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Fターム[3K107GG05]の内容

エレクトロルミネッセンス光源 (181,921) | 製造方法、装置 (15,131) | 成膜方法 (6,048) | 乾式 (2,141) | スパッター (373)

Fターム[3K107GG05]に分類される特許

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【課題】レーザー光の照射によるアニール温度で昇華する特性を有する発光層を用いた場合であっても、その昇華性発光層の昇華による影響を抑制しつつ、効率的なアニール処理を行って、発光輝度の向上を図ること。
【解決手段】 絶縁性基板1上に、順に、第1電極2、第1絶縁層3、発光層4、第2絶縁層5、及び第2電極6を形成するとともに、発光層4にレーザー光を照射して、当該発光層の発光輝度を向上させるEL素子の製造方法において、発光層4は、レーザー光が直接照射されたときのアニール温度によって昇華する特性を有する第1発光層4aと、当該アニール温度において昇華しない特性を有する第2発光層4bとを含み、第1発光層4aが下側となり、第2発光層4bが上層側となるようにそれぞれ成膜する。そして、第2の絶縁層を形成する前に、レーザー光を第2発光層4bに直接照射してアニール処理を行う。 (もっと読む)


【課題】製造工程の複雑化及び薄膜トランジスタの特性劣化を引き起こす、紫外線照射による、表示装置の電極表面の洗浄工程を省いた、新規な表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】基板1上に駆動回路と発光部を形成する表示装置の製造方法である。発光部を形成する工程は、発光層に電荷を印加する透明アノード電極8を形成する工程と、透明アノード電8上に第1の被覆層9と第2の被覆層10を形成する工程と、第2の被覆層10をマスクとして第1の被覆層9をエッチングにより除去する工程と、第1の被覆層9が除去された透明アノード電極8上に発光層を含む層を形成する工程と、を有する。透明アノード電極8は、紫外線照射による洗浄を施したものと同等に清浄な表面となる。 (もっと読む)


【課題】透明導電膜で形成された上部電極の電圧降下を防止し、画面輝度が均一なトップエミッション型有機EL表示装置を実現する。
【解決手段】上部電極と下部電極に挟持された画素がマトリクス状に形成されて表示領域を形成している。画素と画素の間に、上部電極の電圧降下を防止するために補助電極30が横方向に延在している。上部電極30に電流を供給するための電流供給線と補助電極とは絶縁膜にスルーホールを形成して導通をとる。スルーホールの接続の信頼性を確保するために、スルーホールに、補助電極30と重畳して金属で形成されたコンタクト電極40を蒸着する。 (もっと読む)


【課題】 発光材料層より下層に配置した配線(補助配線)と共通電極との間の接続構造を備えた、高精細で長寿命な有機EL表示装置を提供することにある。
【解決手段】 有機EL表示装置は、基板と、前記基板上に形成された複数の第1電極と、前記複数の第1電極の中央を露出させるとともに、外縁を覆うバンクと、前記バンク上に形成された第2電極と、前記バンク、前記第1電極及び前記第2電極の上に配置された発光材料層と、前記発光材料層の上に形成された第3電極とを有し、前記発光材料層は、前記第2電極と重なる位置に周囲が盛り上がった開口を備え、前記第3電極は、前記開口の内面を覆っている。 (もっと読む)


【課題】有機発光層の側面を完全に封止し、発光特性の劣化が少ないと共に、薄型化が可能な有機エレクトロルミネッセンス素子を提供する。
【解決手段】基板30上に形成される基板側電極2と、基板側電極の上面に形成される有機発光層4と、有機発光層の上面に形成される上部電極6と、上部電極の上面及び側面並びに有機発光層の側面を連続して完全に覆う第1の無機膜12と、第1の無機膜を覆うポリマー膜14と、ポリマー膜を覆う第2の無機膜16とを備え、第1の無機膜が第2の無機膜より疎になっている。 (もっと読む)


【課題】無機EL及びPDP用として良好な、色純度が良く高輝度の蛍光体薄膜と、それを高い成膜速度で形成することができる成膜方法を提供する。
【解決手段】亜鉛、バリウム、アルミニウム、イオウ及びユウロピウムから構成される次の組成式:Znx0Bax1Alx2x3Eux4(式中、x0〜x4は、下記の(1)〜(5)に示す要件を満たす。)で表される硫化物から形成される蛍光体薄膜であって、その化合物組織は、組成式:BaAl:Euで表される化合物相を主体として含む相からなることを特徴とする。
(1) 0.01≦x0≦0.02
(2) x1+x4=1
(3) 2.01≦x2≦3.0
(4) 4.0<x3≦4.3
(5) 0.03≦x4≦0.10 (もっと読む)


