【課題】膜厚モニターの示す蒸着材料の蒸着レート指示値から算出される蒸着膜厚と、基板上への蒸着膜厚との差異を小さくする真空蒸着方法を提供する。
【解決手段】蒸着材料２１の蒸気を発生させる蒸着源２０と、蒸着材料２１の蒸着レートをモニターして蒸着源２０の制御を行う膜厚センサーと、を有し、前記膜厚センサーが、少なくとも第１の膜厚センサー３１と、第２の膜厚センサー３２と、からなる真空蒸着装置１を用いて、被蒸着部材（基板５０）に蒸着材料２１の蒸着膜を形成する真空蒸着方法であって、第１の膜厚センサー３１による蒸着源２０の制御中において第２の膜厚センサー３２に蒸着膜を付着させた後に、第１の膜厚センサー３１から第２の膜厚センサー３２に切り替えて蒸着源２０の制御を行うことを特徴とする、真空蒸着方法。 （もっと読む）

【課題】幅広い波長領域にスペクトルを有する高効率な白色発光素子を提供する。また、
白色の色度が経時変化しにくい白色発光素子を提供する。また、発光スペクトルの形状が
電流密度に依存しにくい白色発光素子を提供する。
【解決手段】基板３００上に第１の発光素子３１０と第２の発光素子３２０が直列に積層
されており、第１の発光素子３１０は、第１の陽極３１１と第１の陰極３１３の間に発光
層３１２を有する構造であり、第２の発光素子３２０は、第２の陽極３２１と第２の陰極
３２３の間に発光層３２２を有する構造である。ここで、発光層３１２は、青色〜青緑色
の領域と黄色〜橙色の領域の両方にピークを有する第１の発光スペクトル３３０を示し、
発光層３２２は、青緑色〜緑色の領域と橙色〜赤色の領域の両方にピークを有する第２の
発光スペクトル３４０を示す構成とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、真空中において特に２次元的に重量物を搬送させるのに適した重量物搬送アシスト機構及び重量物搬送アシスト方法を提供し、また、それらを適用した成膜装置または成膜方法を提供することである。
【解決手段】重量物を一次元的又は２次元的に搬送させるメイン軸を有し、前記メイン軸の負荷を低減する重量物搬送アシストする際に、前記搬送は一端を前記真空チャンバの壁に回転可能に固定され、他端に回転可能に設けられた前記重量物を有するリンクを有するリンク部を介して行われ、前記重量物を駆動するメイン軸の負荷を低減するようにアシスト軸によって前記一端にトルクを付与することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】従来では、あまり狭い幅の隔壁は形成できないため、高精細化することが困難であり、さらに発光素子としての開口率が低いという問題点があった。また、陽極が設けられた基板をＥＬ材料を蒸着する装置に搬送する際には、静電破壊の恐れやゴミが付着する恐れがある。
【解決手段】無機絶縁膜からなる第１の隔壁１１を形成し、その上に絶縁膜を形成した後、エッチバックを行って、第１の隔壁の側面に接する第２の隔壁１２を形成することに
よってサイドウォール型の隔壁を形成する。また、静電破壊を防ぐため、帯電防止層を設
けて搬送を行った後、帯電防止層を除去して第２の隔壁１２を形成する。 （もっと読む）

【課題】有機発光素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基板、基板上に形成された第１電極、基板上に形成され、Ａｇを含む第２電極、第１電極と第２電極との間に形成された発光層、発光層と第２電極との間に形成され、アルカリ金属含有化合物と第１金属との混合物を含む電子注入層、及び第２電極上に形成されたキャッピング層を備える有機発光素子である。 （もっと読む）

【課題】生産性を落とすことなくガラス基板を効果的に冷却することで蒸着処理時の有機層の変質・劣化を防止し、これにより高品質の有機層を形成する。
【解決手段】ガラス基板７の一方の面７ａの側に一又は複数の層を形成するに際し、層は有機層４を有すると共に、層における少なくとも一種の層が蒸着処理により形成され、蒸着処理時、ガラス基板７の他方の面７ｂにガラス基板７を冷却するための冷却板１５の一方の面１５ａを直に面接触させることとし、かつ、この面接触により、各々の合わせ面７ｂ，１５ａが剥離可能な程度に密着した状態となるようにした。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ダメージを与えることもなく工程を増やさずに封止を行うことを目的とする。
【解決手段】回路層３４上に発光層４０を含む有機層３８を形成する。端子３２の上方を避けて、有機層３８上に第２電極５０を形成する。端子３２及び第２電極５０を覆うように、接着剤５２を介して第１基板１０に第２基板５４を貼り付ける。第２基板５４を切断して、第２基板５４の端子３２と対向する部分を除去する。有機層３８を形成する工程で、有機層３８の少なくとも一層を、端子３２に載るように形成する。第２基板５４を貼り付ける工程で、接着剤５２を、端子３２の上方で有機層３８の少なくとも一層上にも配置する。第２基板５４の部分を除去する工程で、除去される部分とともに、接着剤５２の接着によって、端子３２上にある有機層３８の少なくとも一層を除去する。 （もっと読む）

