【課題】蒸着材料の性状の劣化を抑制して、十分な蒸着速度が得られる蒸着装置を提供する。
【解決手段】充填された蒸着材料を蒸発させる蒸発用容器３と、蒸発用容器３の上方に配置されると共に蒸発された蒸着材料を連通部４を介して導きガラス基板Ｋに蒸着させる蒸着用容器２と、連通部４に配置されて蒸発された蒸着材料の通過量を調整する蒸気流量調整弁５とを具備する蒸着装置１であって、蒸発容器本体３０内の上方に、一部の連通空間３１Ｍを残して上側空間部３１Ｕと下側空間部３１Ｌとに区画し得る区画部材６を配置し、区画部材６の下面側に下側空間部３１Ｌ内の蒸着材料を加熱し得る下部加熱部６５Ｌを配置すると共に、区画部材６の上面側に下側空間部３１Ｌから連通空間３１Ｍを介して上側空間部３１Ｕ内に移動した蒸着材料を冷却し得る冷却部６２及び区画部材６の上面に付着した蒸着材料を加熱し蒸発させ得る上部加熱部６５Ｕを配置したものである。 （もっと読む）

【課題】成膜する層に成膜材料以外の材料が混入することを抑制し、発光素子の性能低下を防ぐ、成膜方法の提供を課題の一つとする。
【解決手段】基板の一方の面上に形成された吸収層と、吸収層上に形成され、基板の一方の面の最表面に形成された、成膜材料を含む材料層とを有する第１の基板の一方の面と、基板の被成膜面の最表面に形成された下地層を有する第２の基板の被成膜面を対向させて配置し、第１の基板の他方の面側から加熱処理を施すことで、加熱された材料層に含まれる成膜材料で、下地層上に成膜材料層を形成する成膜方法であり、成膜材料層の主成分と下地層の主成分に同じ物質を用いる成膜方法である。 （もっと読む）

【課題】成膜室内の部品に付着した蒸着材料を大気解放することなく除去するためのクリーニング方法を提供する。
【解決手段】 成膜室１０１内に設けられた基板ホルダ１０２、蒸着マスク１０４、マスクホルダ１０５もしくは防着シールド１０６といった部品に付着した蒸着材料１１１に対して加熱処理を行う。これにより付着した蒸着材料１１１を再び昇華させ、真空ポンプにより排気して除去する。このようなクリーニング方法を電気光学装置の作製工程に含めることで、作製工程の短縮化と信頼性の高い電気光学装置の実現を図る。 （もっと読む）

【課題】単位マスクに加えられる引張力によって単位マスクに形成されたパターン開口部の形状が変形することを抑制したマスク、及びこれを含むマスク組立体を提供する。
【解決手段】マスク組立体は、開口部を含むフレーム及び開口部上に位置し、一方向に引張力が加えられた状態で両端部がフレームによって支持される１つ以上の単位マスクを含み、単位マスクは一方向に配置された複数のパターン開口部及びパターン開口部と隣接してパターン開口部と単位マスクの枠の間に位置し、単位マスクの表面に陥没形成された第１グルーブを含む。 （もっと読む）

【課題】マスクフレームを備えない単体のマスクを基板上に搬送し、又は基板に対するマスクの位置調整を行うべく、マスクを皺無く保持することができるマスク保持装置を提供する。
【解決手段】磁性材料を含み、基板上に薄膜をパターン形成するための開口が形成されたシート状のマスクを保持するマスク保持・位置あわせ装置５に、一面側に配された複数の永久磁石によって、他面側にマスクが磁着されるマスク磁着板５４を備え、前記複数の永久磁石は、マスク磁着板５４の他面側における第１領域の磁場の分布と、該他面側における第２領域の磁場の分布とが異なるように構成する。 （もっと読む）

【課題】優れたガスバリア性能を有するガスバリアフィルムを提供する。
【解決手段】本発明のガスバリアフィルムは、酸化珪素を主成分とするガスバリア膜が基板の少なくとも一方の面に形成されたものである。ガスバリア膜は、赤外吸収スペクトルのうち、８００〜８２０ｃｍ^−１のピーク強度をＰ１とし、８６０〜８８０ｃｍ^−１のピーク強度をＰ２とし、ピーク強度Ｐ１とピーク強度Ｐ２との比をＰ２／Ｐ１とするとき、比Ｐ２／Ｐ１が、０≦Ｐ２／Ｐ１≦１である。 （もっと読む）

