【課題】 ウエハの大口径化及び配線の微細化に伴って要望される高い均熱性及び信頼性を有するウエハ保持体を提供する。
【解決手段】 ウエハを載置して加熱する加熱体１１と、この加熱体１１をチャンバー内で支持する支持部材１５とからなる半導体製造装置用ウエハ保持体であって、加熱体１１は、そのウエハ載置面を複数の領域に分割して得られる各領域毎に、加熱体１１内に埋設されている発熱体１２ａ、１２ｂと、発熱体１２ａ、１２ｂに接続されている電極部１３ａ、１３ｂと、発熱体部１３ａ、１３ｂが埋設されている領域の温度を測定する温度測定素子部１４ａ、１４ｂとを有しており、支持部材１５は、電極部１３ａ、１３ｂと温度測定素子１４ａ、１４ｂとを全て内包し、且つウエハ載置面上に載置されるウエハを着脱するためのリフトピンを内包していない。 （もっと読む）

【課題】十分に持続荷重性があり、耐食性があり、低コストに製造可能である加熱要素を提供する。
【解決手段】電気エネルギーを供給するための前記他の導体素線２が加熱ゾーン１００を加熱するための少なくとも１個の前記導体素線１と導電結合されている接触領域２００と、を備えた加熱要素２０、特に車両の車室の利用者接触面を加熱するための加熱要素２０であって、前記導体素線１と前記他の導体素線２の少なくとも一方が局所的に機能不全を起こした場合に、機能不全部位を橋絡する電気橋絡導線の少なくとも一部を前記機能不全部位に形成させる少なくとも１個の補助導体３が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】導電発熱材料に関連する。欠点は構造が複雑で、エネルギーの損失が大きく、熱の伝導の距離が長いため熱が床を通ってから室内に届くまでの熱が伝導するスピードが遅いことである。
【解決手段】導電発熱材料１０１は基材及び均一に基材につける導電発熱層を含んでいる。導電発熱層の表材料は天然石墨、人造石墨、導電カーボンブラックから選ばれる。粘着剤はアクリル酸樹脂、エポキシ樹脂、ポリウレタン、ゼラチン、カルボキシメチルセルロース、ポリエチレン等から選ばれる。熱伝導性の床は220Vの電圧の下で5分以内に表面は15−70℃の温度が長期、安定に保持できるこの熱伝導性の床は今運用している暖房システムに取って代わることができ、低コストで、安全で、エネルギーを節約でき、環境に良く、修理が簡便である利点を持っている。 （もっと読む）

【課題】アルミニウム製の支持板を使用したものであっても、高温時の剛性を確保し、高温の下で反りや曲がりが無く、しかもアルミニウム製の支持板としての諸特性（耐食性の優れた絶縁皮膜いわゆるアルマイト処理）を満足することが出来る基板加熱プレートヒータを得る。
【解決手段】基板加熱プレートヒータは、金属製の板体からなる支持板１と、この支持板１の中に埋設されたヒータ線３とを有する。支持板１にヒータ線３に沿って同支持板１より剛性の高い補強部材４が埋め込まれ、この補強部材４が支持板１と同じ材質の蓋体７により覆われている。 （もっと読む）

【課題】高精度な温度で効率よく加熱することが可能な加熱装置を提供する。
【解決手段】複数のカートリッジヒーター２を内蔵した加熱ブロック１に固定部材５を用いてブロック部材３を密着させ、このブロック部材３を介して外部の被加熱物を加熱する構成の加熱装置１０において、固定部材５の大径部５ｂとブロック部材３との間に、ブロック部材３の線膨張係数α３および固定部材５の線膨張係数α５よりも大きな線膨張係数α４を持つ調整部材４を介設し、常温から所定の設定温度に加熱しても、熱膨張差によってブロック部材３と固定部材５との間に隙間ができることを、調整部材４の熱膨張によって補い、固定部材５による、加熱ブロック１に対するブロック部材３の締結力を確実に維持して、加熱ブロック１からブロック部材３への熱伝達の均一化および効率化を実現する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、加熱調理において熱損失を低減し調理するまでの時間の短縮し効率高く加熱するすとともに、エネルギー消費を低減することができる熱源を有する加熱調理器を提供すること。
【解決手段】加熱調理器において用いられていた発熱体ユニットが、加熱源として発熱体を有し、前記発熱体が炭素系物質を含む材料により板形状或いは帯形状に形成され、前記発熱体断面における幅広部が被加熱物に板面を対向するよう設けられた前記耐熱板の前記板面に対し鉛直方向に位置するよう配設することで耐熱板側を均一に加熱し、熱容量が少なく、優れた立ち上がり特性を有しており、ネルギーロスが少ない加熱調理が行われる。 （もっと読む）

