【課題】材料の利用効率を向上させ、かつ、作製工程を簡略化して、信頼性の高い半導体
装置を作製する方法を提供する。
【解決手段】基板上に導電層を形成し、該導電層上に光透過層を形成し、該光透過層上か
らフェムト秒レーザを照射して、該導電層及び該光透過層を選択的に除去する工程を有す
る。なお、該導電層の端部は、該光透過層の端部より内側に配置されるように該導電層及
び該光透過層を除去されていてもよい。また、フェムト秒レーザを照射する前に、該光透
過層表面に撥液処理を行ってもよい。 （もっと読む）

【課題】高効率、長寿命、高輝度であり、少ないプロセスで安価に提供することが可能な、有機ＥＬ素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基板２と、基板２上にパターン化して形成された複数の第一電極４と、基板２上に形成され、且つ各第一電極４の側面を覆う隔壁６と、各第一電極４及び隔壁６上に形成された発光媒体層８と、基板２及び発光媒体層８上に形成された第二電極１０を備える有機ＥＬ素子１であって、発光媒体層８と第二電極１０との間において、隔壁６上にパターン化して形成された撥液層１２を備え、発光媒体層８は、各第一電極４上及び隔壁６上を覆うように形成されたキャリア注入層１４と、キャリア注入層１４上のうち各第一電極４上にパターン化して形成された有機発光層１６を含み、撥液層１２は、キャリア注入層１４と第二電極１０との間に形成されている。 （もっと読む）

【課題】発光領域で有機材料の膜厚が均一な有機エレクトロルミネッセンスディスプレイパネルおよびその製造方法を提供すること
【解決手段】基板上に形成された第一電極と、前記第一電極を区画するように形成された親液性の隔壁と、前記第一電極上及び前記隔壁の開口内に形成された少なくとも有機発光層を含む発光媒体層と、前記発光媒体層を挟むように前記第一電極と対向して形成された第二電極と、からなる有機ＥＬ素子を基板上に複数備える有機エレクトロルミネッセンスディスプレイパネルであって、前記第一電極は有機ＥＬ素子部と接続部とからなり、前記隔壁は前記有機ＥＬ素子部のエッジから離間して形成されており、前記発光媒体層の膜厚は前記隔壁の開口内において第一電極上よりも前記有機ＥＬ素子部のエッジから隔壁のエッジの間の方が厚いことを特徴とする有機エレクトロルミネセンスディスプレイパネルとしたもの。 （もっと読む）

【課題】簡単な工程で絶縁膜、半導体膜、導電膜等の膜パターンを有する基板を作製する方法、さらには、低コストで、スループットや歩留まりの高い半導体装置の作製方法を提供することを目的とする。
【解決手段】基板上に形成された絶縁膜、半導体膜又は導電膜上に接して第１の膜を形成する工程と、第１の膜上に第１のマスク材料を含有する溶液を吐出して第１の膜上に第１のマスクを形成する工程と、第１のマスクを用いて第１の膜をパターニングして絶縁膜、半導体膜又は導電膜表面上に塗れ性の低い領域と塗れ性の高い領域を形成する工程と、第１のマスクを除去する工程と、塗れ性の低い領域に挟まれた塗れ性の高い領域に、第２のマスク材料を含有する溶液を吐出して第２のマスクを形成する工程と、第２のマスクを用いて、パターニングされた第１の膜をエッチングするとともに絶縁膜、半導体膜又は導電膜をエッチングする。 （もっと読む）

