【課題】
エッチング技術を使った製造工程を利用した多層膜の製造方法及びそのエッチング膜製造装置。
【解決手段】
本発明はエッチング技術を使った製造工程を利用した多層膜の製造方法及びそのエッチング膜製造装置に関するものである。本発明は第2層エッチング液におけるエッチング液の揮発速度を加速させるもので、過熱することで第２層エッチング液の溶剤が落下し、本来の有機分子膜を溶解するのを防ぐものである。この装置には、すき間を有する有機容器、加熱器、吸気弁が含まれる。有機容器は有機分子のエッチング液を入れるのに用いる。この有機容器は機械を使って基板と基板の間隔を調節することができ、この間隔によりウエット薄膜にできる厚みを制御することができる。吸気弁は有機容器の上に設置し、すき間を流れる有機溶液の量を調整するのに使用する。加熱器は有機容器の一方に置き、容器の揮発及び薄膜形成の速度を速めるのに用いる。 （もっと読む）

基板と、第１の極性の電荷を注入するために基板の上に配置された第１の電極と、前記第１の極性とは反対の第２の極性の電荷を注入するために第１の電極の上に配置された第２の電極と、第１の電極と第２の電極の間に配置された有機発光層であって、その発光層から発せられた光を第２の電極が透過させる有機発光層と、第２の電極の上に第２の電極と離間して配置されて第２の電極との間にキャビティを画定するガラスまたは透明プラスチック封止剤と、キャビティ内に配置されたキャビティ充填材であって、キャビティの底面側からキャビティの頂面側に延在し、内部に光学的構造が配置されているキャビティ充填材と、を備えた有機エレクトロルミネッセントデバイス。 （もっと読む）

【課題】第２絶縁層の下部電極層との剥がれを抑制することにより、製品の寿命を向上させることができる有機ＥＬ表示装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】
素子基板と、該素子基板上に少なくとも一部が配設された薄膜トランジスタを有する回路部と、前記素子基板上および前記回路部上に配設され、前記導電層の一部領域上に穴構造を有する第１絶縁層と、該第１絶縁層上に形成された下部電極層と、該下部電極上に形成され、有機材料を有する発光層を備える発光素子と、該発光素子上に形成される上部電極層と、前記回路部と、前記上部電極層と電気的に接続された導電層とが、前記穴構造において電気的に接続されたコンタクト部と、該コンタクト部の穴構造内に充填される部分を有する有機材料からなる第２絶縁層と、該第２絶縁層を露出しないように覆う有機材料からなる第３絶縁層と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】低価格に製造することが可能な表示装置を提供する。
【解決手段】半導体回路が形成されている第１の基板と、一方の面には画像表示を行うための電極と、前記電極とはコンタクトホールにより接合されており他方の面に露出している電極とが形成されている第２の基板と、第２の基板の画像表示を行うための電極とともに画像表示を行うための電極の形成されている第３の基板と、第２の基板と第３の基板の間に設けられた画像表示を行うための画像表示層と、第１の基板の半導体回路が形成されている面における電極と、第２の基板における他方の面に露出している電極とが電気的に接続されていることを特徴とする表示装置を提供することにより上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】薄膜トランジスタの作製工程を簡略化し、ＥＬ表示装置をはじめとする発光装置の作製方法を簡略化することを課題の一とする。または、上記作製方法の特徴を有効に利用した発光装置の作製方法を提供することを課題の一とする。
【解決手段】第１の導電膜、第１の絶縁膜、半導体膜、不純物半導体膜及び第２の導電膜を順に積層して形成し、第１のエッチングにより前記第１の導電膜を露出させつつ、少なくとも前記薄膜積層体のパターンを形成し、第２のエッチングにより第１の導電膜のパターンを形成する。上記第２のエッチングは、第１の導電膜がサイドエッチングされる条件により行われる。また、上記パターンの形成後、パターンに起因する凹凸を利用して、選択的にＥＬ層を形成することができる。 （もっと読む）