【課題】 被加熱物の加熱時間が短縮でき、表面の温度分布を小さくできる、熱伝達性に優れたセラミックヒータを提供する。
【解決手段】 板状のセラミック体１の内部に発熱体２を有し、セラミック体１の主面に多数の無機質の粒子６が固着しているセラミックヒータ10である。セラミックヒータ10の主面の比表面積が多数の粒子６が固着していることによって増大し、被加熱物への熱伝達の効率がよくなり、加熱時間を短縮できる。また、セラミック体１の主面の温度分布を小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、熱効率、信頼性及び保守性に優れた面状発熱体を提供する。
【解決手段】発熱体１と、コーティング層３を介して該発熱体１を挟み込む加熱板２とを有する面状発熱体１０において、前記コーティング層３は、前記加熱板の厚み方向のうち前記発熱体に対向する該加熱板のそれぞれの面に、窒化珪素又はアルミナを含むセラミックス材料で形成され、かつ、該コーティング層３に、線状又は箔状の該発熱体１を収容するための溝部４が形成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】２００〜５００℃の温度範囲で、高速かつ高精度に基板温度を制御可能な基板ホルダを提供する。
【解決手段】ホルダ本体１Ａの基板保持側に静電チャック３を備え、基板１０を静電吸着する基板ホルダ１であって、静電チャック３に内蔵され、基板１０を加熱する加熱手段４と、ホルダ本体１Ａの内部に形成され、循環媒体１０１を循環供給する循環媒体供給手段２に接続された循環媒体流通経路１００と、ホルダ本体１Ａと静電チャック３との隙間に伝熱ガスを封止して形成され、封止圧力を調整可能な伝熱ガス供給系１１０に接続された熱伝達能可変手段６と、静電チャック３と基板１０との隙間に伝熱ガスを封止して形成され、伝熱ガス供給系１２０に接続されたガス封止手段８と、を備える。 （もっと読む）

【課題】面状発熱体の周囲に均一に発熱させることができ、また加工性よく設置することができる熱安定性の高い面状発熱体を提供することを目的とする。
【解決手段】内側電極としての芯電極２、前記芯電極２に周設された主成分が反応性樹脂を介して架橋された導電体を含有して成る高分子抵抗体３、および前記高分子抵抗体３の表面に周設された外側電極４を有する発熱体５と、この発熱体５を保持する金属フィルム６、熱融着フィルム７からなるシート状の積層フィルムとにより構成した。したがって、長期にわたり均熱性の優れたＰＴＣ特性を有する面状発熱体を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】 板状のヒーターの表面全体から遠赤外線を放射し、対象物に対して広い範囲から柔かく遠赤外線を照射することができると共に、裏面方向への熱の伝達を抑制する遠赤外線パネルヒーターを提供することを目的とする。
【解決手段】 絶縁体よりなる芯板５に電熱ヒーター６を巻回して電熱板７を形成し、当該電熱板７を絶縁板８で挟持して発熱体４を形成し、金属板２の裏面に前記発熱体４を取り付けると共に、当該発熱体４の裏面に耐火モルタル９を充填し、前記金属板２の表面に加熱により遠赤外線を放射するセラミック３を塗装してなる。 （もっと読む）

【課題】外周部の腐食を抑制可能なセラミックスヒータを提供する。
【解決手段】セラミックスヒータは、プレート１０と、シャフト３６とを備える。プレート１０は、第１基体１２と、第１基体に接合される第２基体１４とを備える。第１基体１２の載置面１２ｂには、載置された基板と接触する表面を有する第１領域２２と、基板５０により覆われる位置に、第１領域を囲むよう設けられたパージ溝２０と、パージ溝２０を囲む表面を有する第２領域２３とが定義される。第１基体１２は、載置された基板を第１領域の表面上に吸着する手段と、パージ溝２０の底面から第１基体１２の下面まで貫通する複数のパージ孔２４とを有する。パージ溝２０には、複数のパージ孔２４を介してパージガスが供給される。第２領域２３の表面は、第１領域２２の表面よりも低い。 （もっと読む）

【課題】自動車の電気補助暖房機において空気を暖めるための発熱体、少なくとも１つのＰＴＣ加熱素子と、前記ＰＴＣ加熱素子を囲み込む絶縁性の筐体、及び内側の表面がＰＴＣ加熱素子の対向面に接触する導電体を具備する発熱体の電気的フラッシュオーバーに対する安全性および熱出力を高める。
【解決手段】導電体１０の外側の各表面が少なくとも２つの相互結合されたプラスチック・シートを有する絶縁層７によって被覆されるべきであること、及び絶縁層７が筐体２、３に固定的に連結する。さらに、少なくとも２つの相互結合されたプラスチック・シートを有する絶縁層を間に介して、発熱体の対向面に接触する放熱体を有する。 （もっと読む）