【課題】高い輝度を有し、表示安定性に優れた無機EL素子を開発する。
【解決手段】基板上に、第1電極、第1絶縁層、発光層、第2絶縁層、および第2電極を備えた無機EL素子であって、第2絶縁層と第2電極との間にバリア層を形成し、第2透明電極の形成時における第2絶縁層のダメージを抑制した無機EL素子。 (もっと読む)


【課題】所望の結晶性を有する酸化亜鉛薄膜を形成する。
【解決手段】基板上に積層された酸化亜鉛薄膜であって、ウルツ鉱型の結晶性薄膜であり、該結晶性薄膜のc軸が基板に略垂直方向に配向しており、かつ該結晶性薄膜のc軸方向の極性面の一つである亜鉛面が最上層に形成されているものである。また、基板上に積層された酸化亜鉛薄膜であって、ウルツ鉱型の結晶性薄膜であり、金属薄膜層上に薄膜形成技術によって形成される。 (もっと読む)


【課題】有機発光デバイスの性能を確保する。
【解決手段】第1の電極と第2の電極との間に配置された少なくとも1つの発光性有機材料層を有し、前記第1の電極及び第2の電極の一方が多層構造であり、前記多層構造の各層がDCマグネトロンによりスパッタされた層である有機発光デバイスにつき開示する。さらに、第1の電極と第2の電極との間に配置された2つ以上の発光性有機材料層を有し、有機材料の最上層が有機材料の下側層よりもスパッタ付着に対し耐性を有し、さらに前記有機材料の最上層の上に形成された電極がスパッタ層である有機発光デバイスについても開示する。さらに、この種の構造の構築方法についても開示する。 (もっと読む)


【課題】容易に製造することができ、且つ発光特性及び寿命特性が良好な有機EL素子、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】陽極、発光層、陰極、及び前記陽極と前記発光層との間に正孔注入層として金属酸化物層を有する有機エレクトロルミネッセンス素子であって、前記金属酸化物層が:(A)素子を構成する他の層上に金属酸化物を堆積して未処理金属酸化物層を得る工程;及び(B)酸素原子を含む雰囲気下で、前記未処理金属酸化物層の表面にエネルギーを加える表面処理工程により得られる層である有機エレクトロルミネッセンス素子、並びにその製造方法。 (もっと読む)


【課題】容易に製造することができ、且つ寿命特性が良好な有機EL素子、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】陽極、発光層、陰極、及び前記陽極と前記発光層との間又は前記発光層と前記陰極との間に設けられた金属酸化物層を有する有機エレクトロルミネッセンス素子であって、前記金属酸化物層が:(A)素子を構成する他の層上に金属酸化物を堆積して未処理金属酸化物層を得る工程;及び(B)前記金未処理属酸化物層を加熱処理する工程により得られる層である有機エレクトロルミネッセンス素子、並びにその製造方法。 (もっと読む)


【課題】容易に製造することができ、且つ発光特性及び寿命特性が良好な有機エレクトロルミネッセンス素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】陽極、発光層及び陰極を有する有機エレクトロルミネッセンス素子であって、前記陽極と前記発光層との間に設けられた、金属ドープモリブデン酸化物層をさらに有する有機エレクトロルミネッセンス素子;並びに素子を構成する他の層上に、酸化モリブデン及びドーパント金属を同時に積層し、金属ドープモリブデン酸化物層を得る積層工程を含む前記有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。 (もっと読む)


【課題】ボンディング時に、ロウ材のInとBaAl:Eu合金板の成分とが相互に拡散することを防止し、ロウ材のIn層を変質させずに、スパッタリングターゲットとバッキングプレートとを接合させる。
【解決手段】Ba含有合金スパッタリングターゲットである金属層11の一方の表面に、Baと合金を形成しない、Ta、Nb、W、Moなどの金属からなるバリア層12を形成し、該バリア層12の上に、Ni、Cuなどからなる濡れ性改善層13をさらに形成し、その後、該一方の表面を、Inからなるロウ材3を介して、ボンディングによりバッキングプレート2に接合する。 (もっと読む)


