【課題】基板に薄膜を成膜させるのと同時に、膜厚の制御を行うことが可能な蒸着処理装置を提供する。
【解決手段】蒸着によって基板に薄膜を成膜させる蒸着処理装置であって、材料ガスを供給する減圧自在な材料供給部と、前記基板に薄膜を成膜する成膜部を備え、前記成膜部は前記基板に噴射される材料ガスの蒸気濃度を測定する検知手段を有し、前記検知手段における測定結果に基づいて成膜条件を制御する制御部を設けた、蒸着処理装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】発光効率が高いタンデム型の有機エレクトロルミネッセンス素子、及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】有機エレクトロルミネッセンス素子１は、陽極１２と陰極１６との間に、発光層１３３を備える第一発光ユニット１３及び発光層１５２を備える第二発光ユニット１５を有し、第一発光ユニット１３と第二発光ユニット１５との間に中間ユニット１４が設けられ、中間ユニット１４は、陽極１２側から、電子注入層１４１、亜鉛複合酸化物層１４２、及び正孔注入層１４３をこの順に備え、亜鉛複合酸化物層１４２に含まれる亜鉛複合酸化物は、亜鉛と亜鉛以外の金属元素Ｍとを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】薄膜材料を連続的に供給でき、長時間連続成膜が行える蒸着装置を提供する。
【解決手段】
ガラス基板８を設置可能な真空室２と、薄膜材料１９を蒸発させる発熱部２０を備えた蒸発装置３とを有し、真空室２内にガラス基板８を設置し、蒸発装置３によって蒸発された薄膜材料１９を蒸散させて前記ガラス基板８に所定成分の膜を蒸着する真空蒸着装置１において、
前記発熱部２０は真空室２内又は真空室２と連通する位置にあって薄膜を蒸着する際には真空雰囲気下に配されるものであり、真空室２の外部から前記発熱部２０に薄膜材料１９を送る薄膜材料送り装置１４を有する構成となっている。 （もっと読む）

【課題】光透過率が高くて仕事関数の調節が容易であり、これにより、カソードの選択に対する自由度を高くするようなアノードを含む有機発光素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 第１金属酸化物に第１金属酸化物と異なる第２金属酸化物がドープされた第１層を備えるアノードと、アノードと対向したカソードと、アノードとカソードとの間に設けられた発光層を備える有機層と、を備える有機発光素子及びその製造方法。 （もっと読む）

【課題】程数や製造コストの増大を招くことなく、各画素の周囲に配置される絶縁層と蒸着マスクとの接触面積を低減し、蒸着マスクから絶縁層への付着物の転写を防止できる有機ＥＬ表示装置を提供する。
【解決手段】基板１０上に形成された第１の絶縁層１１と、第１の絶縁層１１の上にマトリクス状に配設された複数の第１の電極１３と、第１の電極１３の周囲において第１の絶縁層１１に形成され開口１５と、開口１５と重なる領域に配置された第２の絶縁層１２と、第１の電極１３を覆う有機化合物層と、有機化合物層の上に設けられる第２の電極と、を備え、開口１５の内部には第１の電極１３の形成材料が存在せず、第２の絶縁層１２の表面には、第１の絶縁層１１の開口１５を反映した凹部１７であって、基板面に対して垂直方向の凹部１７が形成される。 （もっと読む）

【課題】本発明では、スパッタリング法による成膜時に有機物を含む層へ生じる損傷を抑制できる発光素子を提供することを課題とする。また、スパッタリング法による成膜時に有機物を含む層へ生じる損傷を抑制できると共に、電極間のショート（短絡）等も抑制できる発光素子を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明の発光素子は、第１の電極と第２の電極との間に有機物を含む層を有し、前記第２の電極と前記有機物を含む層との間には、さらに金属酸化物を含む層を有し、これらの電極および層は、第１の電極よりも第２の電極の方が後に形成されるように積層されていることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】外部光を効率よく発電に利用でき、製造が容易なディスプレイ装置を提供する。
【解決手段】基板と、少なくとも一つの太陽電池と、少なくとも一つの有機発光素子とを有し、太陽電池と有機発光素子が基板の同一面上にあり、太陽電池と有機発光素子が電気的に接続され、太陽電池が発電した電力を有機発光素子の駆動に利用する、ディスプレイ装置。 （もっと読む）