【課題】陰極の正常な形成あるいは封止構造の正常な形成を妨げることなく、発光機能層を液滴吐出法で形成可能な有機ＥＬ装置を得る。
【解決手段】基板１０と、基板１０の一方の面に配置された有機ＥＬ素子１２と、有機ＥＬ素子１２の周囲を囲むように形成された隔壁３０と、を備え、隔壁３０の基板１０とは反対側の面に凹部１４が配置されていることを特徴とする有機ＥＬ装置。 （もっと読む）

【課題】素子の信頼性を向上させることができる有機電界発光表示素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明による有機電界発光表示素子は、透明絶縁基板上にゲート電極及びソース／ドレイン電極を含む薄膜トランジスタと、前記透明絶縁基板上のコンタクトビアホールが形成された平坦化膜の上部に設けられ、前記コンタクトビアホールを介して前記ソース／ドレイン電極のいずれか一方に接続され、前記平坦化膜にまで延びたエッチング面を有する画素電極と、前記構造の上部に設けられ、前記画素電極の発光領域を定義する画素定義膜パターンと、前記画素電極の発光領域に設けられ、少なくとも発光層を含む有機膜と、全体表面の上部に設けられる対向電極と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光ムラを低減し、かつ長寿命とする。
【解決手段】本発明の有機ＥＬ素子１００は、基板１００Ａ上に設けられ発光領域Ａ１が開口されてなる貫通孔１２１を有する第１隔壁１２０と、第１隔壁１２０と基板１００Ａとの間に設けられた第１電極１１０と、第１隔壁１２０と第１電極１１０との間に設けられた第２隔壁１３０と、貫通孔１２１の内側の基板１００Ａ上に設けられた有機機能層１４０と、有機機能層１４０上に設けられた第２電極１５０と、を備えている。有機機能層１４０は、液状の形成材料を固化して形成されている。第１隔壁１２０が液状の形成材料に対して撥液性を有し、第２隔壁１３０が親液性を有している。第１電極１１０の全体、及び第２隔壁１３０の全体が第１隔壁１２０と重ね合わされて配置されている。有機機能層１４０が第１電極１１０及び第２隔壁１３０に当接して設けられている。 （もっと読む）

【課題】マスク利用回数が低減してコストダウンができ、かつ製造の容易な有機発光ディスプレイ装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】ゲート電極と、ゲート電極と絶縁されたソース電極及びドレイン電極と、ゲート電極と絶縁されてソース電極及びドレイン電極にそれぞれ接する半導体層と、を備える薄膜トランジスタ；ソース電極及びドレイン電極のうちいずれか一つに電気的に連結された画素電極を備え、ゲート電極は、第１導電層と第１導電層上の第２導電層とを備え、画素電極は、第１導電層と同一物質で同一層に形成されたことを特徴とする有機発光ディスプレイ装置及びその製造方法。 （もっと読む）

【課題】本発明は、コントラストを改善することが可能な有機ＥＬ素子及びその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】導電層１４と、導電層１４の中央領域の直上に形成される反射電極層１５と、導電層１４の中央領域を取り囲む周辺領域の直上に形成される光吸収絶縁膜１６と、反射電極層１５上に形成される有機ＥＬ層１７と、有機ＥＬ層１７上から光吸収絶縁膜１６上にかけて形成される光透過性電極層１８と、を備えたことを特徴とする有機ＥＬ素子。 （もっと読む）

【課題】 光の取り出し効率を改善した有機発光装置及び有機発光装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明による有機発光装置１０は、中央部に凹部１ｂを有し、凹部１ｂは開口部に向かって幅が狭くなる逆テーパー形状のテーパー面Ａを有しており、テーパー面Ａを含む凹部１ｂの内壁部からなるテーパー部１ａを周縁部に有する基板１と、凹部１ｂの底面上に配置された陽極層２及び陰極層４と、陽極層２及び陰極層４に挟まれた有機発光層３と、テーパー部１ａを介して基板１と接合して有機発光層３を封止する封止板９と、基板１と封止板９の間に配置された充填材８とを備える。 （もっと読む）