【課題】管状被加熱体の曲がり部でも効率よく加熱できる被覆加熱装置を提供すること。
【解決手段】本発明の被覆加熱装置２０は、方形板状の互いに背向する両辺部２１a、２１bが当接されてパイプ状となる柔軟で断熱性を有する被覆本体２１と、被覆本体２１の内周面に固定され、互いに背向する両辺部２１a、２１bから中央部に向かう深さが異なるＶ字状の切込み２２a、２２bを少なくとも一対持つ発熱体２２と、被覆本体２１が管状被加熱体の外周面を覆うように両辺部２１a、２１bを当接させて被覆本体２１を被加熱体に固定する固定手段２３と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板を載置する上面の局所的な温度分布を低減する。
【解決手段】基板が載置される上面１２ａを有する基体１２と、上面１２ａを含む上部１２１に埋め込まれ上面１２１に略平行な平面形状を有する第１発熱体１４と、上面１２ａを含む上部１２１に接合される下部１２２に埋め込まれ上面１２ａに直交する方向において、上面１２ａに対して第１発熱体１４よりも下方に配設される平面型の第２発熱体１６とを備え、第１発熱体１４を基体１２の上面１２ａに投影した第１投影パターン２４と、第２発熱体１６を上面１２ａに投影した第２投影パターン２６とが重なる重複部を有する。上面１２ａの面積に対する第１投影パターン２４と第２投影パターン２６との面積の合計の占有率が８５％以上であり、上面１２ａにおける第２投影パターン２６の面積に対する重複部の面積の割合が５％以上である。 （もっと読む）

【課題】基板を加熱又は冷却する際に発生する過渡的な温度分布の拡がりを従来よりも小さくすることができる基板温度制御装置用ステージを提供する。
【解決手段】この基板温度制御装置用ステージは、基板の温度を制御する基板温度制御装置において所定の直径を有する基板を所定の位置に載置するために用いられるステージであって、基板に対向する第１の面において、基板の端縁に対応する位置を含む領域に中心部よりも低い段差部が形成されたプレートと、プレートの第１の面と反対側の第２の面に配置された温調部とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 処理チャンバ内で使用される被加熱型の基板支持プレートを改良すること、特に熱特性を向上させることにある。
【解決手段】 本発明の基板支持プレート１３６は、加熱要素５４，５６を受け入れるための溝９０，１００を有している。加熱要素５４，５６は、外被２００と、ヒータコイル２０２と、熱伝導充填材料２０４とから構成されている。この加熱要素５４，５６は溝９０，１００内に配置された後、圧縮されて熱伝導充填材料がヒータコイルの回りで圧密化されるようになっている。 （もっと読む）

本発明は電気伝導装置に関する。前記電気伝導装置（５）は、少なくとも１つの伝導部品サポート（５．２）と、少なくとも部分的に前記伝導部品サポート（５．２）に沿って、又はその中に配置された少なくとも１つの伝導部品（５．１）と、を備える。
（もっと読む）

【課題】加熱面に取り付けられた被加熱物を面内で均一に加熱することのできる、しかも広い温度範囲で良好に均熱性を維持することが可能な加熱装置を提供する。
【解決手段】加熱装置１０は、加熱面１１ａを有し抵抗発熱体１２が埋設されたセラミックス基体１１と、このセラミックス基体１１の背面１１ｂに近接して取り付け固定された温度調節部材２１とを備えている。このセラミックス基体１１の加熱面と抵抗発熱体１２との間に、セラミックス基体１１の熱伝導率よりも高い熱伝導率を有する熱伝導性部材１４が配設されている。セラミックス基体１１と温度調節部材２１との間の空隙３１に、ガスが圧力を調節可能に導かれる。 （もっと読む）

【課題】特に車両窓の透視面箇所に使用して有益であり且つ、表面の曇り除去や、表面上の積雪の融解などを効率的に行える発熱樹脂シート１７を提供する。
【解決手段】電熱線６をポリカーボネート樹脂シート９の肉部中に埋設した発熱樹脂シート１７である。発熱樹脂シート１７中の電熱線６は、その表面の大部分が前記肉部の材料に密接しているが、電熱線６の略全長範囲の任意断面の一部が連続して発熱樹脂シート１７の一方の表面の外方に露出している。熱可塑性樹脂シート１７には、よりも硬質で熱伝導性の大きい材料からなるハードコート層が少なくとも前記一方の表面を被うように形成る。シート１７は、電熱線６に電流を流した状態の下で、該電熱線６を熱可塑性樹脂シート９の少なくとも一方の表面に押圧するように実施して製造する。
該製造において、耐熱粘着フィルム、電熱線６及び剥離フィルムとからなる電熱線貼着シートや、治具板の上面に複数のポスト部材を備えた電熱線貼着シート製造具が使用される。 （もっと読む）