【課題】有機ＥＬデバイスを作製する際、大型の成膜対象物の表面に分布が均一な成膜を行うことができる技術を提供する。
【解決手段】真空槽２内に設けられたプラズマＣＶＤ装置３と蒸着重合装置４とを備える。プラズマＣＶＤ装置３のプラズマ放出器１０は、原料ガス供給源３Ｂから原料ガスがそれぞれ供給され互いの雰囲気が隔離されたガス分岐ユニット６１〜６４と、ガス分岐ユニット６１〜６４において拡散された原料ガスのプラズマを形成するプラズマ形成室５１とを有する。蒸着重合装置４の蒸気放出器１１０は、原料モノマー供給源４Ｂから原料モノマーの蒸気がそれぞれ供給され互いの雰囲気が隔離された複数の蒸気分岐ユニット１０１Ａ、１０１Ｂと、蒸気分岐ユニット１０１Ａ、１０１Ｂにおいて拡散された複数の原料モノマーの蒸気を混合する蒸気混合室１５１とを有する。 （もっと読む）

【課題】エレクトロルミネッセンス素子が電圧などの駆動条件に殆ど影響されず、その他の有機層発光を最大抑えた純粋なナノ結晶スペクトルを提供するナノエレクトロルミネッセンス素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明のエレクトロルミネッセンス素子は、高分子正孔輸送層と有機物電子輸送層との間に、前記高分子正孔輸送層に接触した独立のナノ結晶発光層を含む。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、ＥＬ材料の利用効率を高め、且つ、ＥＬ層成膜の均一性やスループ
ットの優れた成膜装置の一つである蒸着装置及び蒸着方法を提供するものである。
【解決手段】
本発明は、蒸着室内において、蒸着材料が封入された容器を複数個設置した細長い矩形形
状の蒸着源ホルダ１７に設け、基板１３に対してあるピッチで移動しながら蒸着を行うこ
とを特徴とする。また、基板の一辺に対して矩形形状の蒸着ホルダの長手方向を斜めにし
たまま移動させてもよい。また、ＴＦＴ作製時におけるレーザー光の走査方向に対して、
蒸着時における蒸着ホルダの移動方向を異ならせることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】本発明では、高画質で信頼性の高い表示装置を低いコストで歩留まり良く製造することができる技術を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、画素領域における画素電極層上、及び画素電極層周辺を覆う隔壁として機能する絶縁層上に、スペーサを有する。このスペーサによって、発光材料を画素電極層上に形成する際、選択的に形成するためのマスクは支持され、マスクのよじれやたわみなどによって画素電極層に接することを防止する。よって、画素電極層にはマスクによる傷などの損傷が生じず、画素電極層は形状不良とならないので、高繊細な表示を行う、高信頼性な表示装置を作製することができる。 （もっと読む）

【課題】成膜装置に設けられ基板と成膜用マスクとの位置合わせをするアライメント機構に伝達する可能性がある振動及び変形を低減し、位置ずれを抑制することができる成膜装置を提供する。
【解決手段】基板支持体と、マスク支持体と、を室内に備える成膜室と、前記成膜室の室外に設けられている支持体と、前記支持体上に設けられ、前記基板支持体の位置調整手段及び前記マスク支持体の位置調整手段の少なくとも一方と、アライメント用のカメラと、を備えるアライメント機構と、から構成され、前記支持体が、前記アライメント機構を載置する支持板と、脚部と、を有し、前記支持板が、前記脚部により前記成膜室の天板と離間して設けられており、前記支持板の少なくとも一部が、前記支持板に伝わる振動を熱エネルギーに変換して該振動を抑制可能にする制振材料で構成されていることを特徴とする、成膜装置。 （もっと読む）