【課題】光取出し効率の高い有機ＥＬ素子、照明装置、表示装置およびその製造方法を提供することである。
【解決手段】有機ＥＬ素子１は、低屈折率層２、機能層３、透明な第１電極４、正孔注入層７、発光層５、および第２電極６がこの順に接して積層される。機能層３の表面には、高さが０．５μｍ〜１００μｍの複数の凹凸部が形成される。第１電極４の屈折率ｎ１、機能層３の屈折率ｎ２が、次式（１）を満たす。
【数１】
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【課題】コンパクト化を実現しつつ、良好な表示性能を発揮し得る表示素子の製造方法を提供する。
【解決手段】有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂは、基板１１に設けられた平坦化絶縁層１２の上に、第１電極層１３の上部有機層１５側の端面を第１端部Ｐ１、第２電極層１６の上部有機層１５側の端面を第２端部Ｐ２とする共振器構造を有するものである。平坦化絶縁層１２を形成する際には、基板１１上に、感光性樹脂を全面に亘って塗布することにより絶縁膜を形成したのち、この絶縁膜を、露光および現像により全面に亘って厚み方向に一部除去しつつその表面を平坦化する。これにより、第１端部Ｐ１および第２端部Ｐ２が極めて平坦となり、かつ、下部有機層１４および上部有機層１５の厚みのばらつきも極めて小さなものとなるので、効率的に、かつ安定して発光が生じ、発光領域における面内方向の輝度むらが低減される。 （もっと読む）

【課題】ＥＬ表示装置に搭載する薄膜トランジスタの作製工程を簡略化する。
【解決手段】第１の導電膜と、絶縁膜と、半導体膜と、不純物半導体膜と、第２の導電膜とを積層し、この上に第１のレジストマスクを形成し、第１のエッチングを行って薄膜積層体を形成し、該薄膜積層体に対してサイドエッチングを伴う第２のエッチングを行ってゲート電極層を形成し、第２のレジストマスクを用いてソース電極及びドレイン電極層等を形成することで、薄膜トランジスタを形成し、該薄膜トランジスタを用いてＥＬ表示装置を作製する。 （もっと読む）

【課題】パネルの外観性を向上させ、封止部材の剥離強度を担保し、更に、生産性の向上を図る。
【解決手段】基板上１１に、有機ＥＬ素子２０を形成し、有機ＥＬ素子２０を外気から遮断する封止部材１５を基板１１に貼り合わせ、基板１１と封止部材１５との接着領域Ｍの一部を横切って、引き出し配線１２Ａ，１４Ａを形成した有機ＥＬパネル１０であって、少なくとも接着領域Ｍにおける引き出し配線１２Ａ，１４Ａが形成されていない領域を覆うように、引き出し配線１２Ａ，１４Ａの疑似パターン３０を形成し、疑似パターン３０は、基板１１の側辺に対して斜めの同方向に形成された複数のライン状開口パターン３０ａを有する。 （もっと読む）

【課題】高効率である有機ＥＬディスプレイまたは有機ＥＬ照明装置を提供する。
【解決手段】基板と、画素駆動用回路部と、前記基板上にマトリックス状に配列された画素部とを具備してなる有機エレクトロルミネッセンスディスプレイであって、前記画素部が、前記基板に近い位置に設けられた第１の電極と前記基板から遠い位置に設けられた第２の電極とで挟持された少なくとも１層以上の有機層とを含む発光部を具備してなり、前記第２の電極が、金属電極層を具備してなり、前記金属電極層が貫通する複数の開口部を有しており、前記金属電極層の金属部位の任意の２点間は切れ目無く連続しており、前記開口部径が１０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の範囲であり、前記金属電極層の膜厚が１０ｎｍ以上２００ｎｍ以下の範囲にあり、前記開口部の配列周期の分布を動径分布曲線で表した場合、その半値幅が５〜３００ｎｍの範囲にあることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンスディスプレイを提供する。 （もっと読む）

