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Fターム[3K107GG04]の内容

エレクトロルミネッセンス光源 (181,921) | 製造方法、装置 (15,131) | 成膜方法 (6,048) | 乾式 (2,141) | 蒸着 (1,279)

Fターム[3K107GG04]に分類される特許

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【課題】外部量子効率が高く、駆動電圧が低く、耐久性に優れ、また、駆動後の電圧上昇分の使用環境温度依存性が小さい有機電界発光素子の提供にある。
【解決手段】少なくとも一つの一般式(PQ−1)で表される化合物と特定構造を有する炭化水素化合物を含有する発光性有機薄膜及びそれを用いた有機電界発光素子。
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【課題】有機電界発光素子用材料の取扱いを容易にすると共に内部に収容される有機電界発光素子用材料の蒸着時における熱分解を抑制することができる有機電界発光素子用材料入り容器などの提供。
【解決手段】蒸着で成膜可能な所定の有機電界発光素子用材料と、該有機電界発光素子用材料を内部に収容する容器とを含む有機電界発光素子用材料入り容器であって、前記有機電界発光素子用材料の粉粒と鉄粉粒との摩擦により帯電された有機電界発光素子用材料の粉粒の帯電量と、前記容器を粉砕して得られた容器の粉粒と鉄粉粒との摩擦により帯電された容器の粉粒の帯電量との差の絶対値が、10μC/g以下である有機電界発光素子用材料入り容器とする。 (もっと読む)


【課題】異物やTFT基板のバンクなどの段差があっても、第二電極層に欠陥が生じることがなく、ダークスポットが発生・拡大することがなく、長期にわたり良好な発光表示特性を維持できる有機EL素子および製造方法を提供すること。
【解決手段】少なくとも、基材上に、第一電極層、有機発光媒体層、第二電極層、パッシベーション層がこの順に積層されてなる有機エレクトロルミネッセンス素子において、前記第二電極層は、少なくともアルカリ金属又はアルカリ土類金属を含む第一金属層と、前記第一金属層上に積層される無機化合物層と、前記無機化合物層上に積層される第二金属層と、から成ることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子としたもの。 (もっと読む)


【課題】大型基板の量産工程に容易に適用され、製造収率が向上した薄膜蒸着装置を提供する。
【解決手段】基板上に薄膜を形成するための薄膜蒸着装置において、蒸着物質を放射する蒸着源と、蒸着源の一側に配され、第1方向に沿って複数個の蒸着源ノズルが形成される蒸着源ノズル部と、蒸着源ノズル部と対向するように配され、第1方向に対して垂直である第2方向に沿って複数個のパターニング・スリットが形成されるパターニング・スリットシートと、を含み、基板が薄膜蒸着装置に対して、第1方向に沿って移動しつつ蒸着が行われ、蒸着源、蒸着源ノズル部及びパターニング・スリットシートは、一体に形成されることを特徴とする薄膜蒸着装置である。 (もっと読む)


【課題】位置ずれなく精密にポリマーでなる有機EL材料を高いスループットで成膜する手段を提供する。
【解決手段】画素部111をバンク121により複数の画素列に分割し、薄膜形成装置のヘッド部115を画素列に沿って走査することにより、赤色発光層用塗布液114a、緑色発光層用塗布液114b、青色発光層用塗布液114cを同時にストライプ状に塗布する。そしてこれを加熱することで赤、緑、青の各色に発光する発光層を形成する。 (もっと読む)


【課題】有機材料からなる第1の光路長調整層及び無機材料からなる第2の光路長調整層を有し、耐久性が向上した有機電界発光装置、及び製造プロセスを簡易化する有機電界発光装置の製造方法、並びに有機電界発光ディスプレイの提供。
【解決手段】赤色、緑色、及び青色に対応する複数の画素領域のうち、少なくとも1つの画素領域に、反射金属層と、半透明部材と、少なくとも発光層を有する有機電界発光素子と、光路長調整層とを有し、前記有機電界発光素子からの発光を共振させる共振構造を備えた有機電界発光装置であって、前記光路長調整層が、光透過性樹脂からなる第1の光路長調整層と、無機材料からなる第2の光路長調整層とからなる有機電界発光装置である。 (もっと読む)


【課題】高解像度有機薄膜パターンの形成方法を提供する。
【解決手段】高解像度有機薄膜パターンの形成方法に係り、(a)基板上に第1有機層を形成する段階と、(b)第1有機層に選択的に光エネルギーを照射し、第1有機層を選択的に除去し、第1有機層の残っている部分に犠牲層を形成する段階と、(c)基板及び犠牲層上の全面に、第2有機層を形成する段階と、(d)ソルベントを使用し、犠牲層を除去し、犠牲層上に形成された第2有機層をリフトオフすることによって、残っている第2有機層に第2有機層パターンを形成する段階と、を含む有機薄膜パターンの形成方法である。 (もっと読む)