【課題】蒸気発生部で発生させた成膜材料の蒸気を温度低下させること無く蒸着ヘッドに送ることができる蒸着装置を提供する。
【解決手段】蒸着により被処理体Ｇを成膜処理する蒸着装置１３であって、被処理体Ｇを成膜処理する処理室３０と、成膜材料を蒸発させる蒸気発生室３１とを隣接させて配置し、処理室３０の内部と蒸気発生室３１の内部を減圧させる排気機構３６，４１と、処理室３０の内部に成膜材料の蒸気を供給する蒸着ユニット５５〜６０とを設け、蒸着ユニット５５〜６０は、処理室３０の内部に向けて成膜材料の蒸気を噴出させる蒸気噴出口８０と、蒸気発生室３１に、成膜材料を蒸発させる蒸気発生部７０〜７２と、成膜材料の蒸気の供給を制御する制御弁７５〜７７と、蒸気発生部７０〜７２で発生させた成膜材料の蒸気を、処理室３０と蒸気発生室３１の外部に出さずに、蒸気噴出口８０に供給させる流路８１〜８３、８５とを備える。 （もっと読む）

【課題】薄膜材料の使用効率が高く、大型基板に所望形状の薄膜を形成できる技術を提供する。
【解決手段】
真空槽１１内の処理台１２の載置面１３と対面する位置に放出装置本体３１₁〜３１₃を配置し、放出装置本体３１₁〜３１₃と載置面１３との間に防熱板４２₁〜４２₃を配置し、防熱板４２₁〜４２₃に形成した孔４３₁〜４３₃内に放出装置本体３１₁〜３１₃に接続された細管３３₁〜３３₃を挿入させ、細管３３₁〜３３₃の先端を防熱板４２₁〜４２₃よりも載置面１３に近い位置まで伸ばしておく。真空槽１１内を真空排気し、細管３３₁〜３３₃から材料ガスを放出して載置面１３上の成膜対象物表面に薄膜を形成するときに、細管３３₁〜３３₃先端は蒸発温度以上に加熱しておくことができ、材料ガスが凝縮して細管３３₁〜３３₃先端が閉塞することはなく、成膜対象物表面に、線状の薄膜を形成することができる。 （もっと読む）

【課題】連続運転しても、蒸着材料の劣化を防止することで、蒸着膜の品質低下を防止できる蒸着装置を提供する。
【解決手段】蒸発容器１１内に充填された蒸着材料Ｌを蒸発させて蒸着容器内に保持された基板に蒸着させる蒸着装置であって、蒸発容器１１を保持して冷却する容器保持具１２と、蒸着材料Ｌの表面部分を加熱用ランプ１６及び反射板１７で加熱する加熱装置１５と、蒸着材料Ｌの表面位置を検出し得るレーザセンサ１９とを具備し、容器保持具１２を、蒸発容器１１の底部を支持する載置部２１と、蒸発容器１１の側部を覆うと共に加熱用ランプ１６及び反射板１７が取り付けられた外周部２３とから構成し、載置部２１を昇降させる昇降装置１４を設け、且つレーザセンサ１９で検出された蒸着材料Ｌの表面位置に基づき昇降装置１４を制御して加熱用ランプ１６及び反射板１７と上記表面位置とを所定距離に維持する制御装置９を設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】蒸着工程中に基板と薄膜蒸着装置との精密なアラインが可能である薄膜蒸着装置及びこれを利用した有機発光表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】蒸着源１１０の一側に配され、第１方向Ｙに沿って複数個の蒸着源ノズル１２１が形成された蒸着源ノズル部１２０と、蒸着源ノズル部１２０と対向し第２方向Ｘに沿って複数個のパターニング・スリット１５１が形成されるパターニング・スリットシート１５０と、を具備し、該基板が、第１方向Ｙに沿って移動しつつ蒸着が行われ、該パターニング・スリットシート１５０は、第１アラインマーク１５２及び第２アラインマーク１５３を含み、該基板は、第１アラインパターン５０２及び第２アラインパターン５０３を含み、これらを撮影する第１カメラアセンブリ１６１及び第２カメラアセンブリ１６２と、をさらに具備する薄膜蒸着装置。 （もっと読む）