【課題】低コスト化を図りつつ表示画質を向上させることが可能な有機ＥＬ表示装置を提供する。
【解決手段】隔壁１５が、濡れ性が異なる２種類以上の無機材料膜を有する積層構造からなるようにする。湿式法（塗付法）を用いて画素内に有機層（正孔注入層１６Ａ、正孔輸送層１６Ｂおよび発光層１６Ｃ）を形成する際に、撥液性膜１５Ｂ１，１５Ｂ２，１５Ｂ３によって、有機材料溶液の充填位置正確性が確保されると共に、隔壁１５の側面での濡れ上がりによる上部電極１７とのショート不良や画素間リーク等の発生が抑えられる。また、親液性膜１５Ａ１，１５Ａ２，１５Ａ３によって、乾燥過程において有機材料溶液がはじかれることが抑えられ、有機層における膜厚のばらつきが低減する。更に、このような積層構造からなる隔壁１５を、単一の工程にて連続的に形成することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 インクジェット法等の塗布法による液状材料を用いた色層の形成に際し、簡易な工程で、液状材料中の成分が充填されない領域の発生を抑制でき、良好な表示品位が実現できる表示装置用基板及びその製造方法並びに表示装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 基板の主面上に、樹脂材料からなるバンクと、上記バンクによって囲まれた複数の絵素領域に配置された色層とを備えた表示装置用基板であって、上記色層は、液状材料から形成され、上記バンクは、上記液状材料中の成分を含有する含浸領域を備える表示装置用基板である。 （もっと読む）

【課題】改良された有機電子デバイスおよびその製造技術を提供すること。
【解決手段】本発明は、有機電子デバイスの液滴堆積ベースの製造のための構造における液滴堆積ウェルの形成方法を提供する。前記方法は、基板上に親水性材料層を堆積させる工程、前記親水性材料層の上にバンク材料層を堆積させる工程、前記バンク材料層をパターニングして１または２以上の前記液滴堆積ウェルを形成するバンクを規定する工程、前記パターニングされたバンク材料層をレジストとして使用して自己整合プロセス中において前記親水性材料層をエッチングする工程を含む。 （もっと読む）

【課題】溶液を成膜することにより大気中で安定な電子注入層を形成可能な電子注入性材料の他の選択肢を提供し、該電子注入性材料を用いて、製造コストの低減が可能であって、製造プロセスにおける安定性を確保可能な、有機ＥＬディスプレイ装置の製造方法及び該製造方法により得られる有機ＥＬディスプレイ装置を提供する。
【解決手段】本発明の製造方法は、各画素に対応する複数の陰極が形成された基板上に、電子注入性材料としてイオン性ポリマーを含む溶液を全画素に共通に塗布し、成膜することにより電子注入層を形成する工程と、前記電子注入層の表面に直接または他層を介して、画素パターンに対応した複数の発光層を形成する工程と、前記発光層あるいは発光層と他の層とが順次に形成された基板上に全画素に共通に陽極材料を成膜することにより陽極を形成する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】出光側の電極が抵抗値の高い透明電極である場合に、その透明電極上に補助電極を容易且つ安定して形成することができる有機ＥＬ素子の製造方法を提供する。
【解決手段】基板１上に第１電極２を形成する工程と、第１電極２から有機ＥＬ層６（６Ｒ，６Ｇ，６Ｂ）に電荷を供給する領域Ｂを画定するための絶縁層３を所定のパターンで形成する工程と、絶縁層３上に、逆テーパー部５を両壁面又は片壁面に有する隔壁４を形成する工程と、第１電極２上に有機ＥＬ層６を形成する工程と、有機ＥＬ層６の上方向から全面に第２電極材料を乾式成膜して画素領域毎に透明な第２電極７を形成する工程と、隔壁４上の領域Ｃとその隔壁４を平面視で挟む両側又は片側に設けられた絶縁層３及び第２電極７の平面視重複領域（Ａ１及び／又はＡ２）とからなる領域Ｄに補助電極８を形成する工程と、を有する方法で有機ＥＬ素子１０を製造する。 （もっと読む）

【課題】ダークスポットの発生が低減された有機ＥＬ装置、有機ＥＬ装置の製造方法、及び電子機器を提供する。
【解決手段】有機ＥＬ装置１０は、基板５１上において陽極４１と陰極４２との間に配置された機能層４３を有する有機ＥＬ素子４４と、有機ＥＬ素子４４の間において機能層４３を発光領域６６毎に区画するバンク７２と、有機ＥＬ素子４４を駆動させるＴＦＴ３３と、を備えた有機ＥＬ装置１０であって、ＴＦＴ３３の少なくとも一部は、平面的に有機ＥＬ素子４４の間に配置され、ＴＦＴ３３の少なくとも一部と有機ＥＬ素子４４の間とで平面的に重なる領域には、バンク７２が設けられていない領域を有する。 （もっと読む）

