【課題】材料利用効率が高く、膜厚分布を均一にでき、かつ、装置が大型化することを抑制できる真空蒸着装置を提供する。
【解決手段】長手方向を有する蒸発源１及び前記蒸発源１を前記蒸発源１の長手方向と垂直なスキャン方向に駆動させる機構を有する真空蒸着装置において、前記蒸発源１の長手方向に複数の異なる形状を有するノズル２を備え、前記ノズル２から噴射する蒸気の放射分布が、長手方向の中央部に対して両端部では狭まった放射分布を有する。これによって、長手方向の両端部付近のノズル２から噴射して基板３の有効面の外側に蒸着される無駄な有機材料の消費量を抑え、膜厚均一性の高い有機薄膜を高い材料利用効率で成膜することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、有機層を印刷法により形成する場合に、隔壁間に設けられる発光領域に有機層形成用塗工液を充填し易く、かつ、隔壁によって陰極を分断することができる有機ＥＬ素子用基板を提供することを主目的とする。
【解決手段】本発明においては、基板と、上記基板上に形成された第１電極層と、上記第１電極層が形成された基板上に形成され、第２電極層を複数に分断する分断領域を画定する複数の絶縁性の隔壁とを有し、上記隔壁の各々が、所定間隔をおいて平行に設けられた複数の小隔壁から構成されており、上記小隔壁の高さが０．５μｍ〜２μｍの範囲内であることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子用基板を提供することにより、上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、有機層を印刷法で成膜する場合に、隔壁によって陰極を確実に分断することが可能な有機ＥＬ素子用基板を提供することを主目的とする。
【解決手段】本発明においては、基板と、上記基板上に形成された第１電極層と、上記第１電極層が形成された基板上に形成され、第２電極層を複数に分断する分断領域を画定する複数の絶縁性の隔壁とを有し、上記隔壁の各々が、所定間隔をおいて平行に設けられた複数の小隔壁から構成されており、上記小隔壁間の間隔が、１μｍ〜８０μｍの範囲内であることを特徴とする有機ＥＬ素子用基板を提供することにより、上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】ヒーターや保温構造のような新たな構成を追加することなくノズルの温度低下を抑制することができる真空蒸発装置を提供する。
【解決手段】真空容器１１内に、蒸発させる材料１２を加熱するための容器である坩堝２と、坩堝２の蓋２ａに取り付けられる蒸発した気化材料１３を坩堝２外へ放出するためのノズル３とにより構成される蒸発源１と、材料１２を蒸着させる蒸着対象物である基板１０とを備える真空蒸発装置において、ノズル３を、坩堝２内に突き出した部分２ａと、坩堝２外に突き出した部分２ｂとにより構成した。 （もっと読む）

本発明は、２つの区画を備えた容器を有する気相蒸着供給源について記載する。第１の区画は、蒸気を生成するためのものである。この区画は、材料のための入れ物およびその入れ物の中に置かれる材料を加熱するための手段を備えている。第２は、拡散区画であり、この拡散区画は、生成区画と連通する容器を有し、かつ少なくとも１つのオリフィスを備え、その結果、気相状態の材料がこのオリフィスを通って容器の外側に向かって送られる。この供給源の特徴は、一方では、空間が熱輸送液体で満たされる中間空間を画定している内壁および外囲器を有し、他方では、空間がこの液体を加熱するための手段で埋められていることである
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【課題】大型基板に対応可能な蒸着マスク、蒸着装置、蒸着方法を提供する。
【解決手段】
蒸着マスク１０上で開口部１１をその中心間距離が基板５０のピクセル５１ａ₁、５１ａ₂の中心間距離の２倍になるように形成する。この蒸着マスク１０を基板５０上に配置し、各ピクセル５１ａ₁、５１ａ₂、５１ａ_xの上方に開口部１１と遮蔽部１９が交互に配置されるように位置合わせした状態で、開口部１１と対面するピクセル５１ａ₁を成膜し、次いで蒸着マスク１０をピクセル５１ａ₁、５１ａ₂の中心間距離だけ移動させ、移動前に遮蔽部１９と対面していた未成膜のピクセル５１ａ₂、５１ａ_xの上方に開口部１１を位置させ、その状態で未成膜のピクセル５１ａ₂、５１ａ_xに薄膜を成膜する。開口部１１の間隔が従来より広いため、開口部１１形成の際に蒸着マスク１０が破損する虞を従来より低減でき、大型の蒸着マスク１０の製作が容易になる。 （もっと読む）