【課題】設置面積が小さく、処理時間が短い、内部を汚染させ難い膜形成装置を提供する。
【解決手段】真空ポンプPに通じる配管81が接続される排気口8を有する真空チャンバ1と、この排気口が形成された真空チャンバの壁面を下とし、この真空チャンバ下部に配置され、基板Wを保持すると共にこの基板の冷却を可能とするステージ2と、真空チャンバ内に、原料有機分子を気化させて導入し得る原料導入手段4と、原料導入手段を介して真空チャンバ内に導入された原料有機分子を基板表面に堆積させた後、基板上方に対向配置されてこの堆積した原料有機分子に光を照射して重合反応を引き起こす光照射手段3とを備える。原料導入手段は、照射面を囲う環状のシャワーヘッド43を有し、このシャワーヘッドから噴出された原料有機分子を基板表面へと導くガイド手段5を設けた。 (もっと読む)


【課題】パターン形成方法及び有機発光素子の製造方法を提供する。
【解決手段】電流が流れる位置を選択的に制御することによって、熱が発生する位置を選択的に制御できる加熱基板を提供するステップと、加熱基板の一面にパターン形成物質を形成するステップと、パターンが形成されるパターニング基板を加熱基板の一面に対向して整列させるステップと、加熱基板に選択的に電流を加えることによって、パターン形成物質の一部をパターニング基板に転写するステップと、を含むパターン形成方法及び有機発光素子の製造方法である。これにより、加熱基板に形成されたパターン形成物質を加熱する方式でパターンを転写することによって、マスクの使用なしに大型基板に精度の高いパターンを実現でき、工程後に加熱基板に残存するパターン形成物質を再使用することもできる。 (もっと読む)


【課題】所定パターンに形成された複数のスリットを含むマスク組立体を用いて蒸発源から放射される蒸発物質を選択的に基板に蒸着する蒸着装置において、上記蒸発源のノズル構造を変更してシャドー効果を最小化する蒸発源及びそれを用いた蒸着装置を提供する。
【解決手段】本発明の蒸発源は、一側が開口され、蒸発物質が保存されるるつぼと、上記るつぼの開口側に位置し、内壁の一部領域が傾斜された1つまたは複数のノズルを含むノズル部と、加熱部と、るつぼ、ノズル部及び加熱部を収納するためのハウジングとを含み、ノズル部の最大放射角は60゜未満であることを特徴とする。また、本発明の蒸着装置は、工程チャンバと、内壁の一部領域が傾斜された1つまたは複数のノズルを含む蒸発源と、基板ホルダと、側面が表面を基準に第1傾斜角度をなす複数のパターンが形成されたマスクとを含み、蒸発源の最大放射角は上記第1傾斜角度以下であることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】基板から有機EL塗布層が脱落することを防止するとともにパーティクルの発生を防止し、高品質な有機EL素子基板を製造することが可能な、有機EL素子基板およびその製造方法ならびにディスプレイ装置を提供する。
【解決手段】有機EL素子基板10は、第1電極層14が形成された基板11と、第1電極層14上に設けられた有機EL塗布層21と、有機EL塗布層21上に設けられた有機EL蒸着層25とを備えている。有機EL蒸着層25上に第2電極層28が設けられている。有機EL素子20の形成領域以外の領域に塗布不要領域54が存在する。また有機EL塗布層21上であって、塗布不要領域54に対応する部分に、有機EL塗布層21の脱落を防止する保護膜29が設けられている。 (もっと読む)


【課題】複数の隔壁を用いて、るつぼの内部空間を分離する線形蒸発源において、るつぼの分離された空間に残存する蒸発物質量の偏差を最小化し、成膜の不均一が防止できる線形蒸発源及びそれを用いた蒸着装置を提供する。
【解決手段】一側が開口され、蒸発物質を保存するるつぼ320と、るつぼの内部空間を分割し、下部に1つまたは複数の貫通ホール325bが形成される複数の隔壁325と、るつぼの開口側に位置し、複数のノズル335を含むノズル部と、るつぼを加熱するための加熱手段340と、るつぼ、ノズル部、及び加熱手段を収納するためのハウジング310とを含む線形蒸発源300。また、工程チャンバ200と、該工程チャンバの一側に位置する線形蒸発源300と、線形蒸発源に対向するように位置する基板ホルダ500とを含む蒸着装置100。 (もっと読む)


