【課題】従来の成膜装置において、マスクに対するクリーニングは、長時間にわたり行われていた。
【解決手段】成膜室を有し、成膜室は、プラズマを発生させる手段を有し、プラズマを発生させる手段は、成膜室に配置されるマスクを電極として有することができ、マスクに高周波電界を印加して、成膜室に導入されたガスを励起してプラズマを発生することができる。Ａｒ、Ｈ、Ｆ、ＮＦ_３、またはＯから選ばれた一種または複数種を有するガスを用いてプラズマを発生させる。 （もっと読む）

【課題】本発明では、特に、ＮＴＳＣ方式の規格末端近傍の色度範囲でも、輝度が高く、また明度（透過率）が高い画素を形成しうる着色樹脂組成物を提供することを課題とする。
本発明はまた、高品質の液晶表示装置及び有機ＥＬ表示装置を提供することを課題とする。
【解決手段】（Ａ）顔料、（Ｂ）溶剤、（Ｃ）バインダー樹脂を含有する着色樹脂組成物であって、該（Ａ）顔料として、臭素化亜鉛フタロシアニン顔料、及びニッケルアゾ系黄色顔料、及びＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９を含有し、該着色樹脂組成物を用いて形成された組成物膜のＸＹＺ表色系における色度座標が、ＮＴＳＣ方式の規格末端近傍の色度範囲である時に、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９を特定量含有することを特徴とする、着色樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】低コストで、後工程にて形成される上層の塗布性に優れ、かつ高信頼性を示す電界効果型トランジスタなどの提供。
【解決手段】絶縁性基板と、前記絶縁性基板上に形成されたゲート電極と、前記ゲート電極上に形成されたゲート絶縁層と、前記ゲート絶縁層上に形成されたソース電極及びドレイン電極と、前記ゲート絶縁層上に形成され、かつ、少なくとも前記ソース電極及び前記ドレイン電極との間に形成された酸化物半導体層と、前記酸化物半導体層を被覆するように形成された保護層とを有し、前記保護層が、フッ素樹脂を含有し、前記保護層形成後の前記保護層の水に対する接触角が、７５°以上９０°以下である電界効果型トランジスタである。 （もっと読む）

【課題】複数のパネルを組み合わせて大面積で発光させる場合でも、つなぎ目が暗くならず違和感の少ない照明装置を提供する。
【解決手段】発光層１１が発光すると、その出射光の殆どは、透明な陽極層１３及び透明板１４を通過して、発光面１４ａから発光する。このとき、最も強い光は発光層１１の法線方向に出射するので、端面１４ｂに近い発光層１１から出射した光は、その真上にある端面１４ｂの間を通って外部へと出射することとなり、これにより発光面１４ａ側のつなぎ目（Ａ）を目立たなくすることができる。 （もっと読む）

【課題】 信頼性及び色再現性の高い電子装置を提供する。
【解決手段】 単結晶半導体基板１１上にスイッチング用ＦＥＴ２０１及び電流制御用ＦＥＴ２０２を形成し、電流制御用ＦＥＴ２０２にＥＬ素子２０３が電気的に接続された画素構造とする。電流制御用ＦＥＴ２０２は画素間での特性ばらつきが極めて小さく、色再現性の高い画像を得ることができる。電流制御用ＦＥＴ２０２にホットキャリア対策を施すことで信頼性の高い電子装置が得られる。 （もっと読む）

【課題】駆動用トランジスタと、スイッチング用トランジスタを有する発光装置において、トランジスタのばらつきを低減する。
【解決手段】駆動用トランジスタと、スイッチング用トランジスタを有する発光装置において、駆動用トランジスタのチャネル幅をチャネル長よりも小さくする。その際、ゲート配線と平行にアノード側電源線を設けて、フルカラー表示を行う。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い発光装置又は照明装置を提供する。また、製造歩留まりの高い発光装置又は照明装置を提供する。
【解決手段】逆テーパー型に代表される、上部輪郭よりも底部輪郭が内側に存在するような形状の分離層を用い、発光層材料成膜時の回り込み量と、上部電極材料成膜時の回りこみ量との差を利用したコンタクト構造を有する発光装置を提供する。また、当該コンタクト部を形成する分離層の輪郭に凹凸形状を設けることによって当該コンタクトの長さを増やし、コンタクト抵抗を低減することができる。 （もっと読む）

【課題】パターンニング基板の開口部にインキを塗布した後にインキを固化する製造方法であって隔壁内でインキが蒸発乾燥した際に平坦に固化させ、高品質の印刷物を得ることができるようにした。
【解決手段】隔壁201 及び開口部202 を有する透明なパターンニング基板200 の開口部にインキ203 を塗布した後に、そのインキを平坦に固化するパターンニング基板の開口部におけるインキの平坦固化方法であって、開口部に塗布されたインキ203 の気層−液層界面における液層表面の中央部を、金属板204A、204B間の電位差（電界）により電気的に引き上げながらインキ203 表面を平坦化して乾燥固化する。 （もっと読む）