【課題】機能層の厚みのばらつきを抑えることができる電気光学装置、電気光学装置の製造方法、及び電子機器を提供する。
【解決手段】電気光学装置としての有機ＥＬ装置１１は、基板３１上において第１電極としての陽極２４と第２電極としての陰極２５との間に配置された発光層６４を含む機能層２６と、機能層２６を発光領域４２毎に区画する隔壁部としてのバンク６２と、陽極２４の下側に設けられた反射膜６１と、を備えた有機ＥＬ装置１１であって、バンク６２には、発光領域４２を囲む開口穴６５が設けられており、バンク６２における開口穴６５の周縁部６２ａは、バンク６２の他の領域と比較して基板３１上における高さが高く形成されていると共に、撥液性を有する撥液材６６が設けられている。 （もっと読む）

【課題】機能層の厚みのばらつきを抑えることができる電気光学装置、電気光学装置の製造方法、及び電子機器を提供する。
【解決手段】電気光学装置としての有機ＥＬ装置１１は、基板３１上において第１電極としての陽極２４と第２電極としての陰極２５との間に配置された発光層６４を含む機能層２６と、機能層２６を発光領域４２毎に区画された開口穴６５を有する隔壁部としてのバンク６２と、配線１２，１３，１４と、を備えた有機ＥＬ装置１１であって、陽極２４の長手方向に沿った端部２４ａが平面的に配線１３，１４と重なって配置され、バンク６２における開口穴６５の周縁部６２ａの一部は、平面的に陽極２４と配線１３，１４とが重なる領域に配置されており、撥液性を有する撥液材６６が設けられている。 （もっと読む）

【課題】機能層の厚みのばらつきを抑えることができる電気光学装置、電気光学装置の製造方法、及び電子機器を提供する。
【解決手段】電気光学装置としての有機ＥＬ装置１１は、基板３１上において第１電極としての陽極２４と第２電極としての陰極２５との間に配置された発光層６４を含む機能層２６と、機能層２６を発光領域４２毎に区画する隔壁部としてのバンク（第１バンク６１、第２バンク６２）と、を備えた有機ＥＬ装置１１であって、第２隔壁部としての第２バンク６２には、発光領域４２を囲む開口穴６５が設けられており、第２バンク６２における開口穴６５の周縁部６２ａは、第２バンク６２の他の領域と比較して基板３１上における高さが高く形成されていると共に、撥液性を有する撥液材６６が設けられている。 （もっと読む）

【課題】大面積基板におけるロット毎の寸法誤差や熱膨張による寸法誤差に対して、精度良く着弾させることができる機能膜の塗布方法を提供すること。
【解決手段】画素領域と前記画素領域の外側に配置された撥液部を有する基板に対し、ノズルからインク液滴を吐出することで、前記画素領域に機能膜を形成する方法であって、前記画素領域に加え、前記撥液部にもインク液滴を着弾させ、前記撥液部に着弾させたインク液滴の着弾位置と、本来着弾すべきインク液滴の着弾位置との差から前記ノズルから吐出するインクの吐出タイミングを補正して再塗布する。 （もっと読む）

【課題】逆テーパ形状の隔壁が備えられる表示装置において、複数の有機ＥＬ素子に亘って連なる第２電極が形成された表示装置を提供する。
【解決手段】支持基板と、この支持基板上において予め設定される区画を画成する隔壁と、隔壁によって画成される区画にそれぞれ設けられる複数の有機ＥＬ素子とを含む表示装置であって、各有機ＥＬ素子は、第１電極、有機ＥＬ層、第２電極が、支持基板側からこの順で積層されて構成され、前記第２電極は、隣り合う有機ＥＬ素子の間に介在する隔壁上にまたがって形成され、前記複数の有機ＥＬ素子に亘って連なって形成されており、前記隔壁は、支持基板から離間するにしたがって幅広になるように形成されており、前記第２電極は、前記第２電極および前記有機ＥＬ層の界面と隔壁の頂面との、支持基板の厚み方向における間隔よりも、その膜厚が厚い、表示装置。 （もっと読む）