【課題】１種の固形材料を使用して、蒸着源の加熱温度を変化させることにより、蒸着膜の組成を調整でき、制御困難な共蒸着が不要になり、素子性能のばらつきが低減し、繰り返し再現性を向上できる発光層形成用固形材料、並びに有機電界発光素子及び有機電界発光素子の製造方法の提供。
【解決手段】白色発光する単層の発光層を蒸着法により形成するための発光層形成用固形材料であって、少なくとも１種のホスト材料と、少なくとも１種の発光材料とを含有する発光層形成用固形材料である。該少なくとも２種の発光材料を含む態様、少なくとも２種の発光材料が異なる色で発光する態様、少なくとも１種の発光材料が燐光発光材料である態様などが好ましい。 （もっと読む）

【課題】薄膜蒸着用マスク・アセンブリ、及びこれを利用した有機発光装置、並びにこの製造方法を提供する。
【解決手段】基板上に互いに対向するようにパターン化された第１電極並びに第２電極と、第１電極並びに第２電極間に形成された複数の有機膜とを含むが、該有機膜は、少なくとも複数個のストライプ型の有機膜と、１つの不連続的なドット型の有機膜を含む、有機発光装置、並びにこの製造方法であり、赤色、緑色及び青色の有機膜をコンパクトに配列できるので、高解像度の小型製品の製作が可能である。 （もっと読む）

【課題】有機ＥＬ用蒸着マスクのクリーニングを行うときに、有機ＥＬ用蒸着マスクに応じた適切なエネルギーを設定することを目的とする。
【解決手段】有機材料が付着した有機ＥＬ用蒸着マスク２の表面に対してレーザ光Ｌを走査して有機材料を剥離するレーザ走査手段４と、有機ＥＬ用蒸着マスク２のうち一部の領域にレーザ光Ｌをテスト走査させるレーザ制御部５５と、有機ＥＬ用蒸着マスク２のうちテスト走査を行った部位の有機材料が剥離されたか否かを検出する画像処理部５２と、画像処理部５２の検出結果に基づいて、有機ＥＬ用蒸着マスク２に照射されるレーザ光Ｌの照射条件を補正する電流補正部５３およびフォーカス補正部５４と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】有機発光素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基板と、第１電極と、第２電極と、第１電極と第２電極との間に介在し介在する正孔輸送層、発光層及び電子輸送層と、を含み、正孔輸送層は、正孔輸送物質を含む第１正孔輸送層と、第１正孔輸送層上に形成され、電荷生成物質を含む第３正孔輸送層と、第３正孔輸送層上に形成され、正孔輸送物質を含む第５正孔輸送層と、を含む正孔輸送ユニットを一つ以上含み、電子輸送層は、電子輸送物質及び金属含有物質を含む有機発光素子である。 （もっと読む）

【課題】薄膜トランジスタなどを具備したディスプレイ部のカットが容易なフレキシブルディスプレイ装置の製造方法を提供する。
【解決手段】複数の陥没部が形成された第１基板を提供する段階と、それぞれの陥没部内に第１プラスチックフィルムを形成する段階と、それぞれの第１プラスチックフィルム上に薄膜トランジスタを形成する段階と、それぞれの薄膜トランジスタ上に薄膜トランジスタと電気的に連結されるディスプレイ素子を形成する段階と、ディスプレイ素子の上部を封止する段階と、第１基板をカットする段階と、第１基板を第１プラスチックフィルムから分離させる段階と、を含むフレキシブルディスプレイ装置の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】真空内を機構が簡単で基板の蒸着面を上面にして搬送ができ、前記上面搬送においても高精彩に蒸着可能な有機ＥＬデバイス製造装または同製造方法あるいは成膜装置または成膜方法を提供することである。
【解決手段】
真空内を基板の蒸着面を上面にして搬送し、少なくとも前記基板が移動する場合には前記基板の搬送面が摺動しないように保持し、前記真空チャンバ内で前記基板を受渡し、その後前記基板を垂直または略垂直にたてて蒸着する。
また、上面搬送されてきた複数の基板を一つの真空蒸着チャンバ内で同一の蒸着源で交互に蒸着する。 （もっと読む）

【課題】レーザ光を用いたドライ洗浄による洗浄効率を向上させ、洗浄むらの発生を抑制する。
【解決手段】マスク部材１を位置調整手段２１により位置調整可能な昇降部材１１に装着して、マスク板２に対してレーザ光照射手段１５におけるレーザ発振器１３からのレーザ光をスキャニング光学系１５によって、マスク板２の主走査方向に微小移動させながらレーザ光のパルスを照射し、１ライン分の走査が終了すると、副走査方向に１ピッチ分ずらせて走査を継続するようになし、マスク板２の全面にレーザ光のスポットを照射することによりドライ洗浄を行うに当って、ドライ洗浄開始前に撮像手段２０によりマスク部材１のアラインメントマークＭを基準として、レーザ光の微小スポットＳがマスク板２の格子部４ｂに照射されるように位置調整する。 （もっと読む）