【課題】高輝度かつ長寿命の有機エレクトロルミネッセント素子を提供すること。
【解決手段】陽極電極上に、少なくとも１つの発光層を有する有機ＥＬ層、陰極電極がこの順に形成された有機エレクトロルミネッセント素子において、
上記有機ＥＬ層は、ホール注入層、ホール輸送層、発光層、電子輸送層、電子注入層、陰極電極がこの順に形成されたものであり、
かつ上記ホール注入層、ホール輸送層、発光層のうち、少なくとも連続する２層を形成する主たる材料が同一である有機エレクトロルミネッセント素子の製造方法であって、
上記連続する２層が、上記主たる材料を連続して供給し、かつ添加材料の供給量を制御して製造される。 （もっと読む）

【課題】大面積の成膜対象物に対して膜厚及び膜質が均一の膜を形成することができる蒸着技術を提供する。
【解決手段】本発明の蒸着装置３０は、ホスト材料用蒸発源８ｈ及びドーパント材料用蒸発源８ｄにそれぞれ接続されたリニア蒸気放出器１０を備える。リニア蒸気放出器１０は、蒸発材料の蒸気の導入側から放出側に向って段階的に区分けされた第１〜第３の拡散室１１〜３１をそれぞれ有するとともに、第１〜第３の拡散室１１〜３１は、互いに隣接する拡散室が蒸発材料の蒸気が通過可能な第１〜第３連通口１２〜３２を介して接続されている。第３の拡散室３１は、第４連通口４２を介してそれぞれ蒸気混合室４１に接続されている。 （もっと読む）

【課題】第１および第２のメタルマスクを含むメタルマスクセットを用いて基板に所定の配線パターンを成膜する際、配線パターンの寸法精度を向上させる。
【解決手段】例えば、半導体基板１０２に所定の配線パターンを成膜する際に用いられる複数のメタルマスクを含むメタルマスクセット１００において、配線パターンの一部領域に対応した形状の開口部３４０を有する第１のメタルマスク１１０（チップ用マスク３２０）と、配線パターンの他の一部領域に対応した形状の開口部３５０を有し、さらに第１のメタルマスク１１０の開口部３４０を覆う形状の空間部３６０を有する第２のメタルマスク１２０（チップ用マスク３３０）とを備え、半導体基板１０２に順次設置される第１および第２のメタルマスク１１０、１２０を介してそれぞれ第１および第２の金属が基板に順次成膜されることにより基板に配線パターンが成膜される。 （もっと読む）

【課題】高歩留まりあるいは高精細化に有効な有機エレクトロルミネッセンスパネルの構造と、それを実現するための適切なテンションを付与することができる蒸着マスクを使用した有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法を提供する。
【解決手段】枠体３４と、間隔をあけて面状に並列された同じ幅の複数の線材３８を有する第１サブマスク３６と、少なくとも１つの開口４４を有する第２サブマスク４２と、を有する蒸着マスクを用意する。回路基板１０に、蒸着マスクを使用した蒸着によって、有機材料からなる複数の発光層２０を形成する。第１サブマスク３６は、複数の線材３８に長さ方向に張力が付与されるように枠体３４に固定され、複数の線材３８のみが張力の方向に一直線に切れ目なく連続し、複数の線材３８が少なくとも１つの開口４４と重なるように、第２サブマスク４２の一方の面上に配置されている。 （もっと読む）