプ２を内蔵し、複合型反射ミラーからなる赤外線加熱機構部１と、上記赤外線ランプ２で発生した赤外線を集光して赤外線を透過、伝送する透明石英円柱３とからなる赤外線均熱加熱装置であって、上記透明石英円柱３の赤外線放出端３Ｂに、中央部に切欠凹部７を形成して構成した均熱機構１０を設けてある。 （もっと読む）

【課題】光源と伝熱板を有する加熱ユニットにおける該伝熱板からの輻射を有効に利用できる加熱ユニットを提供すること。
【解決手段】光源１と伝熱板４とを有する加熱ユニットにおいて、伝熱板を光透過性の保持体２と、その上面に設けた伝熱体３とから構成し、該伝熱体の表面から被加熱物への輻射を増大させる手段として表面３Ａに拡散面加工を施して伝熱体裏面３Ｂより表面積を増大させ、光源光により加熱される伝熱体３からの輻射量を増大させる。 （もっと読む）

【課題】耐食性と機械的強度に優れたイットリア焼結体を提供する。
【解決手段】イットリア焼結体は、イットリアを主成分とし、窒化珪素を５〜４０体積％含む。 （もっと読む）

【課題】 昇温開始から冷却終了までの間の温度分布をより均一にできる加熱体及びこれを搭載した装置を提供する。
【解決手段】 本発明の半導体製造装置用加熱体は、被処理物を載置あるいは一定の距離を離して加熱する加熱面を有する基材と抵抗発熱体とから構成される加熱体であって、前記基材の熱容量が、該基材内で分布を形成することを特徴とする。前記基材もしくは基材の一部が、１種の金属あるいは２種以上の金属の複合体または合金からなることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】セラミックヒータに対しては、それぞれの機能を発現するため、冷始動時の立ち上がりを早くする等、急速昇温が要求されていたが、素子表面に形成される多孔質のセラミック層は、その厚みが厚いために、ヒータ部が急速昇温する際にセラミックヒータ素子と多孔質セラミック層との熱膨張量の差により多孔質セラミック層が剥離するという問題があった。
【解決手段】発熱体を埋設した平板状または円筒状のセラミックヒータ素子の先端部に２層以上の多孔質のセラミック層を形成し、該セラミック層の端部は段形状またはテーパー状であることとした。あるいは、一番内側のセラミック層の端部の少なくとも一部が他のセラミック層の端部より露出させた。 （もっと読む）