【課題】 活性有機層と、電子デバイスの構成により生じる欠陥の悪影響を軽減する構造を有する電子デバイスを提供する。
【解決手段】 有機電子デバイス(10)のための複合電極(40)は、第1導電性材料の薄い第1層(42)と、該第1層上に配設された第2導電性材料からなる。一実施形態において、第2導電性材料は、複数の細長い部材(44)に形成される。別の実施形態においては、第2材料は、第2層(46)に形成される。細長い部材又は第2層は、第1層の厚さよりも大きい厚さを有する。第2層は、少なくとも第1層の材料よりも小さい導電率を有する導電性材料によって、第1層から分離される。複合電極は、有機電子デバイスの構造における短絡のような欠陥の悪影響を軽減することができ、発光デバイス又は光起電デバイス中に含むことができる。 (もっと読む)


【課題】基板とマスクとの間の静電気を除去できる薄膜蒸着装置及びこれを利用した静電気除去方法を提供する。
【解決手段】基板110を支持するホルダー102と、基板の一面に対向するように配されるマスク103と、基板とマスクとの間に発生した静電気をマスクに電流を流して除去する静電気除去部120と、を備える薄膜蒸着装置とする。 (もっと読む)


【課題】異物が流出することによる不都合を防止した蒸着坩堝と、これを備えた蒸着装置を提供する。
【解決手段】蒸着材料3を収容する坩堝本体8と、坩堝本体8の開口部8aに着脱可能に被着された、蓋板部12と筒部13とを有する蓋9と、を備えた蒸着坩堝4である。蓋9には、蓋板部12に蒸着材料3の昇華物又は気化物を通過させる流出口12aが設けられている。坩堝本体8の開口部8aと流出口12aとの間には、蒸着材料3の昇華物又は気化物の流路の一部を遮断する邪魔板14が設けられている。 (もっと読む)


【課題】本発明は、画素領域を保護すると共に、画素領域の外側の有機物層を効果的に除去して、上部電極及び上部電極電源ラインの接続時にこれらの間の接触抵抗を最少化し、有機発光素子の発光特性を向上させることができる有機発光表示装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】有機発光表示装置の製造方法は、基板上の画素領域の外側に上部電極電源ラインを形成し、画素領域に下部電極を形成し、画素領域と画素領域の外側に少なくとも一層の有機物層を形成し、画素領域に上部電極を形成し、上部電極の外側に露出された有機物層部位を選択的に除去して上部電極電源ラインを露出させ、常圧条件で上部電極及び上部電極電源ラインと重なるように上部電極及び上部電極電源ラインの間に導電物質を塗布して接続部を形成する段階を含む。 (もっと読む)


【課題】有機発光ディスプレイ装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基板と、基板上に形成されたディスプレイ部と、ディスプレイ部と前記ディスプレイ部周辺の非発光領域とを覆い、中央部からエッジ部に行くほど密度及び厚さが増大する封止膜と、を備える有機発光ディスプレイ装置である。これにより、側面方向の水分や酸素の浸透を防止して有機発光ディスプレイ装置の寿命を延長させうる。 (もっと読む)


【課題】マスクを大型化する場合に、補助フレームによるシャドー現象の生じない蒸着用マスク、その製造する方法及び製造装置を提供する。
【解決手段】第1分割マスク170a及び第2分割マスク170bを含む蒸着用マスクにおいて、第1分割マスク170a及び第2分割マスク170bは直接溶接され、各分割マスクの相互に対向する側面に溶接面が形成されることを特徴とする。本発明は補助フレームを用いず、分割マスクを直接溶接するため、従来のようなシャドー現象が発生せず、破断強度においても好適な溶接品質を確保することができる蒸着用マスクが提供される。 (もっと読む)


【課題】TFT工程時に高温でもバリア層の特性に変化がなく、基板のストレスを軽減させて工程安定性を高めることができるだけでなく、基板の量産が可能な、新規かつ改良された有機発光装置の製造方法及び有機発光装置を提供する。
【解決手段】有機発光装置の製造方法は、基板10を用意する工程と、基板10上にバリア層20を形成する工程とを含み、バリア層20を形成する工程は、基板10上にバリア層側第1無機膜21を形成する工程と、バリア層側第1無機膜21上にポリイミド形成用モノマーを、熱蒸着法、プラズマ化学気相蒸着または原子層蒸着法を利用して蒸着させた後、熱処理することでポリイミドからなるバリア層側第1有機膜22を形成する工程と、バリア層側第1有機膜22上にバリア層側第2無機膜23を形成する工程と、を含む。 (もっと読む)


【課題】膜厚分布の均一性の高い表示装置の作製方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る表示装置の作製方法は、基板101を蒸着室に搬送し、蒸着源104から薄膜材料を気化させ、前記薄膜材料を気化させている間、前記基板に対する前記蒸着源の位置を移動させることにより、前記基板上に薄膜を成膜することを特徴とする。 (もっと読む)


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