【課題】有機発光素子の製造方法、これによって製造された有機発光素子、および前記有機発光素子を含む電子装置を提供する。
【解決手段】本発明の有機発光素子の製造方法は、（ａ）下部電極上に絶縁層を形成するステップと、（ｂ）前記絶縁層をエッチングし、前記絶縁層の上面から前記下部電極に至る開口部を形成するステップであり、最上側周囲よりも最下側周囲が大きいオーバーハング（ｏｖｅｒｈａｎｇ）構造が形成されるように開口部を形成するステップと、（ｃ）前記開口部内部の前記下部電極上部面および前記オーバーハング構造を除いた前記絶縁層の表面に導電層を形成するステップと、（ｄ）前記開口部内部において、前記下部電極上部面に形成された前記導電層上に有機物層を形成するステップと、（ｅ）前記絶縁層の上部に位置した前記導電層の上部および前記有機物層上部に上部電極を形成するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】スキャナ内のトランジスタの特性の差に起因するスジの発生を抑止することが可能な表示装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】アクティブマトリクス型有機ＥＬ表示装置のＥＬＡ結晶化工程においてエキシマレーザのスキャン方向と、垂直スキャナ内のバッファを形成するトランジスタ（ＴＦＴ）２１０のＬ長方向（電流が流れる方向）が直交する方向になるようにし、かつ、スキャナの画素配列に対応する各段バッファ群の各トランジスタが、チャネル長方向と同方向である駆動信号の出力線の配線方向と直交する方向において、列をなすように形成され、列をなすように形成された各段バッファ群の各トランジスタは、チャネル幅方向において大きい部分と小さい部分とが混在し、かつ、チャネル幅方向における同様の領域において粒径の大きい部分と小さい部分とが存在する。 （もっと読む）

【課題】トランジスタの閾値電圧のばらつきを補償することができ、輝度のばらつきを抑
えることが可能となる表示装置、及びそれを用いた駆動方法を提供する。
【解決手段】第１の期間で初期化を行い、第２の期間で、第１及び第２の保持容量に第１
のトランジスタの閾値電圧に基づいた電圧を保持し、第３の期間で、第１及び第２の保持
容量にビデオ信号電圧と第１のトランジスタの閾値電圧とに基づいた電圧を保持し、第４
の期間で、第３の期間で第１及び第２の保持容量に保持した電圧を第１のトランジスタの
ゲート電極に印加することにより、発光素子に電流を供給し、発光素子を発光させる。こ
の動作過程により、発光素子に第１のトランジスタの閾値電圧のばらつきの影響を補償し
た電流を供給することができ、輝度のばらつきを抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】表示装置において、有機ＥＬ素子のＩＶ特性を正確かつ高速に検出できる半導体特性評価方法およびその装置を提供する。
【解決手段】有機ＥＬ素子１１０と、データ線３１と、有機ＥＬ素子１１０のアノードとデータ線３１との間に挿入された検査トランジスタ１４０と、データ線３１に接続された電流発生回路４０と、データ線３１に接続された電圧発生回路３０と、データ線３１に接続された電圧検出回路５０と、検査トランジスタ１４０を導通にして、データ線３１に対して電圧発生回路３０からのプリチャージを実行させた後、有機ＥＬ素子１１０に対して電流発生回路４０から電流を印加させている間に有機ＥＬ素子１１０のアノード電圧を電圧検出回路５０に計測させ、電圧検出回路５０で計測された有機ＥＬ素子１１０のアノード電圧が安定でないと判定した場合、プリチャージの条件を更新する。 （もっと読む）

【課題】透明導電膜、透明導電膜付き基材、及びそれを用いた有機エレクトロルミネッセンス素子において、透明樹脂層同士の混合を抑制し、一方の透明樹脂層が他方の透明樹脂層によってダメージを受け難く、表面が平滑で導電性が均一とする。
【解決手段】透明導電膜３は、複数の金属細線７を含む第１の透明樹脂層８と、導電性高分子を含む第２の透明樹脂層９と、第１の透明樹脂層８と第２の透明樹脂層９との間に設けられる第３の透明樹脂層１０と、を含む。第２の透明樹脂層９は、水に対して可溶な樹脂を含み、第３の透明樹脂層１０は水に対して不溶な又は耐水性を持つ樹脂を含む。第３の透明樹脂層１０によって、第２の透明樹脂層９が第１の透明樹脂層８と混合することを抑制でき、第２の透明樹脂層９が第１の透明樹脂層８からダメージを受け難くできる。従って、第２の透明樹脂層９の表面が平滑で導電性が均一となる。 （もっと読む）

【課題】発光効率と駆動電圧及び面内均一性が改良された有機エレクトロルミネッセンス素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基板上に陽極と正孔輸送層、発光層、電子輸送層、透光性の電極を少なくとも有する有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法において、該透光性の電極は少なくとも金属酸化物を含有する透明電極であり、かつ、該透明電極は、その作製時に使用する不活性ガスと酸素ガスの混合ガスとして、酸素ガス混合比率を一定速度で増加し作製されたものであることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子及びその製造方法。 （もっと読む）