【課題】駆動回路等を制御するための駆動制御信号の信号線を基板の所定部位に配設することで、基板面の有効利用と、駆動制御信号への外的影響を防止ないし抑制することが可能な表示装置、及びそれを備えた電子機器を提供する。
【解決手段】基板２０上に、バンク層２２１と該バンク層２２１により区画形成された凹状区画領域２２３とを所定のマトリクスパターンで配列するとともに、表示部たる画素部１１０に、表示に寄与する実画素部１１１と、表示に寄与しないダミー画素部１１２とを構成する。さらに基板２０上には、走査線を導通する走査信号の出力制御を行う走査線駆動回路８０と、該走査線駆動回路８０を駆動させるための駆動制御信号が導通する駆動制御信号導通部３２０とが設けられ、基板２０を平面視した場合に、駆動制御信号導通部３２０が、少なくともダミー画素部１１２のバンク層２２１と重畳配置する部分を含むように配置されている。 （もっと読む）

【課題】隔壁で区切られた画素内に凸版印刷によりインキを転写して発光媒体層を形成する方法において、インキのはじきがなく均一な膜形成を行うことで、画素間の色度や特性のバラツキのない有機ＥＬ素子の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】基板上に第一電極を形成する工程と、前記第一電極の端部周囲に格子状の隔壁を形成する工程と、前記第一電極上に有機発光媒体層を形成する工程と、前記有機発光媒体層を挟んで前記第一電極と対向するように第二電極を形成する工程と、前記第二電極上に封止材を形成する工程と、からなる有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法であって、前記有機発光媒体層を形成する工程は少なくとも、前記隔壁上に隔壁上膜を形成する工程と、前記第一電極上にインターレイヤー層を形成する工程と、を含むことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法としたもの。 （もっと読む）

【課題】凸版印刷法による有機発光層の形成において、面内膜厚が均一な膜形成を行ない、欠陥やムラのない有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】隔壁によって区画された画素を有する基板上に、有機発光材料含有インキ組成物を用いて、印刷法により有機発光層を形成する有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造方法であって、前記有機発光層を形成する前工程として、前記隔壁の内側面部と前記画素部の全面に下地層を形成する工程を有することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。 （もっと読む）

【課題】微細な加工がなされたインキング装置であっても、短絡のない発光素子を形成することが可能であり、印刷を繰り返した場合であっても、良好な印刷を継続することが可能である凸版印刷用インキング装置及びこれを用いた電子デバイスの製造方法とその電子デバイスを提供する。
【解決手段】アニロックスロールのようなインキング装置の凹部１および凸部２に、インキとの接触角を５度以上とするような表面処理し、凹部１には親インキ性を有し、凸部２の表面には撥インキ性表面層３を形成する。また、該装置を用いて、有機ＥＬのような電子デバイスを製造する。 （もっと読む）

【課題】正孔注入層の形成と隔壁上における撥液性の付与とを同時に行うことができ、高いパターニング精度で有機ＥＬ素子を形成することができる有機ＥＬディスプレイの製造方法を提供する。
【解決手段】基板１１上における、隔壁１２により区画された画素領域２０ａに形成され、一対の電極層２１、２４間に正孔注入層２２と発光層２３とが積層された積層構造を有する有機ＥＬ素子を備えた、有機ＥＬディスプレイの製造方法において、画素領域２０ａに形成された一の電極層２１の上面をフルオロカーボンガスのプラズマにより処理することによって、一の電極層２１上に正孔注入層２２を形成する正孔注入層形成工程と、形成された正孔注入層２２上に、発光層２３の材料を含む液体２３ａを塗布することによって、発光層２３を形成する発光層形成工程とを有する。 （もっと読む）