【課題】優れたガスバリア性（例えば、水蒸気バリア性）を有する電子デバイス用積層フィルムを提供する。
【解決手段】透明樹脂で構成された基材フィルム２５の一方の面に、ビニル系モノマー及び／又はプレポリマーを含む重合性組成物の硬化物で構成されたアンカー層２４、金属又は金属化合物を含むバリア層２３、酸又はアルカリに対して耐性を有するエッチング保護層２２、無機化合物で構成された透明導電層２１をこの順序で順次形成する。前記ビニル系モノマー及び／又はプレポリマーは、少なくともシリコーン（メタ）アクリレートモノマー及び／又はプレポリマーを含む。この積層フィルム２０は、前記基材フィルムの他方の面に防眩層２６が形成されていてもよい。この積層フィルム２０は、電子ペーパーのインク層に対して表示面側に配置される。 （もっと読む）

【課題】１枚の基板に１枚のメタルマスクを用いる場合のメタルマスクの膨張量を基板の膨張量に近づけて蒸着パターンの位置ズレを防止する。
【解決手段】支持体付きメタルマスク装置１００は、半導体基板１０２の複数のスクライブライン１０６を物理的に１枚のプレートで覆い、半導体基板と異なる線膨張係数を有し、複数のチップにそれぞれ対応する複数の所定のパターン１１２を複数の貫通孔として有し、複数の貫通孔を通じて半導体基板に金属を蒸着させる単一のメタルマスク１１０と、メタルマスクの線膨張係数と半導体基板の線膨張係数との間の線膨張係数、又は半導体基板と同一の線膨張係数を有し、複数のスクライブラインの少なくとも一部のスクライブラインに対応する格子部１１６を有する支持体１１４と、一部のスクライブライン内の少なくとも一部の領域において、メタルマスクと支持体とを接続する接合体とを備える。 （もっと読む）

【課題】蒸着材料の劣化を防止しつつ、長期間にわたる連続運転を可能とする。
【解決手段】るつぼホルダ１３内に、赤外線を主な波長とする加熱波を放射する放射加熱器２１を、赤外線を透過可能な材質からなる加熱波透過管２２に内装して配置し、放射加熱器２１からの加熱波をるつぼ本体１２内の蒸着材料Ｍの表面に照射して加熱し、蒸着材料Ｍの表面のみを蒸発または昇華させる。蒸発または昇華された蒸着材料Ｍが、加熱波透過管２２の表面やるつぼ本体１２、るつぼホルダ１３の内面に付着しても、加熱波により加熱されて再蒸発または再昇華される。 （もっと読む）

【課題】額縁部の小さな有機ＥＬ装置を得る。
【解決手段】基板上に発光領域１００と発光領域１００の外側に設けられた接続領域とを備える発光装置であって、発光領域１００には第１電極５２と第２電極５６と第１電極５２と第２電極５６との間に設けられた発光機能層５４とを有する発光素子５０を有し、接続領域には第２電極５６と電気的に接続された第２電極配線２２が設けられ、第２電極５６は、発光領域１００及び接続領域に形成されており、接続領域の少なくとも一部には第２電極５６と第２電極配線２２との間に第１の層８８が設けられており、第２電極５６と第２電極配線２２とは、第１の層８８の少なくとも一部に設けられたレーザーの照射により形成されたコンタクト部２４において電気的に接続されていることを特徴とする発光装置。 （もっと読む）

【課題】水分および酸素の内部浸透による有機発光素子の性能低下を抑制した有機発光表示装置を提供する。また、パーティクルの発生を抑制する有機発光表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態に係る有機発光表示装置は、基板、前記基板上に形成された駆動回路および有機発光素子、前記駆動回路および有機発光素子上に形成された封止薄膜、および前記基板上で前記封止薄膜の周囲を囲むように形成されたスペーサを含む。 （もっと読む）

【課題】ロール状に巻き取ってもガスバリア層の損傷や劣化を抑制できる防眩性ガスバリアフィルムを提供する。
【解決手段】透明樹脂で構成された基材フィルムの一方の面に、１又は複数のポリマーと、１又は複数の硬化した硬化性樹脂前駆体とを含み、かつ表面に凹凸形状を有する相分離構造で構成された防眩層を形成し、かつ他方の面にバリア層が形成し、防眩性ガスバリアフィルムを製造する。前記防眩層は、液相からのスピノーダル分解により相分離可能な複数のポリマーを含み、複数のポリマーのうち、少なくとも１つのポリマーが、硬化性樹脂前駆体の硬化反応に関与する官能基を有し、かつ硬化性樹脂前駆体が、複数のポリマーのうち、少なくとも一種のポリマーと相溶性を有していてもよい。 （もっと読む）

【課題】ドープ濃度バラツキを改善することが可能な有機ＥＬ装置の製造方法を提供する。
【解決手段】ドーパント材料及びホスト材料からなる第一の混合材料と、ドーパント材料及びホスト材料からなり第一の混合材料よりもドープ濃度が高い第二の混合材料とを供給し、第一及び第二の混合材料を加熱することで発光層を形成する。 （もっと読む）