【課題】トランジスタの閾値電圧や移動度などのバラつきを補償することができるとともに、特に低階調を表示させる場合でも信号線を十分充電することができ、正しい階調表示が可能となる表示装置、及びそれを用いた駆動方法を提供する。
【解決手段】第１の段階で、第１及び第２の保持容量の両電極間に、第１の電源線に印加された電圧と第１のトランジスタの閾値電圧との差に相当する電圧を保持し、第２の段階で、第２の保持容量の両電極間に、第１の電源線に印加された電圧と信号線に入力されるビデオ信号電流に等しい電流を発光素子に供給するのに必要な第１のトランジスタのゲート・ソース間電圧との差に相当する電圧を保持し、第３の段階で、第１及び第２の段階で保持容量に保持した電圧に基づいた電圧を第１のトランジスタのゲート電極に印加することにより、第１のトランジスタを介して発光素子に電流を供給する。 （もっと読む）

【課題】データ線１１４の電位変動に起因するノイズの影響を受けにくくして、発光素子１５０に流す電流を制御する。
【解決手段】互いに交差する走査線１１２およびデータ線１１４と、これらの交差に対応して設けられた画素回路１１０と、シールド配線８１ａ、８１ｂとを有する。画素回路１１０は、発光素子１５０と、発光素子１５０に流れる電流を制御するトランジスター１４０と、トランジスター１４０のゲートノードｇとデータ線１１４との間で、走査線１１２に供給される走査信号にしたがって導通状態が制御されるトランジスター１３０と、を備え、シールド配線８１ａ、８１ｂは、平面視したときにデータ線１１４とトランジスター１４０との間に設けられている。 （もっと読む）

【課題】受容層を備えたメディアにノズルから液状体を吐出し、着弾面積を元に相対的な体積差を求める方法では、メディアの表面状態により広がり具合が変わり、着弾面積の絶対値はメディアの位置、測定するときの湿度等で揺らぐため、そのままではノズル間での相対的な吐出量ばらつきを測定することが難しいという課題があった。
【解決手段】各々加圧部を備える複数のノズルと被吐出物とを相対的に移動させる走査ステップと、前記走査ステップ毎に吐出エネルギーを段階的に変化させて前記加圧部に与え、前記複数のノズルから液状体を液滴として前記被吐出物に吐出するステップと、前記被吐出物に着弾した前記液滴の着弾面積を求めるステップと、を含む。吐出エネルギーを段階的に変化させることで、吐出エネルギーと着弾面積との関係が高い相対精度で得られ、吐出量ばらつきの測定精度が向上した。 （もっと読む）

【課題】単一の露光マスクを用いて簡便に、ひさし部を有する絶縁パターンを形成する方法を提供すること。また、薄膜を確実に分断可能な、ひさし部を有する絶縁パターンとその形成方法を提供すること。また、当該絶縁パターンが適用された発光装置とその作製方法、及び照明装置を提供すること。
【解決手段】ひさし部を有する絶縁パターンを形成する方法として、まず感光性を有する第１の有機層を基板上に形成し、露光マスクを用いて第１の領域に露光を行うことにより脚部を形成する。ついで感光性を有する第２の有機層を形成し、第１の領域と一部が重なる第２の領域に対して、同一の露光マスクを基板と平行な方向にずらしながら複数回露光して台部を形成すればよい。またこの方法により形成された絶縁パターンを発光装置や照明装置に適用すればよい。 （もっと読む）

【課題】表面自由エネルギーが低い有機層上に均一に有機層を塗布、積層する製造方法を提供し、整流比および発光ムラを改善した有機エレクトロルミネッセンス素子を提供する。
【解決手段】基板上に対となる電極と、発光層を含む複数の有機層を有し、少なくとも正孔注入層、正孔輸送層、発光層、電子輸送層をこの順で湿式法を用いて製造する有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法において、該複数の有機層の中で４９ｍＪ／ｍ^２以下の表面自由エネルギーを有する層を第一の有機層とし、該第一の有機層の上に隣接する層を第二の有機層とし、該第一の有機層を乾燥膜厚３０〜６０ｎｍに塗工した後に、該第二の有機層を乾燥膜厚１０〜３０ｎｍに積層塗工し、該第一の有機層と該第二の有機層を一括して加熱乾燥することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子及びその製造方法。 （もっと読む）

【課題】小規模構成で素子間の特性のバラツキを低減することが可能な有機ＥＬ照明装置を提供する。
【解決手段】有機ＥＬ照明装置は有機ＥＬパネルと制御部とを有している。有機ＥＬパネルは、有機ＥＬ素子とその有機ＥＬ素子の発する光を検出する光センサーとが同一基板上に形成されている。制御部は、有機ＥＬパネルの光センサーの検出結果に基づいて、有機ＥＬパネルの有機ＥＬ素子の発光を制御する。 （もっと読む）