【課題】面型蒸着源及びその蒸着メッキ法とシステムの提供。
【解決手段】本発明の面型蒸着源及びその蒸着法とシステムは、少なくとも一つの蒸着材料を蒸着源基板の内の一面に被覆して面型蒸着源とする。前記蒸着材料の分布エリアは、蒸着材料の気化後に蒸着対象基材を包含するエリアとなる。加熱装置を蒸着源基板を加熱可能なエリア内に配置し、加熱装置が面型蒸着源に対して熱源を提供することにより、面型蒸着源は固体から気体へと変換し、蒸着対象基材の表面に拡散する。蒸気を原子或いは分子状態で段階的制御を行う手段に基づき、蒸着対象基材の表面にて核生成、凝結、及び核生成、成長させるメカニズムにより薄膜を形成するため、伝統的な塗布及びインクジェット技術では得られなかった均等性、ナノサイズのコントロール特性等を備える特殊構造及び機能性を有する薄膜を獲得できる。 （もっと読む）

【課題】大型基板の量産工程に容易に適用され、製造収率が向上した薄膜蒸着装置、それを利用した有機発光ディスプレイ装置の製造方法及び有機発光ディスプレイ装置を提供する。
【解決手段】蒸着物質を放射する蒸着源１１０と、蒸着源の一側に配され、第１方向に沿って、複数個の蒸着源ノズル１２１が形成される蒸着源ノズル部と、蒸着源ノズル部と対向するように配され、一側には、共通蒸着領域が形成され、他側には、第１方向に沿って互いに長さが異なる複数個のパターニングスリットが形成されるパターニングスリット・シート１５０と、蒸着源ノズル部とパターニングスリット・シートとの間に、第１方向に沿って配され、蒸着源ノズル部とパターニングスリット・シートとの間の空間を、複数個の蒸着空間に区画する複数枚の遮断板を具備する遮断板アセンブリ１３０と、を含み、薄膜蒸着装置１００と基板６００は、いずれかが一側が他側に対して相対移動する。 （もっと読む）

【課題】上部電極および下部電極の間において有機材料を蒸着する際に異物が混入しても、上部電極と下部電極との間にショートが発生しにくい有機ＥＬ表示装置の製造方法、及び、有機ＥＬ表示装置を提供することを目的とする。
【解決手段】複数の画素を含み、画素は、上部電極Ｃａと下部電極Ａｎとの間に有機材料が積層されてなる有機ＥＬ表示素子を含む有機ＥＬ表示装置の製造方法であって、画素の各々に共通する共通層ＥＬ１，ＥＬ２を、有機ＥＬ表示素子を形成する基板上に蒸着する共通層蒸着工程と、複数の画素の一部に対応する位置の発光層ＥＬＧを、基板上に蒸着する発光層蒸着工程と、を有し、共通層蒸着工程における基板周囲の圧力は、発光層蒸着工程における基板周囲の圧力よりも高い圧力とする、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 第１及び第２電極間の発光層に一つ以上の燐光ドーパントを含む有機電界発光素子を提供する。
【解決手段】 発光層は、ホストとして正孔輸送物質と電子輸送物質の混合物を含み、かつ、発光層の上部に積層されている青色発光層を含むことを特徴とする有機電界発光素子である。これにより、発光層上部に青色発光層の共通層を形成することによって、従来構造に比べて効率及び寿命特性を向上させることができ、青色発光領域に対する微細パターニングを必要とせずに、工程数を減らすことができる。 （もっと読む）

【課題】マスクを用いて蒸着を行った際、構成材料がマスクに付着してその一部が剥離し、発光欠陥を引き起こすことを防止した、有機ＥＬ装置及び電子機器を提供する。
【解決手段】画素電極２０と対向電極６０との間に、少なくとも有機発光層を含む有機機能層４０を有してなる有機Ｅ素子７０を備えた有機ＥＬ装置である。基板１０上に設けられた画素電極２０と、画素電極２０を囲って設けられた隔壁３４と、隔壁３４上に設けられた突起状のマスクスペーサー３７と、画素電極２０上及び隔壁３４上に設けられた有機機能層４０と、有機機能層４０上に設けられた対向電極６０と、隔壁３４の直上に位置する対向電極６０上に設けられた補助対向電極５０と、対向電極６０と補助対向電極５０との間に設けられた無機膜６２と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】有機材料が変成しない有機薄膜形成装置の加熱容器を提供する。
【解決手段】内部に有機材料が収容される空間部が形成されて密閉された上部に少なくとも一つ以上の吐出孔が形成される本体と、上記本体の外周面に設けられるヒータを含む有機薄膜形成装置の加熱容器において、吐出孔の大きさが本体の容積、蒸着レートによって設定される。例えば本体の容積が２０ｃｃ以上２００ｃｃ以下の場合には、吐出孔は直径５ｍｍ以上２５ｍｍ以下とする。 （もっと読む）

【課題】微細メタルマスクの交換回数を低減する。
【解決手段】基板１００の上部の赤色、緑色、青色サブピクセルに備えられた第１電極１２０と、第１電極１２０を覆うように基板１００の上部に備えられた正孔注入層１３１と、正孔注入層１３１の上部に備えられた正孔輸送層１３３と、赤色サブピクセルの正孔注入層１３３と正孔輸送層１３５との間に備えられた補助層と、赤色サブピクセル及び緑色サブピクセルの正孔輸送層１３５の上部に順次形成された赤色発光層１３４Ｒと緑色発光層１３４Ｇ、及び青色サブピクセルの正孔輸送層１３５の上部に備えられた青色発光層１３４Ｂと、を備える。 （もっと読む）