【課題】現状サイズのメタルマスクを用い、１１００×１３００ｍｍ以上のメタルマスクとして機能させた大型メタルマスクを提供する。
【解決手段】矩形状で同一サイズの２枚のメタルマスク１０を、固定用マスク２０を介して左右に隣接して繋ぎ合わせ、前記メタルマスクの２倍の面積を有する１枚のメタルマスク３０−２として機能させたこと。固定用マスクの左位置合わせマーク２１Ｌに左メタルマスクの右位置合わせ貫通孔１１Ｒを合わせ、右位置合わせマーク２１Ｒに右メタルマスクの左位置合わせ貫通孔１１Ｌを合わせ、固定用マスクに左メタルマスク及び右メタルマスクが重なる部分をスポット溶接５０で接合させる。 （もっと読む）

【課題】光取出効率が改善された有機発光表示装置を提供する。
【解決手段】基板１と、基板１上に備えられて反射膜２２を含む第１電極２と、第１電極２上に備えられた正孔注入層３１と、正孔注入層３１上に備えられた正孔輸送層３２と、正孔輸送層３２上に備えられた発光層３３と、発光層３３上に備えられた電子注入輸送層３４と、電子注入輸送層３４上に備えられて半透過反射物質からなる第２電極４と、正孔注入層３１及び正孔輸送層３２がなす境界のうち少なくとも一つに、または正孔注入層３１及び正孔輸送層３２のいずれか１層内に位置し、隣接する層より屈折率が小さい有機物からなる調節層３５と、を備える有機発光表示装置。 （もっと読む）

【課題】駆動電圧が低く、また従来の発光素子よりもさらに長寿命化できる照明装置を提
供する。
【解決手段】第１の電極と第２の電極との間に、発光性の物質を含む層、及び混合層を有
し、前記混合層は、酸化物半導体または金属酸化物と、１０^−６ｃｍ^２／Ｖｓ以上の正孔
移動度を有する物質とを含む。または、第１の電極と第２の電極との間に、発光性の物質
を含む層、及び混合層を有し、前記混合層は、モリブデン酸化物、バナジウム酸化物、ル
テニウム酸化物、タングステン酸化物、または三酸化モリブデンと、１０^−６ｃｍ^２／Ｖ
ｓ以上の正孔移動度を有する物質とを含む。 （もっと読む）

【課題】貼り合わせ界面の密着性向上による性能改善を図ることが可能な有機半導体デバイス、その製造方法を提供する。
【解決手段】有機半導体デバイス１０は、第１基材１２ａ上に第１電極層１２ｂを備えた第１電極基材１２と、第２基材１４ａ上に第２電極層１４ｂを備えた第２電極基材１４とを有し、第１電極基材１２の第１電極層１２ｂ表面に有機物層１６が積層され、この有機物層１６表面と第２電極基材１４の第２電極層１４ｂ表面とが貼り合わされてなる。第２電極層１４ｂは、熱伝導率が２００Ｗ／ｍＫ以上である金属と、アルカリ土類金属および／またはアルカリ金属とを含む蒸着膜より形成されており、かつ、第２基材１４ａ側から第２基材１４ａと反対側にかけて、熱伝導率２００Ｗ／ｍＫ以上である金属の比率が小さくなっている。 （もっと読む）

【課題】材料利用効率が高く、膜厚分布を均一にでき、かつ、装置が大型化することを抑制できる真空蒸着装置を提供する。
【解決手段】長手方向を有する蒸発源１及び前記蒸発源１を前記蒸発源１の長手方向と垂直なスキャン方向に駆動させる機構を有する真空蒸着装置において、前記蒸発源１の長手方向に複数の異なる形状を有するノズル２を備え、前記ノズル２から噴射する蒸気の放射分布が、長手方向の中央部に対して両端部では狭まった放射分布を有する。これによって、長手方向の両端部付近のノズル２から噴射して基板３の有効面の外側に蒸着される無駄な有機材料の消費量を抑え、膜厚均一性の高い有機薄膜を高い材料利用効率で成膜することができる。 （もっと読む）

【課題】外光反射を抑制し、厚さを最小化した有機発光表示装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の有機発光表示装置１０１は、基板本体１１１、基板本体１１１上に形成された有機発光素子７０、有機発光素子７０上に形成された位相遅延キャッピング層４２０、位相遅延キャッピング層４２０上に配置された封止部材２１０、および封止部材２１０に付着された偏光板４１０を含む。 （もっと読む）