【課題】各種電子機器、情報機器のディスプレイなどに使用される有機エレクトロルミネッセンス素子の陰極を構成する金属膜を提供する。
【解決手段】Ba:30〜70質量%を含有し、さらに酸素:0.05〜1質量%を含有し、残部がアルミニウムおよび不可避不純物からなる組成を有する金属膜であって、この金属膜は蒸着、スパッタ、その他の方法で成膜される。 (もっと読む)


【課題】有機EL素子を封止する無機物層を含む被膜を形成するときに、有機EL素子に与えるダメージを抑えながら、水蒸気や酸素に対するバリア性の高い被膜を形成することができる有機EL装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】基板10上に、少なくとも一方が透明または半透明の一対の電極間に発光層を含む有機EL層22を挟んで構成した有機EL素子20と、有機EL素子20に接する少なくとも1層の無機物膜を含み、有機EL素子20を封止する封止層30と、を形成する際に、封止層30中の有機EL素子20に接する第1の封止膜31をイオンビームスパッタ法で形成し、封止層30中の他の無機物膜をイオンビームスパッタ法以外の他の成膜方法で形成する。 (もっと読む)


【課題】有機EL素子を封止する無機物層を含む被膜を形成するときに、有機EL素子に与えるダメージを抑えることができる有機EL装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】基板10上に、少なくとも一方が透明または半透明の一対の電極間に発光層を含む有機EL層22を挟んで構成した有機EL素子20と、有機EL素子20に接する少なくとも1層の無機物膜を含み、有機EL素子20を封止する封止層30と、を形成する際に、封止層30中の有機EL素子20に接する第1の封止膜31を対向ターゲット式スパッタ法で形成し、封止層30中の他の無機物膜を対向ターゲット式スパッタ法以外の他の成膜方法で形成する。 (もっと読む)


【課題】有機層を画素ごとにパターニングしなくても、また第2電極を必要以上に厚くしなくても、補助配線と第2電極とを電気接続することができる有機EL表示装置を提供する。
【解決手段】基板(ガラス基板101)の上に、第1電極300と、少なくとも発光層を含む有機層310と、第2電極320とを有する有機EL素子を複数備え、隣接して配置される第1電極300の間に絶縁性の画素分離膜330を備え、画素分離膜330の上に導電性材料からなる補助配線340を備えた有機EL表示装置において、補助配線340の上には、逆テーパー状の絶縁体又は導電体からなる隔壁350が形成されており、隔壁350の逆テーパー部の直下位置で補助配線340と第2電極320とが電気的に接続されていることを特徴とする有機EL表示装置。 (もっと読む)


【課題】有機EL素子上に該有機EL素子を駆動するためのTFTを配した有機EL表示装置を提供することにある。特に、高開口率が得られ、高精細、高輝度、且つ高寿命のアクティブ型有機EL表示装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】有機EL素子、及び前記有機EL素子上に形成された薄膜電界効果型駆動トランジスタを有する有機EL表示装置であって、上部電極34と前記薄膜電界効果型トランジスタの間に前記上部電極34と電気的に接して導電性エッチング保護膜109、前記導電性エッチング保護膜109と前記薄膜電界効果型トランジスタとの間に保護絶縁膜106を有し、前記保護絶縁膜106に設けられたコンタクトホール108を通して前記薄膜電界効果型トランジスタのソース105aまたはドレイン電極105bと前記導電性エッチング保護膜109が電気的に接続していることを特徴とする有機EL表示装置およびその製造方法。 (もっと読む)


【課題】劣化しにくい発光素子を提供することを目的とする。また、劣化しにくい発光装置および電子機器を提供することを目的とする。また、劣化しにくい発光素子の作製方法を提供することを目的とする。
【解決手段】一対の電極間にEL層を有する発光素子を、無機化合物とハロゲン原子とを含む層、もしくは有機化合物と無機化合物とハロゲン原子とを含む層を用いて覆うことで、水分の侵入による劣化を抑制することができる。よって、長寿命の発光素子を得ることができる。 (もっと読む)


【課題】薄い電極を用いることで非点灯を低減しながら、同時に微小共振器構造を有する有機発光素子を提供する。
【解決手段】有機発光素子において、基板の側から順に第1電極層、有機層、第2電極層、透明絶縁層、光反射透過層から成る層構成を持つ。前記第2電極層の膜厚が1nm以上30nm以下である。前記光反射透過層と前記第1電極層との間に微小共振器構造を有し、前記光反射透過層と前記第1電極層との間の膜厚が、前記有機層から発光する光を強めるように調整されていることを特徴とする。 (もっと読む)


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