【課題】銀及び／又は銀合金を含む基板に適用できるフォトレジスト剥離液組成物を提供する。
【解決手段】銀および／または銀合金を含む基板のフォトレジスト剥離液組成物であって、−式（Ｉ）ＮＨ_２−Ａ−Ｙ−Ｂ−Ｚ式中、Ａ、Ｂは、それぞれ相互に独立して、直鎖状または分枝鎖状の炭素数１〜５のアルキレン基であり、Ｙは、ＮＨまたはＯのいずれかであり、Ｚは、ＮＨ_２、ＯＨ、ＮＨ−Ｄ−ＮＨ_２（ここでＤは直鎖状または分枝鎖状の、炭素数１〜５のアルキレン基である、）で表される化合物、−式（ＩＩ）ＮＨ_２−Ａ−Ｎ(−Ｂ−ＯＨ)_２式中、Ａ，Ｂは式（Ｉ）と同じで表される化合物、−モルホリン、−Ｎ−置換モルホリン、−ピロカテコール、−ハイドロキノン、−ピロガロール、−没食子酸、及び−没食子酸エステルからなる群から選択される１種または２種以上と、１種または２種以上の極性有機溶剤とを含有する、前記フォトレジスト剥離液組成物。 （もっと読む）

【課題】熱処理（レーザ光照射による）とエッチング処理のみの簡便なプロセスにより、従来技術よりも低コストな方法で、導電性酸化物の薄膜が加工された基板を作製すること及びこのような基板を提供すること。
【解決手段】導電性酸化物付き基板の作製方法において、導電性酸化物の薄膜を基板上に積層する成膜工程と、レーザ光を集光させた状態で照射することにより前記基板面内の積層された導電性酸化物の薄膜の一部を熱変化させる熱処理工程と、熱処理工程により熱変化していない部分をエッチング処理により除去するエッチング処理工程とを含み、前記導電性酸化物の薄膜は、前記レーザ光を吸収し、該薄膜の少なくとも一部がアモルファス相であることを特徴とする導電性酸化物付き基板の作製方法及び得られた基板。 （もっと読む）

【課題】可撓性及びバリア性を有する基板を用い、基板やバリア層の劣化を防ぐとともに、光学特性への影響を抑制することができる回路基板の製造方法及び回路基板並びに有機ＥＬ発光装置を提供する。
【解決手段】一方の面に導電性膜１６が形成され、他方の面に特定波長の光照射によって溶剤に可溶化する保護膜１８が形成された可撓性バリア基板１０を用意する工程と、導電性膜をフォトリソグラフィと湿式エッチングによりパターニングして基板上に回路１６ａ〜１６ｂを形成する工程と、導電性膜を湿式エッチングした後、保護膜に特定波長の光を照射するとともに、該保護膜を溶剤で除去する。好ましくは、プラスチック基板１２の少なくとも一方の面にバリア層１４ａ，１４ｂが形成された可撓性バリア基板を用い、保護膜は、導電性膜をパターニングする際に用いる感光性樹脂の感光波長とは異なる波長の光照射によって溶剤に可溶化する。 （もっと読む）

【課題】共通電極上に補助配線を、発光層にダメージを与えることなく、高精度に形成する。
【解決手段】画素電極と、前記画素電極上に形成される透明電極とを有する複数の画素と、前記透明電極上で前記各画素の発光領域の間に形成される補助配線とを備える表示装置であって、前記補助配線は、樹脂の上に形成されたストライプ状の金属配線である。前記透明電極は、前記各画素に対して共通に形成され、前記透明電極と前記金属配線とを組み合わせたときのシート抵抗は、１０Ω／□以下である。前記金属配線は、Ｃｕ、または、Ａｌ、あるいは、ＳＵＳである。前記金属配線は、黒色化処理が施されている。前記透明電極は、ＩＴＯ、または、ＩＺＯ、あるいは、ＺｎＯである。前記金属配線は、走査線の延長方向で、前記各画素の発光領域の間の非発光領域に形成される。前記樹脂は、ＰＥＴ、または、ＴＡＣ、あるいは、ＰＯＣである。 （もっと読む）