【課題】樹脂部材がＰＥＣＶＤによってダメージを受けないよう、耐プラズマ性を向上させた部材を提供し、またそれを用いたガスバリア部材等を提供する。
【解決手段】一般式（１）の環状シロキサン化合物
【化１】


（式中、Ｒ^１〜Ｒ^５は、炭素数１〜２０の炭化水素基等、ｍは１〜３の整数、ｎは０〜２の整数、ｍ＋ｎは３以下の整数。ｘは１以上の整数、ｙ及びｚは０以上の整数、ｘ＋ｙ＋ｚは３以上の整数。）を重縮合または重付加してポリ環状シロキサンを製造し、それを封止材としたり、また樹脂部材に塗布して耐プラズマ性を付与し、ＰＥＣＶＤによりガスバリア層を成膜したガスバリア性樹脂部材とする。 （もっと読む）

【課題】発光色度を改善することが可能な有機ＥＬ装置の製造方法を提供する。
【解決手段】基板上に前記画素電極を形成し、ドーパント材料及びホスト材料からなる混合材料を供給し、混合材料を、ドーパント材料及び前記ホスト材料の昇華温度のうちいずれか高い方の温度以上で加熱することで発光層を形成し、発光層上に対向電極を形成する。 （もっと読む）

【課題】製造が容易であり、大型基板の量産工程に容易に適用でき、製造収率及び蒸着効率が向上した薄膜蒸着装置、これを利用した有機発光表示装置の製造方法及びこれを利用して製造された有機発光表示装置を提供する。
【解決手段】薄膜蒸着装置は複数の薄膜蒸着アセンブリーを備え、複数の薄膜蒸着アセンブリーそれぞれは、蒸着源と、複数の蒸着源ノズルが形成される蒸着源ノズル部と、複数のパターニングスリットが形成されるパターニングスリットシートと、蒸着源ノズル部とパターニングスリットシートとの間の空間を複数の蒸着空間に区切る複数の遮断板を備える遮断板アセンブリーと、を備え、薄膜蒸着装置は、基板と所定距離ほど離隔して形成され、薄膜蒸着装置と基板とは、いずれか一方が他方に対して相対的に移動自在に形成され、各蒸着源には、赤色発光層材料、緑色発光層材料、青色発光層材料又は補助層材料が備えられることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】透過率が高く、かつ表面抵抗値が低い透明導電性積層体および該透明導電性積層体を簡便に製造できる方法を提供する。
【解決手段】透明基材１０と、透明基材１０の上に形成された透明導電性材料からなる透明導電層２０とを有する透明導電性積層体１であって、透明基材１０が、隣り合う突起１２中心間の平均間隔が４００ｎｍ以下である複数の突起１２を表面に有し、透明導電層２０が、突起１２の上に選択的にかつ透明導電性積層体１の面方向に互いに離間して形成された複数の柱状部２２と、柱状部２２および柱状部２２の間の空隙２６を覆うように連続して形成された層状部２４とを有する。 （もっと読む）

【課題】狭額縁化を実現可能な電気光学装置、電気光学装置の製造方法、電子機器を提供すること。
【解決手段】本適用例の電気光学装置１００は、素子基板１０上に対向配置された一対の電極としての画素電極２１と陰極２７と、一対の電極間に配置された発光層２３を含む機能層２５とを有する発光素子３０と、複数の発光素子３０が配置された画素領域１０７と、素子基板１０上において画素領域１０７の外側に配置され、一対の電極のうちの一方の電極としての陰極２７に電気的に接続される接続配線１０６と、接続配線１０６に重なると共に接続配線１０６より画素領域１０７側に延在して配置された接続部１０５と、を備え、陰極２７は、画素領域１０７に亘って設けられると共に、画素領域１０７の外側にて接続部１０５の画素領域１０７に近い側の一方の端部１０５ａに重なって設けられている。 （もっと読む）

【課題】青色有機ＥＬ素子の発光効率および寿命特性を向上させることが可能な有機ＥＬ表示装置およびその製造方法を提供する
【解決手段】下部電極１４上に正孔注入層１６ＡＲ，１６ＡＧ，１６ＡＢを形成する。赤色有機ＥＬ素子１０Ｒ，緑色有機ＥＬ素子１０Ｇについて、正孔輸送層１６ＢＲ，１６ＢＧ，低分子材料を含む赤色発光層１６ＣＲおよび緑色発光層１６ＣＧを塗布法により形成する。青色有機ＥＬ素子１０Ｂの正孔注入層１６ＡＢの上に正孔輸送層１６ＢＢを塗布法によりしたのち、赤色発光層１６ＣＲ，緑色発光層１６ＣＧおよび青色有機ＥＬ素子１０Ｂ用の正孔輸送層１６ＢＢの全面に共通正孔輸送層１６Ｄを蒸着により形成する。青色発光層１６ＣＢの全面に電子輸送層１６Ｅ，電子注入層１６Ｆおよび上部電極１７を順に形成し有機ＥＬ表示装置を得る。 （もっと読む）