【課題】マスクを用いて蒸着を行った際、構成材料がマスクに付着してその一部が剥離し、封止欠陥等を引き起こしてしまうことを防止した、有機ＥＬ装置の製造方法及び有機ＥＬ装置を提供する。
【解決手段】画素電極２０と対向電極６０との間に、少なくとも有機発光層を含む有機機能層４０を有してなる有機Ｅ素子を備えた有機ＥＬ装置の製造方法である。基板１０上に画素電極２０を形成する工程と、画素電極２０を囲って隔壁３４を形成する工程と、画素電極２０上及び隔壁３４上に有機機能層４０を形成する工程と、有機機能層４０上に対向電極６０を形成する工程と、を含む。対向電極６０を形成する工程は、対向電極６０の、有機機能層４０と反対の側に、フッ素含有層６０ｂを形成する工程を備えている。 （もっと読む）

【課題】パターニングの精度を向上させるための真空蒸着用マスク及びこれを備えた真空成膜装置を提供する。
【解決手段】金属フレーム２と、開口パターンが形成され、金属フレーム２に固定される金属箔４と、から構成され、金属フレーム３のうち、金属箔３を介して被成膜基板（基板１）を支持する領域の少なくとも一部に弾性体３が設置されていることを特徴とする、真空成膜用マスク１１及びこのマスク１１を備えた真空成膜装置１０。 （もっと読む）

【課題】高純度な有機化合物層を形成するための蒸着源を提供する。
【解決手段】固相の有機化合物の入った複数のるつぼを連結し、有機化合物を加熱し、融解帯を発生させ、融解帯を移動させることで不純物を移動させ、複数のるつぼのうち、精製された有機化合物の入ったるつぼを用いる有機化合物の精製方法。 （もっと読む）

【課題】パターンの形成方法及び有機発光素子の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明のパターンの形成方法は、電流が流れる位置を選択的に制御することによって、電場が発生する位置を選択的に制御できる電磁石基板１０を提供するステップと、パターンが形成されうるパターニング基板２０を提供し、パターニング基板２０の一面に電磁石基板１０を整列させるステップと、電磁石基板１０に選択的に電流を加え、パターニング基板２０の他面に電場に反応するマスキング粉末３０を近接させるステップと、パターニング基板２０の他面にパターンの形成物質４０を供給するステップと、電磁石基板１０に流れる電流を遮断するステップと、を含む。これにより、大型基板に高精度のパターンを具現でき、パターンの形成後にマスキング粉末の除去が容易で基板の汚染を防止できる。 （もっと読む）

【課題】外部量子効率が高く、駆動電圧が低く、耐久性に優れ、また、駆動後の電圧上昇分の使用環境温度依存性が小さい有機電界発光素子の提供にある。
【解決手段】少なくとも一つの一般式（ＰＱ−１）で表される化合物と特定構造を有する炭化水素化合物を含有する発光性有機薄膜及びそれを用いた有機電界発光素子。
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有機発光デバイスの作製方法を提供する。第一の電極を準備し、その上にそのデバイスの残りの部分が作製される。第一の有機層を、溶液工程によって第一の電極の上に堆積される。第一の有機層は以下のものを含む：ｉ．第一の有機層の有機ホスト物質；ｉｉ．第一の有機層の第一の有機発光物質；ｉｉｉ．第一の有機層の第二の有機発光物質。第二の有機層をその第一の有機層と直接接触させて且つその上に堆積させる。第二の有機層は、第二の有機層の有機発光物質を含む。次に第二の電極が、第二の有機層の上に堆積される。このデバイスはその他の層を含んでいてもよい。
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【課題】大型基板の量産工程に容易に適用でき、歩留まりが向上した薄膜蒸着装置、これを利用した有機発光ディスプレイ装置の製造方法及びこれにより製造された有機発光ディスプレイ装置を提供する。
【解決手段】蒸着物質を放射する蒸着源と、蒸着源の一側に配され、第１方向に沿って複数の蒸着源ノズルが形成される蒸着源ノズル部と、蒸着源ノズル部と対向するように配され、第１方向に沿って複数のパターニングスリットが形成され、複数のパターニングスリットの長さが互いに異なって形成されるパターニングスリットシートと、蒸着源ノズル部とパターニングスリットシートとの間に第１方向に沿って配されて、蒸着源ノズル部とパターニングスリットシートとの間の空間を複数の蒸着空間で区切る複数の遮断板を備える遮断板アセンブリーと、を備え、薄膜蒸着装置は、基板と所定距離ほど離隔して形成され、薄膜蒸着装置と前記基板とは、いずれか一側が他側に対して相対的に移動自在に形成されることを特徴とする薄膜蒸着装置。 （もっと読む）